JPH05312173A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05312173A JPH05312173A JP11371492A JP11371492A JPH05312173A JP H05312173 A JPH05312173 A JP H05312173A JP 11371492 A JP11371492 A JP 11371492A JP 11371492 A JP11371492 A JP 11371492A JP H05312173 A JPH05312173 A JP H05312173A
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- JP
- Japan
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- pump
- pump mechanism
- stage
- maximum radius
- rotors
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ポンプの大形化や排気効率の低下を招かずに特
定段のポンプ機構の容量を任意に調節可能にする。 【構成】駆動軸１および従動軸２の軸間距離Ｄを変えず
に、初段ポンプ機構６1 のロータ最半径寸法ｒ1 および
最終段ポンプ機構６4 のロータ最半径寸法ｒ4をそれぞ
れ他段ポンプ機構６2 、６3 のロータ最半径寸法ｒ2 、
ｒ3 に対して拡径または縮径させた。
定段のポンプ機構の容量を任意に調節可能にする。 【構成】駆動軸１および従動軸２の軸間距離Ｄを変えず
に、初段ポンプ機構６1 のロータ最半径寸法ｒ1 および
最終段ポンプ機構６4 のロータ最半径寸法ｒ4をそれぞ
れ他段ポンプ機構６2 、６3 のロータ最半径寸法ｒ2 、
ｒ3 に対して拡径または縮径させた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空産業機器や、その
応用分野において広く利用されるドライ真空ポンプに関
するものである。
応用分野において広く利用されるドライ真空ポンプに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３及び図４に、ドライ真空ポンプの一
種であるクロータイプの従来例を示す。このものは、所
定軸間距離Ｄを隔てて互いに平行に配設される共通の駆
動軸１および従動軸２と、これらの軸１、２の間欠的な
軸心位置に一対のロータ３x 、４x （ｘは１から４まで
のポンプ段数に対応した添字。以下同じ。）を軸着しそ
れらのロータ３x 、４x をそれぞれステータ５x で囲繞
してなる多段のポンプ機構６x とを具備してなる。
種であるクロータイプの従来例を示す。このものは、所
定軸間距離Ｄを隔てて互いに平行に配設される共通の駆
動軸１および従動軸２と、これらの軸１、２の間欠的な
軸心位置に一対のロータ３x 、４x （ｘは１から４まで
のポンプ段数に対応した添字。以下同じ。）を軸着しそ
れらのロータ３x 、４x をそれぞれステータ５x で囲繞
してなる多段のポンプ機構６x とを具備してなる。
【０００３】詳述すると、前記駆動軸１および従動軸２
は複数のボディ９x を貫通して左右に対設した端板１
０、１１にそれぞれベアリング１ａ、２ａを介して軸支
してある。ステータ５x は各ボディ９x にめがね状に開
口しており、各一対のロータ３x 、４x は対応するステ
ータ５x 内に固体接触を避けるべく所定のクリアランス
を保って非接触下に収容されている。この場合、各ロー
タ３x 、４x の基準半径又は基礎内半径寸法Ｒは全て同
一値（ほぼＤ／２）に設定され、それらのロータ３x 、
４x の最半径寸法又は最外径に対する半径寸法ｒx 、す
なわち、軸心ｍ、ｎから歯先３ａx 、４ａx までの寸法
も全て同一値に設定されている。なお、７x は各ポンプ
機構６x において漸次歯３ａx 、４ａx 同士が離反する
側に設けられた吸気ポートであり、８x は各ポンプ機構
６x において漸次歯３ａx 、４ａx同士が迎合する側に
設けられた排気ポートである。そして、前記駆動軸１お
よび従動軸２の軸端部同士をタイミングギヤ１ｂ、２ｂ
により連結し、駆動軸１に図示しない駆動源から動力を
入力することにより、両軸１、２が例えば図４に矢印で
示す方向に同期逆回転し、各ポンプ機構６x において前
段の排気ポート８x-1から吸気ポート７x を介して吸い
込んだガスを圧縮しつつ次段の吸気ポート７x+ 1 に圧送
するというポンプ作用を営み得るようになっている。こ
の場合、前段の排気ポートがない第１段ポンプ機構６1
は吸気口７からガスを吸い込み、次段の吸気ポートがな
い最終段ポンプ機構６4 は排気口８にガスを圧送するこ
とになる。
は複数のボディ９x を貫通して左右に対設した端板１
０、１１にそれぞれベアリング１ａ、２ａを介して軸支
してある。ステータ５x は各ボディ９x にめがね状に開
口しており、各一対のロータ３x 、４x は対応するステ
ータ５x 内に固体接触を避けるべく所定のクリアランス
を保って非接触下に収容されている。この場合、各ロー
タ３x 、４x の基準半径又は基礎内半径寸法Ｒは全て同
一値（ほぼＤ／２）に設定され、それらのロータ３x 、
４x の最半径寸法又は最外径に対する半径寸法ｒx 、す
なわち、軸心ｍ、ｎから歯先３ａx 、４ａx までの寸法
も全て同一値に設定されている。なお、７x は各ポンプ
機構６x において漸次歯３ａx 、４ａx 同士が離反する
側に設けられた吸気ポートであり、８x は各ポンプ機構
６x において漸次歯３ａx 、４ａx同士が迎合する側に
設けられた排気ポートである。そして、前記駆動軸１お
よび従動軸２の軸端部同士をタイミングギヤ１ｂ、２ｂ
により連結し、駆動軸１に図示しない駆動源から動力を
入力することにより、両軸１、２が例えば図４に矢印で
示す方向に同期逆回転し、各ポンプ機構６x において前
段の排気ポート８x-1から吸気ポート７x を介して吸い
込んだガスを圧縮しつつ次段の吸気ポート７x+ 1 に圧送
するというポンプ作用を営み得るようになっている。こ
の場合、前段の排気ポートがない第１段ポンプ機構６1
は吸気口７からガスを吸い込み、次段の吸気ポートがな
い最終段ポンプ機構６4 は排気口８にガスを圧送するこ
とになる。
【０００４】このようにポンプ機構６x を多段に設ける
理由は、この種のドライ真空ポンプが油を使用せず叙述
のようにロータ３x 、４x とステータ５x との間に十分
なクリアランスを確保していることから、排気効率が低
下し易く、それを補う趣旨に基づく。
理由は、この種のドライ真空ポンプが油を使用せず叙述
のようにロータ３x 、４x とステータ５x との間に十分
なクリアランスを確保していることから、排気効率が低
下し易く、それを補う趣旨に基づく。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のポ
ンプの排気速度は初段のポンプ機構６1 の容量でほぼ決
定されるため、所定の排気速度を確保する目的からこの
段の容量のみが他段のポンプ機構６2 〜６4 の容量に比
べて大きく設定されることがある。また、ポンプ全体を
少しでも小形化するために、排気速度への影響が最も少
ない最終段のポンプ機構６4 の容量のみが他段６1 〜６
3 の容量に比べて小さく設定されることがある。そし
て、このように特定段のポンプ機構６x の容量を他段の
ポンプ機構６x の容量に対して異ならせる場合、容量は
ロータ３x 、４x とステータ５x によって囲繞される閉
じ込み部の平面積Ｓx ×ロータ歯幅ｄx で表されるた
め、ロータ３x 、４x の歯幅ｄx （軸心ｍ、ｎ方向の厚
み寸法）を増減させることで対応している。。その場
合、容量は歯幅ｄx の調節率と同じ比率で変化すること
になり、図示例ではｄ1 ＞ｄ2 ＝ｄ3 ＞ｄ4 であってそ
れに応じたポンプ容量となっている。
ンプの排気速度は初段のポンプ機構６1 の容量でほぼ決
定されるため、所定の排気速度を確保する目的からこの
段の容量のみが他段のポンプ機構６2 〜６4 の容量に比
べて大きく設定されることがある。また、ポンプ全体を
少しでも小形化するために、排気速度への影響が最も少
ない最終段のポンプ機構６4 の容量のみが他段６1 〜６
3 の容量に比べて小さく設定されることがある。そし
て、このように特定段のポンプ機構６x の容量を他段の
ポンプ機構６x の容量に対して異ならせる場合、容量は
ロータ３x 、４x とステータ５x によって囲繞される閉
じ込み部の平面積Ｓx ×ロータ歯幅ｄx で表されるた
め、ロータ３x 、４x の歯幅ｄx （軸心ｍ、ｎ方向の厚
み寸法）を増減させることで対応している。。その場
合、容量は歯幅ｄx の調節率と同じ比率で変化すること
になり、図示例ではｄ1 ＞ｄ2 ＝ｄ3 ＞ｄ4 であってそ
れに応じたポンプ容量となっている。
【０００６】ポンプの大きさをあまり変えないでポンプ
の容量を少し大きくする場合、歯幅を増加させる方法を
とると、初段ポンプ機構６1 のロータ３1 、４1 の歯幅
ｄ1を大きくしたときにポンプ全体の軸方向の寸法増加
を招き、ポンプが長く大きくなる。また、最終段のポン
プ機構６4 にあってはガスが圧縮状態にあり初段のポン
プ機構６１のように稀薄ではないためこの段のロータ３
4 、４4 の歯幅ｄ4 を小さくしたときにリーク量が増大
して排気効率の低下を招くという不都合を生じる。図示
のものは、さほど極端な容量設定が要求されていないた
め叙述の不都合は比較的小さいが、ポンプの大きさをあ
まり変えないで容量を大きくする容量設定が極端になる
につれてポンプが長く大きくなる。
の容量を少し大きくする場合、歯幅を増加させる方法を
とると、初段ポンプ機構６1 のロータ３1 、４1 の歯幅
ｄ1を大きくしたときにポンプ全体の軸方向の寸法増加
を招き、ポンプが長く大きくなる。また、最終段のポン
プ機構６4 にあってはガスが圧縮状態にあり初段のポン
プ機構６１のように稀薄ではないためこの段のロータ３
4 、４4 の歯幅ｄ4 を小さくしたときにリーク量が増大
して排気効率の低下を招くという不都合を生じる。図示
のものは、さほど極端な容量設定が要求されていないた
め叙述の不都合は比較的小さいが、ポンプの大きさをあ
まり変えないで容量を大きくする容量設定が極端になる
につれてポンプが長く大きくなる。
【０００７】本発明は、このような不都合を低減化して
ポンプの大きさを変えないで容量を大きくするため、特
定段のポンプ機構の容量を任意に設定できるようにした
ドライ真空ポンプを提供することを目的としている。
ポンプの大きさを変えないで容量を大きくするため、特
定段のポンプ機構の容量を任意に設定できるようにした
ドライ真空ポンプを提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、共通の駆動軸および従動軸に複数対の
ロータを多段に軸着配列して構成されるドライ真空ポン
プにおいて、駆動軸および従動軸の軸間距離を変えず
に、特定段のポンプ機構のロータ最半径寸法を他段のポ
ンプ機構のロータ最半径寸法に対して異ならせたことを
特徴とする。
達成するために、共通の駆動軸および従動軸に複数対の
ロータを多段に軸着配列して構成されるドライ真空ポン
プにおいて、駆動軸および従動軸の軸間距離を変えず
に、特定段のポンプ機構のロータ最半径寸法を他段のポ
ンプ機構のロータ最半径寸法に対して異ならせたことを
特徴とする。
【０００９】具体的には、初段のポンプ機構のロータ最
半径寸法を２段目以降のポンプ機構のそれよりも大径に
したものや、最終段のポンプ機構のロータ最半径寸法を
前段以前のポンプ機構のそれよりも小径にしたものが挙
げられる。
半径寸法を２段目以降のポンプ機構のそれよりも大径に
したものや、最終段のポンプ機構のロータ最半径寸法を
前段以前のポンプ機構のそれよりも小径にしたものが挙
げられる。
【００１０】
【作用】ポンプ機構の容量は、一対のロータとステータ
とによって囲繞される閉じ込み部の平面積×ロータの歯
幅で表される。この容量は、歯幅を調節したときにはそ
の調節率と同じ比率でしか変化しないが、ポンプ最半径
寸法を調節したときにはその調節率に対して閉じ込み部
の平面積が２次元的に拡縮し、当該容量がそれに伴って
大きな比率で変化することになる。
とによって囲繞される閉じ込み部の平面積×ロータの歯
幅で表される。この容量は、歯幅を調節したときにはそ
の調節率と同じ比率でしか変化しないが、ポンプ最半径
寸法を調節したときにはその調節率に対して閉じ込み部
の平面積が２次元的に拡縮し、当該容量がそれに伴って
大きな比率で変化することになる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１および図２
を参照して説明する。なお、このポンプの基本的な構造
は図３および図４に示したとほぼ同様であり、対応する
部分には同一符号を付してある。
を参照して説明する。なお、このポンプの基本的な構造
は図３および図４に示したとほぼ同様であり、対応する
部分には同一符号を付してある。
【００１２】図１および図２に示す本実施例のドライ真
空ポンプを、図３および図４に示す従来ポンプと比較す
ると、駆動軸１および従動軸２の軸間距離Ｄおよびロー
タ３x 、４x の基準半径寸法Ｒは同一値に設定されてい
るが、初段のポンプ機構６1のロータ最半径寸法ｒ1 は
従来ポンプのままである第２段ロータ最半径寸法ｒ2お
よび第３段ロータ最半径寸法ｒ3 に比べて例えば６％程
度大きく設定してあり、また、最終段のポンプ機構６4
のロータ半径寸法ｒ4 は前記ｒ2 およびｒ3 に比べて例
えば６％程度小さく設定してある。このような設定をす
るために、初段のポンプ機構６1 においては先ずロータ
３1 、４1 の歯３ａ1 、４ａ1 を所定の最半径寸法ｒ1
となる位置まで突出させ、これに対応して所定クリアラ
ンスが保たれる位置までステータ５1 の内径を拡径す
る。また、前記ロータ３1 、４1 が互いに同期逆回転し
たとき、一方の歯３ａ1 （４ａ1 ）の軌跡に沿って相手
形のロータ４1 （３1 ）に凹欠部４ｂ1 （３ｂ1 ）を設
け両者の干渉を避ける。また、最終段のポンプ機構６4
においてもこれに準じた設計を行う。
空ポンプを、図３および図４に示す従来ポンプと比較す
ると、駆動軸１および従動軸２の軸間距離Ｄおよびロー
タ３x 、４x の基準半径寸法Ｒは同一値に設定されてい
るが、初段のポンプ機構６1のロータ最半径寸法ｒ1 は
従来ポンプのままである第２段ロータ最半径寸法ｒ2お
よび第３段ロータ最半径寸法ｒ3 に比べて例えば６％程
度大きく設定してあり、また、最終段のポンプ機構６4
のロータ半径寸法ｒ4 は前記ｒ2 およびｒ3 に比べて例
えば６％程度小さく設定してある。このような設定をす
るために、初段のポンプ機構６1 においては先ずロータ
３1 、４1 の歯３ａ1 、４ａ1 を所定の最半径寸法ｒ1
となる位置まで突出させ、これに対応して所定クリアラ
ンスが保たれる位置までステータ５1 の内径を拡径す
る。また、前記ロータ３1 、４1 が互いに同期逆回転し
たとき、一方の歯３ａ1 （４ａ1 ）の軌跡に沿って相手
形のロータ４1 （３1 ）に凹欠部４ｂ1 （３ｂ1 ）を設
け両者の干渉を避ける。また、最終段のポンプ機構６4
においてもこれに準じた設計を行う。
【００１３】しかして、このように構成される図示ドラ
イ真空ポンプの各ポンプ機構６x における容量は、第２
段および第３段が従来ポンプに等しく、初段が従来ポン
プよりも大きく、最終段が従来ポンプよりも小さなもの
となる。そして、このポンプはポンプ最半径寸法ｒx を
調節することにより容量設定を行うようにしているた
め、寸法ｒx の変化率に対して閉じ込み部の平面積Ｓx
が２次元的に拡縮し、当該容量に２次関数的な変化が生
じることになる。具体的に本発明者が試作した例による
と、ロータ最半径寸法ｒ1 を６％増としたとき第１段ポ
ンプ機構６1 に１８％程度の容量増を得ることができ、
ロータ最半径寸法ｒ4 を６％減としたとき第４段ポンプ
機構６4 に１８％の容量減を得ることができた。
イ真空ポンプの各ポンプ機構６x における容量は、第２
段および第３段が従来ポンプに等しく、初段が従来ポン
プよりも大きく、最終段が従来ポンプよりも小さなもの
となる。そして、このポンプはポンプ最半径寸法ｒx を
調節することにより容量設定を行うようにしているた
め、寸法ｒx の変化率に対して閉じ込み部の平面積Ｓx
が２次元的に拡縮し、当該容量に２次関数的な変化が生
じることになる。具体的に本発明者が試作した例による
と、ロータ最半径寸法ｒ1 を６％増としたとき第１段ポ
ンプ機構６1 に１８％程度の容量増を得ることができ、
ロータ最半径寸法ｒ4 を６％減としたとき第４段ポンプ
機構６4 に１８％の容量減を得ることができた。
【００１４】したがって、このポンプ構造を採用する
と、歯幅を変化させるようにした従来のものに比べて、
ポンプ軸心方向への寸法増加や排気効率の低下を有効に
抑止することが可能になる。
と、歯幅を変化させるようにした従来のものに比べて、
ポンプ軸心方向への寸法増加や排気効率の低下を有効に
抑止することが可能になる。
【００１５】なお、図示のものは従来ポンプをそのまま
改良したため第１、第４段の歯幅ｄ1 、ｄ4 も第２、第
３段の歯幅ｄ2 、ｄ3 と異なったものになっているが、
本発明はｄ1 、ｄ4 の一方または双方がｄ2 、ｄ3 と同
一であるものにも同様にして適用できるのは勿論であ
り、むしろその方が本発明の趣旨に沿うことになる。ま
た、前記実施例ではクロータイプのポンプを例示した
が、他のタイプのポンプにも同様に適用することもでき
る。さらに、容量の増減は上記以外のポンプ機構で行っ
てもよく、その他、ポンプ段数なども、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
改良したため第１、第４段の歯幅ｄ1 、ｄ4 も第２、第
３段の歯幅ｄ2 、ｄ3 と異なったものになっているが、
本発明はｄ1 、ｄ4 の一方または双方がｄ2 、ｄ3 と同
一であるものにも同様にして適用できるのは勿論であ
り、むしろその方が本発明の趣旨に沿うことになる。ま
た、前記実施例ではクロータイプのポンプを例示した
が、他のタイプのポンプにも同様に適用することもでき
る。さらに、容量の増減は上記以外のポンプ機構で行っ
てもよく、その他、ポンプ段数なども、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１６】
【発明の効果】本発明のドライ真空ポンプは、駆動軸お
よび従動軸の軸間距離を変えずに、特定段のポンプ機構
のロータ最半径寸法を他段のポンプ機構のロータ最半径
寸法と異なる値に設定したため、ポンプの軸心方向への
大形化や排気効率の低下を招くことなく、かかる特定段
ポンプ機構の容量を効率よく増減させることができる効
果が得られる。
よび従動軸の軸間距離を変えずに、特定段のポンプ機構
のロータ最半径寸法を他段のポンプ機構のロータ最半径
寸法と異なる値に設定したため、ポンプの軸心方向への
大形化や排気効率の低下を招くことなく、かかる特定段
ポンプ機構の容量を効率よく増減させることができる効
果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す全体縦断面図。
【図２】同実施例における第１段ポンプ機構の部分拡大
側断面図。
側断面図。
【図３】従来例を示す図１に対応した図。
【図４】従来例を示す図２に対応した図。
１…駆動軸 ２…従動軸 ３1 、３2 、３3 、３4 、３x …ロータ（駆動側） ４1 、４2 、４3 、４4 、４x …ロータ（従動側） ５1 、５2 、５3 、５4 、５x …ステータ ６1 、６2 、６3 、６4 、６x …ポンプ機構 ７…吸気口 ８…排気口 Ｄ…軸間距離 ｒ1 、ｒ2 、ｒ3 、ｒ4 、ｒx …最半径寸法
Claims (1)
- 【請求項１】所定軸間距離を隔てて互いに平行に配設さ
れる共通の駆動軸および従動軸と、これらの軸の間欠的
な軸心位置に一対のロータを軸着しそれらのロータをそ
れぞれステータで囲繞してなる多段のポンプ機構とを具
備してなり、駆動軸および従動軸を同期逆回転駆動した
とき、吸気口から初段のポンプ機構に吸い込んだガスを
順次次段のポンプ機構に圧送し、最終段のポンプ機構を
介して排気口より排出し得るようにしたドライ真空ポン
プにおいて、前記駆動軸および従動軸の軸間距離を変え
ずに、特定段のポンプ機構のロータ最半径寸法を他段の
ポンプ機構のロータ最半径寸法とは異なる値に設定した
ことを特徴とするドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371492A JPH05312173A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371492A JPH05312173A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312173A true JPH05312173A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14619294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11371492A Pending JPH05312173A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312173A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| WO2007015056A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Edwards Limited | Vacuum pump |
| JP2007056764A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Kashiyama Kogyo Kk | 多段ルーツ式ポンプ |
| WO2012126137A1 (zh) * | 2011-03-21 | 2012-09-27 | 淄博特士德真空设备科技有限公司 | 一种爪型真空泵 |
| CN109026709A (zh) * | 2018-09-18 | 2018-12-18 | 世通海泰泵业（天津）股份有限公司 | 多级压缩式真空泵 |
| CN115853774A (zh) * | 2022-04-11 | 2023-03-28 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种具有防内、外泄露异型密封结构的真空泵及其制造方法 |
-
1992
- 1992-05-06 JP JP11371492A patent/JPH05312173A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| WO2007015056A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Edwards Limited | Vacuum pump |
| JP2009503358A (ja) * | 2005-08-02 | 2009-01-29 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ |
| KR101351667B1 (ko) * | 2005-08-02 | 2014-01-14 | 에드워즈 리미티드 | 진공 펌프 |
| US8702407B2 (en) | 2005-08-02 | 2014-04-22 | Edwards Limited | Multistage roots vacuum pump having different tip radius and meshing clearance from inlet stage to exhaust stage |
| TWI453342B (zh) * | 2005-08-02 | 2014-09-21 | Edwards Ltd | 真空泵 |
| JP2007056764A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Kashiyama Kogyo Kk | 多段ルーツ式ポンプ |
| WO2012126137A1 (zh) * | 2011-03-21 | 2012-09-27 | 淄博特士德真空设备科技有限公司 | 一种爪型真空泵 |
| CN109026709A (zh) * | 2018-09-18 | 2018-12-18 | 世通海泰泵业（天津）股份有限公司 | 多级压缩式真空泵 |
| CN115853774A (zh) * | 2022-04-11 | 2023-03-28 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种具有防内、外泄露异型密封结构的真空泵及其制造方法 |
| CN115853774B (zh) * | 2022-04-11 | 2023-12-01 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种具有防内、外泄漏异型密封结构的真空泵及其制造方法 |
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