JPH04132895A - 多段真空ポンプ - Google Patents

多段真空ポンプ

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JPH04132895A
JPH04132895A JP2252988A JP25298890A JPH04132895A JP H04132895 A JPH04132895 A JP H04132895A JP 2252988 A JP2252988 A JP 2252988A JP 25298890 A JP25298890 A JP 25298890A JP H04132895 A JPH04132895 A JP H04132895A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数組の複葉型真空ポンプを、ロータの軸及び
ケーシングを共通として並べて組合わせ多段真空ポンプ
に関するものである。
〔従来技術〕
一般に高真空を得る為に、単段真空ポンプを直列に配設
することが行なわれる。特に近年においては真空ポンプ
の小型化を図るため、複数のロータを一本の軸に設けた
構造の多段真空ポンプの需要が増えている。その用途も
種々多様となり、昇華性気体を扱うケースもある。昇華
性気体は圧力・温度の状態の変化により、第６図に示す
ように、気体から固体或いは固体から気体に性状が変化
する性質を有している。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記のように多段真空ポンプで昇華性気体を扱った場合
、多段真空ポンプ内で、吸込口から順次圧縮され、吐出
口に到るまでにポンプ内部で固形分が生成し、ポンプの
寿命を著しく損なうという問題がある。特にロータ部（
圧縮部）の微小な間隙部に固形分が付着する場合は、ポ
ンプは瞬間に停止してしまい、その都度ポンプ本体の分
解、清掃、組立を必要とし、その手間は具入なものとな
るという問題もある。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、上記問題点
を除去し、長寿命で且つ安定した運転が得られる多段真
空ポンプを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するため本発明は、複数組の複葉型真空
ポンプを、ロータの軸及びケーシングを共通として並べ
て組合わせ、隣接するポンプを連通路を介して直列に接
続した多段真空ポンプにおいて、連通路に冷却機能を有
し且つポンプケーシングより取外し可能な固体捕集装置
を設けたことを特徴とする。
また、固体捕集装置の下流側の連通路をポンプケーシン
グの内部に形成すると共に、前段のポンプ作動室の吐出
部に隣接しており、流体がその連絡通路を通って後段の
ポンプ作動室に流入する構造であることを特徴とする。
〔作用〕
上記のように連通路に冷却機能を有し且つポンプケーシ
ングより取外し可能な固体捕集装置を設けたことにより
、ポンプ内部で生成きれた固形成分が該固体捕集装置で
捕集きれるから、次段のポンプ内部に該固形成分が流入
することがない。また、固体捕集装置はポンプケーシン
グより取外し可能であるため、ポンプ本体を分解するこ
となく固体捕集装置のみを取り外し洗浄することが可能
である。
また、固体捕集装置の下流側の連通路を前段のポンプ作
動室の吐出部に隣接したポンプケーシングの内部に形成
しているので、該固体捕集装置から出た流体がこの連通
路を通ることにより、前段のポンプ作動室の吐出部から
の圧縮熱を受け、流体自体が昇温され、完全に気化し固
形物が無い状態で次段のポンプ作動室に流入することに
なる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第３乃至第５図は本発明の多段真空ポンプの構造を示す
図で、第３図は縦断面図（但し、回転軸、ロータ関係は
二点鎖線で示しである）、第４図及び第５図はそれぞれ
第３図のＩ−Ｉ線上及びＩ−ＩＩ線上断面図である。２
５はケーシングであり、隔壁１１．１４により三の動作
室、即ち、第１ポンプ室１２、第２ポンプ室１３、第３
ポンプ室１５が形成きれ、全体が上下で二割り構造にな
っている。
ケーシング２５内には２本に平行に配置きれた回転軸１
６．１７が軸受１８により回転可能に支えられ、該回転
軸１６．１７には、第１ポンプ室１２、第２ポンプ室１
３及び第３ポンプ室１５内に収容される一対の互いに噛
み合っている複葉型のロータ２６，３１，３６が固定さ
れている。
軸封装置２０を貫通した一方の回転軸１６の軸端には図
示しない駆動手段が連結されており、該駆動手段により
回転軸１６を回転させることにより、タイミングギヤ１
９を介して回転軸１７は回転軸１６に対して逆回転し、
複葉型のロータ２６．３１．３６を回転させるようにな
っている。
また、第１ポンプ室１２、第２ポンプ室１３及び第３ポ
ンプ室１５にはそれぞれ吸込口２１，２７．３２及び吐
出口２２．２８．３３が形成されている。
第１ポンプ室１２と第２ポンプ室１３との間、及び第２
ポンプ室１３と第３ポンプ室１５との間にはケーシング
２５の内部に連通路３８．４１が設けられ前記吸込口２
７．３２と連通している。
３９．４２．４５はそれぞれ冷却コイル５４゜５５．５
６を有する固体捕集装置であり、該固体捕集装置３９　
、　’４２　、４５はそれぞれ接続路３７．４０．４３
により前記吐出口２２．２８．３３に接続し、また接続
路５７．５８により連通路３８．４１に接続されている
。
上記構造の多段真空ポンプにおいて、吸込口５９により
吸い込まれたガスは第１ポンプ室１２内により固体捕集
装置３９に移送され、該固体捕集装置３９の冷却コイル
５４により冷却された後連通路３８及び吸込口２７を通
って第２ポンプ室１３に供給される。
第２ポンプ室１３に供給されたガスはロータ３１により
固体捕集装置４２に移送され、冷却コイル５５により冷
却され後連通路４１及び吸込口３２を通って第３ポンプ
室１５に供給される。
第３ポンプ室１５に供給されたガスはロータ３６により
固体捕集装置４２に移送され、冷却コイル５６により冷
却され後吐出口４４を通って排出きれる。
ロータ２６，３１，３６により圧縮されたガスは、固体
捕集装置３９，４２．４５のそれぞれの冷却コイル５４
．５５．５６に固形成分のみが強制的に生成付着される
。更に固体捕集装置３９゜４２から出た流体をケーシン
グ２５内に形成された連通路３８．４１を通すことによ
り、隣接する吐出口２２．２８からの圧縮熱を受け、流
体自体が昇温され、完全に気化した状態で次の吸込口２
７．３２に流入することになる。このためガスは固形分
の無い状態で、第２ポンプ室１３．第３ポンプ室１５に
流入するので、多段真空ポンプの安定した運転が得られ
、ポンプの長寿命化につながる。
第１図及び第２図は固体捕集装置３９の構造例を示す図
である。６０は前記接続路３７及び接続路５７が設けら
れ筐体であり、該筐体６０内に冷却コイル５４が収納さ
れている。冷却コイル５４はコイル取付部材６１に取り
付けられ、内部に冷却用の冷媒が流れるようになってい
る。コイル取付部材６１は冷却コイル５４を筐体６０内
に挿入した後、筐体６０の端部に取り付けたフランジ６
２にボルト等で固定できるようになっている。第２図は
コイル取付部材６１をフランジ６２から取り外し、冷却
コイル５４を筐体６０から出した状態を示す図である。
上記のように固体捕集装置３９の冷却コイル５４のみを
取り外すことができるようにすることにより、冷却コイ
ル５４に付着した固形分を多段真空ポンプのポンプ本体
を分解することなく、抽出し洗浄することができ、固体
捕集装置３９のメンテナンスが容易となる。
なお、固体捕集装置４２及び固体捕集装置４５の構造も
上記固体捕集装置３９の構造と略凹−であるのでその図
示及び説明は省略する。
なお、第１図及び第２図は固体捕集装置の一例であり、
固体捕集装置はこれに限定されるものではなく、要は連
通路に配置され冷却機能を有し且つポンプケーシングよ
り取外し可能な構造であれば、どのような構造であって
もよいことは当然である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、下記のような優れ
た効果が得られる。
（１）連通路に冷却機能を有し且つポンプケーシングよ
り取外し可能な固体捕集装置を設けたことにより、ポン
プ内部で生成された固形成分が該固体捕集装置で捕集さ
れるから、次段のポンプ内部に該固形成分が流入するこ
とがないと、ロータ部（圧縮部）の微小な間隙部に固形
分が付着することがなく、ポンプの安定した運転ができ
ると共にその寿命が長くなる。
（２）また、固体捕集装置はポンプケーシングより取外
し可能であるため、ポンプ本体を分解することなく固体
捕集装置のみを取り外し洗浄することが可能である。
（３）また、固体捕集装置の下流側の連通路を前段のポ
ンプ作動室の吐出部に隣接したポンプケーシングの内部
に形成しているので、該固体捕集装置から出た流体がこ
の連通路を通ることにより、前段のポンプ作動室の吐出
部からの圧縮熱を受け、流体自体が昇温され、完全に気
化し固形物が無い状態で次段のポンプ作動室に流入する
ことになるから、ポンプの安定した運転ができると共に
その寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は固体捕集装置の構造例を示す図で、
第１図は筐体に冷却コイルを挿入した状態を示す図、第
２図は筐体から冷却コイルを取り出した状態を示す図、
第３乃至第５図は本発明の多段真空ポンプの構造を示す
図で、第３図は縦断面図、第４図及び第５図はそれぞれ
第１図の！−■線上及び■−■線上断面図、第６図は昇
華性気体の性質を示す図である。 図中、１１・・・・隔壁、１２・・・・第１ポンプ室、
１３・・・・第２ポンプ室、１４・・・・隔壁、１５・
・・・第３ポンプ室、１６・・・・回転軸、１７・・・
・回転軸、１８・・・・軸受、１９・・・・タイミング
ギヤ、２０・・・・軸封装置、２１，２７．３２・・・
・吸込口、２２．２８．３３・・・・吐出口、２５・・
・・ケーシング、２６・・・・ロータ、３１・・・・Ｉ
：Ｉ−１，３６・・・・ロータ、３７・・・・接続路、
３８・・・・連通路、３９．４２．４５・・・・固体捕
集装置、４０・・・・接続路、４１・・・・連通路、４
３・・・・接続路、４４・・・吐出５０・・・・隔壁、
５４，５５．５６・・・・冷却コイル、５７．５８・・
・・接続路、５９・・・吸込口、６０・・・・筐体、６
１・・・・コイル取付部材、６２・・・・フランジ。 特許出願人　株式会社荏原製作所 代理人　弁理士　熊　谷　隆（外１名）（３７ン 第１ 第２ 第５図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）複数組の複葉型真空ポンプを、ロータの軸及びケ
    ーシングを共通として並べて組合わせ、隣接するポンプ
    を連通路を介して直列に接続した多段真空ポンプにおい
    て、 前記連通路に冷却機能を有し且つポンプケーシングより
    取外し可能な固体捕集装置を設けたことを特徴とする多
    段真空ポンプ。
  2. （２）前記固体捕集装置の下流側の連通路を前記ポンプ
    ケーシングの内部に形成すると共に、前段のポンプ作動
    室の吐出部に隣接しており、流体がその連絡通路を通っ
    て後段のポンプ作動室に流入する構造であることを特徴
    とする多段真空ポンプ。
JP2252988A 1990-09-21 1990-09-21 多段真空ポンプ Expired - Lifetime JP2537696B2 (ja)

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