CN115176069A - 干式真空泵及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种干式真空泵(1)，包括：‑定子(2)，其包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳(7，8)，每个半壳(7，8)都包括至少一个半隔板(13e)，所述半隔板(13e)与另一半壳(8)的半隔板(14a‑14e)接合在一起，以在串联安装在所述真空泵(1)的抽吸口(4)和排出口(5)之间的泵级(3a‑3f)的两个连续泵室之间形成分隔隔板，‑两个转子轴(6)，其配置成在所述泵室中反向同步转动，其特征在于，半壳(7，8)的至少一个半隔板(13e，14d，14e)通过组装而装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中。

Description

干式真空泵及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种干式真空泵，特别是一种多级干式真空泵，例如罗茨式或爪式真空泵。本发明还涉及一种用于制造这种真空泵的方法。
背景技术
干式的多级真空泵包括多个串联的泵级，其中，要泵送的气体在抽吸口与排出口之间循环。可区分的已知真空泵包括具有旋转叶片的真空泵，也称为“罗茨”真空泵，或具有喙部的真空泵，也称为“爪式”真空泵。这些真空泵被说成“干式”是因为，在运行时转子在定子内部旋转，并且转子之间或转子与定子之间没有机械接触，从而允许在这些泵级中不使用油。
在一些泵送应用中，例如在半导体、平板显示器、光伏和涂料行业中使用的泵送工艺中，所使用的气体会具有腐蚀性，并且工艺残留物可能包括磨蚀性粉末，磨蚀性粉末会损坏全部或部分静态零件，尤其是高压泵级的静态零件，它们也是轴向操作间隙最小的零件。
具有切片式架构——也就是说，其定子通过轴向组装定子元件而形成——的多级真空泵可相对较好地解决该问题。实际上，其拆卸一方面使它们易于清洁，另一方面它们的离散化使得能够在不更换整个定子的情况下更换损坏的部件。对应的是真空泵的相当复杂的组装，从而需要很多的定位和固定构件以及在每个接口之间的密封构件。这导致零件的生产成本和随之的劳动力成本的增加。
如例如在文献US 6,572,351B2中所述的具有半壳架构的多级真空泵使得降低这些成本成为可能。对其而言，这些泵在维护期间可能处于不利地位，因为即使可能仅损坏半壳的一部分，但是也必须更换一个半壳或所有半壳。此外，由于制造泵室及其分隔隔板所需的加工精度，获得半壳的成本相对较高。
与半壳架构有关的另一个问题是加工约束条件所固有的。事实上，加工需要使用特殊的铣刀，由于要铣削大量的材料，因此需要相对较长的加工时间。轴通路的直径决定了铣刀组的柄部的直径，并且轴通路和泵室的直径之间的比允许或不允许使用组合工具。与这些约束条件有关的铣刀组的抗弯刚度决定了腔室和隔板的几何品质，最薄泵室的宽度决定了切削它的铣刀的宽度。事实上，在这些技术上的生产约束条件与设计约束条件之间寻求折衷，其结果是有时无法制成薄的泵室。
发明内容
本发明的一个目的是至少部分地克服上述缺点中的至少一个。
为此，本发明的主题是一种干式真空泵，该干式真空泵包括：
-定子，其包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳，每个半壳都包括至少一个半隔板，该半隔板与另一半壳的半隔板接合在一起，以形成串联安装在真空泵的抽吸口和排出口之间的泵级的两个连续的泵室之间的分隔隔板，
-两个转子轴，其配置成在泵室中反向同步转动，
其特征在于，半壳的至少一个半隔板通过组装装配在该半壳的支架中。
半壳因此更容易制造，特别是相对于可从正面(机)加工而无需轮廓铣削的支架而言，这降低了生产成本。此外，通过这种架构，可以制造具有窄轴向尺寸的泵室，而不受生产工具尺寸的限制。
所述真空泵还可包括以下描述的特征中的一个或多个。
所述至少一个半隔板能够通过可拆卸式组装而装配在支架中。因此在堵塞或损坏的情况下可以容易地拆卸半壳的一部分以对其清洁或更换。因此可降低维护成本。
所述至少一个半隔板可固定到半室底部上，该半室底部可拆卸地装配在半壳的支架中，该半室底部和所述至少一个半隔板制成在半壳的可拆卸式插入件中。由于插入件是可拆卸的，因此可以将其与支架分离以清洁半室底部。
至少一个半壳可包括：
-至少一个可拆卸的固定构件，例如螺钉，用于将可拆卸式半隔板固定到支架上，和/或
-至少一个定位构件，例如销或键，用于将可拆卸式半隔板定位在支架中。
半壳可包括承载所述至少一个半隔板的至少一个插入件，所述插入件具有固定半凸缘，所述至少一个固定构件和/或所述至少一个定位构件例如轴向地插入到固定半凸缘中和支架中和/或另一固定凸缘中。
所述至少一个固定构件和/或所述至少一个定位构件可穿过可拆卸式半隔板径向地插入到支架中。
所述真空泵可包括至少一个级间通道，该级间通道构造成将前一泵级的出口连接到后一泵级的入口，级间半通道的至少一部分形成在半壳的插入件中，并在插入件的侧面上开口，插入件承载半隔板并通过可拆卸式装配组装在支架中。因此有利于进入级间通道的内部，这简化了其清洁和制造。在可拆卸式插入件中形成级间通道的另一个优点是允许形成非常细的通道。
所述至少一个级间半通道可在半隔板一侧形成在固定半凸缘中，该固定半凸缘同样允许将插入件固定到支架上。
所述真空泵可包括部分形成在至少一个插入件的侧面中的两个级间半通道，这些级间半通道位于半隔板的两侧。
至少一个半隔板可通过压力装配(即，压装)组装在支架中。
所述真空泵可包括至少一个级间通道，该级间通道构造成将前一泵级的出口连接到后一泵级的入口，级间半通道的至少一部分形成在半壳的插入件中，并在插入件的侧面上开口，插入件承载半隔板并通过压力装配组装在支架中。
通过组装进行装配的所述至少一个半隔板或承载所述至少一个半隔板的至少一个插入件可由这样的材料制成或具有这样的涂层，即，例如包含镍的材料或涂层，该材料或涂层比半壳的主体的材料或涂层如铸铁更耐腐蚀和/或耐磨。更耐用的材料或涂层一般也是最昂贵的，因此通过将它们限于通过组装装配的部件，使得能够将它们的应用限于最容易受到外部攻击的半壳部件。
与通过组装而装配的至少一个半隔板接合在一起的至少一个半隔板也可通过组装进行装配。
至少一个半壳可包括通过组装而装配的至少两个半隔板，其与另一半壳的通过组装而装配的两个半隔板接合在一起，以分隔出三个连续的泵室。
半壳的分隔最后一个泵级和倒数第二个泵级的泵室的半隔板可通过组装进行装配。
半壳的分隔倒数第二个泵级和倒数第三个泵级的泵室的半隔板可通过组装进行装配。
优选的是，位于真空泵的排出侧的泵级，也就是说位于腐蚀和磨损风险最大且最窄的最高压力侧的泵级，通过组装装配在支架中。
至少一个半壳可包括通过可拆卸式组装而装配的至少一个半隔板，和至少一个不可拆卸的半隔板。
所述至少一个不可拆卸的半隔板例如制成在半壳的主体中，或通过压力装配组装在支架中。
所述不可拆卸的半隔板例如是介设在压力最低且腐蚀或磨损风险最低的第一泵级之间的那些半隔板。所述不可拆卸的半隔板使得可以保留以下优点：节省组装过程中的时间，以及节省半壳架构的固定和定位构件。
与不可拆卸的半隔板接合在一起的半隔板同样可以是不可拆卸的。
本发明的另一主题是一种用于制造干式真空泵的方法，其中将半壳的至少一个半隔板通过可拆卸式组装或压力装配而装配在半壳的支架中。
附图说明
在阅读以下对本发明的特定但非限制性实施例的描述以及附图后，其它优点和特征将变得显而易见，在附图中：
[图1]图1是根据第一示例性实施例的干式真空泵的定子的组装状态视图。
[图2]图2是图1的真空泵的转子轴的一个示例的透视图。
[图3]图3是图1的定子的视图，其中半壳处于拆卸状态。
[图4]图4是图3的定子的分解图。
[图5]图5是图1的定子的一个半壳的透视图。
[图6]图6是图1的定子的另一个半壳的透视图。
[图7]图7是两个组装好的可拆卸的半隔板的透视图。
[图8]图8是图7的组装好的半隔板转动180°的视图。
[图9A]图9A示出了在横截面中看去的可拆卸的半壳的第二实施例的第一变型。
[图9B]图9B示出了第二变型的类似于图9A的视图。
[图10A]图10A示出了第三变型实施例的类似于图9A的视图。
[图10B]图10B示出了处于拆卸状态的图10A的半壳的元件。
[图11]图11是根据第三示例性实施例的干式真空泵的半壳主体的俯视图。
[图12]图12是图11的半壳的A-A截面视图。
[图13]图13是图11的半壳的半隔板的正视图。
在这些图中，相同或相似的元件具有相同的附图标记。
为了清楚起见，对附图进行了简化。仅示出了对于理解本发明所必需的那些元件。
具体实施方式
以下实施例为示例。尽管说明书涉及一个或多个实施例，但这并不一定意味着每次谈及都涉及同一实施例，或者这些特征仅适用于单个实施例。不同实施例的简单特征也可以组合或交换以提供其它实施例。
“粗真空泵”被定义为一种容积式真空泵，其构造成使用两个转子轴来抽吸、转移、然后排出要在大气压下泵送的气体。这些转子轴由粗真空泵的电机驱动旋转。
“上游”应理解为意指相对于要泵送的气体的循环方向放置在另一元件之前的元件。相反，“下游”应理解为意指相对于要泵送的气体的循环方向放置在另一元件之后的元件。
“轴向方向”定义为泵的纵向方向，转子轴的轴线沿该纵向方向延伸。
图1的干式真空泵1包括定子2，该定子2形成串联安装在抽吸口4与排出口5之间的泵级3a-3f——例如二至十个泵级(在图示示例中为六个)——的至少两个泵室。该真空泵1例如是粗真空泵。
真空泵1还包括两个转子轴6(图2)，其构造成在泵级3a-3f的泵室中反向同步转动，使得转子在抽吸口4与排出口5之间驱动要泵送的气体。转子轴6可以是一体的，也可通过组装各种增设的元件而制成。
例如，转子具有相同轮廓的叶片，例如具有两个叶片(图2)或更多叶片的“罗茨”型转子，或“爪”型转子，或其它类似的容积式真空泵原理的转子。承载转子的轴由例如位于真空泵1的端部处(例如位于排出口5侧)的电机(未示出)驱动。
定子2的每个泵级3a-3f由接纳两个共轭转子的一个泵室形成，这些泵室包括相应的入口和出口。在旋转过程中，从入口抽吸的气体被捕获在由转子和定子2产生的容积中，然后被转子驱动到下一级。
相继的泵级3a-3f通过相应的级间通道9a-9e、10a-10e逐一串联连接，所述级间通道将前一个泵级3a-3e的出口连接到下一个泵级3b-3f的入口。真空泵1包括例如两个转移通道9a-9e、10a-10e，其构造成在泵室的两侧将前一个泵级的泵室的出口并行连接到后一个泵级的入口(图3)。
第一泵级3a的入口与真空泵1的抽吸口4连接。最后一个泵级3f的出口20与排出口5连接。这些转子和泵室的轴向尺寸例如是相等的，或者它们随着泵级而减小，位于抽吸口4侧的泵级3a接纳轴向尺寸最大的转子6。
这些真空泵被说成“干式”是因为，在运行时，转子在定子2内部转动，它们之间或它们与定子2没有机械接触，从而允许在泵级3a-3f中不使用油。
定子2包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳7、8。这些半壳例如在它们的轴向端部处由第一端件和第二端件(未示出)封闭。半壳7、8通过接合表面11彼此接合，以形成所述至少两个泵级3a-3f的泵室。
例如，接合表面11是穿过例如干式真空泵1的中间平面的平坦接合表面。平坦接合表面11例如包含转子轴6的轴线。该平坦接合表面11可以是严格平坦的，或者例如可具有用于半壳之间的密封件的侧轨的互补的浮凸形式或沟槽12。
从示出了拆卸开的半壳的图3中可更好地看出，连续的泵室通过分隔隔板彼此分隔开，这些分隔隔板与由转子轴6的轴向方向限定的纵向方向成直角。当然，在分隔隔板和端件中形成有供转子轴6通过的孔口。
泵室、分隔隔板13a-13e、14a-14e和级间通道9a-9e、10a-10e部分形成在第一半壳7中，并且部分形成在第二半壳8中。因此，每个半壳7都包括至少一个半隔板13a-13e，其与另一半壳8的半隔板14a-14e接合在一起以形成两个连续泵室之间的分隔隔板。而且，每个半壳7都可包括至少一个半通道9a-9e、10a-10e，其与另一半壳8的半通道接合在一起以形成级间通道9a-9e、10a-10e。
半壳8的与另一半壳7的半隔板13d、13e、14d、14e接合在一起以分隔两个连续泵室的至少一个半隔板13d、13e、14d、14e通过组装装配在所述半壳8的支架15中。至少一个半隔板13d、13e、14d、14e通过可拆卸的组装装配在支架15中或压力装配在支架15中，如稍后将参考图11至13看到的。
“可拆卸的”元件应理解为可在没有特别困难的情况下被拆卸或更换以及固定的增设元件，与“不可拆卸的”元件相反，“不可拆卸的”元件是指不能在没有破坏的情况下被简单地拆卸的增设元件。通过压力装配实现的组装被认为是不可拆卸的组装。
利用通过可拆卸式组装或压力装配而装配在支架15中的至少一个半隔板13d、13e、14d、14e，易于制造半壳7、8，尤其是相对于可从正面(机)加工而无需轮廓铣削的支架15而言，从而降低了生产成本。此外，利用这种架构，可以制造具有窄轴向尺寸的泵室，而不受生产工具尺寸的限制。
利用通过可拆卸式组装装配在半壳7、8的支架15中的至少一个半隔板13d、13e、14d、14e，在堵塞或损坏的情况下可以容易地拆除半壳7、8的一部分以对其进行清洁或更换。因此可降低维护成本。
此外，根据图1至8所示的第一示例性实施例，所述至少一个半隔板13d、13e、14d、14e可固定到半室底部上，该半室底部可拆卸地装配在半壳7、8的支架15中。
半室底部是由所述至少一个可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e和侧向半壁22界定的中空容积。该中空容积由另一个可拆卸的半隔板或由端件或由不可拆卸的半隔板轴向封闭。此半室底部在接合表面11处与另一半壳7、8的半室底部接合在一起以形成一个泵室。
半室底部——也就是说，侧向半壁22和所述至少一个半隔板13d、13e、14d、14e——制成在插入件23中，该插入件23通过可拆卸式装配组装在半壳的支架15中(图4)。由于插入件23是可拆卸的，因此可将其与支架15分离以清洁半室底部。
此外，由于级间通道的内部也可能难以进入，这使其清洁和制造复杂化，因此可设想级间通道的全部或一部分在可拆卸的插入件23中制成，特别是在位于排出口5侧的插入件中。
因此，根据一个示例性实施例，级间半通道9e、10e的至少一部分在半壳7、8的插入件23中制成。级间半通道的该部分在插入件23的侧面上开口(图7)。
级间半通道9e、10e的该部分因此为开口沟槽，该开口沟槽由可拆卸的半隔板或由端件或由不可拆卸的半隔板轴向封闭以形成级间半通道。该级间半通道在接合表面11上与另一半壳7、8的级间半通道9e、10e、9d、10d接合在一起，以形成级间通道9e，10e、9d、10d。
更具体地，级间半通道9e、10e、9d、10d的该部分可在半隔板13d、13e、14d、14e旁边形成在例如固定半凸缘16中，该固定半凸缘16同样允许将插入件23固定到支架15上。例如，级间半通道9e、10e、9d、10d在气体的泵送方向上由前一个泵室的固定半凸缘16封闭。
两个级间半通道9e、10e、9d、10d例如部分地形成在至少一个插入件23的侧面中，级间半通道9e、10e、9d、10d位于半隔板13d、13e、14d、14e的两侧。例如，四个级间半通道形成围绕一个泵室的环。
在可拆卸式插入件23中制成级间通道的另一个优点是，可以制成非常细的通道。
包括半隔板13d、13e、14d、14e并且适当情况下包括半室底部和/或级间半通道的可拆卸式插入件23可由这样的材料制成或者具有这样的涂层，即，例如包含镍的材料或涂层，诸如镍或NiP(镍-磷)，该材料或涂层比半壳7、8的主体的材料或涂层如铸铁更耐腐蚀和/或耐磨和/或耐高温。由于更耐用的材料或涂层一般也是最昂贵的，因此将它们限制在插入件23上可将它们的应用限制在半壳的最容易受到外部攻击的部分上。
根据在图4中可更好地看到的一个示例性实施例，至少一个半壳7、8包括至少一个可拆卸的固定构件24，例如一个螺钉，或一系列螺钉，这里是八个螺钉，其用于将可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e固定到支架15上，并且/或者至少一个半壳7、8包括至少一个定位构件25，例如销，其用于将可拆卸的半隔板定位在支架15中。
至少一个插入件23可具有固定半凸缘16，尤其是在其内部可形成级间半通道的一部分。例如，所述至少一个固定构件24和/或所述至少一个定位构件25轴向地插入固定半凸缘16中和支架15中和/或另一固定凸缘16中。
更具体地，可拆卸式插入件23和支架15可具有各自的固定半凸缘16。固定半凸缘16具有平坦且互补的形式，其中可形成有用于固定构件24和/或定位构件25的孔17。例如，在可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e的固定半凸缘16中形成有通孔17。所述至少一个固定构件24插入到可拆卸的半隔板13e、14e的和另一可拆卸的半隔板13d、14d的或支架15的至少两个连续的固定半凸缘16中，以将可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e固定到支架15上。可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e的固定半凸缘16因此可夹在端件与另一可拆卸的半隔板13d、14d之间，或夹在可拆卸的半隔板13e、14e与支架15的固定半凸缘16之间。
根据未示出的另一示例性实施例，所述至少一个可拆卸的固定构件24是半弹性垫圈或金属夹，其轴向地介设在端件与另一可拆卸的半隔板13d、14d、13e、14e之间或在可拆卸的半隔板13d、14d、13e、14e与支架15之间，以将所述至少一个可拆卸的半隔板13d、14d、13e、14e夹持在支架15上。
另一半壳7、8的与所述至少一个可拆卸的半隔板13d、13e、14d、14e接合在一起的半隔板13d、13e、14d、14e同样能够被可拆卸地装配。例如有两个面对的插入件23。
例如，设想至少一个半壳7、8包括至少两个可拆卸的半隔板13d、13e，其与另一半壳8的两个可拆卸的半隔板14d、14e接合在一起，以分隔开三个连续的泵室3d、3e、3f。
例如，将最后一个泵级3f和倒数第二个泵级3e的泵室分隔开的半壳7、8的半隔板13e、14e是可拆卸的(图4)。还可设想，将倒数第二个泵级3e和倒数第三个泵级3d的泵室分隔开的半壳7、8的半隔板13d、14d是可拆卸的。
更具体地可以设想，包括面对的半隔板13e、14e并且适当情况下包括半室底部和/或级间半通道并且可能具有更耐用的材料或涂层的可拆卸的插入件23是最后一个泵级的插入件，也可以是倒数第二个泵级的插入件。
优选地，位于真空泵1的排出口5侧的泵级3f、3e是至少部分可拆卸的，也就是说，位于最高压力侧的泵级，在此处腐蚀和磨损风险是最大的。因此可容易地更换或清洁半隔板或插入件23。此外，在现有技术的半壳中，这些最后的泵级最窄，因此最难加工。
例如，它们是用于最后两个泵级3e、3f的相同插入件23，这进一步简化了制造。
其它半隔板13a-13c、14a-14c可以是不可拆卸的(图5和6)。
例如可以设想，至少一个半壳7、8包括通过可拆卸组装进行装配的至少一个半隔板13d、13e、14d、14e和至少一个不可拆卸的半隔板13a-13c、14a-14c。
与通过不可拆卸的组装进行装配的半隔板13a-13c、14a-14c接合在一起的半隔板13a-13c、14a-14c同样可通过不可拆卸的组装进行装配。
所述至少一个不可拆卸的半隔板13a-13c、14a-14c例如是在半壳7、8的主体中制成的，或者通过压力装配而组装在半壳7、8的支架15中。
不可拆卸的半隔板13a-13c、14a-14c例如是介设在第一泵级3a-3c之间的那些半隔板，在第一泵级3a-3c处，压力最低且腐蚀或磨损的风险最低。不可拆卸的半隔板13a-13c、14a-14c使得可以保留以下优点：节省装配时间，并且节省半壳架构的固定和定位构件。
在所述至少一个可拆卸的半隔板或所述至少一个插入件23的装配之后，将半壳7、8例如通过螺钉固定在一起。真空泵1还可包括介设在两个半壳7、8之间的至少一个弹性密封件。可替代地，这些半壳包括在两个半壳7、8之间的可硬化密封件。
此外，虽然未在图中表示，真空泵1也可包括至少一个一体式泵级，其串联安装在形成于至少第一和第二半壳7、8中的至少一个泵级3a-3f的上游或下游。
而且，定子2可包括至少两对互补的半壳。例如，两个半壳7、8形成两个泵级3a、3b，另外两个半壳7、8形成另外两个泵级3c、3d，并且另外两个半壳7、8形成另外两个泵级3e、3f，泵级3a-3f串联安装在真空泵1的抽吸口4和排出口5之间。
图9A、9B、10A和10B示出了另一示例性实施例，其中只有半壳7、8的半隔板13d、13e可拆卸地装配在半壳7、8的支架15中。换句话说，在此示例中，半室底部和级间半通道是不可拆卸的。
对于固定构件24和定位构件25的实现，可以有多种构型。
在图9A和9B的示例中，所述至少一个固定构件24和/或所述至少一个定位构件25穿过可拆卸的半隔板13d、13e径向地插入到支架15中。
例如，每个可拆卸的半隔板13d、13e有至少两个定位构件25，例如两个销，其径向地且不平行地布置(图9A)。在这种情况下，可以增设或不增设例如同样径向地植入的固定构件24。
图9B示出了另一示例性实施例，其中每个可拆卸的半隔板13d、13e有至少两个定位构件25，例如一个键和一个销，其径向地且不平行地布置。在这种情况下，也可以增设或不增设例如同样径向地植入的、平行于销的固定构件24。例如，所述销和固定构件24被插入室的底部中。所述键布置在半室的边缘上。
图10A和10B示出了另一个示例，其中轴向地布置有至少两个定位构件25(例如两个销)和至少两个固定构件24(例如三个螺钉)。所述销和固定构件24的螺钉沿平行方向插入。
多样化的实施方案选择使得制造工艺可以适应于用于制成半隔板和半壳的生产工具。
图11、12和13示出了第三示例性实施例。
在此示例中，半壳7、8的与另一半壳7、8的一个半隔板接合在一起以分隔两个连续的泵室的至少一个半隔板14被压力装配在支架15中。
为此，例如，在支架15中形成有横向定位沟槽26。所述至少一个半隔板14的厚度略大于容纳它的半壳8的横向定位沟槽26的宽度。
压力装配可在压机下方完成或这样来进行：加热半壳7、8和/或冷却所述至少一个半隔板14以使其被接纳在横向定位沟槽26中。压力装配可以有效地将至少一个半隔板14固定到支架15上，也就是说，尤其防止了真空泵1运行时所述至少一个半隔板14的振动。
一旦压力装配完成，就可尤其通过磨削在每个半壳7、8上、在半壳7、8的主体的顶部处以及在所述至少一个半隔板14的顶部处进行接合表面11的再加工，以保证半壳7、8的接合互补性。
半壳7、8因此更容易制造，这降低了生产成本。此外，利用这种架构，可以制造具有窄轴向尺寸的泵室，而不受生产工具尺寸的限制。
如第一示例性实施例中那样，与所述至少一个压力装配的半隔板14接合的另一半壳7、8的半隔板同样可被压力装配。
例如，可设想半壳7、8的所有半隔板14都被压力装配。在这种情况下，半壳7、8的主体可通过挤出然后通过加工出横向定位沟槽26来获得。
可替代地，可设想半壳7、8的至少一个半隔板14是可拆卸的或在半壳7、8的主体中制成。例如，通过铸造然后加工出横向定位沟槽26和接合表面11，可获得半壳7、8的主体。
例如，半壳7、8的将最后一个泵级3f和倒数第二个泵级3e的泵室分隔开的半隔板14是压力装配的。这些最后的泵级最窄，因此最难加工。
而且，级间通道可能难以形成，因此可设想其全部或一部分形成在位于排出口5侧的压力装配的半隔板中，尤其是最薄的半隔板中。
因此，例如，一个级间半通道的至少一部分在半壳7、8的插入件23中制成，并且在插入件23的侧面上开口，插入件23承载半隔板14并通过压力装配组装在支架15中。
所述至少一个压力装配的半隔板14同样可由这样的材料制成或具有这样的涂层，即，例如包含镍的材料或涂层，例如镍或NiP(镍-磷)，该材料或涂层比半壳7、8的主体的材料或涂层如铸铁更耐腐蚀和/或耐磨和/或耐高温。

Claims (20)

1.一种干式真空泵(1)，包括：
-定子(2)，所述定子(2)包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳(7，8)，每个半壳(7，8)都包括至少一个半隔板(13a-13e)，所述半隔板(13a-13e)与另一半壳(8)的半隔板(14a-14e；14)接合在一起，以形成位于泵级(3a-3f)的两个连续泵室之间的分隔隔板，所述泵级(3a-3f)串联安装在所述真空泵(1)的抽吸口(4)和排出口(5)之间，
-两个转子轴(6)，所述两个转子轴(6)配置成在所述泵室中反向同步转动，
其特征在于，半壳(7，8)的至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e；14)通过组装而装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中。
2.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)通过可拆卸式组装装配在所述支架(15)中。
3.根据权利要求2所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)被固定到半室底部上，所述半室底部可拆卸地装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中，所述半室底部和所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)制成在所述半壳(7，8)的可拆卸式插入件(23)中。
4.根据权利要求2和3中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半壳(7，8)包括：
-至少一个可拆卸的固定构件(24)，例如螺钉，用于将可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)固定到所述支架(15)上，和/或
-至少一个定位构件(25)，例如销或键，用于将可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)定位在所述支架(15)中。
5.根据权利要求4所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(7，8)包括承载所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)的至少一个插入件(23)，所述插入件(23)具有固定半凸缘(16)，所述至少一个固定构件(24)和/或所述至少一个定位构件(25)例如轴向地插入到所述固定半凸缘(16)中和所述支架(15)中和/或另一固定半凸缘(16)中。
6.根据权利要求5所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个固定构件(24)和/或所述至少一个定位构件(25)穿过可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)径向地插入到所述支架(15)中。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)包括至少一个级间通道(9e，10e，9d，10d)，所述级间通道构造成将前一个泵级(3a-3e)的出口(20)连接到后一个泵级(3b-3f)的入口(21)，级间半通道的至少一部分形成在所述半壳(7，8)的插入件(23)中，并在所述插入件(23)的侧面上开口，所述插入件(23)承载半隔板(13d，13e，14d，14e)并通过可拆卸式装配组装在所述支架(15)中。
8.根据权利要求7所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个级间半通道(9e，10e，9d，10d)在所述半隔板(13d，13e，14d，14e)侧形成在固定半凸缘(16)中，所述固定半凸缘(16)同样能够将所述插入件(23)固定到所述支架(15)上。
9.根据权利要求7和8中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)包括部分形成在至少一个插入件(23)的侧面中的两个级间半通道(9e，10e，9d，10d)，所述级间半通道(9e，10e，9d，10d)位于所述半隔板(13d，13e，14d，14e)的两侧。
10.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半隔板(14)通过压力装配组装在所述支架(15)中。
11.根据权利要求10所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)包括至少一个级间通道(9e，10e，9d，10d)，所述级间通道(9e，10e，9d，10d)构造成将前一个泵级(3a-3e)的出口(20)连接到下一个泵级(3b-3f)的入口(21)，级间半通道的至少一部分形成在所述半壳(7，8)的插入件(23)中，并且在所述插入件(23)的侧面上开口，所述插入件(23)承载所述半隔板(14)并通过压力装配组装在所述支架(15)中。
12.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e；14)或承载通过组装而装配的所述至少一个半隔板的至少一个插入件(23)由这样的材料制成或具有这样的涂层，即，例如包含镍的材料或涂层，所述材料或涂层比所述半壳(7，8)的主体的材料或涂层如铸铁更耐腐蚀和/或耐磨。
13.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，通过组装而装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中的所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)与同样通过组装而装配在另一半壳(7，8)的支架(15)中的至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)接合在一起。
14.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半壳(7，8)包括通过组装而装配的至少两个半隔板(13d，13e)，所述至少两个半隔板(13d，13e)与另一半壳(8)的通过组装而装配的两个半隔板(14d，14e)接合在一起，以分隔出三个连续的泵室(3d，3e，3f)。
15.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(7，8)的将最后一个泵级(3f)和倒数第二个泵级(3e)的泵室分隔开的半隔板(13e，14e；14)是通过组装而装配的。
16.根据权利要求15所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(7，8)的将倒数第二个泵级(3e)和倒数第三个泵级(3d)的泵室分隔开的半隔板(13d，14d；14)是通过组装而装配的。
17.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半壳(7，8)包括通过可拆卸式装配组装的至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)，并包括至少一个不可拆卸的半隔板(13a-13c，14a-14c)。
18.根据权利要求17所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个不可拆卸的半隔板(13a-13c，14a-14c)在所述半壳(7，8)的主体中制成，或通过压力装配组装在所述支架(15)中。
19.根据权利要求17和18中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，与所述不可拆卸的半隔板(13a-13c，14a-14c)接合在一起的半隔板(13a-13c，14a-14c)也是不可拆卸的。
20.一种用于制造根据前述权利要求中任一项所述的干式真空泵(1)的方法，其中，将半壳(7，8)的至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e；14)通过可拆卸式组装或压力装配而装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中。
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