WO2020229163A1 - Pompe à vide primaire sèche - Google Patents

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WO2020229163A1
WO2020229163A1 PCT/EP2020/061745 EP2020061745W WO2020229163A1 WO 2020229163 A1 WO2020229163 A1 WO 2020229163A1 EP 2020061745 W EP2020061745 W EP 2020061745W WO 2020229163 A1 WO2020229163 A1 WO 2020229163A1
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vacuum pump
stator
stator element
axial
elements
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PCT/EP2020/061745
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Yann Olivier
Thibault Bourrilhon
Eric MANDALLAZ
Philippe D'HARBOULLE
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Pfeiffer Vacuum
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Definitions

  • the present invention relates to a dry primary vacuum pump, in particular a multi-stage dry primary vacuum pump, such as Roots type, Claw type and / or screw.
  • Primary vacuum pumps of the dry type comprise several pumping stages in series in which a gas to be pumped circulates between a suction and a discharge.
  • a gas to be pumped circulates between a suction and a discharge.
  • rotary lobes also known under the name “Roots” or those with spout, also known under the name “Claw” or even those with screws.
  • These vacuum pumps are called “dry” because in operation, the rotors rotate inside a stator without any mechanical contact between them or with the stator, which means that no oil is used in the pumping stages. .
  • the stators of dry vacuum pumps are for example constituted by the axial assembly of several stator elements, assembled along their respective transverse walls, with interposition of respective annular seals compressed axially and isolating each compression chamber from the external atmosphere.
  • Such a dry pump structure requires separately machining each stator element, then performing a long and delicate assembly operation consisting in adapting the two rotor shafts in a support frame, to adjust the positioning of the lobes of the last compression chamber, to position the last stator element with the annular seal, to adapt the lobes of the penultimate compression chamber, to bring the penultimate stator element with the annular seal, and so on until first stator element. Knowing that the clearances between the rotor lobes and the stator walls are very small to ensure sealing of each compression stage of the vacuum pump, it is understood that this assembly is particularly long and delicate, and it is estimated that it is necessary several hours of labor for this operation carried out on a dry vacuum pump with five or six stages.
  • An aim of the present invention is to at least partially resolve at least one of the aforementioned drawbacks.
  • the invention relates to a dry primary vacuum pump comprising:
  • stator comprising at least one end piece and at least two stator elements, each stator element being assembled axially with another stator element or with an end piece for form at least two pumping stages connected in series between a suction and a discharge of the vacuum pump,
  • the assembly surface is, for example, a flat assembly surface, for example passing through a median plane of the dry primary vacuum pump.
  • the flat assembly surface contains, for example, the axes of the rotor shafts.
  • This flat assembly surface may be strictly flat or may have, for example, complementary relief shapes or grooves for seals at the stator elements.
  • the axial assembly of the stator elements of the vacuum pump has the advantage of allowing the replacement of a damaged part of the pump without requiring the complete replacement of a half-stator.
  • the advantages of a half-shell architecture are retained, allowing assembly time to be reduced due to the number of interfaces to be aligned which is less important. This architecture also makes it possible to reduce the risks of cumulative alignment errors. The cost of the vacuum pump can therefore be reduced and assembly facilitated.
  • the vacuum pump may further include one or more of the characteristics which are described below, taken alone or in combination.
  • the stator elements can be assembled to each other or to the at least one end piece by axial assembly of their transverse faces, the transverse faces having complementary engagement elements.
  • the complementary engagement elements facilitate pump assembly by guiding the assembly of the stator elements and pre-holding the stator elements together.
  • the additional engagement elements include: - an axial recess formed in a transverse face of at least one stator element, and
  • an axial nose formed in a transverse face of an end piece or an axial flange formed in a transverse face of a stator element, the axial nose or the axial flange being shaped to engage in the axial recess .
  • At least one stator element may include at least one transverse partition wall to at least partially form at least two pumping stages. At least one stator element comprises, for example, two transverse separation walls, parallel to each other, to form at least in part two or three pumping stages. At least one stator element comprises, for example, three transverse separation walls, parallel to one another, to form at least in part three or four pumping stages. The number of stator elements is then less than the number of pumping stages.
  • stator elements are produced by assembling two respective half-shells.
  • At least one stator element is in one piece.
  • a one-piece stator element at least partially forms the first pumping stage and / or the last pumping stage, the first pumping stage communicating with the suction, the last pumping stage communicating with the discharge.
  • the stator elements located at the ends of the vacuum pump can be more difficult to machine in half-shell.
  • At least one transverse face of a stator element comprises at least two thermal decoupling spacers.
  • the exchange surfaces between the stator elements can thus be reduced and limited to only the spacers.
  • the air or a gasket located between the spacers create thermal resistance making it possible to limit the heating of the stator by conduction.
  • the thermal decoupling between the stator elements makes it possible to facilitate the temperature control of each stator element, this control can then, for example, more easily be carried out independently for each stator element.
  • the half-shells are glued together and the stator elements are glued together.
  • This embodiment is more particularly suitable for neutral gas pumping applications, such as pumping transfer locks allowing substrates to be placed under vacuum before their introduction into a treatment chamber contiguous to the lock.
  • the sealing of the vacuum pump produced by gluing provides a compact pump at controlled cost.
  • the vacuum pump further comprises a one-piece seal comprising a first and a second annular end parts, at least one intermediate annular part and two longitudinal members connecting the annular end parts and spacers, the annular end parts being interposed between on the one hand, an end piece or a one-piece stator element and on the other hand, a stator element, the intermediate annular parts being interposed between two stator elements and the side members being interposed between at least two half-shells.
  • the axial nose of at least one end piece and / or the axial flange of at least one stator element comprises a peripheral annular groove receiving the annular end part or the part. intermediate ring of the seal. A good seal can thus be obtained by radial compression of the annular end portions and spacers by the end pieces and the succession of stator elements which fit into each other.
  • At least one spar of the seal comprises at least one portion with a rectangular section accommodating in a longitudinal groove with a complementary rectangular section.
  • the seal comprises at least one connection connecting the intermediate annular part to a spar, the connection comprising a straight bridge and a curved bridge doubling the right bridge.
  • the curved bridge ensures the seal between the half-shells.
  • the straight trigger guard stiffens the connection.
  • At least the right bridge has for example a cross section at least partially inscribed in a rectangle housed in a groove with complementary rectangular cross section. The rectangular section portion of the seal creates a gas barrier along the longitudinal groove to reduce the risk of leaks between the low pressure pumping stage communicating with the suction and the pumping stage high pressure communicating with the discharge.
  • the right bridge of a connection is for example interposed between the annular end part located on the suction side of the vacuum pump and the curved bridge of said connection.
  • FIG.1 is an exploded schematic view of elements of a dry primary vacuum pump according to a first embodiment.
  • FIG.2 is a perspective view of a rotor shaft of the vacuum pump of Figure 1.
  • FIG.3 is a view similar to Figure 1 for which the rotor shafts are not shown.
  • FIG.4 is a perspective view of a half-shell of a stator element of the vacuum pump of Figure 1.
  • FIG.5A is a perspective view of an alternative embodiment of a half-shell of a stator element.
  • FIG.5B is a partial perspective view of two half-shells according to the embodiment of Figure 5A assembled together.
  • FIG.6 is a perspective view of a seal of the vacuum pump of Figure 1.
  • FIG.7 is an enlarged view of a detail of the seal of Figure 6.
  • FIG.8 is a view similar to Figure 6 for a second embodiment of the seal.
  • FIG.9 is an enlarged view of a detail of the seal of Figure 8.
  • FIG.10 is an exploded schematic view of a dry primary vacuum pump according to a second embodiment.
  • a primary vacuum pump is defined as a positive-displacement vacuum pump, which is configured to, using two rotor shafts, suck, transfer and then deliver the gas to be pumped at atmospheric pressure.
  • the rotor shafts are rotated by a motor of the primary vacuum pump.
  • upstream is understood to mean an element which is placed before another relative to the direction of flow of the gas to be pumped.
  • downstream is understood to mean an element placed after another relative to the direction of flow of the gas to be pumped, the element located upstream in the direction of pumping of the gases being at a lower pressure than the element located downstream.
  • the axial direction is defined as the longitudinal direction of the pump in which the axes of the rotor shafts extend.
  • the primary dry vacuum pump 1 of Figure 1 comprises a stator 2 forming at least two pumping stages 3a-3f connected in series between a suction 4 and a discharge 5 (not visible in the Figure).
  • the vacuum pump 1 further comprises two shafts 7 of rotors 6 configured to rotate synchronously in the opposite direction in the stages of pumping 3a-3f so that the rotors 6 cause a gas to be pumped between the suction 4 and the discharge 5.
  • the shafts 7 carry rotors 6 having for example lobes of identical profiles, for example of the "Roots” type ( Figure 2) or of the "Claw” type or are of the screw type or of another similar principle of volumetric vacuum pump.
  • the shafts 7 are driven by a motor located for example at one end of the vacuum pump 1.
  • the vacuum pump 1 comprises for example six pumping stages 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f in which a gas to be pumped can circulate.
  • Each pumping stage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f is formed by a compression chamber receiving the rotors 6, the chambers comprising a respective inlet and outlet.
  • the gas sucked from the inlet is trapped in the volume generated by the rotors 6 and the stator 2, then is driven by the rotors 6 to the next stage.
  • the successive pumping stages 3a-3f are connected in series one after the other by respective inter-stage channels connecting the output of the pumping stage 3a-3e which precedes at the entrance to the pumping stage 3b-3f which follows.
  • the input of the first pumping stage 3a communicates with the suction 4 of the vacuum pump 1.
  • the output of the last pumping stage 3f communicates with the discharge 5.
  • the axial dimensions of the rotors 6 are for example equal or decreasing with the pumping stages, the pumping stage 3a located on the suction side 4 receiving the rotors 6 of larger axial dimension.
  • the vacuum pump 1 is a primary vacuum pump which can be started at atmospheric pressure. It is configured to deliver pumped gases at atmospheric pressure. These vacuum pumps are called “dry” because in operation, the rotors 6 rotate inside the stator 2 without any mechanical contact between them or with the stator 2, which makes it possible not to use oil in the stages of. pumping 3a-3f.
  • the stator 2 comprises at least two stator elements 10, 11, 12 and at least one end piece, here a first and a second end piece 13, 14.
  • the end pieces 13, 14 form, for example, supports for the bearings of the shafts 7 of rotor 6, in particular for the bearings.
  • Each stator element 10, 11, 12 assembles axially (that is to say in a direction parallel to the axis of the shafts 7) with another stator element 10, 11, 12 or with a of the two end pieces 13, 14 of the stator 2, to form the compression chambers of the pumping stages 3a-3f receiving the rotors 6.
  • the stator 2 comprises for example two to five stator elements 10, 11, 12 assembled axially, for example three as illustrated in Figure 1.
  • At least one stator element 10, 11, 12 comprises for example at least one transverse partition wall 15. Holes are formed in the transverse partition wall 15 for the passage of the shafts 7 of the rotors 6. Thus, the '' assembly of a stator element 10, 11, 12 with another stator element
  • stator element 10 communicating with the suction 4 comprises a single transverse partition wall 15 forming at least in part the two first pumping stages 3a, 3b with the first end piece 13.
  • the two following stator elements 11, 12 have two transverse partition walls 15 parallel to each other, closing the second pumping stage 3b and forming the last four pumping stages 3c, 3d, 3e, 3f with the second end piece 14.
  • At least one stator element 10, 11, 12 is produced by assembling two complementary half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b which meet on an assembly surface 8.
  • the assembly surface 8 is for example a flat assembly surface, passing for example through a median plane of the vacuum pump 1 dry primary.
  • the flat assembly surface 8 contains, for example, the axes of the shafts 7 of rotors 6.
  • This flat assembly surface 8 can be strictly flat or can present, for example, complementary shapes in relief or grooves for seals at the level. stator elements.
  • the axial assembly of the stator elements 10, 11, 12 of the vacuum pump 1 has the advantage of allowing the replacement of a damaged part of the pump without requiring the complete replacement of a half-stator.
  • the advantages of a half-shell architecture are also retained, making it possible to reduce the assembly time because of the smaller number of interfaces to be aligned. This architecture also makes it possible to reduce the risks of cumulative alignment faults. The cost of the vacuum pump 1 can therefore be reduced and the assembly facilitated.
  • stator elements 10, 11, 12 are assembled together or to the end pieces 13, 14 by axial assembly of their transverse faces 10a, 10b, 11 a, 11 b, 12a, 12b, 13a, 14a ( Figure 3).
  • transverse faces 10a, 10b, 11a, 11b, 12a, 12b of the stator elements 10, 11, 12 are the opposite faces of the stator elements 10, 11, 12 extending substantially transversely to the direction axial.
  • Figure 4 shows an example of a half-shell 110b on which we can better see the arrangement of the two opposite transverse half-faces 11 a, 11 b.
  • transverse faces 10a, 10b, 11a, 11b, 12a, 12b, 13a, 14b can have additional engagement elements.
  • the complementary engagement elements are formed by an axial recess 16 and a complementary axial nose 17.
  • An axial recess 16 is formed in a transverse face 10a, 11a, 12a, 12b of at least one stator element 10, 11, 12.
  • the axial recess 16 is shaped to receive a corresponding axial nose 17 formed in a transverse face 13a, 14a of an end piece 13, 14 or to receive a corresponding axial flange 18 formed in a transverse face 10b, 11b of a stator element 10, 11.
  • the axial nose 17 of the end pieces 13, 14 and the axial flange 18 of the stator elements 10, 11 project in the axial direction and have for example an oblong shape which corresponds substantially to the shape of the cross sections of the compression chambers of the pumping stages 3a-3f.
  • the axial nose 17 has for example a solid shape.
  • at least one stator element 10, 11, here the first two comprises an axial recess 16 formed in a first transverse face 10a, 11b and an axial collar 18 formed on a second transverse face 10b, 11b opposite.
  • at least one stator element, here the last 12 comprises an axial recess 16 formed in a first transverse face 12a and an axial recess 16 formed in an opposite second transverse face 12b.
  • At least one transverse face 11b of a stator element 11 comprises at least two thermal decoupling spacers 19 (Figure 5A).
  • the thermal decoupling spacers 19 are for example formed on the transverse face carrying the axial flange 18 of the complementary engagement elements.
  • the exchange surfaces between the stator elements can thus be reduced and limited to only the spacers 19.
  • the thermal decoupling between the stator elements 10, 11, 12 makes it possible to facilitate the temperature control of each stator element, this control can then for example be easily produced independently for each stator element 10, 11, 12.
  • the inter-stage channels connecting the pumping stages 3a-3f of the pump 1 can be produced in different ways.
  • the inlets to the chambers of the pumping stages are generally made on the same side of the vacuum pump 1, generally on its upper face, and the outlets are made on the other side.
  • the inter-stage channels are located outside the stator elements 10, 11, 12. They are, for example, made by pipes, flexible or not.
  • the inter-stage channels are formed at least partially inside the stator elements 10, 11, 12.
  • they can pass through the transverse partition walls 15. Alternatively, they extend on at least one of the sides of the compression chambers of the pumping stages 3a-3f.
  • the inter-stage channels can be made inside the stator elements 10, 11, 12 and open on the transverse faces 10a, 11a, 12a, the axial assembly of the stator elements 10, 11, 12 between them or with the end pieces 13, 14 closing the inter-stage channels.
  • inter-stage channel 9 has been shown by way of illustration on the first pumping stage 3a of the vacuum pump 1 of FIG. 10.
  • the pumping stage 3a comprises an inter-stage channel 9 s 'extending between the inlet and the outlet of the compression chamber surrounding the compression chamber.
  • the inter-stage channel 9 is open on the transverse face 34a of the stator element 34.
  • the inter-stage channel 9 is then easily accessible via the transverse faces 10b, 11b, 12b (not shown), 34a of the stator elements 10, 11, 12; 34. They are then easy to machine, rework, coat or clean.
  • the inter-stage channels pass through the stator elements and are open on the outer surfaces of the elements of stator. They can then be closed by one or more plates of the stator 2 joining together with the outer surfaces of the stator elements. There are for example two plates closing the opposite outer surfaces of the stator elements.
  • the sealing of the assembled vacuum pump 1 can be achieved by various means.
  • the half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b are glued together and the stator elements 10, 11, 12 are glued to each other and to the end pieces 13 , 14, for example by means of a curable adhesive.
  • This embodiment is more particularly suitable for neutral gas pumping applications, such as the pumping of transfer locks allowing the placing of a vacuum of substrates before their introduction into a treatment chamber contiguous to the lock.
  • the sealing of the vacuum pump 1 produced by gluing makes it possible to obtain a compact pump 1 and makes it possible to limit costs.
  • the vacuum pump 1 further comprises a one-piece seal 20 comprising a first and a second annular end portions 21 a, 21 b, at least an intermediate annular portion 22a, 22b and two longitudinal members 23a, 23b connecting the annular end and intermediate portions 21 a, 21 b, 22a, 22b.
  • the annular end portions 21a, 21b and the at least one intermediate annular portion 22a, 22b are mutually parallel.
  • the side members 23a, 23b perpendicularly connect the annular end portions and spacers 21 a, 21 b, 22a, 22b.
  • the annular end portions 21 a, 21 b, the at least one intermediate annular portion 22a, 22b and the side members 23a, 23b have for example a substantially circular cross section.
  • the annular end portions 21 a, 21 b are interposed between an end piece 14, 15 and a stator element 10, 12 located at an axial end of the stator 2 ( Figure 1).
  • the intermediate annular parts 22a, 22b are interposed between two stator elements 10, 11, 12.
  • the seal 20 thus comprises two intermediate annular parts 22a, 22b for three stator elements 10,
  • the longitudinal members 23a, 23b are interposed between the half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b.
  • the axial nose 17 of at least one end piece 13, 14 may include a peripheral annular groove receiving an annular end part 21 a, 21 b of the seal 20.
  • the axial flange 18 of at least one stator element 10, 11 may include a peripheral annular groove 24 receiving the intermediate annular part 22a, 22b of the seal 20.
  • a good seal can thus be obtained by radial compression of the annular end portions 21 a, 21 b and spacers 22a, 22b by the end pieces 13, 14 and the succession of the stator elements 10, 11, 12 which fit into each other.
  • the seal 20 may include at least one connector 28 connecting an intermediate annular portion 22a, 22b to a spar 23a, 23b.
  • At least one of the half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b may include in its assembly surface 8 two longitudinal grooves 25 to receive the side members 23a, 23b of the seal 20 as well as complementary grooves receiving the fittings 28.
  • the connector 28 comprises a right bridge 29 and may further include a curved bridge 30 doubling the right bridge 29.
  • the right bridge 29 is perpendicular to the spar 23a, 23b and radial to the intermediate annular part 22a, 22b.
  • the curved bridge 30 also connects the intermediate annular part 22a, 22b to the spar 23a, 23b in the plane of the assembly surface 8, perpendicular to the spar 23a, 23b.
  • the right bridge 29 of a connector 28 is for example interposed between on the one hand, the annular end part 21 a located on the suction side 4 of the vacuum pump 1 and on the other hand, the curved bridge 30 of said connector 28 ( Figure 6).
  • the connector 28 comprises a straight bridge 29 and a curved bridge 30
  • the curved bridge 30 ensures the seal between the half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b and the right bridge 29 allows the connection 28 to be stiffened.
  • the complementary grooves are adapted to receive the straight 29 and curved bridges 30 of the connector 28 of the seal 20.
  • Each intermediate annular portion 22a, 22b is for example connected to the side members 23a, 23b by two fittings 28 arranged opposite to each other in the same transverse direction.
  • At least one spar 23a, 23b of the seal 20 may include at least one portion with a rectangular section 33, that is to say a parallelepipedal portion, being housed in the longitudinal groove 25 with a complementary rectangular cross section , formed in at least one of the half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b.
  • the rectangular section portion 33 extends for example over a small distance, such as the distance separating the straight bridge 29 from the curved bridge 30.
  • the rectangular section portion 33 of the seal 20 makes it possible to create a gas barrier. along the longitudinal groove 25 in order to reduce the risk of leaks between the low pressure pumping stage 3a communicating with the suction 4 and the high pressure pumping stage 3f communicating with the discharge 5.
  • the rectangular section portion 33 is for example interposed between two connectors 28 connecting the side members 23a, 23b to the intermediate annular parts 22a, 22b.
  • the seal 20 may have a substantially circular cross section.
  • At least the right bridge 31 has a cross section at least partially inscribed in a rectangle being housed in a groove with a complementary rectangular cross section. This reinforces the seal.
  • the vacuum pump 1 comprises a seal comprising two annular end portions parallel to one another and connected by two longitudinal members which are attached thereto. perpendicular. This seal is for example one-piece or discontinuous at the level of the side members.
  • seals described above are for example made of rubber. They are for example molded by press or injected.
  • stator elements 10, 11, 12 are produced by the assembly of two half-shells 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b respectively joining together in a assembly surface 8.
  • FIG. 10 shows another exemplary embodiment for which at least one stator element 34 is in one piece.
  • the one-piece stator element 34 for example at least partially forms the first pumping stage 3a and / or the last pumping stage 3e. Indeed, the stator elements located at the ends of the vacuum pump 1 can be more difficult to machine in half-shell.
  • the inter-stage channels and the sealing of the vacuum pump 1 can be achieved by different means.
  • the vacuum pump 1 comprises a one-piece seal 20
  • an annular end portion 21a is interposed between a one-piece stator element 34 and a stator element 11.
  • the vacuum pump 1 comprises five pumping stages 3a-3e and three stator elements 34, 11, 12.
  • the one-piece seal 20 comprises a first annular portion of end 21 a interposed between on the one hand, a one-piece stator element 34 and on the other hand, a stator element 11, a second annular end part 21 b interposed between on the one hand, an end piece 14 and on the other hand, a stator element 12 and an intermediate annular part 22a interposed between the two stator elements 11, 12 with half-shells.

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Abstract

L'invention concerne une pompe à vide (1) primaire sèche comportant : - un stator (2) comportant au moins une pièce d'extrémité (14, 15) et au moins deux éléments de stator (10, 11, 12), et - deux arbres (7) de rotors (6) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage (3a-3f). Chaque élément de stator (10, 11, 12) s'assemble axialement avec un autre élément de stator (10, 11, 12) ou avec une pièce d'extrémité (14, 15) pour former au moins deux étages de pompage (3a-3f) montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide (1). Au moins un élément de stator (10, 11, 12) est réalisé par l'assemblage de deux demi-coquilles complémentaires (100a, 100b,110a, 110b, 120a, 120b) qui se rejoignent selon une surface d'assemblage (8).

Description

Description
Titre de l'invention : Pompe à vide primaire sèche
[0001 ] [La présente invention concerne une pompe à vide primaire sèche, en particulier une pompe à vide primaire sèche multi-étagée, telle que de type Roots, de type Claw et/ou à vis.
[0002] Les pompes à vide primaires de type sèche comportent plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore celles à vis. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur d’un stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage.
[0003] Lors du montage des différents composants de la pompe à vide, il n'est pas possible d'engager axialement un rotor entier dans le stator par simple déplacement axial. Il n'est pas possible, non plus, d'envisager l'usinage d'un stator monobloc pour réaliser les cavités constituant les chambres de compression.
[0004] Pour permettre à la fois l'usinage et le montage et assurer une bonne étanchéité, les stators de pompes à vide sèches sont par exemple constitués de l'assemblage axial de plusieurs éléments de stator, assemblés selon leurs parois transversales respectives, avec interposition de joints d'étanchéité annulaires respectifs comprimés axialement et isolant chaque chambre de compression par rapport à l'atmosphère extérieure.
[0005] Une telle structure de pompe sèche nécessite d'usiner séparément chaque élément de stator, puis d'effectuer une opération d'assemblage longue et délicate consistant à adapter les deux arbres de rotor dans un bâti-support, de régler le positionnement des lobes de la dernière chambre de compression, de positionner le dernier élément de stator avec le joint d'étanchéité annulaire, d'adapter les lobes de l'avant-dernière chambre de compression, d'amener l'avant-dernier élément de stator avec le joint d'étanchéité annulaire, et ainsi de suite jusqu'au premier élément de stator. Sachant que les jeux entre les lobes de rotor et les parois de stator sont très réduits pour assurer une étanchéité de chaque étage de compression de la pompe à vide, on comprend que cet assemblage est particulièrement long et délicat, et on estime qu'il faut plusieurs heures de main d'œuvre pour cette opération effectuée sur une pompe à vide sèche à cinq ou six étages.
[0006] Un autre problème, dans ces pompes à vide sèches multi-étagées connues, est la difficulté d'alignement des éléments de stator les uns à la suite des autres, étant observé que les erreurs risquent de se cumuler entre le premier élément de stator et le dernier élément de stator, de sorte qu'il est difficile de maîtriser les jeux entre les rotors et le stator dans une production en série.
[0007] On connaît également, par exemple du document US6,572,351 B2, des structures de pompe à vide ayant un stator en deux demi-coquilles assemblées radialement selon une surface d'assemblage longitudinale généralement parallèle aux axes des rotors, le stator étant fermé de façon étanche à ses extrémités par deux pièces rapportées d'extrémité engagées axialement. Le montage d’une telle pompe est ainsi beaucoup plus rapide.
[0008] Cependant, notamment lorsqu’elles sont employées dans des procédés utilisant des gaz corrosifs ou des poudres abrasives, en particulier dans l’industrie du traitement de surface ou du semi-conducteur, il peut s’avérer nécessaire de remplacer fréquemment tout ou partie des pièces statoriques, et plus particulièrement des pièces statoriques situées du côté des plus fortes pressions de gaz. Les pompes à vides sèches ayant une architecture en demi- coquille sont alors désavantagées car l’ensemble de la pompe à vide doit être remplacé alors que seule une partie peut être endommagée.
[0009] Un but de la présente invention est de résoudre au moins partiellement au moins un des inconvénients précités.
[0010] A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide primaire sèche comportant :
- un stator comportant au moins une pièce d'extrémité et au moins deux éléments de stator, chaque élément de stator s’assemblant axialement avec un autre élément de stator ou avec une pièce d’extrémité pour former au moins deux étages de pompage montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide,
- deux arbres de rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage pour entraîner un gaz à pomper entre l’aspiration et le refoulement caractérisée en ce qu’au moins un élément de stator est réalisé par l’assemblage de deux demi- coquilles complémentaires qui se rejoignent selon une surface d’assemblage.
[0011 ] La surface d’assemblage est par exemple une surface d’assemblage plane, passant par exemple par un plan médian de la pompe à vide primaire sèche. La surface d’assemblage plane contient par exemple les axes des arbres de rotors. Cette surface d’assemblage plane peut être rigoureusement plane ou peut présenter par exemple des formes en relief complémentaires ou des rainures pour joints d’étanchéité au niveau des éléments de stator.
[0012] L’assemblage axial des éléments de stator de la pompe à vide a pour avantage de permettre le remplacement d’une partie de la pompe endommagée sans nécessiter le remplacement complet d’un demi-stator. On conserve en outre les avantages d’une architecture en demi-coquille permettant de réduire le temps d’assemblage du fait du nombre d’interfaces à aligner qui est moins important. Cette architecture permet également de réduire les risques de cumul des défauts d’alignements. Le coût de la pompe à vide peut donc être diminué et le montage facilité.
[0013] La pompe à vide peut comporter en outre une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison.
[0014] Les éléments de stator peuvent s’assembler entre eux ou à la au moins une pièce d’extrémité par assemblage axial de leurs faces transversales, les faces transversales présentant des éléments d’engagement complémentaires. Les éléments d’engagement complémentaires facilitent le montage de la pompe en guidant l’assemblage des éléments de stator et en pré-maintenant les éléments de stator entre eux.
[0015] Selon un exemple de réalisation, les éléments d’engagement complémentaires comportent : - un évidement axial ménagé dans une face transversale d’au moins un élément de stator, et
- un nez axial formé dans une face transversale d’une pièce d’extrémité ou une collerette axiale formée dans une face transversale d’un élément de stator, le nez axial ou la collerette axiale étant conformé pour s’engager dans l’évidement axial.
[0016] Selon un exemple de réalisation, au moins un élément de stator peut comporter au moins une paroi transversale de séparation pour former au moins en partie au moins deux étages de pompage. Au moins un élément de stator comporte par exemple deux parois transversales de séparation, parallèles entre elles, pour former au moins en partie deux ou trois étages de pompage. Au moins un élément de stator comporte par exemple trois parois transversales de séparation, parallèles entre elles, pour former au moins en partie trois ou quatre étages de pompage. Le nombre d’éléments de stator est alors inférieur au nombre d’étages de pompage.
[0017] Selon un exemple de réalisation, tous les éléments de stator sont réalisés par l’assemblage de deux demi-coquilles respectives.
[0018] Selon un autre exemple de réalisation, au moins un élément de stator est monobloc. Par exemple, un élément de stator monobloc forme au moins en partie le premier étage de pompage et/ou le dernier étage de pompage, le premier étage de pompage communiquant avec l’aspiration, le dernier étage de pompage communiquant avec le refoulement. En effet, les éléments de stator situés aux extrémités de la pompe à vide peuvent être plus difficiles à usiner en demi-coquille.
[0019] Selon un exemple de réalisation, au moins une face transversale d’un élément de stator comporte au moins deux entretoises de découplage thermique. Les surfaces d’échange entre les éléments de stator peuvent ainsi être réduites et limitées aux seules entretoises. L’air ou une garniture située entre les entretoises, créent une résistance thermique permettant de limiter échauffement du stator par conduction. Le découplage thermique entre les éléments de stator permet de faciliter le contrôle de température de chaque élément de stator, ce contrôle pouvant alors par exemple plus facilement être réalisé de manière indépendante pour chaque élément de stator.
[0020] Selon un exemple de réalisation, les demi-coquilles sont collées entre elles et les éléments de stator sont collés entre eux. Cette forme de réalisation convient plus particulièrement pour les applications de pompage de gaz neutre, telles que le pompage de sas de transfert permettant la mise sous vide de substrats avant leur introduction dans une chambre de traitement accolée au sas. L’étanchéité de la pompe à vide réalisée par collage permet d’obtenir une pompe compacte au coût maîtrisé.
[0021 ] Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide comporte en outre un joint d’étanchéité monobloc comprenant une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité, au moins une partie annulaire intercalaire et deux longerons raccordant les parties annulaires d’extrémité et intercalaires, les parties annulaires d’extrémité étant intercalées entre d’une part, une pièce d’extrémité ou un élément de stator monobloc et d’autre part, un élément de stator, les parties annulaires intercalaires étant intercalées entre deux éléments de stator et les longerons étant intercalés entre au moins deux demi-coquilles.
[0022] Selon un exemple de réalisation, le nez axial d’au moins une pièce d’extrémité et/ou la collerette axiale d’au moins un élément de stator comporte une gorge annulaire périphérique recevant la partie annulaire d’extrémité ou la partie annulaire intercalaire du joint d’étanchéité. Une bonne étanchéité peut ainsi être obtenue par compression radiale des parties annulaires d’extrémité et intercalaires par les pièces d’extrémité et la succession des éléments de stator qui s’emboîtent les uns dans les autres.
[0023] Selon un exemple de réalisation, au moins un longeron du joint d’étanchéité comporte au moins une portion à section rectangulaire se logeant dans une gorge longitudinale à section rectangulaire complémentaire.
[0024] Selon un exemple de réalisation, le joint d’étanchéité comporte au moins un raccord raccordant la partie annulaire intercalaire à un longeron, le raccord comprenant un pontet droit et un pontet courbe doublant le pontet droit. Le pontet courbe permet d’assurer l’étanchéité entre les demi-coquilles. Le pontet droit permet de rigidifier le raccord. [0025] Au moins le pontet droit présente par exemple une section transversale s’inscrivant au moins partiellement dans un rectangle se logeant dans une gorge à section transversale rectangulaire complémentaire. La portion à section rectangulaire du joint d’étanchéité permet de créer une barrière aux gaz le long de la gorge longitudinale afin de réduire les risques de fuites entre l’étage de pompage de basse pression communiquant avec l’aspiration et l’étage de pompage de haute pression communiquant avec le refoulement.
[0026] Le pontet droit d’un raccord est par exemple intercalé entre la partie annulaire d’extrémité située du côté de l’aspiration de la pompe à vide et le pontet courbe dudit raccord.
[0027] Présentation des dessins
[0028] D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels :
[0029] [Fig.1 ] est une vue schématique éclatée d’éléments d’une pompe à vide primaire sèche selon un premier exemple de réalisation.
[0030] [Fig.2] est une vue en perspective d’un arbre de rotors de la pompe à vide de la Figure 1.
[0031 ] [Fig.3] est une vue similaire à la Figure 1 pour laquelle les arbres de rotors ne sont pas représentés.
[0032] [Fig.4] est une vue en perspective d’une demi-coquille d’un élément de stator de la pompe à vide de la Figure 1.
[0033] [Fig.5A] est une vue en perspective d’une variante de réalisation d’une demi- coquille d’un élément de stator.
[0034] [Fig.5B] est une vue partielle en perspective de deux demi-coquilles selon le mode de réalisation de la Figure 5A assemblées entre elles.
[0035] [Fig.6] est une vue en perspective d’un joint d’étanchéité de la pompe à vide de la Figure 1.
[0036] [Fig.7] est une vue agrandie d’un détail du joint d’étanchéité de la Figure 6. [0037] [Fig.8] est une vue similaire à la Figure 6 pour un deuxième exemple de réalisation du joint d’étanchéité.
[0038] [Fig.9] est une vue agrandie d’un détail du joint d’étanchéité de la Figure 8.
[0039] [Fig.10] est une vue schématique éclatée d’une pompe à vide primaire sèche selon un deuxième exemple de réalisation.
[0040] Sur ces Figures, les éléments identiques ou similaires portent les mêmes numéros de référence.
[0041 ] Les Figures ont été simplifiées par soucis de clarté. Seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l’invention sont représentés.
[0042] Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations.
[0043] On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour, à l’aide de deux arbres de rotors, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Les arbres de rotor sont entraînés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire.
[0044] On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper, l’élément situé en amont dans la direction de pompage des gaz étant à une pression plus basse que l’élément situé en aval.
[0045] On définit la direction axiale comme la direction longitudinale de la pompe dans laquelle s’étendent les axes des arbres de rotor.
[0046] La pompe à vide 1 primaire sèche de la Figure 1 comporte un stator 2 formant au moins deux étages de pompage 3a-3f montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement 5 (non visible sur la Figure).
[0047] La pompe à vide 1 comporte en outre deux arbres 7 de rotors 6 configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage 3a-3f de sorte que les rotors 6 entraînent un gaz à pomper entre l’aspiration 4 et le refoulement 5.
[0048] Les arbres 7 portent des rotors 6 présentant par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » (Figure 2) ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique. Les arbres 7 sont entraînés par un moteur situé par exemple à une extrémité de la pompe à vide 1.
[0049] La pompe à vide 1 comporte par exemple six étages de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. Chaque étage de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f est formé par une chambre de compression recevant les rotors 6, les chambres comprenant une entrée et une sortie respectives. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 6 et le stator 2, puis est entraîné par les rotors 6 vers l’étage suivant.
[0050] Comme on le verra plus loin, les étages de pompage successifs 3a-3f sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage 3a-3e qui précède à l'entrée de l'étage de pompage 3b-3f qui suit. L’entrée du premier étage de pompage 3a communique avec l’aspiration 4 de la pompe à vide 1. La sortie du dernier étage de pompage 3f communique avec le refoulement 5. Les dimensions axiales des rotors 6 sont par exemple égales ou décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage 3a situé du côté de l’aspiration 4 recevant les rotors 6 de plus grande dimension axiale.
[0051 ] La pompe à vide 1 est une pompe à vide primaire pouvant être mise en route à pression atmosphérique. Elle est configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors 6 tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage 3a-3f.
[0052] Le stator 2 comporte au moins deux éléments de stator 10, 11 , 12 et au moins une pièce d'extrémité, ici une première et une deuxième pièces d’extrémité 13, 14. Les pièces d’extrémité 13, 14 forment par exemple des supports pour les paliers des arbres 7 de rotor 6, notamment pour les roulements.
[0053] Chaque élément de stator 10, 11 , 12 s’assemble axialement (c’est-à-dire dans une direction parallèle à l’axe des arbres 7) avec un autre élément de stator 10, 11 , 12 ou avec une des deux pièces d’extrémité 13, 14 du stator 2, pour former les chambres de compression des étages de pompage 3a-3f recevant les rotors 6.
[0054] Le stator 2 comporte par exemple deux à cinq éléments de stator 10, 11 , 12 assemblés axialement, par exemple trois comme illustré sur la Figure 1.
[0055] Au moins un élément de stator 10, 11 , 12 comporte par exemple au moins une paroi transversale de séparation 15. Des trous sont ménagés dans la paroi transversale de séparation 15 pour le passage des arbres 7 de rotors 6. Ainsi, l’assemblage d’un élément de stator 10, 11 , 12 avec un autre élément de stator
10, 11 , 12 ou avec une des deux pièces d’extrémité 13, 14 forme au moins en partie au moins deux étages de pompage 3a-3f.
[0056] Par exemple, l’élément de stator 10 communiquant avec l’aspiration 4 comporte une seule paroi transversale de séparation 15 formant au moins en partie les deux premiers étages de pompage 3a, 3b avec la première pièce d’extrémité 13. Les deux éléments de stator 11 , 12 suivants comportent deux parois transversales de séparation 15 parallèles entre elles, fermant le deuxième étage de pompage 3b et formant les quatre derniers étages de pompage 3c, 3d, 3e, 3f avec la deuxième pièce d’extrémité 14. Le nombre d’éléments de stator 10,
11 , 12 est alors inférieur au nombre d’étages de pompage 3a-3f.
[0057] Au moins un élément de stator 10, 11 , 12 est réalisé par l’assemblage de deux demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b complémentaires qui se rejoignent selon une surface d’assemblage 8.
[0058] La surface d’assemblage 8 est par exemple une surface d’assemblage plane, passant par exemple par un plan médian de la pompe à vide 1 primaire sèche. La surface d’assemblage 8 plane contient par exemple les axes des arbres 7 de rotors 6. Cette surface d’assemblage 8 plane peut être rigoureusement plane ou peut présenter par exemple des formes en relief complémentaires ou des rainures pour joints d’étanchéité au niveau des éléments de stator. [0059] L’assemblage axial des éléments de stator 10, 11 , 12 de la pompe à vide 1 a pour avantage de permettre le remplacement d’une partie de la pompe endommagée sans nécessiter le remplacement complet d’un demi-stator. On conserve en outre les avantages d’une architecture en demi-coquille permettant de réduire le temps d’assemblage du fait du nombre d’interfaces à aligner qui est moins important. Cette architecture permet également de réduire les risques de cumul des défauts d’alignements. Le coût de la pompe à vide 1 peut donc être diminué et le montage facilité.
[0060] Les éléments de stator 10, 11 , 12 s’assemblent entre eux ou aux pièces d’extrémité 13, 14 par assemblage axial de leurs faces transversales 10a, 10b, 11 a, 11 b, 12a, 12b, 13a, 14a (Figure 3).
[0061 ] Les faces transversales 10a, 10b, 11a, 11 b, 12a, 12b des éléments de stator 10, 11 , 12 sont les faces opposées des éléments de stator 10, 11 , 12 s’étendant sensiblement transversalement par rapport à la direction axiale. La Figure 4 montre un exemple d’une demi-coquille 110b sur laquelle on peut mieux voir la disposition des deux demi-faces transversales 11 a, 11 b opposées.
[0062] Ces faces transversales 10a, 10b, 11 a, 11 b, 12a, 12b, 13a, 14b peuvent présenter des éléments d’engagement complémentaires.
[0063] Selon un exemple de réalisation, les éléments d’engagement complémentaires sont formés par un évidement axial 16 et un nez axial 17 complémentaire.
[0064] Un évidement axial 16 est ménagé dans une face transversale 10a, 11 a, 12a, 12b d’au moins un élément de stator 10, 11 , 12. L’évidement axial 16 est conformé pour recevoir un nez axial 17 correspondant formé dans une face transversale 13a, 14a d’une pièce d’extrémité 13, 14 ou pour recevoir une collerette axiale 18 correspondante formée dans une face transversale 10b, 11 b d’un élément de stator 10, 11.
[0065] Le nez axial 17 des pièces d’extrémité 13, 14 et la collerette axiale 18 des éléments de stator 10, 11 font saillie dans la direction axiale et présentent par exemple une forme oblongue qui correspond sensiblement à la forme des sections transversales des chambres de compression des étages de pompage 3a-3f. Le nez axial 17 présente par exemple une forme pleine. [0066] Ainsi selon un exemple de réalisation visible sur la Figure 1 , au moins un élément de stator 10, 11 , ici les deux premiers, comporte un évidement axial 16 ménagé dans une première face transversale 10a, 11 b et une collerette axiale 18 formée sur une deuxième face transversale 10b, 11 b opposée. En outre, au moins un élément de stator, ici le dernier 12, comporte un évidement axial 16 ménagé dans une première face transversale 12a et un évidement axial 16 ménagé dans une deuxième face transversale 12b opposée.
[0067] Ces éléments d’engagement complémentaires facilitent le montage de la pompe 1 en guidant l’assemblage axial des éléments de stator 10, 11 , 12 et en pré-maintenant les éléments de stator 10, 11 , 12 entre eux.
[0068] On va maintenant décrire en référence aux Figures 5A et 5B, une variante de réalisation des éléments de stator.
[0069] Dans cet exemple, au moins une face transversale 11 b d’un élément de stator 11 comporte au moins deux entretoises de découplage thermique 19 (Figure 5A). Il y a par exemple quatre entretoises de découplage thermique 19 sur au moins une des deux demi-faces transversales des demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b.
[0070] Les entretoises de découplage thermique 19 sont par exemple formées sur la face transversale portant la collerette axiale 18 des éléments d’engagement complémentaires.
[0071 ] Lorsque les éléments de stator 10, 11 , 12 sont emboîtés les uns dans les autres, les entretoises de découplage thermique 19 d’un élément de stator 11 viennent en contact de la face transversale 12a de l’autre élément de stator 12 (Figure 5B). Un interstice est ménagé entre l’extrémité de la collerette axiale 18 et le fond de l’évidement axial 16 de l’élément de stator adjacent.
[0072] Les surfaces d’échange entre les éléments de stator peuvent ainsi être réduites et limitées aux seules entretoises 19. L’air ou une garniture située entre les entretoises 19, créent une résistance thermique permettant de limiter réchauffement du stator 2 par conduction entre les éléments de stator 10, 11 , 12. Le découplage thermique entre les éléments de stator 10, 11 , 12 permet de faciliter le contrôle de température de chaque élément de stator, ce contrôle pouvant alors par exemple être facilement réalisé de manière indépendante pour chaque élément de stator 10, 11 , 12.
[0073] Dans une pompe à vide 1 selon l’invention, les canaux inter-étages raccordant les étages de pompage 3a-3f de la pompe 1 peuvent être réalisés de différentes façons.
[0074] Les entrées des chambres des étages de pompage sont généralement réalisées sur un même côté de la pompe à vide 1 , généralement sur sa face supérieure, et les sorties sont réalisées sur l’autre côté.
[0075] Selon un premier exemple de réalisation, les canaux inter-étages sont situés à l’extérieur des éléments de stator 10, 11 , 12. Ils sont par exemple réalisés par des tuyaux, flexibles ou non.
[0076] Selon un autre exemple de réalisation, les canaux inter-étages sont ménagés au moins partiellement à l’intérieur des éléments de stator 10, 11 , 12.
[0077] Dans ce cas, ils peuvent passer au travers des parois transversales de séparation 15. Alternativement, ils s’étendent sur au moins un des côtés des chambres de compression des étages de pompage 3a-3f.
[0078] Les canaux inter-étages peuvent être réalisés à l’intérieur des éléments de stator 10, 11 , 12 et ouverts sur les faces transversales 10a, 11a, 12a, l’assemblage axial des éléments de stator 10, 11 , 12 entre eux ou avec les pièces d’extrémité 13, 14 fermant les canaux inter-étages.
[0079] On a représenté à titre illustratif, un exemple de canal inter-étage 9 sur le premier étage de pompage 3a de la pompe à vide 1 de la Figure 10. L’étage de pompage 3a comporte un canal inter-étage 9 s’étendant entre l’entrée et la sortie de la chambre de compression en entourant la chambre de compression. Le canal inter-étage 9 est ouvert sur la face transversale 34a de l’élément de stator 34.
[0080] Le canal inter-étage 9 est alors facilement accessible via les faces transversales 10b, 11 b, 12b (non représenté), 34a des éléments de stator 10, 11 , 12 ; 34. Ils sont alors simples à usiner, reprendre, revêtir ou nettoyer.
[0081 ] Selon un autre exemple de réalisation, les canaux inter-étages traversent les éléments de stator et sont ouverts sur les surfaces extérieures des éléments de stator. Ils peuvent alors être refermés par une ou plusieurs plaques du stator 2 s’assemblant aux surfaces extérieures des éléments de stator. Il y a par exemple deux plaques fermant les surfaces extérieures opposées des éléments de stator. Cette réalisation permet de réaliser ou de reprendre facilement les canaux inter étages du fait de l’accessibilité des canaux inter-étages. Cette facilité d’accès permet également de nettoyer ou de revêtir l’intérieur des canaux.
[0082] Par ailleurs, dans une pompe à vide 1 selon l’invention, l’étanchéité de la pompe à vide 1 assemblée peut être réalisée par différents moyens.
[0083] Selon un premier exemple de réalisation, les demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b sont collées entre elles et les éléments de stator 10, 11 , 12 sont collés entre eux et aux pièces d’extrémité 13, 14, par exemple au moyen d’une colle durcissable.
[0084] Cette forme de réalisation convient plus particulièrement pour les applications de pompage de gaz neutre, telles que le pompage de sas de transfert permettant la mise sous vide de substrats avant leur introduction dans une chambre de traitement accolée au sas. L’étanchéité de la pompe à vide 1 réalisée par collage permet d’obtenir une pompe 1 compacte et permet de limiter les coûts.
[0085] Selon un autre exemple de réalisation mieux visible sur la Figure 6, la pompe à vide 1 comporte en outre un joint d’étanchéité 20 monobloc comprenant une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité 21 a, 21 b, au moins une partie annulaire intercalaire 22a, 22b et deux longerons 23a, 23b raccordant les parties annulaires d’extrémité et intercalaires 21 a, 21 b, 22a, 22b.
[0086] Les parties annulaires d’extrémité 21 a, 21 b et la au moins une partie annulaire intercalaires 22a, 22b sont parallèles entre elles. Les longerons 23a, 23b raccordent perpendiculairement les parties annulaires d’extrémité et intercalaires 21 a, 21 b, 22a, 22b. Les parties annulaires d’extrémité 21 a, 21 b, la au moins une partie annulaire intercalaires 22a, 22b et les longerons 23a, 23b ont par exemple une section transversale sensiblement circulaire.
[0087] Les parties annulaires d’extrémité 21 a, 21 b sont intercalées entre une pièce d’extrémité 14, 15 et un élément de stator 10, 12 situé à une extrémité axiale du stator 2 (Figure 1 ). Les parties annulaires intercalaires 22a, 22b sont intercalées entre deux éléments de stator 10, 11 , 12. Le joint d’étanchéité 20 comprend ainsi deux parties annulaires intercalaires 22a, 22b pour trois éléments de stator 10,
1 1 , 12.
[0088] Les longerons 23a, 23b sont intercalés entre les demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b.
[0089] Le nez axial 17 d’au moins une pièce d’extrémité 13, 14 peut comprendre une gorge annulaire périphérique recevant une partie annulaire d’extrémité 21 a, 21 b du joint d’étanchéité 20.
[0090] La collerette axiale 18 d’au moins un élément de stator 10, 11 peut comprendre une gorge annulaire périphérique 24 recevant la partie annulaire intercalaire 22a, 22b du joint d’étanchéité 20.
[0091 ] Une bonne étanchéité peut ainsi être obtenue par compression radiale des parties annulaires d’extrémité 21 a, 21 b et intercalaires 22a, 22b par les pièces d’extrémité 13, 14 et la succession des éléments de stator 10, 11 , 12 qui s’emboîtent les uns dans les autres.
[0092] En outre, et comme on peut mieux le voir sur les Figures 6 et 7, le joint d’étanchéité 20 peut comporter au moins un raccord 28 raccordant une partie annulaire intercalaire 22a, 22b à un longeron 23a, 23b.
[0093] L'une au moins des demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b peut comprendre dans sa surface d'assemblage 8 deux gorges longitudinales 25 pour recevoir les longerons 23a, 23b du joint d'étanchéité 20 ainsi que des gorges complémentaires recevant les raccords 28.
[0094] Le raccord 28 comprend un pontet droit 29 et peut comporter en outre un pontet courbe 30 doublant le pontet droit 29.
[0095] Le pontet droit 29 est perpendiculaire au longeron 23a, 23b et radial à la partie annulaire intercalaire 22a, 22b. Le pontet courbe 30 relie également la partie annulaire intercalaire 22a, 22b au longeron 23a, 23b dans le plan de la surface d’assemblage 8, perpendiculairement au longeron 23a, 23b. Le pontet droit 29 d’un raccord 28 est par exemple intercalé entre d’une part, la partie annulaire d’extrémité 21 a située du côté de l’aspiration 4 de la pompe à vide 1 et d’autre part, le pontet courbe 30 dudit raccord 28 (Figure 6). [0096] Lorsque le raccord 28 comprend un pontet droit 29 et un pontet courbe 30, le pontet courbe 30 permet d’assurer l’étanchéité entre les demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b et le pontet droit 29 permet de rigidifier le raccord 28.
[0097] Les gorges complémentaires sont adaptées pour recevoir les pontets droit 29 et courbe 30 du raccord 28 du joint d'étanchéité 20.
[0098] Chaque partie annulaire intercalaire 22a, 22b est par exemple raccordée aux longerons 23a, 23b par deux raccords 28 agencés à l’opposé l’un de l’autre sur une même direction transversale.
[0099] Au moins un longeron 23a, 23b du joint d’étanchéité 20 peut comporter au moins une portion à section rectangulaire 33, c’est-à-dire une portion parallélépipédique, se logeant dans la gorge longitudinale 25 à section transversale rectangulaire complémentaire, ménagée dans l'une au moins des demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b. La portion à section rectangulaire 33 s’étend par exemple sur une petite distance, telle que la distance séparant le pontet droit 29 du pontet courbe 30. La portion à section rectangulaire 33 du joint d’étanchéité 20 permet de créer une barrière aux gaz le long de la gorge longitudinale 25 afin de réduire les risques de fuites entre l’étage de pompage 3a de basse pression communiquant avec l’aspiration 4 et l’étage de pompage 3f de haute pression communiquant avec le refoulement 5. La portion à section rectangulaire 33 est par exemple interposée entre deux raccords 28 raccordant les longerons 23a, 23b aux parties annulaires intercalaires 22a, 22b.
[0100] Excepté pour les portions à section rectangulaire 33, le joint d’étanchéité 20 peut présenter une section transversale sensiblement circulaire.
[0101 ] Selon un autre exemple de réalisation visible sur les Figures 8 et 9, au moins le pontet droit 31 présente une section transversale s’inscrivant au moins partiellement dans un rectangle se logeant dans une gorge à section transversale rectangulaire complémentaire. On renforce ainsi l’étanchéité.
[0102] Selon un troisième exemple de réalisation (non représenté), la pompe à vide 1 comporte un joint d’étanchéité comprenant deux parties annulaires d’extrémité parallèles l’une à l’autre et raccordées par deux longerons qui leur sont perpendiculaires. Ce joint d’étanchéité est par exemple monobloc ou discontinu au niveau des longerons.
[0103] Les joints d’étanchéité précédemment décrits sont par exemple en caoutchouc. Ils sont par exemple moulés par presse ou injectés.
[0104] Sur l’exemple des Figures 1 et 3, tous les éléments de stator 10, 11 , 12 sont réalisés par l’assemblage de deux demi-coquilles 100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b respectives se rejoignant selon une surface d’assemblage 8.
[0105] La Figure 10 montre un autre exemple de réalisation pour lequel au moins un élément de stator 34 est monobloc.
[0106] Il y a par exemple un ou deux éléments de stator monoblocs dans la pompe à vide 1.
[0107] L’élément de stator 34 monobloc forme par exemple au moins en partie le premier étage de pompage 3a et/ou le dernier étage de pompage 3e. En effet, les éléments de stator situés aux extrémités de la pompe à vide 1 peuvent être plus difficiles à usiner en demi-coquille.
[0108] Comme pour l’exemple de réalisation précédent, les canaux inter-étages et l’étanchéité de la pompe à vide 1 peuvent être réalisés par différents moyens.
[0109] Lorsque la pompe à vide 1 comporte un joint d’étanchéité 20 monobloc, une partie annulaire d’extrémité 21 a est intercalée entre un élément de stator 34 monobloc et un élément de stator 11.
[0110] Sur l’exemple illustré en Figure 10, la pompe à vide 1 comporte cinq étages de pompage 3a-3e et trois éléments de stator 34, 11 , 12. Le joint d’étanchéité 20 monobloc comprend une première partie annulaire d’extrémité 21 a intercalée entre d’une part, un élément de stator 34 monobloc et d’autre part, un élément de stator 11 , une deuxième partie annulaire d’extrémité 21 b intercalée entre d’une part, une pièce d’extrémité 14 et d’autre part, un élément de stator 12 et une partie annulaire intercalaire 22a intercalée entre les deux éléments de stator 11 , 12 à demi-coquilles.

Claims

Revendications
[Revendication 1 ] [Pompe à vide (1 ) primaire sèche comportant :
- un stator (2) comportant au moins une pièce d'extrémité (14, 15), et au moins deux éléments de stator (10 ; 34, 11 , 12), chaque élément de stator (10 ; 34, 11 , 12) s’assemblant axialement avec un autre élément de stator (10 ; 34, 11 , 12) ou avec une pièce d’extrémité (14, 15) pour former au moins deux étages de pompage (3a-3f) montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide (1 ),
- deux arbres (7) de rotors (6) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage (3a-3f) pour entraîner un gaz à pomper entre l’aspiration (4) et le refoulement (5), caractérisée en ce qu’au moins un élément de stator (10, 11 , 12) est réalisé par l’assemblage de deux demi-coquilles (100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b) complémentaires qui se rejoignent selon une surface d’assemblage (8).
[Revendication 2] Pompe à vide (1 ) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les éléments de stator (10 ; 34, 11 , 12) s’assemblent entre eux ou à la au moins une pièce d’extrémité (13, 14) par assemblage axial de leurs faces transversales (34a ; 10a, 10b, 11 a, 11 b, 12a, 12b, 13a, 14a), les faces transversales (34a ; 10a, 10b, 11a, 11 b, 12a, 12b, 13a, 14a) présentant des éléments d’engagement complémentaires.
[Revendication s] Pompe à vide (1 ) selon la revendication 2, caractérisée en ce que les éléments d’engagement complémentaires comportent :
- un évidement axial (16) ménagé dans une face transversale d’au moins un élément de stator (10 ; 34, 11 , 12), et
- un nez axial (17) formé dans une face transversale d’une pièce d’extrémité (13, 14) ou une collerette axiale (18) formée dans une face transversale d’un élément de stator (10 ; 34, 11 ), le nez axial (17) ou la collerette axiale (18) étant conformé pour s’engager dans l’évidement axial (16).
[Revendication 4] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’au moins un élément de stator (10 ; 34, 11 , 12) comporte au moins une paroi transversale de séparation (15) pour former au moins en partie au moins deux étages de pompage (3a-3f).
[Revendication s] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que tous les éléments de stator (10, 11 , 12) sont réalisés par l’assemblage de deux demi-coquilles (100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b) respectives.
[Revendication 6] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu’au moins un élément de stator (34) est monobloc.
[Revendication 7] Pompe à vide (1 ) selon la revendication précédente, caractérisée en ce qu’un élément de stator (34) monobloc forme au moins en partie le premier étage de pompage (3a) et/ou le dernier étage de pompage (3e), le premier étage de pompage (3a) communiquant avec l’aspiration (4), le dernier étage de pompage (3e) communiquant avec le refoulement (5).
[Revendication s] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’au moins une face transversale (34a ; 10a, 10b, 1 1 a, 11 b, 12a, 12b) d’un élément de stator (10 ; 34, 11 , 12) comporte au moins deux entretoises de découplage thermique (19).
[Revendication 9] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-coquilles (100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b) sont collées entre elles et les éléments de stator (10 ; 34, 11 , 12) sont collés entre eux.
[Revendication 10] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce qu’elle comporte en outre un joint d’étanchéité (20) monobloc comprenant une première et une deuxième parties annulaires d’extrémité (21 a, 21 b), au moins une partie annulaire intercalaire (22a, 22b) et deux longerons (23a, 23b) raccordant les parties annulaires d’extrémité et intercalaires (21 a, 21 b, 22a, 22b), les parties annulaires d’extrémité (21 a, 21 b) étant intercalées entre d’une part, une pièce d’extrémité (14, 15) ou un élément de stator (34) monobloc et d’autre part, un élément de stator (10, 11 , 12), les parties annulaires intercalaires (22a, 22b) étant intercalées entre deux éléments de stator (10, 11 , 12) et les longerons (23a, 23b) étant intercalés entre au moins deux demi-coquilles (100a, 100b, 110a, 110b, 120a, 120b). [Revendication 11 ] Pompe à vide (1 ) selon les revendications 3 et 10, caractérisée en ce que le nez axial (17) d’au moins une pièce d’extrémité et/ou la collerette axiale (18) d’au moins un élément de stator (10 ; 34,
11 , 12) comporte une gorge annulaire périphérique recevant la partie annulaire d’extrémité (21 a, 21 b) ou la partie annulaire intercalaire (22a, 22b) du joint d’étanchéité (20).
[Revendication 12] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications 10 ou 11 , caractérisée en ce qu’au moins un longeron (23a, 23b) du joint d’étanchéité (20) comporte au moins une portion à section rectangulaire (31 ) se logeant dans une gorge longitudinale (25) à section rectangulaire complémentaire.
[Revendication 13] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications 10 à 12, caractérisée en ce que le joint d’étanchéité (20) comporte au moins un raccord (28) raccordant la partie annulaire intercalaire (22a, 22b) à un longeron (23a, 23b), le raccord (28) comprenant un pontet droit (29 ; 31 ) et un pontet courbe (30 ; 32) doublant le pontet droit (29 ; 31 ).
[Revendication 14] Pompe à vide (1 ) selon la revendication précédente, caractérisée en ce qu’au moins le pontet droit (31 ) présente une section transversale s’inscrivant au moins partiellement dans un rectangle se logeant dans une gorge à section transversale rectangulaire complémentaire.
[Revendication 15] Pompe à vide (1 ) selon l’une des revendications 13 ou 14, caractérisée en ce que le pontet droit (29 ; 31 ) d’un raccord (28) est intercalé entre la partie annulaire d’extrémité (21 a) située du côté de l’aspiration (4) de la pompe à vide (1 ) et le pontet courbe (30) dudit raccord (28). ]
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