JPH08189485A - スクリュー機械 - Google Patents

スクリュー機械

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JPH08189485A
JPH08189485A JP234695A JP234695A JPH08189485A JP H08189485 A JPH08189485 A JP H08189485A JP 234695 A JP234695 A JP 234695A JP 234695 A JP234695 A JP 234695A JP H08189485 A JPH08189485 A JP H08189485A
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rotor
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毅 川村
Seiji Yanagisawa
清司 柳澤
Shigeyoshi Osada
重慶 長田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 スクリューロータの歯形を洩れの少ない形状
とし、振動、騒音、所要動力を減少させる。 【構成】 スクリューロータ(5A、5B)の歯形の軸
断面を、共に直線でピッチ線P1を挟んで等距離にあっ
て互いに長さが等しい外周部(ab)及び歯底部(c
d)と、この外周部(ab)と歯底部(cd)とが一方
はピッチ点(Pc)に対し点対称で歯底部(cd)とは
滑らかに連結されて外周部(ab)及び歯底部(cd)
の長さが自由に設定できる曲線(L)と、他方は相手側
スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド
曲線(de)とで連結された形状とし、スクリューロー
タ5A、5Bのリードを吸込側から吐出側に向かい小さ
く変化させ、スクリューロータ(5A、5B)の吐出端
を吐出空間(21)に開放する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば真空ポンプ、圧
縮機、エキスパンダとして用いられるスクリュー機械に
関する。
【0002】
【従来技術とその欠点】スクリュー機械においては、気
体はロータケーシングの内壁とスクリューロータのスク
リュー溝とで囲まれ、さらにスクリューロータのスクリ
ュー部が相手のスクリューロータのスクリュー部と噛み
合うことによって、閉じ込められるようになっている。
そして、スクリューロータの回転と共にスクリュー部の
噛み合い部分は吸込側から吐出側へ移動し、これに伴な
ってスクリュー溝内の気体も移動して吐出端から吐出さ
れる。歯形部分は相手歯形及びロータケーシングと僅か
な隙間を保ち非接触であるから、これらの隙間からの漏
洩を極力減らすため歯形同士の干渉による切欠が少く、
また、ロータケーシングと相対する外周部の幅の設計に
自由度が取れることが必要である。
【0003】従来、次のような歯形形状が知られてい
る。
【0004】実開昭63−14884号公報のスクリュ
ー式真空ポンプの歯形は方形状であり、このため歯形が
噛み合うとき干渉が生じ、この干渉を防ぐため切欠が設
けられている。また、この歯形では外周幅は必然的にピ
ッチの1/2となる。
【0005】干渉が起きず、完全なシール線が形成され
るスクリュー歯形としては、特公昭64−8193号公
報が知られている。この公知例は液体を扱うポンプに用
いられ、外周部が液体によりシールされて洩れが少ない
ため、噛み合い部で完全なシール線が形成されるだけで
1ピッチで高い揚程が得られる。歯形は軸直角断面にて
回転伝達側に一点連続接触歯形が、従動側にトロコイド
歯形が用いられている。しかし、一点連続接触歯形とし
て円弧またはサイクロイド歯形が用いられると、外周幅
は歯先円弧の半径と歯元円弧の半径とで決定される。す
なわちいずれも公知技術も外周幅の設計に自由度がな
い。
【0006】外周幅を自由に設定できるスクリュー歯形
として特開昭62−291486号公報のスクリューコ
ンプレッサが知られている。この公知例では歯先円弧と
歯元円弧とがアルキメデス曲線で連結されており、この
連結点で滑らかに接続することはできないので、この部
分を加工すると工具の損傷が大きくなるという問題を生
じる。
【0007】また、従来のスクリュー圧縮機ではスクリ
ューロータの吐出端面がケーシングでシールされて圧縮
室が形成されている。この場合、圧縮熱でケーシング及
びスクリューロータが熱変形してスクリューロータ吐出
端面とケーシングが接触する危険性がある。
【0008】なお、吐出側の溝容積を吸込側の溝容積よ
り小さくし、吐出の際の急激な圧力変化や逆流による効
率低下を防止するものとして特開平3−111690号
公報の真空ポンプが知られている。この公知例ではスク
リュー溝の容積、条数、ピッチを変えた複数のロータが
用いられて移送容量が小さくされている。
【0009】上記のようにスクリュー機械の歯形とし
て、相手歯形との干渉がなく、完全に連続したシール線
を形成することができ、また、外周部は吐出量、圧縮比
及び外周隙間によって決まる最適な外周幅とされるよう
設計の自由度が必要である。しかも曲線の連結が滑らか
でないとその部分を加工する工具の損傷が大きく、生産
性が悪くなるという問題がある。
【0010】また、従来のスクリュー圧縮機のようにス
クリューロータの吐出端面をケーシングでシールするこ
とによって圧縮室を形成して圧縮を行うと、その圧縮機
によってケーシング及びスクリューロータが熱変形し、
スクリューロータの吐出端面とケーシングが接触する危
険性がある。しかし、圧縮を行わないで移送工程にある
スクリュー溝を吐出口に開放させるとスクリュー溝内と
吐出口との圧力差が大きいため吐出口からスクリュー溝
内に気体が急激に逆流し、振動や騒音が発生する。そし
て、逆流してきた気体を押し出すための動力が必要にな
って効率が低下する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、外周幅を自由に設計でき、しかも干渉が生じない
スクリュー機械を提供するにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、歯形形
状が同一で互いにねじれ方向が逆の一対のスクリューロ
ータを非接触の状態で噛み合わせ、同期して回転させて
気体を吸込みかつ吐出しているスクリュー機械におい
て、スクリューロータの歯形の軸断面形状が、共に直線
でピッチ線を挟んで等距離にあって互いに長さが等しい
外周部及び歯底部と、外周部と歯底部とを連結する2曲
線とで構成され、その2曲線の一方はピッチ点に対し点
対称で歯底部と滑らかに連結されて外周部及び歯底部の
長さが自由に設定できる曲線、他方は相手側スクリュー
ロータの外周上の点で創成され、軸直角断面上において
トロコイド曲線となる曲線である。
【0013】さらに本発明によれば、前記2曲線の一方
はピッチ点を通るサインカーブである。
【0014】さらに本発明によれば、前記2曲線の一方
はピッチ点を通る直線とその直線に連続する円弧であ
る。
【0015】さらに本発明によれば、一対のスクリュー
ロータは吸込端と吐出端との間を連通しない複数のスク
リュー溝を有し、そのスクリューロータの吐出端面と吐
出口との間に吐出空間を設け、スクリューロータの吐出
端面の全面を吐出空間に開放している。
【0016】さらに本発明によれば、一対のスクリュー
ロータは吸込端と吐出端との間を連通しない複数のスク
リュー溝を有し、そのスクリュー溝のリードを吸込端か
ら吐出端に向い小さくしている。
【0017】さらに本発明によれば、一対のスクリュー
ロータは吸込端と吐出端との間を連通しない複数のスク
リュー溝を有し、そのスクリューロータの吐出端面と吐
出口との間に吐出空間を設け、スクリューロータの吐出
端面の全面を吐出空間に開放し、スクリュー溝のリード
を吸込端から吐出端に向い小さくしている。
【0018】
【作用】上記のように構成されたスクリュー機械におい
ては、スクリューロータの歯形形状は外周部と歯底部を
連結する一方の線はピッチ点に対して点対称な曲線で、
他方の曲線は相手側スクリューロータの外周で創成され
たトロコイド曲線であるので、ピッチ点に対して点対称
な曲線、例えばサインカーブや直線はそのピッチ線に対
するピッチ点における傾斜角を任意に選択できる。それ
故にこの傾斜角によって定まる外周幅は制限を受けずに
設定され、歯元から歯先まで連続した曲線で構成されて
加工具に著しく損傷を与えることなく生産性は良好であ
る。このように外周幅を変えることにより洩れの少ない
スクリュー機械を提供できる。
【0019】そして、スクリューロータの吐出端面は吐
出空間に開放されており、熱変形による接触の恐れがな
い。
【0020】スクリュー溝は吸込側から吐出側に向かい
ピッチが小さく変更形成され、吐出端での圧力変動が小
さくされている。
【0021】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【0022】図1において、全体の外装を形成している
ポンプケーシングAは、上部からロータケーシング1、
中央ケーシング2と下部ケーシング3とで構成され、底
部に潤滑油溜めでもある底カバー4が取付けられてい
る。そのロータケーシング1の内部にはポンプ室Bが形
成され、その断面は8字形でスクリューロータ5A、5
Bが収納されている。また、スクリュー5A、5Bは上
部軸受8A、8Bと下部軸受9A、9Bとで支持された
回転軸6A、6Bの上端に固着され、それらのスクリュ
ー歯は互いにねじれ方向が逆方向で非接触の状態で噛み
合わされている。前記下部ケーシング3内の一方の回転
軸6A側にはモータロータ室Cが形成され、モータステ
ータケーシング12内にはモータ10が回転軸6Aに組
付けられており、他方の回転軸6Bは下部のタイミング
ギヤ7A、7Bにより逆方向に回転されてスクリューロ
ータ5Aと5Bとは互いに噛み合うよう同期が取られて
いる。
【0023】また、ロータケーシング1の上部に吸込口
Fが設けられており、スクリューロータ5A、5Bの吐
出端面と、中央ケーシング2の側面に設けられた吐出口
Gとの間には吐出空間21が形成され、スクリューロー
タ5A、5Bの吐出端面の全面が開放されている。
【0024】前記スクリューロータ5A、5Bの歯形の
軸断面形状は、図2に示す形状に形成されている。すな
わち、外周部abと歯底部cdとは共にピッチ線P1を
挟んで等距離にあってその長さが互いに等しい直線で、
曲線部bcはピッチ点Pcに対して点対称な連続した曲
線Lで歯底部cdと滑らかに連結され、かつ、外周部a
b及び歯底部cdの長さを自由に設定できる曲線であ
り、また、曲線部deは相手側スクリューロータの外周
上のa点の相当点で創成され軸直角断面上において、ト
ロコイド曲線となる曲線でそれぞれ構成されている。
【0025】図3及び図4に歯形形状の一例として上記
の曲線部bcがサインカーブL1で構成された軸断面及
び軸直角断面が示されている。曲線部deについても同
様であり、曲線部deは軸直角断面ではトロコイド曲線
であるが、軸断面ではそのトロコイド曲線から得られる
曲線となる。
【0026】前記実施例の曲線部bcはサインカーブで
あるが、図5及び図6には別の例として曲線部bcが円
弧bb1 、cc1 と直線b1c1との組合された曲線L
2で構成された歯形形状の軸断面及び軸直角断面が示さ
れている。
【0027】次に本発明の作用の態様を説明する。
【0028】モータ10により回転軸6Aは直接、回転
軸6Bはタイミングギヤ7A、7Bを介して駆動され、
スクリューロータ5A、5Bは互いに噛み合って逆方向
に回転される。
【0029】スクリューロータ5Aの歯形形状は、外周
部abと歯底部cdとを連結する一方の線にピッチ点P
cに対して点対称な曲線bc、他方の曲線deに相手側
スクリューロータ5Bの外周部のa相当点で創成された
トロコイド曲線が採用されているので歯形の干渉は起こ
らず、切欠も必要がなく、完全なシール線が形成されて
洩れが少ない。また、外周部幅はピッチ及び歯先円弧と
歯元円弧の径によって制限されず、シール幅は適切に設
定され、溝幅も小さくされることはない。
【0030】次にスクリュー溝の有効溝数の変化につい
て説明する。
【0031】図7及び図8において、スクリューロータ
5Aとスクリューロータ5Bとが噛み合うことによって
5本のスクリュー溝が形成されているが、ハッチングさ
れた両端の吸込側、吐出側は開放されているので溝内の
気体が密封される有効溝本数は回転することにより変化
し、3〜4本になることが示されている。
【0032】また、図9及び図10において、スクリュ
ーロータが吸込側15A、15Bと吐出側15C、15
Dに分離されているので有効溝本数が2〜4本に変化す
ることが示されている。
【0033】上記に示したように、スクリューロータ5
A、5Bの吐出端面の全面が吐出空間21に開放されて
いても、複数の連通しないスクリュー溝、すなわち有効
溝があれば吸込端から吐出端まで気体が吹き抜けること
がなく、有効に気体の移送工程が行われる。したがっ
て、圧縮熱による中央ケーシング2やスクリューロータ
5A、5Bの熱変形によって両者が接触するようなこと
は起きない。
【0034】図11において、スクリューロータ25
A、25Bのスクリュー溝は吸込端から吐出端へ連通し
なで吸込側X部分のピッチに比べ吐出側Y部分のピッチ
が小さくされている。
【0035】このようにY部分のスクリュー溝のピッチ
が小さく変更されるとスクリュー溝の容積が減少して圧
力が高くなる。したがって、吐出端における圧力変化、
逆流は少なくなり振動、騒音は抑制され、所要動力も減
少する。なお、このピッチの変更は、段階的でも連続的
でもよい。
【0036】図12ないし図19は本発明によるスクリ
ュー機械の歯形が干渉しないことを説明するための図で
ある。図12において、符号は図4に従って図示するが
図13ないし図19ではスクリューロータ5A、5Bが
これらの図において順次回転している所を示すために、
中心と点bとを結ぶ線2Aおよび2Bを図示し、他は省
略してある。これらの図から解るように噛合いに問題が
生じない。
【0037】また図20は図12に対し軸間外径、歯底
径を同じにして外周幅(円弧a、b間および円弧c、d
間)を変えた例である。前述の通り、図2の線Lがピッ
チ線P1と成す角度を大きくしたものである。
【0038】図21は曲線L1およびL1´すなわち曲
線bcおよびb´c´がサインカーブで構成された2条
ねじの場合の軸直角断面を示す図である。そして符号は
すべて前記の実施例と同様であり、他方のねじにダッシ
ュを付して図示してある。この例でも前述してたところ
と同様な作用効果を奏することができる。
【0039】このように本発明によれば、外周幅を自由
に設計でき、かつ干渉が生じないので極めて好適であ
る。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように本発明により、次の
ような効果が得られ、低振動、低騒音で所要動力の小さ
いスクリュー機械とすることができる。
【0041】スクリューロータの歯形が、外周部と歯底
部とを連結する一方の線をピッチ点に対し点対称の曲
線、もう一方を相手スクリューロータ外側によって創成
されるトロコイド曲線とすることで歯形の干渉が起こら
ず、切欠を設ける必要がなく、完全なシール線が形成さ
れて洩れが少ない。
【0042】ピッチ及び歯先円弧と歯底円弧との径によ
る制限を受けずに外周幅を決定でき、外周面のシール幅
を適切に設定することができ、また、スクリューロータ
の溝の容積も小さくなることはない。
【0043】スクリューロータの吐出端面と吐出口との
間に吐出空間を設け、スクリューロータの吐出端面の全
面を吐出空間に開放すると、従来のスクリュー真空ポン
プのようにスクリューロータ吐出端面と微少な間隙を確
保して配置されていたケーシング面が必要でなくなり、
スクリューロータ吐出端面とケーシングとが熱膨張で接
触する危険が全くなくなり、同時に組立て性も向上す
る。
【0044】スクリューロータのスクリュー溝のリード
を吸込側から吐出側に向って段階的または連続的に小さ
くすることによって吐出端に開口する溝の容積を小さく
すると、吐出端から逆流する気体の量が少なくなるため
低振動、低騒音となると同時に所要動力も小さくなる。
また、吸込端と吐出端との間の有効溝数を減らすことな
く溝容積を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の概略を示す側断面図。
【図2】本発明の一実施例を示す軸断面図。
【図3】本発明の別の実施例を示す軸断面図。
【図4】図3の軸直角断面図。
【図5】本発明の別の実施例を示す軸断面図。
【図6】図5の軸直角断面図。
【図7】スクリューロータの有効溝本数を示す説明図。
【図8】スクリューロータの有効溝本数の変化を示す説
明図。
【図9】スクリューロータを分離型とした場合の有効溝
本数を示す説明図。
【図10】スクリューロータを分離型とした場合の有効
溝本数の変化を示す説明図。
【図11】本発明のスクリューロータのリードを変化さ
せた実施例を示す説明図。
【図12】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図13】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図14】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図15】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図16】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図17】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図18】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図19】本発明によるスクリュー機械の噛合いを示す
図。
【図20】本発明により外周幅を変えたものを示す図1
2と同様な図。
【図21】本発明のさらに別の実施例を示す軸直角断面
図。
【符号の説明】
A・・・ポンプケーシング B・・・ポンプ室 C・・・モータロータ室 1・・・ロータケーシング 2・・・中央ケーシング 3・・・下部ケーシング 4・・・底カバー 5A、5B・・・スクリューロータ 6A、6B・・・回転軸 7A、7B・・・タイミングギヤ 8A、8B・・・上部軸受 9A、9B・・・下部軸受 10・・・モータ 12・・・モータステータケーシング 15A〜15D・・・スクリューロータ 21・・・吐出空間 25A、25B・・・スクリューロータ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 歯形形状が同一で互いにねじれ方向が逆
    の一対のスクリューロータを非接触の状態で噛み合わ
    せ、同期して回転させて気体を吸込みかつ吐出している
    スクリュー機械において、スクリューロータの歯形の軸
    断面形状が、共に直線でピッチ線を挟んで等距離にあっ
    て互いに長さが等しい外周部及び歯底部と、外周部と歯
    底部とを連結する2曲線とで構成され、その2曲線の一
    方はピッチ点に対し点対称で歯底部と滑らかに連結され
    て外周部及び歯底部の長さが自由に設定できる曲線、他
    方は相手側スクリューロータの外周上の点で創成され、
    軸直角断面上においてトロコイド曲線となる曲線である
    ことを特徴とするスクリュー機械。
  2. 【請求項2】 前記2曲線の一方はピッチ点を通るサイ
    ンカーブである請求項1記載のスクリュー機械。
  3. 【請求項3】 前記2曲線の一方はピッチ点を通る直線
    とその直線に連続する円弧である請求項1記載のスクリ
    ュー機械。
  4. 【請求項4】 一対のスクリューロータは吸込端と吐出
    端との間を連通しない複数のスクリュー溝を有し、その
    スクリューロータの吐出端面と吐出口との間に吐出空間
    を設け、スクリューロータの吐出端面の全面を吐出空間
    に開放したことを特徴とする請求項1記載のスクリュー
    機械。
  5. 【請求項5】 一対のスクリューロータは吸込端と吐出
    端との間を連通しない複数のスクリュー溝を有し、その
    スクリュー溝のリードを吸込端から吐出端に向い小さく
    したことを特徴とする請求項1記載のスクリュー機械。
  6. 【請求項6】 一対のスクリューロータは吸込端と吐出
    端との間を連通しない複数のスクリュー溝を有し、その
    スクリューロータの吐出端面と吐出口との間に吐出空間
    を設け、スクリューロータの吐出端面の全面を吐出空間
    に開放し、スクリュー溝のリードを吸込端から吐出端に
    向い小さくしたことを特徴とする請求項1記載のスクリ
    ュー機械。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004001229A1 (ja) * 2002-06-24 2003-12-31 Hokuetsu Industries Co., Ltd. スクリュロータ
WO2004031585A1 (en) * 2002-10-04 2004-04-15 Ebara Densan Ltd. Screw pump and method of operating the same
WO2005113984A1 (ja) * 2004-05-24 2005-12-01 Nabtesco Corporation スクリューロータ及びスクリュー式流体機械
CN100392249C (zh) * 2005-01-31 2008-06-04 浙江大学 一种大流量双螺杆泵的圆弧螺杆齿形
CN107989792A (zh) * 2018-01-22 2018-05-04 中国石油大学(华东) 一种全光滑的螺杆转子
CN108343605A (zh) * 2018-05-10 2018-07-31 中国石油大学(华东) 一种三爪爪式真空泵
JP2019526739A (ja) * 2016-08-30 2019-09-19 レイボルド ゲーエムベーハー スクリュー式真空ポンプ
JP2022120715A (ja) * 2021-02-05 2022-08-18 株式会社アルバック スクリューポンプ及びスクリューロータ

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004001229A1 (ja) * 2002-06-24 2003-12-31 Hokuetsu Industries Co., Ltd. スクリュロータ
CN100351522C (zh) * 2002-06-24 2007-11-28 北越工业株式会社 螺旋转子
WO2004031585A1 (en) * 2002-10-04 2004-04-15 Ebara Densan Ltd. Screw pump and method of operating the same
US7338266B2 (en) 2002-10-04 2008-03-04 Ebara Densan Ltd. Screw pump and method of operating the same
WO2005113984A1 (ja) * 2004-05-24 2005-12-01 Nabtesco Corporation スクリューロータ及びスクリュー式流体機械
CN100392249C (zh) * 2005-01-31 2008-06-04 浙江大学 一种大流量双螺杆泵的圆弧螺杆齿形
US11300123B2 (en) 2016-08-30 2022-04-12 Leybold Gmbh Screw vacuum pump without internal cooling
JP2019526739A (ja) * 2016-08-30 2019-09-19 レイボルド ゲーエムベーハー スクリュー式真空ポンプ
CN107989792A (zh) * 2018-01-22 2018-05-04 中国石油大学(华东) 一种全光滑的螺杆转子
CN107989792B (zh) * 2018-01-22 2023-09-12 中国石油大学(华东) 一种全光滑的螺杆转子
CN108343605A (zh) * 2018-05-10 2018-07-31 中国石油大学(华东) 一种三爪爪式真空泵
CN108343605B (zh) * 2018-05-10 2023-08-18 中国石油大学(华东) 一种三爪爪式真空泵
JP2022120715A (ja) * 2021-02-05 2022-08-18 株式会社アルバック スクリューポンプ及びスクリューロータ

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