JPH0518379A - 多段ルーツ型真空ポンプ - Google Patents
多段ルーツ型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0518379A JPH0518379A JP17723891A JP17723891A JPH0518379A JP H0518379 A JPH0518379 A JP H0518379A JP 17723891 A JP17723891 A JP 17723891A JP 17723891 A JP17723891 A JP 17723891A JP H0518379 A JPH0518379 A JP H0518379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotors
- vacuum pump
- stage
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】組立が簡単で、軸の剛性が落ちず、ロータにア
ンバランスが発生しない多段ルーツ型真空ポンプを提供
する。 【構成】ケーシング内を仕切板で仕切って形成された複
数のポンプ室内毎に２個のロータを設けると共に、ロー
タをケーシング内の平行な２本の軸にそれぞれ取り付け
ている多段ルーツ型真空ポンプにおいて、ケーシングが
軸線に対して平行に、少なくとも２分割されており、複
数のロータが平行な２本の軸にキーやボルト等の締結材
わ使用せず、一体的に取り付けられていることを特徴と
する。
ンバランスが発生しない多段ルーツ型真空ポンプを提供
する。 【構成】ケーシング内を仕切板で仕切って形成された複
数のポンプ室内毎に２個のロータを設けると共に、ロー
タをケーシング内の平行な２本の軸にそれぞれ取り付け
ている多段ルーツ型真空ポンプにおいて、ケーシングが
軸線に対して平行に、少なくとも２分割されており、複
数のロータが平行な２本の軸にキーやボルト等の締結材
わ使用せず、一体的に取り付けられていることを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は主として半導体製造分
野におけるチャンバーの真空引きなどに使用される多段
ルーツ型真空ポンプに関するものである。
野におけるチャンバーの真空引きなどに使用される多段
ルーツ型真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の多段ルーツ型真空ポンプは、図３
に示されているようにケーシング１内は仕切板２により
複数のポンプ室３に仕切られ、各ポンプ室３内には図４
に示されるように２個のロータ４ａ、４ｂが平行な軸５
ａ、５ｂに取り付けられている。その場合、各ロータの
取り付けは、各軸５ａ、５ｂのキー溝６と、各ロータ４
ａ、４ｂのキー溝７にキー８を固定することによってな
されている。また、各ロータ４ａ、４ｂの軸５ａ、５ｂ
の軸線方向の位置決め、即ち、各ポンプ室３間の位置決
めは位置決めブッシュ９やスぺーサ（図示せず）によっ
てなされている。更に、ロータ４ａ、４ｂ間の隙間を調
整するための調整窓（図示せず）を各ポンプ室３毎に設
けている。なお、図中、１２は駆動用モータである。
に示されているようにケーシング１内は仕切板２により
複数のポンプ室３に仕切られ、各ポンプ室３内には図４
に示されるように２個のロータ４ａ、４ｂが平行な軸５
ａ、５ｂに取り付けられている。その場合、各ロータの
取り付けは、各軸５ａ、５ｂのキー溝６と、各ロータ４
ａ、４ｂのキー溝７にキー８を固定することによってな
されている。また、各ロータ４ａ、４ｂの軸５ａ、５ｂ
の軸線方向の位置決め、即ち、各ポンプ室３間の位置決
めは位置決めブッシュ９やスぺーサ（図示せず）によっ
てなされている。更に、ロータ４ａ、４ｂ間の隙間を調
整するための調整窓（図示せず）を各ポンプ室３毎に設
けている。なお、図中、１２は駆動用モータである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の多段ルーツ型真
空ポンプは、上記のように各軸５ａ、５ｂのキー溝６
と、各ロータ４ａ、４ｂのキー溝７にキー８を固定する
ことによって、各ロータの取り付けを行っているため、
ロータ４ａ、４ｂのキー溝加工と、軸５ａ、５ｂのキー
溝加工と、キー８のハメアイ加工とが必要となるうえ、
これらの加工誤差を考慮して精密な組立をしなければな
らない問題があった。また、各ロータ４ａ、４ｂの軸５
ａ、５ｂの軸線方向の位置決めのために、位置決めブッ
シュ９やスぺーサ（図示せず）を必要としなければなら
ない問題があった。更に、軸５ａ、５ｂにキー溝加工を
行っているため、軸５ａ、５ｂの剛性が落ち、変形や振
動が発生し易くなる問題があった。更にその上、ロータ
４ａ、４ｂもキー溝加工を行っているため、回転時にア
ンバランスが発生し易くなる問題があった。更にその
上、半導体製造分野で使用する場合、塩素系腐蝕性ガス
の吸引に耐えるよう一般にニッケル系の無電解メッキ等
の表面処理が行なわれるが、前記キー８の嵌合部の摺り
合わせ加工によって腐蝕被膜が剥がれ、腐蝕が進行する
問題もあった。
空ポンプは、上記のように各軸５ａ、５ｂのキー溝６
と、各ロータ４ａ、４ｂのキー溝７にキー８を固定する
ことによって、各ロータの取り付けを行っているため、
ロータ４ａ、４ｂのキー溝加工と、軸５ａ、５ｂのキー
溝加工と、キー８のハメアイ加工とが必要となるうえ、
これらの加工誤差を考慮して精密な組立をしなければな
らない問題があった。また、各ロータ４ａ、４ｂの軸５
ａ、５ｂの軸線方向の位置決めのために、位置決めブッ
シュ９やスぺーサ（図示せず）を必要としなければなら
ない問題があった。更に、軸５ａ、５ｂにキー溝加工を
行っているため、軸５ａ、５ｂの剛性が落ち、変形や振
動が発生し易くなる問題があった。更にその上、ロータ
４ａ、４ｂもキー溝加工を行っているため、回転時にア
ンバランスが発生し易くなる問題があった。更にその
上、半導体製造分野で使用する場合、塩素系腐蝕性ガス
の吸引に耐えるよう一般にニッケル系の無電解メッキ等
の表面処理が行なわれるが、前記キー８の嵌合部の摺り
合わせ加工によって腐蝕被膜が剥がれ、腐蝕が進行する
問題もあった。
【０００４】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、組立が簡単で、軸の剛性が落ちず、ロータにアン
バランスが発生しない多段ルーツ型真空ポンプを提供す
ることにある。
して、組立が簡単で、軸の剛性が落ちず、ロータにアン
バランスが発生しない多段ルーツ型真空ポンプを提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、複数のポンプ室を仕切板を介して軸線
方向に直線上に並設し、第１段目のポンプ室の吸気口と
他端に位置する最終段のポンプ室とを外部に外部に連続
させ、各段の吸気口と排気口をそれぞれ仕切板に設けた
開口により順次連続させたケーシングを有し、上記複数
のポンプ室内にそれぞれ２個のロータを設けると共に、
これら各段のロータをケーシング内の平行な２本の軸に
それぞれ取り付けている多段ルーツ型真空ポンプにおい
て、上記ケーシングが軸線に対して平行に、少なくとも
２分割されており、上記複数のロータが上記平行な２本
の軸にキーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に取
り付けられていることを特徴とするものである。
に、この発明は、複数のポンプ室を仕切板を介して軸線
方向に直線上に並設し、第１段目のポンプ室の吸気口と
他端に位置する最終段のポンプ室とを外部に外部に連続
させ、各段の吸気口と排気口をそれぞれ仕切板に設けた
開口により順次連続させたケーシングを有し、上記複数
のポンプ室内にそれぞれ２個のロータを設けると共に、
これら各段のロータをケーシング内の平行な２本の軸に
それぞれ取り付けている多段ルーツ型真空ポンプにおい
て、上記ケーシングが軸線に対して平行に、少なくとも
２分割されており、上記複数のロータが上記平行な２本
の軸にキーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に取
り付けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】この発明は、ロータの平行な軸への取り付けが
キーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に行なわれ
ているので、軸の剛性が落ちず、ロータにアンバランス
が発生しなくなる。また、組立も簡単になる。
キーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に行なわれ
ているので、軸の剛性が落ちず、ロータにアンバランス
が発生しなくなる。また、組立も簡単になる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の多段ルーツ型真
空ポンプは図１および図２に示されており、これらの図
において、ケーシング１内は仕切板２により複数のポン
プ室３に仕切られている。無垢の材料、あるいは軸部を
Ｓ−４５Ｃ等の鉄材とし、まゆ形ロータ部をアルミ合金
鋳物等で鋳ぐるみをした構造の材料を切削加工すること
によって、軸１３にロータ１４を一体的に取り付けたも
のを形成し、そして、そのロータ１４が各ポンプ室３内
において２個つづ存在するように配設され、２本の軸１
３が平行になっている。また、ケーシング１は平行に２
本の軸１３の中心を通る平面で最低２分割されたもの
が、上下合わせ面で接合されて各ポンプ室３が形成され
ている。なお、図中、１２は駆動用モータである。
しながら説明する。この発明の実施例の多段ルーツ型真
空ポンプは図１および図２に示されており、これらの図
において、ケーシング１内は仕切板２により複数のポン
プ室３に仕切られている。無垢の材料、あるいは軸部を
Ｓ−４５Ｃ等の鉄材とし、まゆ形ロータ部をアルミ合金
鋳物等で鋳ぐるみをした構造の材料を切削加工すること
によって、軸１３にロータ１４を一体的に取り付けたも
のを形成し、そして、そのロータ１４が各ポンプ室３内
において２個つづ存在するように配設され、２本の軸１
３が平行になっている。また、ケーシング１は平行に２
本の軸１３の中心を通る平面で最低２分割されたもの
が、上下合わせ面で接合されて各ポンプ室３が形成され
ている。なお、図中、１２は駆動用モータである。
【０００８】したがって、この実施例においては、軸１
３とロータ１４とが一体的に取り付けられているので、
軸１３の剛性が落ちたり、あるいはロータ１４にアンバ
ランスが発生したりすることがなくなる。また、軸１３
およびロータ１４の多段ルーツ型真空ポンプへの組立が
容易になる。
３とロータ１４とが一体的に取り付けられているので、
軸１３の剛性が落ちたり、あるいはロータ１４にアンバ
ランスが発生したりすることがなくなる。また、軸１３
およびロータ１４の多段ルーツ型真空ポンプへの組立が
容易になる。
【０００９】
【発明の効果】この発明においては、上記のように軸と
ロータとが一体的に取り付けられているので、次のよう
な効果が奏される。軸の剛性が落ちないため、振動の
低減、ポンプの小型化に効果があると共に、まゆ形加工
時に加工機械の切削力を上げても変形しにくく、高精度
加工が可能となり、加工時間の短縮に役立つ。ロータ
にアンバランスが発生しない。軸およびロータの多段
ルーツ型真空ポンプへの組立が容易になると共に、複数
ロータの位相同期化の調整作業が必要なくなる。ロー
タの軸の軸線方向の位置決めに、位置決めブッシュやス
ぺーサが必要なくなるため、部品点数の削減によるコス
トの低減がはかれる。ポンプ室内の２個のロータ間の
隙間を調整するための隙間調整窓をケーシングに１個設
けるだけでよい。キー溝嵌合部の死容積となる空間が
ないため、真空排気時に悪影響を及ぼすエア溜まりがな
く、所要圧力まで排気させる時間が短縮できる。
ロータとが一体的に取り付けられているので、次のよう
な効果が奏される。軸の剛性が落ちないため、振動の
低減、ポンプの小型化に効果があると共に、まゆ形加工
時に加工機械の切削力を上げても変形しにくく、高精度
加工が可能となり、加工時間の短縮に役立つ。ロータ
にアンバランスが発生しない。軸およびロータの多段
ルーツ型真空ポンプへの組立が容易になると共に、複数
ロータの位相同期化の調整作業が必要なくなる。ロー
タの軸の軸線方向の位置決めに、位置決めブッシュやス
ぺーサが必要なくなるため、部品点数の削減によるコス
トの低減がはかれる。ポンプ室内の２個のロータ間の
隙間を調整するための隙間調整窓をケーシングに１個設
けるだけでよい。キー溝嵌合部の死容積となる空間が
ないため、真空排気時に悪影響を及ぼすエア溜まりがな
く、所要圧力まで排気させる時間が短縮できる。
【図１】この発明の実施例を示す水平断面図
【図２】この発明の実施例を示す横断面図
【図３】従来の多段ルーツ型真空ポンプを示す水平断面
図
図
【図４】従来の多段ルーツ型真空ポンプを示す横断面図
１・・・・・ケーシング ２・・・・・仕切板 ３・・・・・ポンプ室 １２・・・・駆動用モータ １３・・・・軸 １４・・・・ロータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴山 浩司 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】複数のポンプ室を仕切板を介して軸線方向
に直線上に並設し、第１段目のポンプ室の吸気口と他端
に位置する最終段のポンプ室とを外部に外部に連続さ
せ、各段の吸気口と排気口をそれぞれ仕切板に設けた開
口により順次連続させたケーシングを有し、上記複数の
ポンプ室内にそれぞれ２個のロータを設けると共に、こ
れら各段のロータをケーシング内の平行な２本の軸にそ
れぞれ取り付けている多段ルーツ型真空ポンプにおい
て、上記ケーシングが軸線に対して平行に、少なくとも
２分割されており、上記複数のロータが上記平行な２本
の軸にキーやボルト等の締結材を使用せず、一体的に取
り付けられていることを特徴とする多段ルーツ型真空ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17723891A JPH0518379A (ja) | 1991-06-23 | 1991-06-23 | 多段ルーツ型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17723891A JPH0518379A (ja) | 1991-06-23 | 1991-06-23 | 多段ルーツ型真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518379A true JPH0518379A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16027565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17723891A Pending JPH0518379A (ja) | 1991-06-23 | 1991-06-23 | 多段ルーツ型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518379A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7108492B2 (en) * | 2003-05-19 | 2006-09-19 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Roots pump |
| US20110318210A1 (en) * | 2005-08-02 | 2011-12-29 | Nigel Paul Schofield | Vacuum pump |
| US8985975B2 (en) | 2009-02-10 | 2015-03-24 | Bp Exploration Operating Company Limited | Multistage pump suitable for use in wells |
-
1991
- 1991-06-23 JP JP17723891A patent/JPH0518379A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7108492B2 (en) * | 2003-05-19 | 2006-09-19 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Roots pump |
| US20110318210A1 (en) * | 2005-08-02 | 2011-12-29 | Nigel Paul Schofield | Vacuum pump |
| US8702407B2 (en) * | 2005-08-02 | 2014-04-22 | Edwards Limited | Multistage roots vacuum pump having different tip radius and meshing clearance from inlet stage to exhaust stage |
| US8985975B2 (en) | 2009-02-10 | 2015-03-24 | Bp Exploration Operating Company Limited | Multistage pump suitable for use in wells |
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