FR3121716A1

FR3121716A1 - Pompe à vide

Info

Publication number: FR3121716A1
Application number: FR2103614A
Authority: FR
Inventors: Emmanuel BEAUJON
Original assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Current assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date: 2021-04-08
Filing date: 2021-04-08
Publication date: 2022-10-14
Anticipated expiration: 2041-04-08
Also published as: FR3121716B1; WO2022214232A1; TW202311619A

Abstract

Pompe à vide (1) dont au moins chaque rotor (72a, 72b) du couple du dernier étage de pompage (3d) en amont de la sortie de refoulement (6) comprend un disque porteur (12) réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage (11a, 11b), le profil de pompage (11a, 11b) de chaque rotor (72a, 72b) du couple du dernier étage (3d) étant configuré pour tourner dans une première partie (10a) de la cavité cylindrique (10) et le disque porteur (12) étant configuré pour tourner dans une deuxième partie (10b) de la cavité cylindrique (10), les premières et deuxièmes parties (10a, 10b) des cavités cylindriques (10) étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties (10a) se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage (11a, 11b) du couple puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz. Figure pour l’abrégé : figure 3

Description

Pompe à vide

Domaine technique de l’invention

L’invention concerne le domaine des pompes à vides et, plus précisément, une pompe à vide permettant d’obtenir un vide primaire.

Arrière-plan technique

Certaines pompes à vide comportent des étages de pompages montés en série, chacune comportant un couple de rotors tournant de manière synchronisée et en sens inverse dans un volume fermé délimité par un stator afin de pomper un fluide entre une entrée d’aspiration et une sortie de refoulement.

Dans une pompe à vide à plusieurs étages, le volume de compression entre les rotors et le stator diminue au fur et à mesure des étages successifs pour augmenter la pression en se rapprochant de la sortie de refoulement. En effet, le long des étages de pompage, la pression augmente jusqu’à une pression de refoulement souhaitée en général supérieure à la pression ambiante dans laquelle la pompe à vide est installée, typiquement une pression atmosphérique autour de 1 bar (10⁵Pa).

La puissance P consommée par une pompe à vide dépend du couple C exercé sur les rotors et de leur vitesse de rotation ω. Le couple est égal à la somme des couples δC exercés sur les rotors de chaque étage. Chaque couple est fonction de la différence de pression Δp entre l’amont et l’aval de l’étage de pompage, de la section projetée des rotors et de l’épaisseur e de l’étage de pompage. Les différences de pression Δp des derniers étages de pompage étant les plus importantes, les derniers étages de pompage, c'est-à-dire les étages les plus proches de la sortie de refoulement, sont ceux qui requièrent le plus de puissance électrique.

Dans le domaine des pompes à vide, il est habituel d’augmenter le nombre d’étages de pompage pour diminuer les différences de pression Δp entre les étages ou d’ajouter une pompe à vide annexe en série du flux de pompage principal pour abaisser la pression maximale d’entrée dans les derniers étages de pompage.

Une autre solution pour réduire la puissance électrique consiste à réduire l’épaisseur des derniers étages. Cependant, on atteint aujourd’hui les limites de réalisation mécanique quant à la finesse de réalisation des étages du fait notamment des propriétés de rigidité des matériaux.

L'invention a notamment pour but de fournir une nouvelle architecture de pompe à vide à deux arbres permettant de diminuer sa puissance électrique.

À cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide comportant au moins deux étages de pompage montés en série, chaque étage de pompage étant formé par une chambre de compression délimitée par un stator de la pompe à vide et recevant un couple de rotors configurés pour être entraînés chacun par un arbre selon un axe de rotation respectif et présentant des profils de pompage conjugués afin de pomper un gaz dans un sens de circulation allant depuis une entrée d’aspiration vers une sortie de refoulement, caractérisée en ce qu’au moins chaque rotor du couple du dernier étage de pompage en amont de la sortie de refoulement comprend un disque porteur réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage, la chambre de compression du dernier étage de pompage présentant deux cavités cylindriques complémentaires au couple de rotors, le profil de pompage de chaque rotor du couple du dernier étage étant configuré pour tourner dans une première partie de la cavité cylindrique et le disque porteur étant configuré pour tourner dans une deuxième partie de la cavité cylindrique, les premières et deuxièmes parties des cavités cylindriques étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage du couple puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.

Avec un profil de pompage réalisé d’une seule pièce avec un disque porteur (monobloc), il est possible de réaliser des profils de pompage beaucoup plus fins, les disques porteurs assurant la tenue mécanique de l’ensemble du rotor. Les épaisseurs des profils de pompage peuvent alors être réduites et ces profils fins peuvent être réalisés avec précision, au moins dans le dernier étage de pompage, ce qui permet de pouvoir diminuer la puissance électrique de la pompe à vide.

Également, les cavités de la chambre de compression du dernier étage de pompage sont élargies pour recevoir les disques porteurs. Elles sont de fait plus facile à usiner.

Un autre avantage est que cet agencement permet d’augmenter les conductances aux passages d’arbre du dernier étage de pompage, ce qui permet de réduire les fuites de gaz au travers des passages d’arbre, entre les arbres et les orifices des parois transversales des chambres de compression. En effet, les disques porteurs des rotors forcent les gaz de fuites à contourner les extrémités des disques plutôt que de longer les arbres. Il est alors plus difficile pour le gaz de traverser les derniers passages d’arbre du fait de la présence des disques, ce qui permet d’améliorer l’étanchéité de ces étages et ainsi d’améliorer les performances de la pompe, en permettant notamment d’abaisser la pression de vide limite.

La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison.

L’épaisseur des profils de pompage du couple de rotors du dernier étage est notamment inférieure à l’épaisseur des profils de pompage du couple de rotors de l’étage de pompage précédent.

A titre d’exemple, l’épaisseur des profils de pompage du couple de rotors comprenant un disque porteur est inférieure à 6mm.

Pour chaque rotor comprenant un disque porteur, la plus grande distance radiale des profils de pompage peut être égale ou supérieure au diamètre du disque porteur.

Les profils de pompage peuvent être du type à lobes (connu sous le nom anglais « Roots ») ou à becs (connu sous le nom anglais « Claws ») ou selon une combinaison de ces types de réalisation selon les étages. La pompe à vide est ainsi par exemple une pompe à vide à lobes. Chaque profil de pompage peut alors par exemple comporter au moins deux lobes, tel qu’entre deux et six lobes.

La pompe à vide peut comporter davantage d’étages que deux étages, c'est-à-dire au moins trois étages de pompage montés en série, par exemple trois, quatre, cinq, six, sept, huit, neuf ou dix étages.

Chaque rotor du couple de l’avant-dernier étage de pompage en amont du dernier étage de pompage, peut également comprendre un disque porteur réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage, la chambre de compression de l’avant dernier étage de pompage présentant deux cavités cylindriques complémentaires au couple de rotors, le profil de pompage de chaque rotor du couple de l’avant dernier étage étant configuré pour tourner dans une première partie de la cavité cylindrique et le disque porteur étant configuré pour tourner dans une deuxième partie de la cavité cylindrique, les premières et deuxièmes parties des cavités cylindriques étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage du couple puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.

Les disques porteurs des couples de rotors des deux derniers étages de pompage peuvent être agencés en quinconce le long des deux axes de rotation. Cet agencement permet d’augmenter encore la conductance au niveau des passages d’arbres des deux derniers étages de pompage, améliorant ainsi de manière très significative l’étanchéité et donc les performances de pompage en vide limite.

Le stator peut être réalisé par des demi-coquilles.

Les rotors et l’arbre portant les rotors peuvent être réalisés d’une seule pièce.

Brève description des figures

D’autres particularités et avantages de l’invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels :

la est une vue schématique d’une pompe à vide selon un premier exemple de réalisation.

la est une vue schématique de dessus, partielle et en coupe selon un plan parallèle aux axes de rotation de la pompe à vide de la .

la est une vue schématique en perspective des rotors et arbres rotatifs de la pompe à vide de la .

la est une vue schématique en perspective d’une demi-coquille du stator de la pompe à vide de la .

la est une vue en perspective des rotors du couple de rotors du dernier étage de pompage de la pompe à vide de la .

la est une vue en perspective d’une demi-chambre de compression du dernier étage de pompage de la demi-coquille de la .

la est une vue analogue à la pour une pompe à vide selon un deuxième exemple de réalisation.

Description détaillée

Dans tout ce qui suit, le plan horizontal est défini par le plan passant par les axes de rotation des arbres. La direction transversale est la direction du plan horizontal qui est perpendiculaire à la direction axiale de rotation.

Une vue schématique d’une pompe à vide 1 selon l’invention est représentée à la . La pompe à vide 1, préférentiellement configurée pour refouler les gaz à pression atmosphérique, comporte un stator 2 délimitant au moins deux étages de pompage 3a-3d montés en série et deux arbres 5a, 5b rotatifs. Chaque arbre 5a, 5b porte au moins deux rotors 71a, 71b, 72a, 72b, chaque rotor s’étendant dans un des étages de pompage 3a-3d (figures 1 et 2).

Dans l'exemple illustré à la , la pompe à vide 1 comporte quatre étages de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, montés en série entre une entrée d’aspiration 4 et une sortie de refoulement 6 de la pompe à vide 1 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler (le sens de circulation des gaz pompés est illustré par les flèches sur la ). Bien entendu, la pompe à vide 1 pourrait comporter davantage d’étages ou moins d’étages que quatre, c'est-à-dire par exemple deux, trois, cinq, six, sept, huit, neuf ou dix étages sans sortir du cadre de l’invention.

Comme mieux visible sur les figures 2 à 4, chaque étage de pompage 3a-3d est formé par une chambre de compression 9, 90 délimitée par le stator 2 et recevant un couple de rotors 71a, 71b, 72a, 72b. Les chambres de compression 9, 90 présentent respectivement deux cavités cylindriques 10 complémentaires au couple de rotors 71a, 71b, 72a, 72b. Les deux cavités cylindriques 10 de chaque chambre de compression 9, 90 se chevauchent dans la direction transversale (c’est-à-dire dans la direction perpendiculaire à l’axe de rotation).

De manière connue, chaque chambre de compression 9, 90 comprend une entrée et une sortie respectives, les étages de pompage successifs 3a-3d étant raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux 8 respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de l'étage qui suit ( ).

Dans une telle pompe à vide 1 à plusieurs étages 3a-3d, le premier étage de pompage 3a dont l’entrée communique avec l’entrée d’aspiration 4 est aussi nommé « étage d’aspiration ». Le dernier étage de pompage 3d dont la sortie communique avec la sortie de refoulement 6 est aussi nommé « étage de refoulement », la pression de refoulement souhaitée est en général supérieure à la pression ambiante dans laquelle la pompe à vide 1 est installée, typiquement une pression atmosphérique autour de 1 bar (10⁵Pa).

En fonctionnement, les rotors 71a, 71b, 72a, 72b tournent de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage pour entrainer un gaz à pomper dans un sens de circulation allant depuis l’entrée d’aspiration 4 vers la sortie de refoulement 6. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée de l’étage de pompage 3a-3d est emprisonné dans le volume de pompage engendré par les rotors 71a, 71b, 72a, 72b et le stator 2, puis est entraîné par les rotors 71a, 71b, 72a, 72b vers l’étage suivant.

Les rotors 71a, 71b, 72a, 72b présentent des profils de pompage 11a, 11b conjugués, par exemple du type à lobes (connu sous le nom anglais « Roots ») ou à becs (connu sous le nom anglais « Claws ») ou selon une combinaison de ces types de réalisation selon les étages. La pompe à vide 1 est ainsi par exemple une pompe à vide à lobes. Chaque profil de pompage 11a, 11b peut alors par exemple comporter au moins deux lobes, tel qu’entre deux et six lobes. Dans l’exemple illustré à la , les profils de pompage comportent deux lobes présentant une section en forme en « 8 » ou de « haricot ». Les profils de pompage 11a, 11b sont angulairement décalés de 90°, les rotors 71, 72a du haut sur les figures 1 et 3 étant représentés « à l’horizontale » tandis que les rotors 71b, 72b du bas sur ces figures sont représentés « à la verticale » dans les chambres de compression 9, 90.

Les arbres 5a, 5b portant les rotors 71a, 71b, 72a, 72b sont entraînés par un moteur dans une partie de motorisation 13 de la pompe à vide 1 respectivement selon un axe de rotation respectif A et B ( ). Les arbres 5a, 5b sont supportés par des roulements lubrifiés de manière habituelle par un lubrifiant contenu dans un carter de la pompe à vide 1 et ils sont synchronisés au moyen d’un dispositif de couplage mécanique également lubrifié et comportant deux roues dentées engrenées l’une dans l’autre. Bien entendu, d’autres modes d’actionnement peuvent être envisagés pour entraîner chaque arbre 5a, 5b. À titre d'exemple nullement limitatif, un moteur différent pourrait entraîner chacun un arbre 5a, 5b.

Le stator 2 est par exemple réalisé par des demi-coquilles 2a, 2b s’assemblant selon une surface passant par les axes de rotation A et B comme représenté sur la ou par des tranches s’assemblant dans la direction axiale.

En outre, un moyen d’étanchéité (non représenté) au travers duquel les arbres 5a, 5b sont toujours susceptibles de tourner, peut, de manière habituelle, isoler la partie de motorisation 13 de la partie de pompage à sec du stator 2. Enfin, un clapet antiretour (non représenté) peut être agencé dans la sortie de refoulement 6 pour empêcher le retour des gaz pompés dans la pompe à vide 1.

De manière connue, la puissance P consommée par une pompe à vide 1 dépend du couple C exercé sur les rotors 71a, 71b, 72a, 72b et de leur vitesse de rotation ω. Le couple est égal à la somme des couples δC exercés sur les rotors 71a, 71b, 72a, 72b de chaque étage 3a-3d. Chaque couple est fonction de la force et de la distance avec le point d’exercice de la force, soit plus précisément, chaque couple est fonction de la différence de pression Δp entre l’amont et l’aval de l’étage de pompage 3a-3d, de la section projetée des rotors 71a, 71b, 72a, 72b et de l’épaisseur e1, e2, e3 de l’étage de pompage 3a-3d. Les différences de pression Δp des derniers étages de pompage étant les plus importantes, les derniers étages de pompage, c'est-à-dire les étages les plus proches de la sortie de refoulement 6, sont ceux qui requièrent le plus de puissance électrique.

L'invention a notamment pour but de fournir une nouvelle architecture de pompe à vide 1 à deux arbres 5a, 5b permettant de diminuer sa puissance électrique en réduisant l’épaisseur e1 au moins du dernier étage de pompage 3d.

Pour cela, au moins chaque rotor 72a, 72b du couple de rotors du dernier étage de pompage 3d en amont de la sortie de refoulement 6 comprend un disque porteur 12 réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage 11a, 11b (figures 3 et 5). Le disque porteur 12 est coaxial à l’axe de rotation A, B du rotor 72a, 72b respectif.

Le profil de pompage 11a, 11b de chaque rotor 72a, 72b du couple du dernier étage 3f est configuré pour tourner dans une première partie 10a de la cavité cylindrique 10 de la chambre de compression 90 (figures 4 et 6). Le disque porteur 12 de chaque rotor 72a, 72b du couple est configuré pour tourner dans une deuxième partie 10b de la cavité cylindrique 10. Les premières et deuxièmes parties 10a, 10b des cavités cylindriques 10 sont axialement inversées l’une par rapport à l’autre et les premières parties 10a se chevauchent transversalement de sorte que les profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.

Avec un profil de pompage 11a, 11b réalisé d’une seule pièce avec un disque porteur 12 (monobloc), il est possible de réaliser des profils de pompage 11a, 11b beaucoup plus fins, les disques porteurs 12 assurant la tenue mécanique de l’ensemble du rotor 72a, 72b. Les épaisseurs des profils de pompage 11a, 11b peuvent alors être réduites et ces profils 11a, 11b fins peuvent être réalisés avec précision, au moins dans le dernier étage de pompage 3d, ce qui permet de pouvoir diminuer la puissance électrique de la pompe à vide 1.

Également, les cavités 10 de la chambre de compression 90 du dernier étage de pompage 3d sont élargies car elles reçoivent les disques porteurs 12. Elles sont de fait plus facile à usiner.

Un autre avantage est que cet agencement permet d’augmenter les conductances aux passages d’arbre du dernier étage de pompage 3d, ce qui permet de réduire les fuites de gaz aux travers des passages d’arbre, entre les arbres 5a, 5b et les orifices des parois transversales des chambres de compression 90. En effet, les disques porteurs 12 des rotors 72a, 72b forcent les gaz de fuites à contourner les extrémités des disques 12 plutôt que de longer les arbres 5a, 5b. Il est alors plus difficile pour le gaz de traverser les derniers passages d’arbre du fait de la présence des disques 12, ce qui permet d’améliorer l’étanchéité de ces étages et ainsi d’améliorer les performances de la pompe 1, en permettant notamment d’abaisser la pression de vide limite.

L’épaisseur e1 (dimension axiale) des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b du dernier étage de pompage 3d est avantageusement inférieure à l’épaisseur e2 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 71a, 71b de l’étage de pompage 3c précédent. L’épaisseur e1 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b du dernier étage de pompage 3d est par exemple comprise entre 1,5 mm et 3mm, tel que 2mm.

Par ailleurs, toutes les épaisseurs des rotors 71a, 71b et des chambres de pompage 9 peuvent être décroissantes avec les étages de pompage, l’étage de pompage 3a situé du côté de l’entrée d’aspiration 4 recevant les rotors 71a, 71b de plus grande dimension axiale.

L’épaisseur du disque 12 est avantageusement la plus petite épaisseur possible de manière à ne pas trop augmenter l’encombrement de la pompe à vide 1 tout en assurant un soutien mécanique suffisant du profil de pompage 11a, 11b. Cette épaisseur dépend de l’effort, de la vitesse, et de l’usinabilité du matériau utilisé. L’épaisseur du disque 12 est par exemple comprise entre 3mm et 5mm, tel que 4mm.

Les rotors 72a, 72b sont par exemple réalisés en fonte. Tous les rotors 71a, 71b, 72a, 72b et l’arbre 5a, 5b associé portant les rotors 71a, 71b, 72a, 72b peuvent être réalisés d’une seule pièce. La pompe à vide 1 comporte alors deux arbres-rotors monoblocs. On peut aussi prévoir que les rotors 71a, 71b n’ayant pas de disques porteurs 12 et l’arbre 5a, 5b associé soient réalisés d’une seule pièce mais que les rotors 72a, 72b ayant des disques porteurs 12 soient rapportés sur un arbre 5a, 5b respectif. Dans ce dernier cas, on peut réaliser deux rotors 72a, 72b ayant des disques porteurs 12 quasiment identiques, un étant rapporté à l’envers de l’autre sur son arbre 5a, 5b respectif.

La plus grande distance radiale d du profil de pompage 11a, 11b est par exemple égale au diamètre du disque porteur 12 comme illustré en . Les profils de pompage 11a, 11b sont par exemple usinés depuis la face d’un cylindre de matière au diamètre du disque porteur 12. Il peut également être envisagé que la plus grande distance radiale d des profils de pompage 11a, 11b soit supérieure au diamètre du disque porteur 12. Le profil de pompage 11a, 11b n’est alors plus supporté par le disque 12 à ses extrémités. Il est aussi possible de prévoir que la plus grande distance radiale d des profils de pompage 11a, 11b soit inférieure au diamètre des disques porteurs 12 mais il faut alors prévoir des gorges dans les arbres 5a, 5b pour permettre la rotation des disques porteurs 12.

La montre un deuxième exemple de réalisation.

Dans cet exemple, chaque rotor 72a, 72b des couples des deux derniers étages de pompage 3c, 3d en amont de la sortie de refoulement 6, c’est-à-dire le dernier étage de pompage 3d et l’avant-dernier étage de pompage 3c, comprennent un disque porteur 12 réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage 11a, 11b. Les profils de pompage 11a, 11b de chaque rotor 72a, 72b des couples des deux derniers étages 3c, 3d sont configurés pour tourner dans les premières parties 10a des cavités cylindriques 10 des chambres de compression 90 respectives. Les disques porteurs 12 sont configurés pour tourner dans les deuxièmes parties 10b des cavités cylindriques 10, les premières et deuxièmes parties 10a, 10b des cavités cylindriques 10 étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties 10a se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage 11a, 11b des couples puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.

L’épaisseur e1 (dimension axiale) des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b du dernier étage de pompage 3d est avantageusement inférieure à l’épaisseur e2 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b de l’étage de pompage 3c précédent. L’épaisseur e2 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b de l’avant-dernier étage de pompage 3c est avantageusement inférieure à l’épaisseur e3 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 71a, 71b de l’étage de pompage 3b précédent. L’épaisseur e2 des profils de pompage 11a, 11b du couple de rotors 72a, 72b de l’avant dernier étage de pompage 3c est par exemple comprise entre 4 mm et 6mm, tel que 5mm.

Les disques 12 des couples de rotors 72a, 72b des deux derniers étages de pompage 3c, 3d sont par exemple agencés en quinconce le long des deux axes de rotation A, B ( ). Cet agencement permet d’augmenter davantage la conductance au niveau des passages d’arbres des deux derniers étages de pompage 3c, 3d, améliorant de manière très significative l’étanchéité et donc les performances de pompage en vide limite.

La pompe à vide 1 peut comporter davantage de derniers étages de pompage 72a, 72b ainsi configurés, c’est-à-dire plus que deux, le nombre d’étages ainsi configurés pouvant augmenter avec l’augmentation du nombre d’étages de pompage de la pompe à vide 1.

Claims

Pompe à vide (1) comportant au moins deux étages de pompage (3a-3d) montés en série, chaque étage de pompage (3a-3d) étant formé par une chambre de compression (9, 90) délimitée par un stator (2) de la pompe à vide (1) et recevant un couple de rotors (71a, 71b, 72a, 72b) configurés pour être entraînés chacun par un arbre (5a, 5b) selon un axe de rotation (A, B) respectif et présentant des profils de pompage (11a, 11b) conjugués afin de pomper un gaz dans un sens de circulation allant depuis une entrée d’aspiration (4) vers une sortie de refoulement (6), caractérisée en ce qu’au moins chaque rotor (72a, 72b) du couple du dernier étage de pompage (3d) en amont de la sortie de refoulement (6) comprend un disque porteur (12) réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage (11a, 11b), la chambre de compression (90) du dernier étage de pompage (3d) présentant deux cavités cylindriques (10) complémentaires au couple de rotors (72a, 72b), le profil de pompage (11a, 11b) de chaque rotor (72a, 72b) du couple du dernier étage (3d) étant configuré pour tourner dans une première partie (10a) de la cavité cylindrique (10) et le disque porteur (12) étant configuré pour tourner dans une deuxième partie (10b) de la cavité cylindrique (10), les premières et deuxièmes parties (10a, 10b) des cavités cylindriques (10) étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties (10a) se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage (11a, 11b) du couple puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.
Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l’épaisseur (e1) des profils de pompage (11a, 11b) du couple de rotors (72a, 72b) du dernier étage (3d) est inférieure à l’épaisseur (e2) des profils de pompage (11a, 11b) du couple de rotors (71a, 71b, 72a, 72b) de l’étage de pompage (3c) précédent.
Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’épaisseur (e2) des profils de pompage (11a, 11b) du couple de rotors (72a, 72b) comprenant un disque porteur (12) est inférieure à 6mm.
Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que pour chaque rotor (72a, 72b) comprenant un disque porteur (12), la plus grande distance radiale (d) des profils de pompage (11a, 11b) est égale ou supérieure au diamètre du disque porteur (12).
Pompe à vide (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les profils de pompage (11a, 11b) comportent au moins deux lobes, tel que deux, trois, quatre, cinq ou six lobes.
Pompe à vide (1) selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins trois étages de pompage (3a, 3b, 3c, 3d) montés en série.
Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que chaque rotor (72a, 72b) du couple de l’avant-dernier étage de pompage (3c) en amont du dernier étage de pompage (3d), comprend un disque porteur (12) réalisé d’une seule pièce avec le profil de pompage (11a, 11b), la chambre de compression (90) de l’avant dernier étage de pompage (3c) présentant deux cavités cylindriques (10) complémentaires au couple de rotors (72a, 72b), le profil de pompage (11a, 11b) de chaque rotor (72a, 72b) du couple de l’avant dernier étage (3c) étant configuré pour tourner dans une première partie (10a) de la cavité cylindrique (10) et le disque porteur (12) étant configuré pour tourner dans une deuxième partie (10b) de la cavité cylindrique (10), les premières et deuxièmes parties (10a, 10b) des cavités cylindriques (10) étant axialement inversées l’une par rapport à l’autre, les premières parties (10a) se chevauchant transversalement de sorte que les profils de pompage (11a, 11b) du couple puissent coopérer entre eux pour pomper un gaz.
Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que les disques porteurs (12) des couples de rotors (72a, 72b) des deux derniers étages de pompage (3c, 3d) sont agencés en quinconce le long des deux axes de rotation (A, B).
Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le stator (2) est réalisé par des demi-coquilles (2a, 2b).
Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les rotors (71a, 71b, 72a, 72b) et l’arbre (5a, 5b) portant les rotors (71a, 71b, 72a, 72b) sont réalisés d’une seule pièce.