JPS61197793A - 多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法 - Google Patents
多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法Info
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- JPS61197793A JPS61197793A JP3526585A JP3526585A JPS61197793A JP S61197793 A JPS61197793 A JP S61197793A JP 3526585 A JP3526585 A JP 3526585A JP 3526585 A JP3526585 A JP 3526585A JP S61197793 A JPS61197793 A JP S61197793A
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- Japan
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- stage
- pump section
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- cooling
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
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- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04C29/042—Heating; Cooling; Heat insulation by injecting a fluid
-
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数段のポンプ区分により構成される多段ル
ーツ型真空ポンプの逆流冷却方法に関するものである。
ーツ型真空ポンプの逆流冷却方法に関するものである。
多段ルーツ型真空ポンプは、吸込気体を順次多段に圧縮
させるために、吐出ガスが次第に高温になり、遂には機
械としての使用限界を越えるまで高まるため、各段のポ
ンプ区分の吐出ガスを冷却し、この冷却された吐出ガス
を次段のポンプ区分に導く一方、その一部を当該ポンプ
区分に逆流させて冷却することが行われている。
させるために、吐出ガスが次第に高温になり、遂には機
械としての使用限界を越えるまで高まるため、各段のポ
ンプ区分の吐出ガスを冷却し、この冷却された吐出ガス
を次段のポンプ区分に導く一方、その一部を当該ポンプ
区分に逆流させて冷却することが行われている。
例えば、特開昭５９−１１５４８９号公報に示される逆
流冷却式多段ルーツ型真空ポンプにおいては、各段のポ
ンプ区分から吐出され冷却された気体を当該ポンプ区分
に逆流させるものである。
流冷却式多段ルーツ型真空ポンプにおいては、各段のポ
ンプ区分から吐出され冷却された気体を当該ポンプ区分
に逆流させるものである。
しかし１ながら、上記特開昭５９−１１５４８９号公報
における冷却気体を逆流させる場合の圧力差は、当該ポ
ンプ区分の吐出部と吸込部間の圧力差であって、比較的
小さい。すなわち、特開昭５９−１１５４８９号公報第
３頁右上欄第１６〜１９行に明記されているように、第
１段のポンプ区分では７．６−０．７６＝６．８４Ｔｏ
ｒｒ、第２段のポンプ区分では７６−７．６＝６８．４
Ｔｏｒｒ、第３段のポンプ区分では７６０−７６＝６８
４Ｔｏｒｒであり、特に第１段と第２段のポンプ区分で
は吐出圧と吸込圧の圧力差が小さい。したがって、第１
段と第２段のポンプ区分では、十分な冷却気体流量を確
保することが困難であった。
における冷却気体を逆流させる場合の圧力差は、当該ポ
ンプ区分の吐出部と吸込部間の圧力差であって、比較的
小さい。すなわち、特開昭５９−１１５４８９号公報第
３頁右上欄第１６〜１９行に明記されているように、第
１段のポンプ区分では７．６−０．７６＝６．８４Ｔｏ
ｒｒ、第２段のポンプ区分では７６−７．６＝６８．４
Ｔｏｒｒ、第３段のポンプ区分では７６０−７６＝６８
４Ｔｏｒｒであり、特に第１段と第２段のポンプ区分で
は吐出圧と吸込圧の圧力差が小さい。したがって、第１
段と第２段のポンプ区分では、十分な冷却気体流量を確
保することが困難であった。
本発明は、このような問題点を解決し、後段のポンプ区
分からの比較的高い圧力差が得られる冷却気体を用いる
ことにより、各段のポンプ区分に十分必要な冷却気体流
量を確保し、各段のポンプ区分の冷却を効果的たらしめ
ようとするものであ〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、複数段のポンプ区分により構成される多段ル
ーツ型真空ポンプにおいて、特定の段のポンプ区分から
吐出された気体の一部を冷却し、この冷却された気体を
該特定の段のポンプ区分より前段側の少なくとも二つの
ポンプ区分に逆流せしめることを特徴とする多段ルーツ
型真空ポンプにおける冷却方法である。
分からの比較的高い圧力差が得られる冷却気体を用いる
ことにより、各段のポンプ区分に十分必要な冷却気体流
量を確保し、各段のポンプ区分の冷却を効果的たらしめ
ようとするものであ〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、複数段のポンプ区分により構成される多段ル
ーツ型真空ポンプにおいて、特定の段のポンプ区分から
吐出された気体の一部を冷却し、この冷却された気体を
該特定の段のポンプ区分より前段側の少なくとも二つの
ポンプ区分に逆流せしめることを特徴とする多段ルーツ
型真空ポンプにおける冷却方法である。
次に本発明の実施例として３段のルーツ型真空ポンプに
ついて、図面を参照しながら説明すれば次の通りである
。
ついて、図面を参照しながら説明すれば次の通りである
。
第１図示例において、ルーツ型真空ポンプは第１段ポン
プ区分１、第２段ポンプ区分２、第３段ポンプ区分３に
区切られており、軸４が各段ポンプ区分を貫通して軸受
５，５で支承されている。
プ区分１、第２段ポンプ区分２、第３段ポンプ区分３に
区切られており、軸４が各段ポンプ区分を貫通して軸受
５，５で支承されている。
そして、第１段ポンプ区分ｌに吸込管６から吸込まれた
気体は、ここで第１段の圧縮がなされ、吐出管７から冷
却器８を経て第２段ポンプ区分２に入り、さらに第２段
の圧縮を受けたのち、吐出管９から冷却器１０を経て第
３段ポンプ区分３に入り、さらに圧縮されて吐出管１１
から吐出される。
気体は、ここで第１段の圧縮がなされ、吐出管７から冷
却器８を経て第２段ポンプ区分２に入り、さらに第２段
の圧縮を受けたのち、吐出管９から冷却器１０を経て第
３段ポンプ区分３に入り、さらに圧縮されて吐出管１１
から吐出される。
このような構成において、第２段ポンプ区分２から吐出
される気体は冷却器１０を経て第３段ポンプ区分３に入
るが、その冷却された気体の一部を逆流管路１２から前
段の第１段ポンプ区分１に流入させ、該ポンプ区分の冷
却を行う。この図示例においては、第１段ポンプ区分１
の冷却気体として冷却器１０にて冷却された第２段ポン
プ区分２の吐出ガスを分岐しているが、この吐出ガスを
冷却器１０の手前で分岐し、分岐された一部を別個に冷
却して冷却気体として使用することもできる。さらに第
３段ポンプ区分３から吐出された吐出ガスの一部を冷却
器１３に導いて冷却したのち、逆流管路１２ から前段
の第２段ポンプ区分２に流入させて冷却を行う。
される気体は冷却器１０を経て第３段ポンプ区分３に入
るが、その冷却された気体の一部を逆流管路１２から前
段の第１段ポンプ区分１に流入させ、該ポンプ区分の冷
却を行う。この図示例においては、第１段ポンプ区分１
の冷却気体として冷却器１０にて冷却された第２段ポン
プ区分２の吐出ガスを分岐しているが、この吐出ガスを
冷却器１０の手前で分岐し、分岐された一部を別個に冷
却して冷却気体として使用することもできる。さらに第
３段ポンプ区分３から吐出された吐出ガスの一部を冷却
器１３に導いて冷却したのち、逆流管路１２ から前段
の第２段ポンプ区分２に流入させて冷却を行う。
この第２段ポンプ区分２から吐出された冷却気体及び第
３段ポンプ区分３から吐出された冷却気て比較的大きな
圧力差をもっており、第１段ポンプ区分ｌ及び第２段ポ
ンプ区分２にそれぞれ十分必要な量の冷却気体を供給す
ることができる。各段のポンプ区分の必要にして十分な
る冷却気体の供給量調整は、最終段たる第３段ポンプ区
分３又は他のポンプ区分の吐出ガス温度あるいは各ケー
シング温度などが所定の制限温度以下となるように調節
するのがよく、冷却気体が各ポンプ区分に対して比較的
大きな圧力差をもっているため、絞り弁、オリフィスな
どの絞り機構を設けるのみで可能となる。また、冷却気
体の供給量を必要最少量に調節することによって８、所
要軸動力の低減をはかることができ、設備費の面でも経
済的になる。
３段ポンプ区分３から吐出された冷却気て比較的大きな
圧力差をもっており、第１段ポンプ区分ｌ及び第２段ポ
ンプ区分２にそれぞれ十分必要な量の冷却気体を供給す
ることができる。各段のポンプ区分の必要にして十分な
る冷却気体の供給量調整は、最終段たる第３段ポンプ区
分３又は他のポンプ区分の吐出ガス温度あるいは各ケー
シング温度などが所定の制限温度以下となるように調節
するのがよく、冷却気体が各ポンプ区分に対して比較的
大きな圧力差をもっているため、絞り弁、オリフィスな
どの絞り機構を設けるのみで可能となる。また、冷却気
体の供給量を必要最少量に調節することによって８、所
要軸動力の低減をはかることができ、設備費の面でも経
済的になる。
次に、第２図示例は、第１段ポンプ区分Ｉの吐出ガスを
冷却せず、第２段ポンプ区分２の吐出ガスの一部のみを
冷却して冷却気体とし、これをオリフィス１４を付設し
た逆流管路１２から流入させ、吐出ガスの他部を冷却せ
ずに第３段ポンプ区分３に流入させ、第３段ポンプ区分
３の吐出ガス＾−聞ト尤１八虹！！！！１ つ哨吟へ和
−Ｊ−＾す１騎Ｓ１七位鞠１すからオリフィス１４を経
て第２段ポンプ区分２へ流入させ、同時に逆流管路１２
から冷却気体の一部を分岐してオリフィス１４を経て第
３段ポンプ区分３へ流入させたものである。この場合、
冷却気体をオリフィス１４によって必要最少量に調節す
ることによって、所要軸動力の低減をはかることができ
るだけでなく、その流量に適した冷却器容量にすること
ができ、設備費の面でさらに経済的になる。
冷却せず、第２段ポンプ区分２の吐出ガスの一部のみを
冷却して冷却気体とし、これをオリフィス１４を付設し
た逆流管路１２から流入させ、吐出ガスの他部を冷却せ
ずに第３段ポンプ区分３に流入させ、第３段ポンプ区分
３の吐出ガス＾−聞ト尤１八虹！！！！１ つ哨吟へ和
−Ｊ−＾す１騎Ｓ１七位鞠１すからオリフィス１４を経
て第２段ポンプ区分２へ流入させ、同時に逆流管路１２
から冷却気体の一部を分岐してオリフィス１４を経て第
３段ポンプ区分３へ流入させたものである。この場合、
冷却気体をオリフィス１４によって必要最少量に調節す
ることによって、所要軸動力の低減をはかることができ
るだけでなく、その流量に適した冷却器容量にすること
ができ、設備費の面でさらに経済的になる。
なお、前記実施例においては、第２段ポンプ区分２から
の冷却気体を第１段ポンプ区分ｌへ、第３段ポンプ区分
３からの冷却気体を第２段ポンプ区分２へと、冷却気体
を直前の段のポンプ区分に供給しているが、冷却気体を
得た段のポンプ区分より前段側のポンプ区分へならばど
こでもよく、その単独又は複数段のポンプ区分へ同時に
供給することもできる。
の冷却気体を第１段ポンプ区分ｌへ、第３段ポンプ区分
３からの冷却気体を第２段ポンプ区分２へと、冷却気体
を直前の段のポンプ区分に供給しているが、冷却気体を
得た段のポンプ区分より前段側のポンプ区分へならばど
こでもよく、その単独又は複数段のポンプ区分へ同時に
供給することもできる。
また、最終段たる第３段ポンプ区分３では、前述したよ
うに、このポンプ区分では一般に比較的大きな圧力差が
得られやすいので、このポンプ区に他のシリース接続の
真空ポンプがあるときは、そのポンプの冷却気体を用い
ることもできる。
うに、このポンプ区分では一般に比較的大きな圧力差が
得られやすいので、このポンプ区に他のシリース接続の
真空ポンプがあるときは、そのポンプの冷却気体を用い
ることもできる。
さらに、前述したように、多段ルーツ型真空ポンプに於
いては、ポンプ区分が後段になるにつれて吐出ガスの圧
力差は大きくなるところから、最終段のポンプ区分の吐
出ガスを冷却気体として用いることが有利である。
いては、ポンプ区分が後段になるにつれて吐出ガスの圧
力差は大きくなるところから、最終段のポンプ区分の吐
出ガスを冷却気体として用いることが有利である。
例えば、第３図示例のように、第１段ポンプ区分１に吸
込管６から吸込まれた気体は、ここで、第１段の圧縮が
なされ、吐出管７から冷却器８を経て２段ポンプ区分２
に入り、さらに第２段の圧縮を受けたのち、吐出管９か
ら冷却器１０を経て最終段の第３段ポンプ区分３に入り
、さらに圧縮されて吐出管１１から吐出される。
込管６から吸込まれた気体は、ここで、第１段の圧縮が
なされ、吐出管７から冷却器８を経て２段ポンプ区分２
に入り、さらに第２段の圧縮を受けたのち、吐出管９か
ら冷却器１０を経て最終段の第３段ポンプ区分３に入り
、さらに圧縮されて吐出管１１から吐出される。
そして、第３段ポンプ区分３から吐出されたガスの一部
を冷却器１３に導いて冷却したのち、逆流管路１２から
第２段ポンプ区分２及び第３段ポンプ区分３に冷却気体
として流入させる。この第３段ポンプ区分３から吐出さ
れた冷却気体は、各段ポンプ区分に対し比較的大きな圧
力差をもっており、各段ポンプ区分に十分必要な量の冷
却気体を供給することができる。この場合の必要にして
十分な冷却気体の供給量調整は、それが大きな圧力差を
有するため、単に絞り弁１５などの絞り機構を設けるの
みで可能となる。
を冷却器１３に導いて冷却したのち、逆流管路１２から
第２段ポンプ区分２及び第３段ポンプ区分３に冷却気体
として流入させる。この第３段ポンプ区分３から吐出さ
れた冷却気体は、各段ポンプ区分に対し比較的大きな圧
力差をもっており、各段ポンプ区分に十分必要な量の冷
却気体を供給することができる。この場合の必要にして
十分な冷却気体の供給量調整は、それが大きな圧力差を
有するため、単に絞り弁１５などの絞り機構を設けるの
みで可能となる。
さらに、冷却気体の供給量調整は、第３段ポンプ区分３
の吐出温度、例えば第４図示例のように第３段ポンプ区
分３の吐出管ｌｌ内の吐出ガス温度を測温体１６によっ
て測定し、温度が高いときには冷却気体の逆流量を増し
、温度が低いときには冷却気体の逆流量を減らすように
、測温体１６を逆流管路１２に設けた調節弁１７に関連
させ、必要最少量の冷却気体を各ポンプ区分に供給する
ように調節できるようにすれは、所定軸動力すなわち運
転費の低減をはかることができる。この場合、第３段ポ
ンプ区分３の吐出ガス温度を測定するに代え、同ポンプ
区分のケーシング温度などを測定することによっても可
能である。
の吐出温度、例えば第４図示例のように第３段ポンプ区
分３の吐出管ｌｌ内の吐出ガス温度を測温体１６によっ
て測定し、温度が高いときには冷却気体の逆流量を増し
、温度が低いときには冷却気体の逆流量を減らすように
、測温体１６を逆流管路１２に設けた調節弁１７に関連
させ、必要最少量の冷却気体を各ポンプ区分に供給する
ように調節できるようにすれは、所定軸動力すなわち運
転費の低減をはかることができる。この場合、第３段ポ
ンプ区分３の吐出ガス温度を測定するに代え、同ポンプ
区分のケーシング温度などを測定することによっても可
能である。
オリフィス１４とし、さらに減圧クンシタンタンク１８
を付設するなど、減圧機構を逆流管路１２中に設けて冷
却気体を減圧し、所要軸動力の低減をはかることもでき
る。
を付設するなど、減圧機構を逆流管路１２中に設けて冷
却気体を減圧し、所要軸動力の低減をはかることもでき
る。
なお、第１段ポンプ区分ｌは、高真空の場合でも比較的
に小さな差圧であり、その圧縮仕事量も少ないので、機
器コスト低減のためには冷却気体の逆流管路を設けず、
経済的な装置とすることができる。
に小さな差圧であり、その圧縮仕事量も少ないので、機
器コスト低減のためには冷却気体の逆流管路を設けず、
経済的な装置とすることができる。
以上述べたように本発明によれば、多段ルーツ型真空ポ
ンプにおいて、後段ポンプ区分からの比較的大きな圧力
差が得られる吐出ガスを冷却気体としてその前段のポン
プ区分に逆流させることにより、各段ポンプ区分の十分
なる冷却気体供給量を確保し得て効果的な冷却を行うこ
とができ、冷却気体が大なる圧力差を有するために必要
かつ十分なる冷却気体の供給量調整も筒車な絞り機構に
よって十分に可能になるなど、極めて有益な効果志台す
スｉ、 ／Ｔｌ−７＋本ス
ンプにおいて、後段ポンプ区分からの比較的大きな圧力
差が得られる吐出ガスを冷却気体としてその前段のポン
プ区分に逆流させることにより、各段ポンプ区分の十分
なる冷却気体供給量を確保し得て効果的な冷却を行うこ
とができ、冷却気体が大なる圧力差を有するために必要
かつ十分なる冷却気体の供給量調整も筒車な絞り機構に
よって十分に可能になるなど、極めて有益な効果志台す
スｉ、 ／Ｔｌ−７＋本ス
第１図〜第５図は、それぞれ本発明の実施例を示す構成
説明図である。 １−第１段ポンプ区分、２−第２段ポンプ区分、３−第
３段ポンプ区分、４−軸、５−・−軸受、６−吸込管、
７． ９． Ｌ Ｌ−・吐出管、８，１０．１３−冷
却器、１２−逆流管路、１４・・・オリフィス、１５・
−絞り弁、１６−測温体、１７−・・調節弁、１８−ク
ッションタンク。
説明図である。 １−第１段ポンプ区分、２−第２段ポンプ区分、３−第
３段ポンプ区分、４−軸、５−・−軸受、６−吸込管、
７． ９． Ｌ Ｌ−・吐出管、８，１０．１３−冷
却器、１２−逆流管路、１４・・・オリフィス、１５・
−絞り弁、１６−測温体、１７−・・調節弁、１８−ク
ッションタンク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数段のポンプ区分により構成される多段ルーツ型
真空ポンプにおいて、特定の段のポンプ区分から吐出さ
れた気体の一部を冷却し、この冷却された気体を該特定
の段のポンプ区分より前段側の少なくとも一つのポンプ
区分に逆流せしめることを特徴とする多段ルーツ型真空
ポンプにおける冷却方法。 ２、前記逆流気体の流量を最終段又は各ポンプ区分の吐
出温度によって調節するものである特許請求の範囲第１
項記載の多段ルーツ型真空ポンプにおける冷却方法。 ３、前記特定の段のポンプ区分が最終段のポンプ区分で
ある特許請求の範囲第１項又は第２項記載の多段ルーツ
型真空ポンプにおける冷却方法。 ４、前記最終段からの逆流気体を減圧してから逆流せし
めるものである特許請求の範囲第３項記載の多段ルーツ
型真空ポンプにおける冷却方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3526585A JPS61197793A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3526585A JPS61197793A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197793A true JPS61197793A (ja) | 1986-09-02 |
| JPH0219318B2 JPH0219318B2 (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=12436969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3526585A Granted JPS61197793A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197793A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4789314A (en) * | 1986-12-18 | 1988-12-06 | Unozawa-Gumi Iron Works, Ltd. | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type with internal flow division arrangement |
| US4943214A (en) * | 1987-09-19 | 1990-07-24 | Ebara Corporation | Two-shaft type rotary machine having a tip circle diameter to shaft diameter within a certain range |
| US5131825A (en) * | 1990-03-27 | 1992-07-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Multi-stage vacuum pump with reaction chamber between stages |
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
| WO1994008141A1 (de) * | 1992-10-02 | 1994-04-14 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren zum betrieb einer klauenvakuumpumpe und für die durchführung dieses betriebsverfahrens geeignete klauenvakuumpumpe |
| CN115388005A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-25 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种降低压力脉动的多级罗茨真空泵及其工作方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59115489A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-03 | Unozawagumi Tekkosho:Kk | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
-
1985
- 1985-02-26 JP JP3526585A patent/JPS61197793A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59115489A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-03 | Unozawagumi Tekkosho:Kk | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4789314A (en) * | 1986-12-18 | 1988-12-06 | Unozawa-Gumi Iron Works, Ltd. | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type with internal flow division arrangement |
| US4943214A (en) * | 1987-09-19 | 1990-07-24 | Ebara Corporation | Two-shaft type rotary machine having a tip circle diameter to shaft diameter within a certain range |
| US5131825A (en) * | 1990-03-27 | 1992-07-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Multi-stage vacuum pump with reaction chamber between stages |
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
| WO1994008141A1 (de) * | 1992-10-02 | 1994-04-14 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren zum betrieb einer klauenvakuumpumpe und für die durchführung dieses betriebsverfahrens geeignete klauenvakuumpumpe |
| CN115388005A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-25 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种降低压力脉动的多级罗茨真空泵及其工作方法 |
| CN115388005B (zh) * | 2022-08-16 | 2023-10-13 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种降低压力脉动的多级罗茨真空泵的工作方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0219318B2 (ja) | 1990-05-01 |
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