JPS59115489A - 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ - Google Patents
逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS59115489A JPS59115489A JP22485882A JP22485882A JPS59115489A JP S59115489 A JPS59115489 A JP S59115489A JP 22485882 A JP22485882 A JP 22485882A JP 22485882 A JP22485882 A JP 22485882A JP S59115489 A JPS59115489 A JP S59115489A
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- JP
- Japan
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- pump section
- pump
- counter
- cooler
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
- F04C29/042—Heating; Cooling; Heat insulation by injecting a fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプに関する。
一般に、ルーツ型真空ポンプは作動室内部に接触部がな
く、油回転ポンプなどと異なり作動油を必要としないの
で、高真空側への油の逆流がなくオイルフリーの真空ポ
ンプであるという長所をもっているが、吐出側気体が圧
縮熱で高温になるので、通常圧力比が２．５以上では使
用できないことが知られている。
く、油回転ポンプなどと異なり作動油を必要としないの
で、高真空側への油の逆流がなくオイルフリーの真空ポ
ンプであるという長所をもっているが、吐出側気体が圧
縮熱で高温になるので、通常圧力比が２．５以上では使
用できないことが知られている。
従来の３段ルーツ型真空ポンプの機器の配列は、例えば
第１図に示されるようになっている。第１図の配列にお
いては初段のルーツ型真空ポンプＰ１は吸込気体を圧縮
して吐出側に圧出する。この際吐出側気体が高温になり
、そのまま第２段のルーツ型真空ポンプＰ２に吸込まれ
、第２段での圧縮熱のために２段の吐出側気体温度が機
械としての使用限界をこえることを防止するため、初段
と第２段のルーツ型真空ポンプの間に冷却器Ｃ１を設け
る。同様に、第２段のルーツ型真空ポンプＰ２と第３段
のルーツ型真空ポンプＰ３の間に冷却器Ｃ２を設ける。
第１図に示されるようになっている。第１図の配列にお
いては初段のルーツ型真空ポンプＰ１は吸込気体を圧縮
して吐出側に圧出する。この際吐出側気体が高温になり
、そのまま第２段のルーツ型真空ポンプＰ２に吸込まれ
、第２段での圧縮熱のために２段の吐出側気体温度が機
械としての使用限界をこえることを防止するため、初段
と第２段のルーツ型真空ポンプの間に冷却器Ｃ１を設け
る。同様に、第２段のルーツ型真空ポンプＰ２と第３段
のルーツ型真空ポンプＰ３の間に冷却器Ｃ２を設ける。
このように従来の３段ルーツ型真空ポンプでは単段のル
ーツ型真空ポンプが３台必要である。そして、各段ポン
プ毎にロータ駆動用のタイミングギアセラトラ必要とし
、各段ポンプを単一の電動機で駆動する構成をとりに＜
＜、各段ポンプ毎に軸受機構および軸封機構全必要とし
、各段ポンプ毎のタイミングギアセットおよび軸受機構
のための潤滑油系統ケ必要とするという問題点がらり、
また保守管理設置スペースの点からも有利でない。
ーツ型真空ポンプが３台必要である。そして、各段ポン
プ毎にロータ駆動用のタイミングギアセラトラ必要とし
、各段ポンプを単一の電動機で駆動する構成をとりに＜
＜、各段ポンプ毎に軸受機構および軸封機構全必要とし
、各段ポンプ毎のタイミングギアセットおよび軸受機構
のための潤滑油系統ケ必要とするという問題点がらり、
また保守管理設置スペースの点からも有利でない。
また、従来、吐出側気体の温度上昇？抑制し、使用限界
圧力比を大きくするため、高温の吐出側気体以外のより
低温の気体を効果的に利用して圧縮させ、吐出側気体の
温度上昇を抑制する方法も提案されている（特公昭５５
−１７２３６号参照）。
圧力比を大きくするため、高温の吐出側気体以外のより
低温の気体を効果的に利用して圧縮させ、吐出側気体の
温度上昇を抑制する方法も提案されている（特公昭５５
−１７２３６号参照）。
しかし、この方法では圧力比に限度があり、大なる圧力
比を必要とする用途には有利ではない。
比を必要とする用途には有利ではない。
本発明の目的は、前述の従来形における問題点にかんが
み、逆流冷却を用いた多段ルーツ型真空ポンプの新しい
構成により、機構上の複雑化、大形化を避け、比較的簡
単な構成により、逆流冷却が効果的に行なわれる多段ル
ーツ型真空ポンプを得ることにある。
み、逆流冷却を用いた多段ルーツ型真空ポンプの新しい
構成により、機構上の複雑化、大形化を避け、比較的簡
単な構成により、逆流冷却が効果的に行なわれる多段ル
ーツ型真空ポンプを得ることにある。
本発明においては、ルーツ型真空ポンプが複数のポンプ
区分により形成され、各ポンプ区分に共通の２個の軸が
設けられ、これら軸に支承されるロータが設けられ、各
ポンプ区分には吸込口、吐出口、および逆流冷却用気体
の流入口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポ
ンプ区分の吸込口を連結する連結管路が設けられ、該連
結管路には冷却器が設けられ、該連結管路からは各ポン
プ区分へ逆流気体を導く逆流管路が分岐させられる、こ
とを特徴とする逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプ、が
提供される。
区分により形成され、各ポンプ区分に共通の２個の軸が
設けられ、これら軸に支承されるロータが設けられ、各
ポンプ区分には吸込口、吐出口、および逆流冷却用気体
の流入口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポ
ンプ区分の吸込口を連結する連結管路が設けられ、該連
結管路には冷却器が設けられ、該連結管路からは各ポン
プ区分へ逆流気体を導く逆流管路が分岐させられる、こ
とを特徴とする逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプ、が
提供される。
本発明の一実施例としての３段ルーツ型真空ポンプの概
要図が第２図に、構成図が第３図に示される。第４図は
第３図のＩＶ−ＩＶ断面図である。
要図が第２図に、構成図が第３図に示される。第４図は
第３図のＩＶ−ＩＶ断面図である。
第３図の製鎖においては、ポンプ装置Ｐは、隔壁２で第
１ポンプ区分ｌと第２ポンプ区分４に区切られ、隔壁５
で第２ポンプ区分４と第３ポンプ区分７に区切られてお
り、第１シヤフト９１と第２シヤフト９２は各ポンプ区
分會貫通して軸受機構９４で支承され、タイミングギア
セット９３で互いに反対方向に回転するように組込まれ
ている。
１ポンプ区分ｌと第２ポンプ区分４に区切られ、隔壁５
で第２ポンプ区分４と第３ポンプ区分７に区切られてお
り、第１シヤフト９１と第２シヤフト９２は各ポンプ区
分會貫通して軸受機構９４で支承され、タイミングギア
セット９３で互いに反対方向に回転するように組込まれ
ている。
第１シヤフ）９１は軸封機構９５を貫通し、電動機によ
り駆動されることができる。
り駆動されることができる。
第１ポンプ区分１と第２ポンプ区分４’（ｉ一連結する
管路３と、第２ポンプ区分４と第３ポンプ区分７を連結
する管路６と、第３ポンプ区分７の吐出管路８が設けら
れる。
管路３と、第２ポンプ区分４と第３ポンプ区分７を連結
する管路６と、第３ポンプ区分７の吐出管路８が設けら
れる。
第１ポンプ区分１は吸込口１３と吐出口１４と逆流冷却
用気体の流入口１６１，１６２を有するケーシング１１
と、一対の軸９１．９２に支承されるロータ１２から成
る。第２ポンプ区分４は吸込口４３と吐出口４４と逆流
冷却用気体の流入口４６１゜４６２を有するケーシング
４１と、一対の軸９１゜９２に支承されるロータ４２か
ら成る。第３ポンプ区分７は、吸込ロア３と吐出ロア４
と逆流冷却用気体の流入ロアロ１，７６２を有するケー
シング７１と、一対の軸９１．９２に支承されるロータ
７２から成る。
用気体の流入口１６１，１６２を有するケーシング１１
と、一対の軸９１．９２に支承されるロータ１２から成
る。第２ポンプ区分４は吸込口４３と吐出口４４と逆流
冷却用気体の流入口４６１゜４６２を有するケーシング
４１と、一対の軸９１゜９２に支承されるロータ４２か
ら成る。第３ポンプ区分７は、吸込ロア３と吐出ロア４
と逆流冷却用気体の流入ロアロ１，７６２を有するケー
シング７１と、一対の軸９１．９２に支承されるロータ
７２から成る。
第１ポンプ区分］の吐出口１４と第２ポンプ区分４の吸
込口４３は連結管路３１，３２．３３で連結し、連結管
路３１と３２の間に冷却器３６を設け、連結管路３２か
ら分岐し、第１ポンプ区分１のケーシング１１の逆流冷
却用気体の流入口１６１．１６２に連結する逆流管路３
４．３５を設ける。
込口４３は連結管路３１，３２．３３で連結し、連結管
路３１と３２の間に冷却器３６を設け、連結管路３２か
ら分岐し、第１ポンプ区分１のケーシング１１の逆流冷
却用気体の流入口１６１．１６２に連結する逆流管路３
４．３５を設ける。
第２ポンプ区分４の吐出口４４と第３ポンプ区分７の吸
込ロア３は連結管路６１，６２．６３で連結し、連結管
路６１と６２の間に冷却器６６を設け、連結管路６２か
ら分岐し、第２ポンプ区分４のケーシング４１の逆流冷
却用気体の流入口４６１．４６２に連結する逆流管路６
４．６５を設ける。
込ロア３は連結管路６１，６２．６３で連結し、連結管
路６１と６２の間に冷却器６６を設け、連結管路６２か
ら分岐し、第２ポンプ区分４のケーシング４１の逆流冷
却用気体の流入口４６１．４６２に連結する逆流管路６
４．６５を設ける。
第３ポンプ区分７の吐出ロア４に吐出管路８１゜８２を
連結し、吐出管路８１と８２の間に冷却器８５を設け、
吐出管路８２から分岐し、第３ポンプ区分７のケーシン
グ７１の逆流冷却用気体の流入ロアロ１，７６２に連結
する逆流管路８３．８４全連結する。
連結し、吐出管路８１と８２の間に冷却器８５を設け、
吐出管路８２から分岐し、第３ポンプ区分７のケーシン
グ７１の逆流冷却用気体の流入ロアロ１，７６２に連結
する逆流管路８３．８４全連結する。
第３図の装置の動作は下記のとおりである。気体は第１
ポンプ区分１の吸込口１３から吸込気体ｃ （１３）と
して吸込まれ、第１ポンプ区分１で圧縮され、吐出口１
４から吐出気体Ｇ （１４）とじて吐出される。吐出気
体Ｇ （１４）は連結管路３１を通つて冷却器３６に入
り、適当な温度に冷却され、一部は連結管路３２から分
岐し、逆流管路３４゜３５を通って第１ポンプ区分１の
逆流冷却用気体の流入口１６１． １６２から逆流冷却
用気体Ｒとして第１ポンプ区分ｌに流入し、吐出気体Ｇ
（１４）の温度上昇を低く抑える。冷却器３６を通っ
た吐出気体Ｇ （１４）の一部は、連結管路３２．３３
を通って第２ポンプ区分４の吸込口４３から吸込気体Ｇ
（４３）として吸込まれ、第１ポンプ区分ｌと同様に
圧縮される。
ポンプ区分１の吸込口１３から吸込気体ｃ （１３）と
して吸込まれ、第１ポンプ区分１で圧縮され、吐出口１
４から吐出気体Ｇ （１４）とじて吐出される。吐出気
体Ｇ （１４）は連結管路３１を通つて冷却器３６に入
り、適当な温度に冷却され、一部は連結管路３２から分
岐し、逆流管路３４゜３５を通って第１ポンプ区分１の
逆流冷却用気体の流入口１６１． １６２から逆流冷却
用気体Ｒとして第１ポンプ区分ｌに流入し、吐出気体Ｇ
（１４）の温度上昇を低く抑える。冷却器３６を通っ
た吐出気体Ｇ （１４）の一部は、連結管路３２．３３
を通って第２ポンプ区分４の吸込口４３から吸込気体Ｇ
（４３）として吸込まれ、第１ポンプ区分ｌと同様に
圧縮される。
第２ポンプ区分４の吐出口４４からの吐出気体Ｇ（４４
）は連結管路６１を通って冷却器６６に入り、適当な温
度に冷却され、一部は連結管路６２から分岐し、逆流管
路６４．６５′ｆ：通って第２ポンプ区分４の逆流冷却
用気体の流入口４６１，４６２から逆流冷却用気体Ｒと
して第２ポンプ区分４に流入し、吐出気体Ｇ（４４）の
温度上昇を低く抑える。冷却器６６を通った吐出気体Ｇ
（４４）の一部は、連結管路６２．６３を通って第３ポ
ンプ区分７の吸込ロア３から吸込気体Ｇ （７３）とし
て吸込まれ、第ｉｔたけ第２ポンプ区分と同様に圧縮さ
れる。
）は連結管路６１を通って冷却器６６に入り、適当な温
度に冷却され、一部は連結管路６２から分岐し、逆流管
路６４．６５′ｆ：通って第２ポンプ区分４の逆流冷却
用気体の流入口４６１，４６２から逆流冷却用気体Ｒと
して第２ポンプ区分４に流入し、吐出気体Ｇ（４４）の
温度上昇を低く抑える。冷却器６６を通った吐出気体Ｇ
（４４）の一部は、連結管路６２．６３を通って第３ポ
ンプ区分７の吸込ロア３から吸込気体Ｇ （７３）とし
て吸込まれ、第ｉｔたけ第２ポンプ区分と同様に圧縮さ
れる。
第３ポンプ区分７の吐出ロア４からの吐出気体Ｇ （７
４）は連結管路８ 、ｌを通って冷却器８５に入り、適
当な温度に冷却され、一部は分岐し、逆流管路８３．８
４を通って第３ポンプ区分７の逆流冷却用気体の流入ロ
アロ１，７６２から逆流冷却用気体Ｒとして第３ポンプ
区分７に流入し、吐出気体Ｇ （７４）の温度上昇を低
く抑える。冷却器８５を通った吐出気体Ｇ （７４）の
一部は、外気に吐出される。
４）は連結管路８ 、ｌを通って冷却器８５に入り、適
当な温度に冷却され、一部は分岐し、逆流管路８３．８
４を通って第３ポンプ区分７の逆流冷却用気体の流入ロ
アロ１，７６２から逆流冷却用気体Ｒとして第３ポンプ
区分７に流入し、吐出気体Ｇ （７４）の温度上昇を低
く抑える。冷却器８５を通った吐出気体Ｇ （７４）の
一部は、外気に吐出される。
第３図の装置においては、各ポンプ区分での圧縮が逆流
冷却を用いているので、内部過熱の心配がなく、圧力比
を充分に犬きくとることができる。
冷却を用いているので、内部過熱の心配がなく、圧力比
を充分に犬きくとることができる。
１段当りの平均圧力比１０の如き高圧力比においても、
真空ポンプとして充分安全に使用することができる。ま
た、３段ルーツ型真空ポンプでありながら１台の機械と
して取扱え、従って１台の電動機と１台分のタイミング
ギアセットおよび軸受機構ですみ、外部からの洩れ込み
に対するシール部の数が最小にできる。
真空ポンプとして充分安全に使用することができる。ま
た、３段ルーツ型真空ポンプでありながら１台の機械と
して取扱え、従って１台の電動機と１台分のタイミング
ギアセットおよび軸受機構ですみ、外部からの洩れ込み
に対するシール部の数が最小にできる。
本発明の実施にあたっては、前述の実施例のほか種々の
変形形態が可能である。例えば、ロータの段数は３段に
限らず、２段又は４段以上とすることができる。また、
前述の実施例においては、ケーシング自体に逆流気体流
入口を設けたが、これに限らず、第５図に示すように隔
壁に逆流気体導入口を設けた形態とすることもできる。
変形形態が可能である。例えば、ロータの段数は３段に
限らず、２段又は４段以上とすることができる。また、
前述の実施例においては、ケーシング自体に逆流気体流
入口を設けたが、これに限らず、第５図に示すように隔
壁に逆流気体導入口を設けた形態とすることもできる。
また、前述の実施例においては、各ポンプ区分の吐出口
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路に冷却
器を設けたが、これに限らず、第６図に示すように該連
結管路からポンプ区分へ連結する逆流管路に冷却器を設
けることもできる。
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路に冷却
器を設けたが、これに限らず、第６図に示すように該連
結管路からポンプ区分へ連結する逆流管路に冷却器を設
けることもできる。
また、前述の実施例においては、各ポンプ区分の吐出口
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路および
最終段ポンプ区分の吐出口から大気への管路に冷却器を
設けたが、これに限らず、第７図に示すように最終段ポ
ンプ区分吐出口には冷却器を設けず、最終段に導く逆流
気体を大気から直接吸引する形態とすることもできる。
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路および
最終段ポンプ区分の吐出口から大気への管路に冷却器を
設けたが、これに限らず、第７図に示すように最終段ポ
ンプ区分吐出口には冷却器を設けず、最終段に導く逆流
気体を大気から直接吸引する形態とすることもできる。
本発明によれば、機構上の複雑化、大形化を避け、比較
的簡単な構成により、逆流冷却が効果的に行なわれる多
段ルーツ型真空ポンプが得られる。
的簡単な構成により、逆流冷却が効果的に行なわれる多
段ルーツ型真空ポンプが得られる。
第１図は従来の３段ルーツ型真空ポンプの機器の配列を
示す図、第２図は本発明の一実施例としての３段ルーツ
型真空ポンプの概要を示す図、第３図は第２図の３段ル
ーツ型真空ポンプの構成を示す断面図、第４図は第３図
のｆＶ−ＩＶ断面図、第５図、第６図、および第７図は
それぞれ他の実施例を示す図である。 （符号の説明） ■・・・第１ポンプ区分 １１・・・ケーシング１
２・・・ロー１’１３・・・吸込口 １４・・・吐出口 １６１、１６２・・・逆流冷却用気体の流入口２・・・
第１・第２ポンプ区分間隔壁 ３・・・第１・第２−ンプ区分間管路 ３１、３２．３３・・・連結管路 ３４．３５・・・
逆流管路３６・・・冷却器 ４・・・第２
ポンプ区分４１・・・ケーシング ４２・・・ロ
ータ４３・・・吸込口 ４４・・・吐出口４
６１、４６２・・・逆流冷却用気体の流入口５・・・第
２・第３ポンプ区分間隔壁 ６・・・第２・第３ポンプ区分間管路 ６１、６２．６３・・・連結管路 ６４．６５・・・
逆流管路６６・・・冷却器 ７・・・第
３ポンプ区分７１・・・ケーシング ７２・・
・ロータ７３・・・吸込口 ７４・・・吐
出ロアロ１、７６２・・・逆流冷却用気体の流入口８・
・・第３ポンプ区分吐出管路 ８１．８２・・・吐出管路 ８３．８４・・・逆
流管路８５・・・冷却器 ９１・・・第１
シヤフト９２・・・第２シヤフト ９３・・・タイミングギアセット ９４・・・軸受機構 ９５・・・軸封機構Ｐ
・・・ポンプ装置 Ｇ（１３）・・・第１ポンプ区分の吸込気体Ｇ（１４）
・・・第１ポンプ区分の吐出気体Ｇ（４３）・・・第２
ポンプ区分の吸込気体Ｇ （４４）・・・第２ポンプ区
分の吐出気体Ｇ （７３）・・・第３ポンプ区分の吸込
気体Ｇ （７４）・・・第３ポンプ区分の吐出気体Ｒ・
・・逆流冷却用気体 Ｐｌ・・・初段ルーツ型真空ポンプ Ｐ２・・・第２段ルーツ耐真空ポンプ Ｐ３・・・第３段ルーツ型真空ポンプ Ｃ１・・・冷却器 Ｃ２・・・冷却器特許出願人 株式会社宇野澤組鐵工所 特許出願代理人 弁理士 肯 木 朗 弁用１士西舘和之 弁理士 松 下 操 弁理士 山 口 昭 之 第４図 １ 第５図
示す図、第２図は本発明の一実施例としての３段ルーツ
型真空ポンプの概要を示す図、第３図は第２図の３段ル
ーツ型真空ポンプの構成を示す断面図、第４図は第３図
のｆＶ−ＩＶ断面図、第５図、第６図、および第７図は
それぞれ他の実施例を示す図である。 （符号の説明） ■・・・第１ポンプ区分 １１・・・ケーシング１
２・・・ロー１’１３・・・吸込口 １４・・・吐出口 １６１、１６２・・・逆流冷却用気体の流入口２・・・
第１・第２ポンプ区分間隔壁 ３・・・第１・第２−ンプ区分間管路 ３１、３２．３３・・・連結管路 ３４．３５・・・
逆流管路３６・・・冷却器 ４・・・第２
ポンプ区分４１・・・ケーシング ４２・・・ロ
ータ４３・・・吸込口 ４４・・・吐出口４
６１、４６２・・・逆流冷却用気体の流入口５・・・第
２・第３ポンプ区分間隔壁 ６・・・第２・第３ポンプ区分間管路 ６１、６２．６３・・・連結管路 ６４．６５・・・
逆流管路６６・・・冷却器 ７・・・第
３ポンプ区分７１・・・ケーシング ７２・・
・ロータ７３・・・吸込口 ７４・・・吐
出ロアロ１、７６２・・・逆流冷却用気体の流入口８・
・・第３ポンプ区分吐出管路 ８１．８２・・・吐出管路 ８３．８４・・・逆
流管路８５・・・冷却器 ９１・・・第１
シヤフト９２・・・第２シヤフト ９３・・・タイミングギアセット ９４・・・軸受機構 ９５・・・軸封機構Ｐ
・・・ポンプ装置 Ｇ（１３）・・・第１ポンプ区分の吸込気体Ｇ（１４）
・・・第１ポンプ区分の吐出気体Ｇ（４３）・・・第２
ポンプ区分の吸込気体Ｇ （４４）・・・第２ポンプ区
分の吐出気体Ｇ （７３）・・・第３ポンプ区分の吸込
気体Ｇ （７４）・・・第３ポンプ区分の吐出気体Ｒ・
・・逆流冷却用気体 Ｐｌ・・・初段ルーツ型真空ポンプ Ｐ２・・・第２段ルーツ耐真空ポンプ Ｐ３・・・第３段ルーツ型真空ポンプ Ｃ１・・・冷却器 Ｃ２・・・冷却器特許出願人 株式会社宇野澤組鐵工所 特許出願代理人 弁理士 肯 木 朗 弁用１士西舘和之 弁理士 松 下 操 弁理士 山 口 昭 之 第４図 １ 第５図
Claims (1)
- ルーツ型真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され
、各ポンプ区分に共通の２個の軸が設けられ、これら軸
に支承されるロータが設けられ、各ポンプ区分には吸込
口、吐出口、および逆流冷却用気体の流入口が設けられ
、各ポンプ区分の吐出口と次段のポンプ区分の吸込口を
連結する連結管路が設けられ、該連結管路には冷却器が
設けられ、該連結管路からは各ポンプ区分へ逆流気体を
導く逆流管路が分岐させられる、ことを特徴とする逆流
冷却式多段ルーツ型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22485882A JPS59115489A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22485882A JPS59115489A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59115489A true JPS59115489A (ja) | 1984-07-03 |
Family
ID=16820267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22485882A Pending JPS59115489A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59115489A (ja) |
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1982
- 1982-12-23 JP JP22485882A patent/JPS59115489A/ja active Pending
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