CN113811668A - 干式粗真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种干式粗真空泵(1)，它包括：‑定子(2)，其包括至少一个端部件(14、15)和至少两个定子元件(10、11、12)；和‑两个转子(6)的轴(7)，其构造成在泵送级(3a‑3f)中沿着相反的方向同步旋转。各个定子元件(10、11、12)与另一定子元件(10、11、12)或与端部件(14、15)轴向地组装，以构成串联地安装在真空泵(1)的吸入口(4)和排出口(5)之间的至少两个泵送级(3a‑3f)。通过组装沿着组装表面(8)相交的两个互补半壳(100a、100b、110a、110b、120a、120b)来制成至少一个定子元件(10、11、12)。

Description

干式粗真空泵

技术领域

本发明涉及一种干式粗真空泵(初级真空泵)，特别是多级干式粗真空泵，例如罗茨式、爪式和/或螺杆式。

背景技术

干式粗真空泵包括多个串联的泵送级，其中，待泵送气体在吸入口和排出口之间循环。已知的可以区分的真空泵包括带有旋转凸叶的真空泵(也称为“罗茨真空泵”)或带有爪的真空泵(也称为“爪形真空泵”)或甚至带有螺杆的真空泵。这些真空泵被称为“干式”，因为在运行时，转子在定子内旋转，在转子之间或转子与定子之间没有机械接触，这使得在泵送级中可以不使用润滑油。

当将真空泵的各个部件装配在一起时，不可能通过简单的轴向位移将整个转子轴向适配在定子中。也不可能考虑加工单件式定子来产生构成压缩室的腔。

为了允许加工和组装并确保良好的密封性，干式真空泵定子例如包括由多个定子元件构成的轴向组件，这些定子元件沿它们各自的横向壁组装，其中插入轴向压缩的相应环形密封件，使每个压缩室与外部大气隔离。

这种干式泵结构需要分开地加工每个定子元件，然后执行冗长且困难的组装操作，包括使两个转子轴适配到支撑框架中、设置最后一个压缩室的凸叶位置、用环形密封件定位最后一个定子元件、调整倒数第二个压缩室的凸叶、将倒数第二个定子元件与环形密封件放在一起等，直到第一个定子元件。考虑到转子凸叶和定子壁之间的间隙非常小以确保真空泵的每个压缩级的密封的事实，应当了解，这种组装特别耗时且困难，估计在具有五级或六级的干式真空泵上执行此操作需要多个人工时。

在这些已知的多级干式真空泵中，另一个问题是难以使定子元件一个接一个地对齐，据观察，误差风险在第一个定子元件和最后一个定子元件之间累积，使得在连续生产时难以控制转子与定子之间的间隙。

例如还从文献US 6,572,351B2中已知的真空泵结构具有两个半壳形式的定子，这些半壳沿着大体上平行于转子的轴线的纵向组装表面径向组装，定子在其端部由两个轴向安装的附加端部件紧密封闭。因此，将这种泵组装在一起快得多。

然而，特别是当它们用于使用腐蚀性气体或磨料粉末的方法中时、特别是在表面处理或半导体工业中，可能证明有必要经常更换全部或部分定子件，尤其是位于气体压力最强一侧的定子件。具有半壳结构的干式真空泵因此是不利的，因为即使只有一部分可能损坏，也必须更换整个真空泵。

发明内容

本发明的一个目的是至少部分地解决至少一个上述缺点。

为此，本发明的主题是一种干式粗真空泵，其包括：

-定子，其包括至少一个端部件和至少两个定子元件，每个定子元件与另一定子元件或与端部件轴向地组装，以构成串联地安装在真空泵的吸入口和排出口之间的至少两个泵送级，

-两个转子轴，其构造成在泵送级中沿着相反方向同步旋转，以在吸入口和排出口之间驱动待泵送气体，其特征在于，通过组装沿着组装表面相交的两个互补半壳来制成至少一个定子元件。

组装表面例如是平面的(平坦的)组装表面，其例如穿过干式粗真空泵的中间平面。平面组装表面例如包含转子的轴的轴线。该平面组装表面可以是严格的平面，或者例如可以具有互补的浮凸或凹槽结构，以在定子元件水平处进行密封。

真空泵的定子元件的轴向组装的优点在于允许更换一部分损坏的泵，而不需要完全更换一半定子。此外，保留了半壳结构由于待对齐的接口数量较少而可以减少组装时间的优点。这种结构还可以降低累积对齐缺陷的风险。因此可以降低真空泵的成本，并且便于将其装配在一起。

真空泵还可以包括在下文中单独或组合描述的一个或多个特征。

可以通过轴向组装它们的具有互补的装配元件的横向面来将定子元件组装在一起或将定子元件与至少一个端部件组装在一起。互补的装配元件通过引导定子元件的组装并且通过将定子元件预保持在一起来有助于将泵装配在一起。

根据一个示例性实施例，互补的装配元件包括：

-轴向凹部，其在至少一个定子元件的横向面中构成，和

-在端部件的横向面中构成的轴向鼻状部或在定子元件的横向面中构成的轴向凸缘，该轴向鼻状部或轴向凸缘适合于装配到轴向凹部中。

根据一个示例性实施例，至少一个定子元件可以包括至少一个横向分隔壁，以至少部分地构成至少两个泵送级。至少一个定子元件例如包括两个彼此平行的横向分隔壁，以至少部分地构成两个或三个泵送级。至少一个定子元件例如包括三个彼此平行的横向分隔壁，以至少部分地构成三个或四个泵送级。定子元件的数量由此少于泵送级的数量。

根据一个示例性实施例，所有定子元件都通过组装两个相应的半壳来构成。

根据另一示例性实施例，至少一个定子元件是单件式的。例如，单件式定子元件至少部分地构成第一个泵送级和/或最后一个泵送级，第一个泵送级与吸入口连通，最后一个泵送级与排出口连通。事实上，位于真空泵的端部处的定子元件可能更难加工成半壳形式。

根据一个示例性实施例，定子元件的至少一个横向面包括至少两个热解耦间隔件。因此，可以将定子元件之间的交接表面减少并仅限制于该间隔件。位于间隔件之间的空气或衬里产生热阻，这使得可以通过传导来限制定子升温。定子元件之间的热解耦使得可以有助于每个定子元件的温度控制，由此例如能更容易地为每个定子元件独立地提供这种控制。

根据一个示例性实施例，半壳粘合在一起，并且定子元件粘合在一起。该实施例尤其适合于中性气体泵送应用、例如传送气闸泵送，使得可以在将基板引入附装至气闸的处理室之前将该基板置于真空中。通过胶合产生的真空泵的密封性使得可以获得成本可控的紧凑型泵。

根据一个示例性实施例，真空泵还包括单件式密封件，其包括第一和第二端部环形部分、至少一个中间环形部分以及联接端部环形部分和中间环形部分的两个侧轨，该端部环形部分插入端部件或单件式定子元件和定子元件之间，该中间环形部分插入两个定子元件之间，该侧轨插入至少两个半壳之间。

根据一个示例性实施例，至少一个端部件的轴向鼻状部和/或至少一个定子元件的轴向凸缘包括接纳密封件的端部环形部分或中间环形部分的外围环形凹槽。因此，通过用彼此装配的端部件和一系列定子元件径向压缩端部环形部分和中间环形部分，可以实现良好的密封。

根据一个示例性实施例，密封件的至少一个侧轨包括至少一个具有矩形截面的部分，该部分被容纳在具有互补矩形截面的纵向凹槽中。

根据一个示例性实施例，密封件包括至少一个将中间环形部分连接至侧轨的联接件，该联接件包括直形连接带和将该直形连接带连结在一起的弯曲连接带。弯曲连接带使得可以确保半壳之间的密封性。直形连接带使得可以加强联接件。

至少直形连接带的横截面例如至少部分地内接于被容纳在具有互补矩形横截面的凹槽中的矩形中。密封件的具有矩形截面的部分使得可以沿着纵向凹槽对气体形成屏障，以减少与吸入口连通的低压泵送级和与排出口连通的高压泵送级之间泄漏的风险。

联接件的直形连接带例如插入位于真空泵的吸入口侧的端部环形部分和所述联接件的弯曲连接带之间。

附图说明

当阅读以下对本发明的非限制性的特定实施例的描述和附图后，其他优点和特征将变得显而易见，在附图中：

图1是根据第一示例性实施例的干式粗真空泵的元件的分解示意图。

图2是图1的真空泵的转子轴的透视图。

图3是与图1类似的视图，其中未示出转子轴。

图4是图1的真空泵的定子元件的半壳的透视图。

图5A是定子元件的半壳的变型实施例的透视图。

图5B是根据图5A的实施例的两个半壳组装在一起的局部透视图。

图6是图1的真空泵的密封件的透视图。

图7是图6的密封件的细节的放大图。

图8是密封件的第二示例性实施例的与图6类似的视图。

图9是图8的密封件的细节的放大图。

图10是根据第二示例性实施例的干式粗真空泵的分解示意图。

在这些图中，相同或相似的元件具有相同的附图标记。

为了清楚起见，已对附图进行简化。仅示出理解本发明所必需的元件。

具体实施方式

以下实施例是示例。尽管描述涉及一个或多个实施例，但这并不一定意味着每个引用都涉及相同的实施例，或者这些特征仅适用于单个实施例。不同实施例的简单特征也可以组合或互换以提供其他实施例。

粗真空泵被定义为容积式真空泵，其构造成使用两个转子轴在大气压力下吸入、输送、然后排出待泵送的气体。所述转子轴被粗真空泵的马达驱动而旋转。

“上游”应理解为表示相对于待泵送气体的循环方向置于另一元件之前的元件。另一方面，“下游”应理解为表示相对于待泵送气体的循环方向置于另一元件之后的元件，沿着泵送气体的方向位于上游的元件处于比位于下游的元件更低的压力下。

轴向方向定义为泵的纵向方向，转子轴的轴线沿着该纵向方向延伸。

图1的干式粗真空泵1包括定子2，该定子2构成串联地安装在吸入口4和排出口5(图中不可见)之间的至少两个泵送级3a-3f。

真空泵1还包括两个用于转子6的轴7，这些轴7构造成在泵送级3a-3f中沿相反方向同步旋转，使得转子6驱动吸入口4和排出口5之间的待泵送气体。

轴7承载转子6，该转子6具有例如相同轮廓、例如“根”型(图2)或“爪”型的凸叶，或者是螺杆型或基于其他类似的容积式真空泵原理。轴7由位于例如真空泵1的一个端部处的马达驱动。

真空泵1包括例如六个待泵送气体可在其中循环的泵送级3a、3b、3c、3d、3e、3f。每个泵送级3a、3b、3c、3d、3e、3f由容纳转子6的压缩室形成，这些室包括各自的入口和出口。在旋转过程中，从入口吸入的气体被限制在由转子6和定子2形成的容积之间，然后被转子6驱动到下一级。

如稍后将看到的，连续的(相继的)泵送级3a-3f通过相应的级间通道一个接一个地串联连接，所述级间通道将前一泵送级3a-3e的出口连接到后一泵送级3b-3f的入口。第一个泵送级3a的入口与真空泵1的吸入口4连通。最后一个泵送级3f的出口与排出口5连通。转子6的轴向尺寸例如与泵送级相等或随之减小，位于吸入口4侧的泵送级3a接纳最大轴向尺寸的转子6。

真空泵1是可以在大气压下起动的粗真空泵。它构造成在大气压下排出待泵送气体。这些真空泵被称为“干式”真空泵，因为在运行时，转子6在定子2内旋转，在转子6之间或转子6与定子2之间没有机械接触，这使得在泵送级3a-3f中可以不使用润滑油。

定子2包括至少两个定子元件10、11、12和至少一个端部件、在此是第一和第二端部件13、14。端部件13、14例如构成支承件，该支承件用于转子6的轴7的轴承、特别用于滚动轴承。

各定子元件10、11、12与另一定子元件10、11、12或与定子2的两个端部件13、14中的一个轴向地(即沿着平行于轴7的轴线的方向)组装，以构成接纳转子6的泵送级3a-3f的压缩室。

定子2包括例如两个到五个轴向组装的定子元件10、11、12，例如如图1所示的三个。

至少一个定子元件10、11、12包括例如至少一个横向分隔壁15。在该横向分隔壁15中形成有孔，以使转子6的轴7通过。因此，一个定子元件10、11、12与另一定子元件10、11、12或与两个端部件13、14中的一个的组装至少部分地构成至少两个泵送级3a-3f。

例如，与吸入口4连通的定子元件10包括单个横向分隔壁15，其至少部分地与第一端部件13一起构成前两个泵送级3a、3b。后面的两个定子元件11、12包括两个彼此平行的横向分隔壁15，其封闭第二泵送级3b，并且与第二端部件14构成最后四个泵送级3c、3d、3e、3f。因此，定子元件10、11、12的数量少于泵送级3a-3f的数量。

通过组装沿着组装表面8相交的两个互补半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b来制成至少一个定子元件10、11、12。

组装表面8例如是平面组装表面，其例如穿过干式粗真空泵1的中间平面。平面组装表面8例如包含转子6的轴7的轴线。该平面组装表面8可以是严格的平面，或者例如可以具有互补的浮雕或凹槽式结构，以在定子元件水平处进行密封。

真空泵1的定子元件10、11、12的轴向组装的优点在于允许更换一部分损坏的泵，而不需要完全更换一半定子。此外，保留了半壳结构由于待对齐的接口数量较少而可以减少组装时间的优点。这种结构还可以降低累积对齐缺陷的风险。因此可以降低真空泵1的成本，并且便于将其装配在一起。

通过轴向组装横向面10a、10b、11a、11b、12a、12b、13a、14a，将定子元件10、11、12组装在一起或与端部件13、14组装在一起(图3)。

定子元件10、11、12的横向面10a、10b、11a、11b、12a、12b是定子元件10、11、12的相对于轴向方向基本上横向地延伸的相对面。图4示出了半壳110b的示例，其中可以更好地看到两个相对的横向半面11a、11b的布置。

这些横向面10a、10b、11a、11b、12a、12b、13a、14b可以具有互补的装配元件。

根据示例性实施例，互补的装配元件由轴向凹部16和互补的轴向鼻状部(突出部)17构成。

轴向凹部16形成在至少一个定子元件10、11、12的横向面10a、11a、12a、12b中。轴向凹部16适于接纳形成在端部件13、14的横向面13a、14a中的相应的轴向鼻状部17，或者接纳形成在定子元件10、11的横向面10b、11b中的相应的轴向凸缘(颈圈部)18。

端部件13、14的轴向鼻状部17和定子元件10、11的轴向凸缘18在轴向方向上突出，并且例如具有椭圆形的形状，该形状基本上对应于泵送级3a-3f的压缩室的横截面的形状。轴向鼻状部17例如具有实心体形式。

因此，根据可以在图1中看到的示例性实施例，至少一个(这里是前两个)定子元件10、11包括形成在第一横向面10a、11a中的轴向凹部16和形成在相对的第二横向面10b、11b中构成的轴向凸缘18。此外，至少一个(这里是最后一个)定子元件12包括形成在第一横向面12a中的轴向凹部16和形成在相对的第二横向面12b中的轴向凹部16。

这些互补的装配元件有利于通过引导定子元件10、11、12的轴向组装并且通过将定子元件10、11、12预保持在一起来将泵1装配在一起。

现在将参考图5A和5B描述定子元件的变型实施例。

在该示例中，定子元件11的至少一个横向面11b包括至少两个热解耦间隔件19(图5A)。例如，在半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b的两个横向半面的至少一个上存在四个热解耦间隔件19。

热解耦间隔件19例如形成在承载着互补装配元件的轴向凸缘18的横向面上。

当定子元件10、11、12彼此配合时，一个定子元件11的热解耦间隔件19与另一定子元件12的横向面12a接触(图5B)。在轴向凸缘18的端部和相邻定子元件的轴向凹部16的底部之间形成空隙。

因此，可以将定子元件之间的交接表面减少并仅限制于这些间隔件19。位于间隔件19之间的空气或衬里产生热阻，这使得可以通过定子元件10、11、12之间的传导来限制定子2升温。定子元件10、11、12之间的热解耦使得可以有助于每个定子元件的温度控制，由此例如能够容易地为每个定子元件10、11、12独立地提供这种控制。

在根据本发明的真空泵1中，连接泵1的泵送级3a-3f的级间通道可以以不同的方式形成。

泵送级的腔室的入口通常在真空泵1的同一侧(通常在其顶面上)形成，而出口在另一侧形成。

根据第一示例性实施例，级间通道位于定子元件10、11、12的外部。它们例如由柔性或非柔性的管制成。

根据另一示例性实施例，级间通道至少部分地在定子元件10、11、12内部构成。

在这种情况下，它们可以穿过横向分隔壁15。可选择地，它们在泵送级3a-3f的压缩室的至少一侧延伸。

级间通道可以在定子元件10、11、12内部形成，并且在横向面10a、11a、12a上开放，定子元件10、11、12之间或它们与端部件13、14的轴向组装封闭了级间通道。

出于说明性的目的，示出了图10的真空泵1的第一个泵送级3a上的级间通道9的示例。泵送级3a包括级间通道9，该级间通道9通过环绕压缩室而在压缩室的入口和出口之间延伸。级间通道9在定子元件34的横向面34a上开放。

因此可以经由定子元件10、11、12、34的横向面10b、11b、12b(未示出)、34a容易地接近级间通道9。它们由此易于加工、再加工、对齐或清洁。

根据另一示例性实施例，级间通道穿过定子元件，并且在定子元件的外表面上开放。因此可以通过定子2的与定子元件的外表面组装在一起的一个或多个板来将其封闭。例如，用两个板封闭定子元件的相对的外表面。由于级间通道的可接近性，该实施例使得可以形成或容易地再加工级间通道。这种接近的容易性还使得可以清洁或对齐通道的内部。

此外，在根据本发明的真空泵1中，可以通过不同的方式实现组装好的真空泵1的密封性。

根据第一示例性实施例，例如通过固化粘合剂将半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b粘合在一起，并且将定子元件10、11、12粘合在一起以及粘合到端部件13、14上。

该实施例特别适合于中性气体泵送应用、例如传送气闸泵送，使得可以在将基板引入附装至气闸的处理室之前将该基板置于真空中。通过胶合产生的真空泵1的密封性使得可以获得紧凑的并且能限制成本的泵1。

根据在图6中可以更好地看到的另一示例性实施例，真空泵1还包括单件式(整体式)密封件20，其包括第一和第二端部环形部分21a、21b、至少一个中间环形部分22a、22b以及联接端部和中间环形部分21a、21b、22a、22b的两个侧轨23a、23b。

端部环形部分21a、21b和至少一个中间环形部分22a、22b彼此平行。侧轨23a、23b垂直地连接端部和中间环形部分21a、21b、22a、22b。所述端部环形部分21a、21b、所述至少一个中间环形部分22a、22b和所述侧轨23a、23b具有例如基本上圆形的横截面。

端部环形部分21a、21b插入端部件13、14和位于定子2的轴向端部处的定子元件10、12之间(图1)。中间环形部分22a、22b插入两个定子元件10、11、12之间。密封件20由此包括用于三个定子元件10、11、12的两个中间环形部分22a、22b。

侧轨23a、23b插入半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b之间。

至少一个端部件13、14的轴向鼻状部17可以包括接纳密封件20的端部环形部分21a、21b的外围环形凹槽。

至少一个定子元件10、11的轴向凸缘18可以包括接纳密封件20的中间环形部分22a、22b的外围环形凹槽24。

因此，通过用彼此装配的端部件13、14和一系列定子元件10、11、12径向压缩端部环形部分21a、21b和中间环形部分22a、22b，可以实现良好的密封。

此外，如在图6和7中可以更好地看到的那样，密封件20可以包括至少一个联接件28，该联接件28将中间环形部分22a、22b连接至侧轨23a、23b。

半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b中的至少一个可以在其组装表面8中包括两个纵向凹槽25以用于接纳密封件20的侧轨23a、23b，并且包括接纳联接件28的互补凹槽。

联接件28包括直形连接带29，并且还可以包括将直形连接带29连结在一起的弯曲连接带30。

直形连接带29垂直于侧轨23a、23b，并且径向于中间环形部分22a、22b。弯曲连接带30也在与侧轨23a、23b成直角的组装表面8的平面上将中间环形部分22a、22b连接至侧轨23a、23b。联接件28的直形连接带29例如插入位于真空泵1的吸入口4侧的端部环形部分21a和所述联接件28的弯曲连接带30之间(图6)。

当联接件28包括直形连接带29和弯曲连接带30时，弯曲连接带30使得可以确保半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b之间的密封性，并且直形连接带29使得可以加强联接件28。

互补凹槽适于接纳密封件20的联接件28的直形连接带29和弯曲连接带30。

每个中间环形部分22a、22b例如通过彼此相对地布置在同一横向线上的两个联接件28连接至侧轨23a、23b。

密封件20的至少一个侧轨23a、23b可以包括至少一个具有矩形截面的部分33、即平行六面体部分，其被容纳在具有互补矩形截面的纵向凹槽25中，所述纵向凹槽形成在半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b中的至少一个中。具有矩形截面的部分33例如在短的距离、例如将直形连接带29与弯曲连接带30分开的距离上延伸。密封件20的具有矩形截面的部分33使得可以沿着纵向凹槽25形成对气体的屏障，以减少与吸入口4连通的低压泵送级3a和与排出口5连通的高压泵送级3f之间泄漏的风险。具有矩形截面的部分33例如插置于将侧轨23a、23b连接至中间环形部分22a、22b的两个联接件28之间。

除了具有矩形截面的部分33之外，密封件20也可以具有基本上圆形的横截面。

根据可以在图8和9中看到的另一示例性实施例，至少直形连接带31具有这样的横截面，即，该横截面至少部分地内接于被容纳在具有互补矩形横截面的凹槽中的矩形中。因此加强了密封性。

根据第三示例性实施例(未示出)，真空泵1包括这样的密封件，即，该密封件包括两个端部环形部分，这些端部环形部分彼此平行并且通过与它们成直角的两个侧轨相连接。该密封件例如是单件式的，或者在侧轨水平处不连续。

上述密封件例如由橡胶制成。它们例如被压制成型或注射成型。

在图1和图3的示例中，所有定子元件10、11、12都通过组装沿着组装表面8相交的两个对应半壳100a、100b、110a、110b、120a、120b来构成。

图10示出另一示例性实施例，其中，至少一个定子元件34为单件式。

例如，在真空泵1中有一个或两个单件式定子元件。

单件式定子元件34例如至少部分地构成第一个泵送级3a和/或最后一个泵送级3e。事实上，位于真空泵1的端部处的定子元件可能更难加工成半壳形式。

对于上述示例性实施例，可以通过不同的方式实现真空泵1的级间通道和密封性。

当真空泵1包括单件式密封件20时，端部环形部分21a插入单件式定子元件34和定子元件11之间。

在图10所示的示例中，真空泵1包括五个泵送级3a-3e和三个定子元件34、11、12。单件式密封件20包括第一端部环形部分21a、第二端部环形部分21b和中间环形部分22a，该第一端部环形部分21a插入单件式定子元件34和定子元件11之间，该第二端部环形部分21b插入端部件14和定子元件12之间，该中间环形部分22a插入具有半壳的两个定子元件11、12之间。

Claims (15)

1.干式粗真空泵(1)，包括：

-定子(2)，其包括至少一个端部件(14、15)和至少两个定子元件(10；34、11、12)，每个定子元件(10；34、11、12)与另一定子元件(10；34、11、12)或与端部件(14、15)轴向地组装，以构成串联地安装在该真空泵(1)的吸入口(4)和排出口(5)之间的至少两个泵送级(3a-3f)，

-转子(6)的两个轴(7)，其构造成在所述泵送级(3a-3f)中沿相反方向同步旋转，以驱动所述吸入口(4)和所述排出口(5)之间的待泵送气体，其特征在于，通过组装沿着组装表面(8)相交的两个互补半壳(100a、100b、110a、110b、120a、120b)来制成至少一个定子元件(10、11、12)。

2.根据前一权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，所述定子元件(10；34、11、12)之间或所述定子元件与所述至少一个端部件(13、14)之间通过轴向地组装它们的横向面(34a；10a、10b、11a、11b、12a、12b、13a、14a)而组装在一起，所述横向面(34a；10a、10b、11a、11b、12a、12b、13a、14a)具有互补的装配元件。

3.根据权利要求2所述的真空泵(1)，其特征在于，所述互补的装配元件包括：

-轴向凹部(16)，其形成在至少一个定子元件(10；34、11、12)的横向面中，和

-形成在端部件(13、14)的横向面中的轴向鼻状部(17)或形成在定子元件(10；34、11)的横向面中的轴向凸缘(18)，所述轴向鼻状部(17)或所述轴向凸缘(18)适合于装配到所述轴向凹部(16)中。

4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个定子元件(10；34、11、12)包括至少一个横向分隔壁(15)，以便至少部分地形成至少两个泵送级(3a-3f)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所有定子元件(10、11、12)都通过组装两个相应的半壳(100a、100b、110a、110b、120a、120b)来构成。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个定子元件(34)是单件式的。

7.根据前一权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，单件式的定子元件(34)至少部分地构成第一个泵送级(3a)和/或最后一个泵送级(3e)，所述第一个泵送级(3a)与所述吸入口(4)连通，所述最后一个泵送级(3e)与所述排出口(5)连通。

8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，定子元件(34；10、11、12)的至少一个横向面(34a；10a、10b、11a、11b、12a、12b)包括至少两个热解耦间隔件(19)。

9.根据上述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(100a、100b、110a、110b、120a、120b)粘合在一起，并且所述定子元件(10；34、11、12)粘合在一起。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它还包括单件式密封件(20)，其包括第一和第二端部环形部分(21a、21b)、至少一个中间环形部分(22a、22b)以及连接所述端部和中间环形部分(21a、21b、22a、22b)的两个侧轨(23a、23b)，所述端部环形部分(21a、21b)插入所述端部件(14、15)或单件式定子元件(34)与定子元件(10、11、12)之间，所述中间环形部分(22a、22b)插入两个定子元件(10、11、12)之间，所述侧轨(23a、23b)插入至少两个半壳(100a、100b、110a、110b、120a、120b)之间。

11.根据权利要求3和10所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个端部件的所述轴向鼻状部(17)和/或至少一个定子元件(10；34、11、12)的所述轴向凸缘(18)包括接纳所述密封件(20)的所述端部环形部分(21a、21b)或所述中间环形部分(22a、22b)的外围环形凹槽。

12.根据权利要求10和11中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述密封件(20)的至少一个侧轨(23a、23b)包括至少一个具有矩形截面的部分(31)，所述具有矩形截面的部分被容纳在具有互补矩形截面的纵向凹槽(25)中。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述密封件(20)包括至少一个将所述中间环形部分(22a、22b)连接至侧轨(23a、23b)的联接件(28)，所述联接件(28)包括直形连接带(29；31)和将所述直形连接带(29；31)连结在一起的弯曲连接带(30；32)。

14.根据前一权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，至少所述直形连接带(31)具有这样的横截面，该横截面至少部分地内切于被容纳在具有互补矩形横截面的凹槽中的矩形中。

15.根据权利要求13和14中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述联接件(28)的直形连接带(29；31)插入位于所述真空泵(1)的吸入口(4)侧的所述端部环形部分(21a)与所述联接件(28)的所述弯曲连接带(30)之间。

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