JPH03145594A - 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置 - Google Patents
多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置Info
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- JPH03145594A JPH03145594A JP28255989A JP28255989A JPH03145594A JP H03145594 A JPH03145594 A JP H03145594A JP 28255989 A JP28255989 A JP 28255989A JP 28255989 A JP28255989 A JP 28255989A JP H03145594 A JPH03145594 A JP H03145594A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
- F04C23/003—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle having complementary function
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置に関し、
第１発明は１１月段の室の吐出口とその前段の室に接続
する後段の室の吸込口とに内外二重の襞付フレキシブル
ホースの外側のホースを連結して前段の室で高温化され
た圧縮ガスを後段の室に誘導すると共に、前記二重のホ
ースの内側の襞付フレキシブルホースに冷却水等の冷却
流体を通して冷却ｒる桔戊とし、分解ノ、−札検修理時
に前記二重の７レキシブルホースを分割ゲージングの吸
込口または吐出口から外すことなく行い得るようにする
ｒこめ第１室〜第ｎ室を」１下ｉこ分割可能な分割ゲー
ジングに上り構成しｒこちのである。
第１発明は１１月段の室の吐出口とその前段の室に接続
する後段の室の吸込口とに内外二重の襞付フレキシブル
ホースの外側のホースを連結して前段の室で高温化され
た圧縮ガスを後段の室に誘導すると共に、前記二重のホ
ースの内側の襞付フレキシブルホースに冷却水等の冷却
流体を通して冷却ｒる桔戊とし、分解ノ、−札検修理時
に前記二重の７レキシブルホースを分割ゲージングの吸
込口または吐出口から外すことなく行い得るようにする
ｒこめ第１室〜第ｎ室を」１下ｉこ分割可能な分割ゲー
ジングに上り構成しｒこちのである。
１２発明は１１発明の前記の４付７レキンブルホースの
うちの内側ホースの各々を順次に連結して、伶ノ」流ト
ドを流動させ、各段の吐出ガスを冷却流体により連続的
に冷却することを特徴とするものである。
うちの内側ホースの各々を順次に連結して、伶ノ」流ト
ドを流動させ、各段の吐出ガスを冷却流体により連続的
に冷却することを特徴とするものである。
（本発明の技術的〒テ量）
本発明の多段型ルーツ式真空ポンプは、１００ＩＩ１３
７ ＩＩ ｒ・の中型から ２０００ ｍ’７’ｌｌｒ
までの比較的大型の真空用に使用するもので、食品の真
空ノくツク用、食品ｙ＞ Ｑ ２ ｆ７．燥用、または
フロンガスの回収用等にＰ −Ｓ −、’１方式により
？ｌＩ＋を使用しｌいドライ運転するため、１００ ＋
ａ ’ ７’ Ｈｒの中型から２０００ ｍ’７’ｌｌ
ｒ虫での比較的大をが用いられ、吸引ガスが接触する各
部をステンレス製とし、又１土ステンレスメツキ、６１
１１７コーテイング等を施ｊ必要がある。
７ ＩＩ ｒ・の中型から ２０００ ｍ’７’ｌｌｒ
までの比較的大型の真空用に使用するもので、食品の真
空ノくツク用、食品ｙ＞ Ｑ ２ ｆ７．燥用、または
フロンガスの回収用等にＰ −Ｓ −、’１方式により
？ｌＩ＋を使用しｌいドライ運転するため、１００ ＋
ａ ’ ７’ Ｈｒの中型から２０００ ｍ’７’ｌｌ
ｒ虫での比較的大をが用いられ、吸引ガスが接触する各
部をステンレス製とし、又１土ステンレスメツキ、６１
１１７コーテイング等を施ｊ必要がある。
これは圧縮吸引により帯熱するガスを冷却するためイン
タークーラを使用する必要から酸化スを混入させないた
めの対策をなすものであるが、かくでは真空ポンプが大
聖化し高価にもなり、また、ガス通路に混入したミスト
が蓄積して淀み部分がやくなＩ）、圧縮ガスが結露して
液化されこれ等が運転再開と共にロータにｆす着して回
転を阻止するロック作用をＲｍに生じ、しかもケーシン
グの分解による内部１代検に時間が懸かる欠点をもって
警）る。
タークーラを使用する必要から酸化スを混入させないた
めの対策をなすものであるが、かくでは真空ポンプが大
聖化し高価にもなり、また、ガス通路に混入したミスト
が蓄積して淀み部分がやくなＩ）、圧縮ガスが結露して
液化されこれ等が運転再開と共にロータにｆす着して回
転を阻止するロック作用をＲｍに生じ、しかもケーシン
グの分解による内部１代検に時間が懸かる欠点をもって
警）る。
（本発明が解決しようとする！！！題・発明の目的）多
段型ルーツ式真セポンプはドライ運転に適しているが、
圧縮〃ス巾却及びケーシングの分解による点検にｆ！！
Ｊｆｆｉがある。本発明はその解決等を課題とし目的と
するものである。
段型ルーツ式真セポンプはドライ運転に適しているが、
圧縮〃ス巾却及びケーシングの分解による点検にｆ！！
Ｊｆｆｉがある。本発明はその解決等を課題とし目的と
するものである。
（問題、αを解決するための手段）
本発明は多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置に係り、
第１発明は第１室〜！５ｎ室を、上下に分割可能にして
吸込口と吐出口とを各別に設けた上下の分割ケーシング
とハウジングとにより多段に構成し、各室の吸込口と吐
出口に外管取ｆす函を取付け、前段の室の吐出口と該室
に接続する後段の室の吸込口の外管取付函に外１ｉ１１
１襞付７レキシプルホースの両端を順次に取１・１け、
そのホースの中心部に冷却水等のイｒ却流体を通す内側
装材７レキシプルホースを嵌め、該ホースを前記の各外
管取ｆ・を函から外部１こ突出し、前記外＠フレキシブ
ルホースを流過する圧縮ガスと内側フレキシブルホース
を流過する冷却流体との間に熱交換を生じさせることを
特徴とするものである。
第１発明は第１室〜！５ｎ室を、上下に分割可能にして
吸込口と吐出口とを各別に設けた上下の分割ケーシング
とハウジングとにより多段に構成し、各室の吸込口と吐
出口に外管取ｆす函を取付け、前段の室の吐出口と該室
に接続する後段の室の吸込口の外管取付函に外１ｉ１１
１襞付７レキシプルホースの両端を順次に取１・１け、
そのホースの中心部に冷却水等のイｒ却流体を通す内側
装材７レキシプルホースを嵌め、該ホースを前記の各外
管取ｆ・を函から外部１こ突出し、前記外＠フレキシブ
ルホースを流過する圧縮ガスと内側フレキシブルホース
を流過する冷却流体との間に熱交換を生じさせることを
特徴とするものである。
また特定発明である第１発明と産業上の利用分野及び解
決しようとする課題が同一である第２発明は襞ｆ・ｔフ
レキシブルホースのうちの内側ホースの各々を順次に連
結し、冷却流体を該連結内側ホースに流動させ、各段の
吐出ガスを連続的ｔこ冷却することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の多段型ルーツ式真空ポンプの冷却
装置に係るものである。
決しようとする課題が同一である第２発明は襞ｆ・ｔフ
レキシブルホースのうちの内側ホースの各々を順次に連
結し、冷却流体を該連結内側ホースに流動させ、各段の
吐出ガスを連続的ｔこ冷却することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の多段型ルーツ式真空ポンプの冷却
装置に係るものである。
本発明の好適な実施例を次に説明する。
（実ａ例）
本発明において第１段とは吸込ボートを備える初段を言
い、Ｉｎ段とは吐出ボートを備える最終段を言う。
い、Ｉｎ段とは吐出ボートを備える最終段を言う。
第１図はＰｔ５１室〜第ｎ室をもつ多段型ルーツ式れ空
ポンプ１を示し、ｔｊＳｌｔヌヘ第３段の室Ｉ、■、■
を第２図に上り明らかなようｉこ、室構成片ド■′、ド
′〜■−と、隔壁１ａ−７、Ｈａ−＋・ １ａ−２，１
１ａ−、を備える−に下分割の分割ケーシング２０ａ、
２０ｂと、両端のハウジング２１ａ、２ ｌ ｂ と
１こより組み立て、各室■〜■１こ３葉型ルーツロータ
２２．２２′・２３．２３’・２４．２４′と、それ等
の袖２５．２５′を嵌め、一方のハウジング２１ａの外
側にタンミングギャ力バー２６を取１すけて構成する。
ポンプ１を示し、ｔｊＳｌｔヌヘ第３段の室Ｉ、■、■
を第２図に上り明らかなようｉこ、室構成片ド■′、ド
′〜■−と、隔壁１ａ−７、Ｈａ−＋・ １ａ−２，１
１ａ−、を備える−に下分割の分割ケーシング２０ａ、
２０ｂと、両端のハウジング２１ａ、２ ｌ ｂ と
１こより組み立て、各室■〜■１こ３葉型ルーツロータ
２２．２２′・２３．２３’・２４．２４′と、それ等
の袖２５．２５′を嵌め、一方のハウジング２１ａの外
側にタンミングギャ力バー２６を取１すけて構成する。
各段の室Ｉ〜■の吸込口２と吐出口３、及び吐出側サイ
レンサー４の入口５とに外管取１・を函６を取（↑金具
７により取（ｔける。
レンサー４の入口５とに外管取１・を函６を取（↑金具
７により取（ｔける。
１４は大径の外側襞ｆ・ｆフレキシブルホース１５（１
：Ｊ、下５１−側ホ−スと言つ〉と、小径の内側９ ｆ
Ｙ７レキシブルホース１６（以下内側ホースと言う）と
かｉなる二重ホースであって、外側ホース１５の一端の
パイプ形金具１７を前室である室Ｉと室■の吐出口３の
外管取付面Ｇの側面に固着し、そい外側ホース１５の他
端のバイブ形金共１７ａを大室である室■と室■の吸込
口２の外管取（−Ｆ函６の側面に固着ｊる。
：Ｊ、下５１−側ホ−スと言つ〉と、小径の内側９ ｆ
Ｙ７レキシブルホース１６（以下内側ホースと言う）と
かｉなる二重ホースであって、外側ホース１５の一端の
パイプ形金具１７を前室である室Ｉと室■の吐出口３の
外管取付面Ｇの側面に固着し、そい外側ホース１５の他
端のバイブ形金共１７ａを大室である室■と室■の吸込
口２の外管取（−Ｆ函６の側面に固着ｊる。
室■の吸込口の外管取（＝Ｆ函６には真空処理室とか、
フロンガス回収室に開口する吸込パイプ１９を連結する
。室■と吐出側サイレンサー４の入口５とは前段と後段
の関係にあるから、外側ホース１５の一端のパイプ形金
具１７を前室である室■の吐出口３０外管取ｆ・を函６
の側面に固着し、その外側ホース１５の他端のパイプ形
金具１７ａを大室である前記サイレンサー４の入口５の
外管取ｒｔ函６の側面に固着する。
フロンガス回収室に開口する吸込パイプ１９を連結する
。室■と吐出側サイレンサー４の入口５とは前段と後段
の関係にあるから、外側ホース１５の一端のパイプ形金
具１７を前室である室■の吐出口３０外管取ｆ・を函６
の側面に固着し、その外側ホース１５の他端のパイプ形
金具１７ａを大室である前記サイレンサー４の入口５の
外管取ｒｔ函６の側面に固着する。
内側ホース１６は両端のパイプ金Ｉ％１８．１８１１を
室Ｉの吸込口２の外管取１：ｊ函６を除き、吐出側サイ
レンサー４の入口５１こ取１寸（すたちのも含めた夫々
の外管取付面６から外方に突出する。
室Ｉの吸込口２の外管取１：ｊ函６を除き、吐出側サイ
レンサー４の入口５１こ取１寸（すたちのも含めた夫々
の外管取付面６から外方に突出する。
外側ホース１５は室■〜■でルーツロータの回転により
圧縮されて帯熱するガスを通すもので、各室■〜■と吐
出側サイレンサー４を順次に連通して多段ポンプの実体
を構成する。また、内側ホス１６は連結の必要は必ずし
も必要でなく玲却水その他の冷］」流体を各個の一端か
ら供給し他端ｈ・ら排出して足し支えないが、本発明は
順次に連結して冷却流体２−流Ｉ′ｌｌＪさせ、各段の
吐出ガスと冷却流体１こよＱ連続的に熱交換して冷却す
るｖＩＩ戒にする。Ｍは駆動モータであってビルトイン
式（第２図）よ！こは外部ｗ、１・↑（ｔ５］図）のど
ちｒ〕かを使用↑る。
圧縮されて帯熱するガスを通すもので、各室■〜■と吐
出側サイレンサー４を順次に連通して多段ポンプの実体
を構成する。また、内側ホス１６は連結の必要は必ずし
も必要でなく玲却水その他の冷］」流体を各個の一端か
ら供給し他端ｈ・ら排出して足し支えないが、本発明は
順次に連結して冷却流体２−流Ｉ′ｌｌＪさせ、各段の
吐出ガスと冷却流体１こよＱ連続的に熱交換して冷却す
るｖＩＩ戒にする。Ｍは駆動モータであってビルトイン
式（第２図）よ！こは外部ｗ、１・↑（ｔ５］図）のど
ちｒ〕かを使用↑る。
多段型ルーツ式真空ポンプには、第１．２．３．４図に
図示したようシこ各室のケーシングの吐出側両側に冷却
外気導入孔２８を設けたものがあり、本発明は第１ 、
２ 、４図に示すように次段の室の吸込口２から分岐し
たフレキシブルホース２９．３０．３１（襞がないホー
スであってもよい）を前段の室の導入孔２８１こ連結す
る。
図示したようシこ各室のケーシングの吐出側両側に冷却
外気導入孔２８を設けたものがあり、本発明は第１ 、
２ 、４図に示すように次段の室の吸込口２から分岐し
たフレキシブルホース２９．３０．３１（襞がないホー
スであってもよい）を前段の室の導入孔２８１こ連結す
る。
（作用及び効果）
本発明の多段型ルーツ式真士ポンプの冷却装置の第１発
明は、第１室〜第ｎ室を、上下に分割可能：こして吸込
口と吐出口とを各別に設けた上下の分割ケーシングとハ
ウノングとに上り多ｆ又；こ構成し、各室の吸込口と吐
出口に外管取ｆ−ｊ函をａ （−ｆけ、前ｒズの室の吐
出口と数基（二接続するｔ１段の室の吸込口の外符取１
・を函に外側襞（・Ｆフレキシブルホースの両端を植大
に取１・１け、そのホースの中心部に冷却水等の冷却流
体を通す内側２ ｆ−１７レキシブルホースを嵌め、該
ホースを前記の各外管取ｆ・↑函から外部に突出し、）
１＋Ｊ記外側フレキシブルホースを流過する圧縮〃スと
内側７レキシプルホースを流過する冷ｊ；ＩＩ流本との
間に熱交換を土じ５せる構成になり、直伐の室の吐出口
とＩｔｉ室に接続する後段の室の吸込口の外管取（＝ｆ
函に外側襞（′ｆフレキシブルホー入の両端を順次に取
付け、そのホースの中心部に冷却水等の冷即流本を通す
内側襞ｆ・１７レキシプルホースを嵌め、殆んどがハニ
カム式であるインタークーラー、などの高価で真空ポン
プを大型：こｒる冷却装置を使用しないで前段の吐出口
と後段の吸込口とを外１ＹＩＩＩ襞付フレキシブルホー
ス１５により連結して前段の室により圧縮されて帯熱し
た〃スを後段の室に送り、その帯熱〃スを外側ホース１
５に通した内側襞ｆ・Ｙフレキシブルホース１Ｇ及び真
空ポンプを包囲する外気との間で熱交換して玲即し、大
室に帯熱〃スを冷却しないで通さない上う１こするもの
で、多段真空ポンプにおいて前段と後段の室とにある温
度差１００℃が危険の目標とされているのをｆｒｔＪ記
の簡素な構成に基く熱ズ換に上りクリヤーできることも
実験運転により確認され、各室に残留する圧縮ガスが運
転停止とともに結露し液化されてロータ、ケーシング内
面等に１・Ｆ着し、これ等が運転再開と共にロータの回
転をｍ止Ｙるロック作用を急激に生ずることもインター
クーラーに上る冷却でないｖ：、徐な冷却だから防止す
ることができる。また、内部点検、内部咋埋等のための
ケーシングの解体１土そのケーシングが」１下分割ゲー
ジング２０ａ、２０ｂにより構成しているので、前段室
の吐出口と後段室の吸込口とを同じゲージングに設ける
ことができず、このため二重ホース１４ことに外側ホー
ス１５を分割ケーシング２０ａ１．２０ｂから外さない
で分解できる等の効果がある。
明は、第１室〜第ｎ室を、上下に分割可能：こして吸込
口と吐出口とを各別に設けた上下の分割ケーシングとハ
ウノングとに上り多ｆ又；こ構成し、各室の吸込口と吐
出口に外管取ｆ−ｊ函をａ （−ｆけ、前ｒズの室の吐
出口と数基（二接続するｔ１段の室の吸込口の外符取１
・を函に外側襞（・Ｆフレキシブルホースの両端を植大
に取１・１け、そのホースの中心部に冷却水等の冷却流
体を通す内側２ ｆ−１７レキシブルホースを嵌め、該
ホースを前記の各外管取ｆ・↑函から外部に突出し、）
１＋Ｊ記外側フレキシブルホースを流過する圧縮〃スと
内側７レキシプルホースを流過する冷ｊ；ＩＩ流本との
間に熱交換を土じ５せる構成になり、直伐の室の吐出口
とＩｔｉ室に接続する後段の室の吸込口の外管取（＝ｆ
函に外側襞（′ｆフレキシブルホー入の両端を順次に取
付け、そのホースの中心部に冷却水等の冷即流本を通す
内側襞ｆ・１７レキシプルホースを嵌め、殆んどがハニ
カム式であるインタークーラー、などの高価で真空ポン
プを大型：こｒる冷却装置を使用しないで前段の吐出口
と後段の吸込口とを外１ＹＩＩＩ襞付フレキシブルホー
ス１５により連結して前段の室により圧縮されて帯熱し
た〃スを後段の室に送り、その帯熱〃スを外側ホース１
５に通した内側襞ｆ・Ｙフレキシブルホース１Ｇ及び真
空ポンプを包囲する外気との間で熱交換して玲即し、大
室に帯熱〃スを冷却しないで通さない上う１こするもの
で、多段真空ポンプにおいて前段と後段の室とにある温
度差１００℃が危険の目標とされているのをｆｒｔＪ記
の簡素な構成に基く熱ズ換に上りクリヤーできることも
実験運転により確認され、各室に残留する圧縮ガスが運
転停止とともに結露し液化されてロータ、ケーシング内
面等に１・Ｆ着し、これ等が運転再開と共にロータの回
転をｍ止Ｙるロック作用を急激に生ずることもインター
クーラーに上る冷却でないｖ：、徐な冷却だから防止す
ることができる。また、内部点検、内部咋埋等のための
ケーシングの解体１土そのケーシングが」１下分割ゲー
ジング２０ａ、２０ｂにより構成しているので、前段室
の吐出口と後段室の吸込口とを同じゲージングに設ける
ことができず、このため二重ホース１４ことに外側ホー
ス１５を分割ケーシング２０ａ１．２０ｂから外さない
で分解できる等の効果がある。
また、第２発明は装材フレキシブルホースのうちの内側
ホースの各々を順次に連結し、冷却流体を該連結内側ホ
ースに流動させ、各段の吐出ガスを連続的に冷却するも
ので、熱交換（冷却）のための配管を簡略にして第１の
発明の効果をさらに効果的にできる。
ホースの各々を順次に連結し、冷却流体を該連結内側ホ
ースに流動させ、各段の吐出ガスを連続的に冷却するも
ので、熱交換（冷却）のための配管を簡略にして第１の
発明の効果をさらに効果的にできる。
添付図面は本発明の実施例を示すちのであって、第１図
は側面図、第２図はモータをビルトイン式とした他の実
施例を示す側面図、第３図は分割ケーシング２０ａ、２
０ｂ＄の分解斜視図、！＠４図は本発明の第１室Ｉの第
２室の方向を見た縦断面図番、第５図は二重ホース１４
の断面図である。 １→多段型ルーツ式真空ポンプ ■、■、■→室 ２→吸込口 ３→吐出口 ６→外管取付函 ７→取付金共 １ ５→外側襞付７レキシプルホース（外側ホース） ６→内側襞付フレキシブルホース（内側ホース） Ｉ′〜■′ １”〜■〜→室構成片 構 成ａ。 ｏｂ−＋分割ケーシング １ １ｂ→ハウノング
は側面図、第２図はモータをビルトイン式とした他の実
施例を示す側面図、第３図は分割ケーシング２０ａ、２
０ｂ＄の分解斜視図、！＠４図は本発明の第１室Ｉの第
２室の方向を見た縦断面図番、第５図は二重ホース１４
の断面図である。 １→多段型ルーツ式真空ポンプ ■、■、■→室 ２→吸込口 ３→吐出口 ６→外管取付函 ７→取付金共 １ ５→外側襞付７レキシプルホース（外側ホース） ６→内側襞付フレキシブルホース（内側ホース） Ｉ′〜■′ １”〜■〜→室構成片 構 成ａ。 ｏｂ−＋分割ケーシング １ １ｂ→ハウノング
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）第１室〜第ｎ室を、上下に分割可能にして吸込口と
吐出口とを各別に設けた上下の分割ケーシングとハウジ
ングとにより多段に構成し、各室の吸込口と吐出口に外
管取付函を取付け、前段の室の吐出口と該室に接続する
後段の室の吸込口の外管取付函に外側襞付フレキシブル
ホースの両端を順次に取付け、そのホースの中心部に冷
却水等の冷却流体を通す内側襞付フレキシブルホースを
嵌め、該ホースを前記の各外管取付函から外部に突出し
、前記外側フレキシブルホースを流過する圧縮ガスと内
側フレキシブルホースを流過する冷却流体との間に熱交
換を生じさせることを特徴とする多段型ルーツ式真空ポ
ンプの冷却装置。 ２）襞付フレキシブルホースのうちの内側ホースの各々
を順次に連結し、冷却流体を該連結内側ホースに流動さ
せ、各段の吐出ガスを連続的に冷却することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の多段型ルーツ式真空ポン
プの冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28255989A JPH03145594A (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28255989A JPH03145594A (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03145594A true JPH03145594A (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=17654054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28255989A Pending JPH03145594A (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03145594A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813104A1 (fr) * | 2000-08-21 | 2002-02-22 | Cit Alcatel | Joint etancheite pour pompe a vide |
| WO2008010539A1 (fr) * | 2006-07-19 | 2008-01-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Machine à fluide |
| JP2011132942A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-07-07 | Kanematsu Engineering Kk | 吸引処理装置の冷却方法及び吸引処理装置 |
| JP2011226370A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Ebara Corp | 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 |
| WO2012066780A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム |
| WO2012066781A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム |
| WO2012066782A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム |
| CN103807176A (zh) * | 2012-11-14 | 2014-05-21 | 大卫·金 | 多级干式真空泵 |
| JP6120468B1 (ja) * | 2016-06-29 | 2017-04-26 | Ｏｓセミテック株式会社 | 真空ポンプ用気体移送体およびこれを用いた真空ポンプ |
| CN107191374A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-09-22 | 浙江凯尼真空设备有限公司 | 一种散热效果好的罗茨真空泵 |
| JP2022522108A (ja) * | 2019-02-06 | 2022-04-14 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニム | 多段ポンプ本体、及びアプリケーションを含む多段ポンプ |
| US11320036B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-05-03 | Ovg Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd | Transmission structure of motor connection of roots pump |
| US11339783B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-05-24 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Pump housing structure of three-axis multi-stage Roots pump |
| US11441564B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-09-13 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Driving structure of three-axis multi-stage roots pump |
| US11608829B2 (en) | 2019-10-10 | 2023-03-21 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Structure of rotor connection of multi-axial multi-stage roots pump |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52103711A (en) * | 1976-02-27 | 1977-08-31 | Hitachi Metals Ltd | Vane type gas compressor |
-
1989
- 1989-10-30 JP JP28255989A patent/JPH03145594A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52103711A (en) * | 1976-02-27 | 1977-08-31 | Hitachi Metals Ltd | Vane type gas compressor |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002016773A1 (fr) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Alcatel | Joint d'etancheite pour pompe a vide |
| US6572351B2 (en) | 2000-08-21 | 2003-06-03 | Alcatel | Pressure seal for a vacuum pump |
| FR2813104A1 (fr) * | 2000-08-21 | 2002-02-22 | Cit Alcatel | Joint etancheite pour pompe a vide |
| US8215937B2 (en) | 2006-07-19 | 2012-07-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Fluid machine with divided housing |
| WO2008010539A1 (fr) * | 2006-07-19 | 2008-01-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Machine à fluide |
| JPWO2008010539A1 (ja) * | 2006-07-19 | 2009-12-17 | 株式会社豊田自動織機 | 流体機械 |
| JP2011132942A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-07-07 | Kanematsu Engineering Kk | 吸引処理装置の冷却方法及び吸引処理装置 |
| JP2011226370A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Ebara Corp | 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 |
| WO2012066780A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム |
| WO2012066781A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム |
| WO2012066782A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム |
| JP5645229B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2014-12-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム |
| TWI512199B (zh) * | 2010-11-17 | 2015-12-11 | Ulvac Inc | 真空排氣裝置之連結構造及真空排氣系統 |
| US9273568B2 (en) | 2010-11-17 | 2016-03-01 | Ulvac, Inc. | Coupling structure for vacuum exhaust device and vacuum exhaust system |
| CN103807176A (zh) * | 2012-11-14 | 2014-05-21 | 大卫·金 | 多级干式真空泵 |
| JP6120468B1 (ja) * | 2016-06-29 | 2017-04-26 | Ｏｓセミテック株式会社 | 真空ポンプ用気体移送体およびこれを用いた真空ポンプ |
| JP2018003646A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | Ｏｓセミテック株式会社 | 真空ポンプ用気体移送体およびこれを用いた真空ポンプ |
| CN107191374A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-09-22 | 浙江凯尼真空设备有限公司 | 一种散热效果好的罗茨真空泵 |
| JP2022522108A (ja) * | 2019-02-06 | 2022-04-14 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニム | 多段ポンプ本体、及びアプリケーションを含む多段ポンプ |
| US11320036B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-05-03 | Ovg Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd | Transmission structure of motor connection of roots pump |
| US11339783B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-05-24 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Pump housing structure of three-axis multi-stage Roots pump |
| US11441564B2 (en) | 2019-09-23 | 2022-09-13 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Driving structure of three-axis multi-stage roots pump |
| US11608829B2 (en) | 2019-10-10 | 2023-03-21 | OVG Vacuum Technology (Shanghai) Co., Ltd. | Structure of rotor connection of multi-axial multi-stage roots pump |
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