JP2002364569A - 多段ルーツ真空ポンプ - Google Patents
多段ルーツ真空ポンプInfo
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- rotor
- pump
- roots
- vacuum pump
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 運転時の常用圧力での消費電力が少ない
多段ルーツ真空ポンプの提供。 【解決手段】 ２本の回転軸の各回転軸（９）上に配列
した多段のルーツ型ロータ（３、４、５、６、７、８）
と、該軸上の相対向した各段のロータを一組として収容
するポンプ室と、該ロータの外周に設けられたポンプ室
及び段間の隔壁を持つケーシングとを有し、各ポンプ室
が直列となるように接続され、後段部のロータ（７、
８）の葉数を、前段部のロータ（３、４、５、６）の葉
数よりも多くしてなる多段ルーツ真空ポンプ。
多段ルーツ真空ポンプの提供。 【解決手段】 ２本の回転軸の各回転軸（９）上に配列
した多段のルーツ型ロータ（３、４、５、６、７、８）
と、該軸上の相対向した各段のロータを一組として収容
するポンプ室と、該ロータの外周に設けられたポンプ室
及び段間の隔壁を持つケーシングとを有し、各ポンプ室
が直列となるように接続され、後段部のロータ（７、
８）の葉数を、前段部のロータ（３、４、５、６）の葉
数よりも多くしてなる多段ルーツ真空ポンプ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多段ルーツ真空ポ
ンプに関し、特に運転時の消費電力が低い多段ルーツ真
空ポンプに関する。
ンプに関し、特に運転時の消費電力が低い多段ルーツ真
空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、回転軸に沿ってその軸上に多
段のルーツ型ロータを備えた回転体を相隣接して設け、
相対向したロータが互いに僅かの隙間を保って逆方向に
回転して吸入排気を行なうように構成された多段ルーツ
真空ポンプは知られている。上述の真空ポンプは３〜６
段のポンプ室から構成されており、各段のポンプ室で順
次ポンプ作用を行うものである。このポンプでは、排気
ガスが前段部から後段部へと圧縮されて移動するのに伴
ってガスの圧力が上昇する事から、排気容量は前段部よ
り後段部は小さくても良い。
段のルーツ型ロータを備えた回転体を相隣接して設け、
相対向したロータが互いに僅かの隙間を保って逆方向に
回転して吸入排気を行なうように構成された多段ルーツ
真空ポンプは知られている。上述の真空ポンプは３〜６
段のポンプ室から構成されており、各段のポンプ室で順
次ポンプ作用を行うものである。このポンプでは、排気
ガスが前段部から後段部へと圧縮されて移動するのに伴
ってガスの圧力が上昇する事から、排気容量は前段部よ
り後段部は小さくても良い。
【０００３】同一の回転軸上に多段のルーツ型ロータを
設ける場合、それぞれのロータの外形形状は、加工のし
やすさ及びロータ間の同期の取りやすさから、同一の外
形形状としているのが現状である。そのため、ガスの流
し込み側から吐き出し側に向かって排気容量を段階的に
小さくするのに、ロータの厚みを段階的に薄くする事で
対応している。ルーツ型ポンプでの排気気体の圧縮は、
ロータのへこみ部とケーシングとにより構成される空間
に排気気体が一旦開じこめられ、ロータが回転すること
でこの空間が吐出側空間とつながり、その瞬間に吐出側
気体が逆流することで行われる。ルーツ型の多段式真空
ポンプでは、１〜１０Ｐａ程度の到達圧力が得られ、到
達圧力から５０００Ｐａ付近が、常用圧力となる。吐出
口圧力は大気圧で一定である。吸入口側を真空に保つた
めには、圧縮行程でロータ室に逆流したガスを押し戻し
てやる必要があり、大気圧からの逆流を受け止める最終
段では、ガスを押し戻すためにポンプ全体の所要動力の
約７０から８０％程度が使われる。
設ける場合、それぞれのロータの外形形状は、加工のし
やすさ及びロータ間の同期の取りやすさから、同一の外
形形状としているのが現状である。そのため、ガスの流
し込み側から吐き出し側に向かって排気容量を段階的に
小さくするのに、ロータの厚みを段階的に薄くする事で
対応している。ルーツ型ポンプでの排気気体の圧縮は、
ロータのへこみ部とケーシングとにより構成される空間
に排気気体が一旦開じこめられ、ロータが回転すること
でこの空間が吐出側空間とつながり、その瞬間に吐出側
気体が逆流することで行われる。ルーツ型の多段式真空
ポンプでは、１〜１０Ｐａ程度の到達圧力が得られ、到
達圧力から５０００Ｐａ付近が、常用圧力となる。吐出
口圧力は大気圧で一定である。吸入口側を真空に保つた
めには、圧縮行程でロータ室に逆流したガスを押し戻し
てやる必要があり、大気圧からの逆流を受け止める最終
段では、ガスを押し戻すためにポンプ全体の所要動力の
約７０から８０％程度が使われる。
【０００４】上記多段ルーツ真空ポンプにおいて、最終
段の仕事は、押し戻すガス量が小さければ少なくなる。
そのため、上記したようにロータ厚みを薄くして、ポン
プ後段部の排気容量を小さくしている。このように、最
終段の排気容量を小さく設定する事によりポンプの常用
圧力範囲での所要動力を抑え、省エネルギー化に役立て
ているのが現状である。
段の仕事は、押し戻すガス量が小さければ少なくなる。
そのため、上記したようにロータ厚みを薄くして、ポン
プ後段部の排気容量を小さくしている。このように、最
終段の排気容量を小さく設定する事によりポンプの常用
圧力範囲での所要動力を抑え、省エネルギー化に役立て
ているのが現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したような省エネ
ルギー効果を有効に達成するためには、最終段の排気容
量を１段目に対して２５％程度とする必要がある。例え
ば、最大排気速度が８０ｍ３／Ｈｒクラスのポンプで
は、１段目のロータ厚みは３０ｍｍ程度とする場合が多
い。この場合、最終段のロータ厚みは７．５ｍｍとな
り、ロータ自体の強度が小さくなることから、加工時に
ロータ側面と軸芯との直角度が出しにくく、ロータ側面
と隔壁間との隙間を０．１から０．２ｍｍに保つ事が困
難であるという問題があった。また、ロータ側面と隔壁
との隙間は、加工精度およびケーシングとロータ軸との
熱膨張差による変動の制限から０．１から０．２ｍｍ必
要とするため、ロータ幅に対する隙間の比率がロータを
薄くする事で大きくなり、容積効率が低下するという問
題もあった。
ルギー効果を有効に達成するためには、最終段の排気容
量を１段目に対して２５％程度とする必要がある。例え
ば、最大排気速度が８０ｍ３／Ｈｒクラスのポンプで
は、１段目のロータ厚みは３０ｍｍ程度とする場合が多
い。この場合、最終段のロータ厚みは７．５ｍｍとな
り、ロータ自体の強度が小さくなることから、加工時に
ロータ側面と軸芯との直角度が出しにくく、ロータ側面
と隔壁間との隙間を０．１から０．２ｍｍに保つ事が困
難であるという問題があった。また、ロータ側面と隔壁
との隙間は、加工精度およびケーシングとロータ軸との
熱膨張差による変動の制限から０．１から０．２ｍｍ必
要とするため、ロータ幅に対する隙間の比率がロータを
薄くする事で大きくなり、容積効率が低下するという問
題もあった。
【０００６】また、省エネルギー効果を達成するために
は、最終段のロータ幅を機械的に安定した幅に設定し、
ロータ径を小さくして、前段部のロータ幅を決定する方
法もあるが、この方法ではポンプ長が長くなり、省スペ
ースの点から不都合である。本発明の課題は、上記従来
技術の問題点を解決することにあり、常用圧力での消費
電力の少ない省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プを提供することにある。
は、最終段のロータ幅を機械的に安定した幅に設定し、
ロータ径を小さくして、前段部のロータ幅を決定する方
法もあるが、この方法ではポンプ長が長くなり、省スペ
ースの点から不都合である。本発明の課題は、上記従来
技術の問題点を解決することにあり、常用圧力での消費
電力の少ない省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】一対の回転軸の各回転軸
上に多段のルーツ型ロータを配列してなる多段ルーツ真
空ポンプでは、前段部と後段部とで軸間ピッチを変化さ
せる事はできない。従って、ロータ厚みを変えないで排
気容量を小さくするためにはロータ径を小さくする必要
がある。この場合、後段部ロータにおいて、前段部と同
じ葉数のロータを用いると、幾何学的にルーツ外形を得
ることができないが、葉数を前段部より多くすれば、目
的のロータ形状を得ることができる。すなわち、ロータ
の葉数を増やす事はロータのくぼみ部の深さが浅くなる
事であるから、ピッチを変えないで小さな排気容量のロ
ータを得る事が可能になる。
上に多段のルーツ型ロータを配列してなる多段ルーツ真
空ポンプでは、前段部と後段部とで軸間ピッチを変化さ
せる事はできない。従って、ロータ厚みを変えないで排
気容量を小さくするためにはロータ径を小さくする必要
がある。この場合、後段部ロータにおいて、前段部と同
じ葉数のロータを用いると、幾何学的にルーツ外形を得
ることができないが、葉数を前段部より多くすれば、目
的のロータ形状を得ることができる。すなわち、ロータ
の葉数を増やす事はロータのくぼみ部の深さが浅くなる
事であるから、ピッチを変えないで小さな排気容量のロ
ータを得る事が可能になる。
【０００８】本発明の多段ルーツ真空ポンプは、２本の
回転軸の各回転軸上に配列した多段のルーツ型ロータ
と、回転軸上の相対向した各段の該ロータを互いに噛み
合せ、互いに噛み合った状態の該各段のロータを一組と
して収容するポンプ室と、該各段のロータの外周に設け
られたポンプ室及び段間の隔壁を持つケーシングとを有
し、各段のポンプ室が直列となるように接続されている
多段ルーツ真空ポンプであって、後段部の該ポンプ室に
配置したルーツ型ロータの葉数を、前段部に配置したル
ーツ型ロータの葉数よりも多くすることを特徴とする。
このように構成すれば、ポンプ後段部に配置されたルー
ツ型ロータを機械的に不安定なロータ厚さとすることな
く、最終段の排気容量を１段目に対して２５％程度とす
ることができ、運転時の常用圧力での消費電力が大幅に
低減され得る省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プとなる。
回転軸の各回転軸上に配列した多段のルーツ型ロータ
と、回転軸上の相対向した各段の該ロータを互いに噛み
合せ、互いに噛み合った状態の該各段のロータを一組と
して収容するポンプ室と、該各段のロータの外周に設け
られたポンプ室及び段間の隔壁を持つケーシングとを有
し、各段のポンプ室が直列となるように接続されている
多段ルーツ真空ポンプであって、後段部の該ポンプ室に
配置したルーツ型ロータの葉数を、前段部に配置したル
ーツ型ロータの葉数よりも多くすることを特徴とする。
このように構成すれば、ポンプ後段部に配置されたルー
ツ型ロータを機械的に不安定なロータ厚さとすることな
く、最終段の排気容量を１段目に対して２５％程度とす
ることができ、運転時の常用圧力での消費電力が大幅に
低減され得る省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プとなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の多段ルーツ真空ポンプ
は、この種のポンプとしての一般的構成を備えてなるも
のにおいて、上記したように、ポンプ後段部に配置され
るルーツ型ロータの葉数を、前段部に配置されるルーツ
型ロータの葉数よりも多くしたものである。以下、本発
明の実施の形態を、一対の回転体を有する６段式真空ポ
ンプを例にとり、図１、図２、図３を参照して説明す
る。図１は、本発明によるロータを組み込んだ多段ルー
ツ真空ポンプの全体構造を示す断面図であり、図２は、
図１のII−II線に沿った断面図であり、ポンプ前段部に
配置されたルーツ型ロータの形状を示す。図３は、図１
のIII−III線に沿った断面図であり、ポンプ後段部に配
置されたルーツ型ロータの形状を示し、前段部より葉数
の多いロータが配置されていることを示す。
は、この種のポンプとしての一般的構成を備えてなるも
のにおいて、上記したように、ポンプ後段部に配置され
るルーツ型ロータの葉数を、前段部に配置されるルーツ
型ロータの葉数よりも多くしたものである。以下、本発
明の実施の形態を、一対の回転体を有する６段式真空ポ
ンプを例にとり、図１、図２、図３を参照して説明す
る。図１は、本発明によるロータを組み込んだ多段ルー
ツ真空ポンプの全体構造を示す断面図であり、図２は、
図１のII−II線に沿った断面図であり、ポンプ前段部に
配置されたルーツ型ロータの形状を示す。図３は、図１
のIII−III線に沿った断面図であり、ポンプ後段部に配
置されたルーツ型ロータの形状を示し、前段部より葉数
の多いロータが配置されていることを示す。
【００１０】図１、図２、図３において符号１は、ケー
シングであり、このケーシング１内に一対の回転体２が
配設されている。各回転体２は、回転軸９と、この回転
軸の軸方向に沿って配列された複数のロータ３、４、
５、６、７、８とを備えている。回転体２は、一端にお
いて軸受１０によって回転支承されるとともに、他端に
おいても軸受１１により回転支承されるように構成され
ている。一方の回転体２は、カップリング１３を介して
駆動本体としてのモータ１４に接続されている。そし
て、この一方の回転体２から他方の回転体２へは、回転
軸９の軸端に固定された駆動側および従動側から構成さ
れるタイミングギヤ１２によって動力が伝達される（図
１では、駆動側タイミングギヤのみ示す。）。一対の回
転体２は、互いに逆方向に回転するように構成されてい
るので、僅かな隙間を持って相対向して設けられ、互い
に噛み合った状態の各段の一組のロータ３、４、５、
６、７、８は、互いに逆方向へ回転して、各段のポンプ
室でポンプ作用を行い、吸入排気が行われる。
シングであり、このケーシング１内に一対の回転体２が
配設されている。各回転体２は、回転軸９と、この回転
軸の軸方向に沿って配列された複数のロータ３、４、
５、６、７、８とを備えている。回転体２は、一端にお
いて軸受１０によって回転支承されるとともに、他端に
おいても軸受１１により回転支承されるように構成され
ている。一方の回転体２は、カップリング１３を介して
駆動本体としてのモータ１４に接続されている。そし
て、この一方の回転体２から他方の回転体２へは、回転
軸９の軸端に固定された駆動側および従動側から構成さ
れるタイミングギヤ１２によって動力が伝達される（図
１では、駆動側タイミングギヤのみ示す。）。一対の回
転体２は、互いに逆方向に回転するように構成されてい
るので、僅かな隙間を持って相対向して設けられ、互い
に噛み合った状態の各段の一組のロータ３、４、５、
６、７、８は、互いに逆方向へ回転して、各段のポンプ
室でポンプ作用を行い、吸入排気が行われる。
【００１１】前記軸受１０は、軸受ケース１５内に収納
され軸受内に封入されたグリスにより潤滑される。軸受
１１及びタイミングギヤ１２は軸受ケース１６内に収納
され、軸受ケース内の潤滑油によって潤滑される。吸入
口１７から流入した排気ガスは、ロータ３とケーシング
１により形成されるルーツポンプにより圧縮され、吐出
部から、ロータ間に設けた後段への接続配管部１８を介
して、ロータ４が設けられた後段のポンプ室に送られ、
そのロータ部で圧縮される。以後、同様にして、各ロー
タ部で順次圧縮され、吐出口１９から大気中に排出され
る。本実施の形態の真空ポンプでは、前段部のロータ
３、４、５、６として、図２に示した３葉型のものが回
転軸上に配列され、また、後段部のロータ７、８とし
て、図３に示した５葉型のものが回転軸上に配列されて
いる。３葉型のロータは、かき出し体積が大きく、常用
真空圧力での排気速度を確保するのに適している。５葉
型ロータは、かき出し体積が小さい事から機械的に不安
定となる厚みまでロータ幅を薄くすることなく排気容量
を小さくすることができる。
され軸受内に封入されたグリスにより潤滑される。軸受
１１及びタイミングギヤ１２は軸受ケース１６内に収納
され、軸受ケース内の潤滑油によって潤滑される。吸入
口１７から流入した排気ガスは、ロータ３とケーシング
１により形成されるルーツポンプにより圧縮され、吐出
部から、ロータ間に設けた後段への接続配管部１８を介
して、ロータ４が設けられた後段のポンプ室に送られ、
そのロータ部で圧縮される。以後、同様にして、各ロー
タ部で順次圧縮され、吐出口１９から大気中に排出され
る。本実施の形態の真空ポンプでは、前段部のロータ
３、４、５、６として、図２に示した３葉型のものが回
転軸上に配列され、また、後段部のロータ７、８とし
て、図３に示した５葉型のものが回転軸上に配列されて
いる。３葉型のロータは、かき出し体積が大きく、常用
真空圧力での排気速度を確保するのに適している。５葉
型ロータは、かき出し体積が小さい事から機械的に不安
定となる厚みまでロータ幅を薄くすることなく排気容量
を小さくすることができる。
【００１２】上で述べたように常用圧力での省エネルギ
ー効果を達成するためには、後段の最終段の排気容量を
１段目に対して２５％とする必要がある。そのために
は、１段目のロータ幅を３０ｍｍとすると、すべてのロ
ータを１段目と同じ３葉型とした場合は、最終段のロー
タ幅を７．５ｍｍとすることが必要になる。この場合、
ロータの加工精度、熱変形などの信頼性に問題が生じ
る。しかしながら、後段を５葉型とした場合は、省エネ
ルギー効果を達成するためには、最終段のロータ幅を１
３ｍｍとすれば充分である。従来のポンプでは、１４．
５ｍｍのロータ幅が採用されており、この厚みでのロー
タの信頼性は確認されているので、この値に近い１３ｍ
ｍでも同等の信頼性が得られることが分かる。
ー効果を達成するためには、後段の最終段の排気容量を
１段目に対して２５％とする必要がある。そのために
は、１段目のロータ幅を３０ｍｍとすると、すべてのロ
ータを１段目と同じ３葉型とした場合は、最終段のロー
タ幅を７．５ｍｍとすることが必要になる。この場合、
ロータの加工精度、熱変形などの信頼性に問題が生じ
る。しかしながら、後段を５葉型とした場合は、省エネ
ルギー効果を達成するためには、最終段のロータ幅を１
３ｍｍとすれば充分である。従来のポンプでは、１４．
５ｍｍのロータ幅が採用されており、この厚みでのロー
タの信頼性は確認されているので、この値に近い１３ｍ
ｍでも同等の信頼性が得られることが分かる。
【００１３】次に、上記構成を有する本発明の多段真空
ポンプと、最終段の排気量が１段目に対して５０％であ
る従来の多段真空ポンプとを用い、最大排気速度８０ｍ
３／Ｈｒとして運転し、それぞれのポンプの到達圧力に
対する消費電力を測定した。その結果を図４に示す。図
４から明らかなように、本発明による真空ポンプの場
合、５０００Ｐａ以下の常用圧力範囲では、従来の真空
ポンプと比べて、消費電力の大幅な低下を示しており、
特に到達圧力時では３８％の省エネルギーとなってい
る。一方、２００００Ｐａ以上の圧力では、本発明の真
空ポンプでは、従来のポンプよりも大きな消費電力を示
しているが、これは、後段部の排気容量を小さくした事
で、通過する排気ガスが抵抗を受け、ポンプ室内で大気
圧以上の高圧となって動力が大きくなったためである。
ポンプと、最終段の排気量が１段目に対して５０％であ
る従来の多段真空ポンプとを用い、最大排気速度８０ｍ
３／Ｈｒとして運転し、それぞれのポンプの到達圧力に
対する消費電力を測定した。その結果を図４に示す。図
４から明らかなように、本発明による真空ポンプの場
合、５０００Ｐａ以下の常用圧力範囲では、従来の真空
ポンプと比べて、消費電力の大幅な低下を示しており、
特に到達圧力時では３８％の省エネルギーとなってい
る。一方、２００００Ｐａ以上の圧力では、本発明の真
空ポンプでは、従来のポンプよりも大きな消費電力を示
しているが、これは、後段部の排気容量を小さくした事
で、通過する排気ガスが抵抗を受け、ポンプ室内で大気
圧以上の高圧となって動力が大きくなったためである。
【００１４】上記実施の形態では、ルーツ型ロータが２
つで一組をなすルーツポンプとし、ポンプ室が６段であ
る真空ポンプについて説明した。しかし、ポンプ室の段
数に制限があるわけではなく、従来と同様に３〜６段、
又はそれより多い段数でも、所期の目的を達成すること
ができる。また、ロータについては、４段からなる前段
部に３葉型のもの、２段からなる後段部に５葉型のもの
を配列した場合について説明したが、所期の目的を達成
することができるものであれば、このような配列及び葉
数に制限がある訳ではない。さらに、上記実施の形態で
は、回転駆動手段として、ポンプに直結型モータを取り
付けたもので説明したが、この他に、例えば、大気との
軸シールを介して軸をケーシング外部へ取り出し、ベル
トを用いて別置きのモータから駆動しても良く、特に制
限される訳ではない。
つで一組をなすルーツポンプとし、ポンプ室が６段であ
る真空ポンプについて説明した。しかし、ポンプ室の段
数に制限があるわけではなく、従来と同様に３〜６段、
又はそれより多い段数でも、所期の目的を達成すること
ができる。また、ロータについては、４段からなる前段
部に３葉型のもの、２段からなる後段部に５葉型のもの
を配列した場合について説明したが、所期の目的を達成
することができるものであれば、このような配列及び葉
数に制限がある訳ではない。さらに、上記実施の形態で
は、回転駆動手段として、ポンプに直結型モータを取り
付けたもので説明したが、この他に、例えば、大気との
軸シールを介して軸をケーシング外部へ取り出し、ベル
トを用いて別置きのモータから駆動しても良く、特に制
限される訳ではない。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、前段部に設けたルーツ
型ロータの葉数より多い葉数を備えたルーツ型ロータを
後段部に設けることにより、運転時の常用圧力での消費
電力の少ない省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プが提供できる。
型ロータの葉数より多い葉数を備えたルーツ型ロータを
後段部に設けることにより、運転時の常用圧力での消費
電力の少ない省エネルギータイプの多段ルーツ真空ポン
プが提供できる。
【図１】 本発明による多段ルーツ真空ポンプの全体構
造を示す断面図。
造を示す断面図。
【図２】 図１のII−II線に沿った断面図であり、ポン
プ前段部に配置されたルーツ型ロータの形状を示す。
プ前段部に配置されたルーツ型ロータの形状を示す。
【図３】 図１のIII−III線に沿った断面図であり、ポ
ンプ後段部に配置されたルーツ型ロータの形状を示す。
ンプ後段部に配置されたルーツ型ロータの形状を示す。
【図４】 本発明による多段真空ポンプの省エネルギー
効果を、従来の多段真空ポンプ装置と比較して示すグラ
フ。
効果を、従来の多段真空ポンプ装置と比較して示すグラ
フ。
１ ケーシング ２ 回転体 ３、４、５、６ 前段部ロータ ７、８ 後段部
ロータ ９ 回転軸 １０、１１ 軸受 １２ タイミングギヤ １３ カップリ
ング １４ モータ １５、１６ 軸
受ケース １７ 吸入口 １８ 接続配管 １９ 吐出口
ロータ ９ 回転軸 １０、１１ 軸受 １２ タイミングギヤ １３ カップリ
ング １４ モータ １５、１６ 軸
受ケース １７ 吸入口 １８ 接続配管 １９ 吐出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 智成 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA15 AB06 BB42 CC03
Claims (1)
- 【請求項１】 ２本の回転軸の各回転軸上に配列した多
段のルーツ型ロータと、回転軸上の相対向した各段の該
ロータを互いに噛み合せ、互いに噛み合った状態の該各
段のロータを一組として収容するポンプ室と、該各段の
ロータの外周に設けられたポンプ室及び段間の隔壁を持
つケーシングとを有し、各段のポンプ室が直列となるよ
うに接続されている多段ルーツ真空ポンプであって、後
段部の該ポンプ室に配置したルーツ型ロータの葉数を、
前段部に配置したルーツ型ロータの葉数よりも多くする
ことを特徴とする多段ルーツ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001167030A JP2002364569A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 多段ルーツ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001167030A JP2002364569A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 多段ルーツ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002364569A true JP2002364569A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19009474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001167030A Pending JP2002364569A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 多段ルーツ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002364569A (ja) |
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- 2001-06-01 JP JP2001167030A patent/JP2002364569A/ja active Pending
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