JP5040040B2

JP5040040B2 - 真空ポンプ

Info

Publication number: JP5040040B2
Application number: JP2009531922A
Authority: JP
Inventors: スティーブンダウズウェル; ナイジェルポールスコフィールド; ピーターヒューバーチ
Original assignee: エドワーズリミテッド
Priority date: 2006-10-11
Filing date: 2007-10-01
Publication date: 2012-10-03
Anticipated expiration: 2027-10-01
Also published as: TWI394894B; EP2074329A2; EP2071191A3; ATE507370T1; EP2074329B1; DE602007014238D1; JP2010506096A; ATE463673T1; KR101293397B1; WO2008044064A3; US8500422B2; KR20090074030A; WO2008044064A2; DE602007005825D1; US20100119399A1; GB0620144D0; TW200825284A; EP2071191B1; EP2071191A2

Description

本発明は、真空ポンプハウジングに関し、具体的には、複数のポンピングチャンバを定める第１及び第２のハーフシェルステータ部品を備えた真空ポンプハウジングに関する。

多段式真空ポンプは、一般に、各々が複数のロータ部品を支持する１対のシャフトを備える。シャフトは、ポンプのステータを構成するハウジング内に配置される。ハウジングは、ガス入口、ガス出口、及び複数のポンピングチャンバを備え、隣接するポンピングチャンバは、一般に横方向壁の形状の仕切り部材により分離される。流体移送路が、ポンピングチャンバを互いに連結する。

個々のポンピングチャンバは、１対のルーツロータ部品を収容して、ポンプのポンピング段を構成する。ロータ部品の各対は、ロータ部品間及び各ロータ部品とポンピングチャンバの内壁との間に小さな間隙が存在するように、それぞれのポンピングチャンバ内に収容される。

複数のポンピングチャンバと、これらのポンピングチャンバ間でガスを運ぶための流体移送路とを定める２つのハーフシェルステータ部品からこのような多段式真空ポンプのハウジングを形成することは、例えば米国特許第６，５７２，３５１号、欧州特許第１，３９８，５０７号、及び米国特許出願第２００３／０１３３８１７号により公知である。米国特許第６，５７２，３５１号及び欧州特許第１，３９８，５０７号では、隣接するポンピングチャンバを分離する機能を果たす仕切り部材の内部に移送路が配置され、この結果、仕切り部材の厚さが増大し、ひいてはポンプの全長が不必要に増大する。米国特許出願第２００３／０１３３８１７号では、移送路が、ポンピングチャンバ及び仕切り部材を囲むように周方向に延びて、隣接するポンピングチャンバを互いに連結する。しかしながら、この構成は、製造中、例えば鋳造工程中に、移送路を閉塞しやすくする。

本発明の少なくとも好ましい実施形態の目的は、第１及び第２のハーフシェルステータ部品を備える真空ポンプハウジング、及びハウジングのポンピングチャンバを互いに連結するための代替構造を有する真空ポンプハウジングを提供することにある。

第１の態様では、本発明は、各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された複数のポンピングチャンバを定める第１及び第２のハーフシェルステータ部品と、ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路とを備えた真空ポンプハウジングを提供し、入口ポートは第１のステータ部品の外面上で開口し、出口ポートは第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、各移送路は、ステータ部品内においてそれぞれの出口ポートからそれぞれの入口ポートまで延びる。

ステータ部品の反対側の外面上で開口する入口及び出口ポートにより、機械加工又は鋳造などの一連の異なる技術の１つを使用してステータ部品を製造できるようになり、またこれらのポート及び移送路を容易に清掃できるようになる。

各移送路は、ハウジングの向かい合う側面に配置された第１及び第２の部分を備えることが好ましい。各移送路は、ステータ部品の外面の一方から他方まで延びてもよく、これにより移送路の製造及び清掃を容易にする。各移送路がそれぞれのポンピングチャンバの側方に存在するハウジングでは、各移送路は、ポンピングチャンバ間の空間に応じて、これら２つの外面間でほぼ直角に延びるか、或いはこれら２つの外面間でこれらの外面に対して例えば約３０°の角度で斜めに延びることができる。

各移送路は、少なくとも部分的に少なくとも１つのポンピングチャンバの側方に配置されることが好ましい。これにより、ポンピングチャンバを分離する仕切り部材を貫いて移送路が延びる先行技術のポンプと比較して、ポンプの全長を縮めることができる。例えば、各移送路は、２つの隣接するポンピングチャンバの側方へ、従ってこれらのポンピングチャンバを分離する仕切り部材の側方へ斜めに延びることができる。別の例では、各移送路をそれぞれのポンピングチャンバの側方に、好ましくはこれと同一面上に存在するようにして、入口ポート及び排出ポートを、それぞれこれらの移送路から流体を受け入れ且つこれらの移送路内へ流体を運ぶように形状作ることができる。

第２の態様では、本発明は、各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された複数のポンピングチャンバを定める第１及び第２のハーフシェルステータ部品と、ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路とを備えた真空ポンプハウジングを提供し、入口ポートは第１のステータ部品の外面上で開口し、出口ポートは第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、各移送路は、少なくとも部分的にそれぞれのポンピングチャンバの側方に配置され、入口ポート及び排出ポートは、それぞれ移送路から流体を受け取り且つ移送路内へ流体を運ぶように形状作られる。

各移送路がそれぞれのポンピングチャンバの側方に、好ましくはこれと同一面上に存在するハウジングでは、各移送路を、それぞれのポンピングチャンバの入口ポートへ流体を運ぶように配置し、出口ポートをこれらの移送路内へ流体を運ぶように形状作ることができる。出口ポートが流体を移送路内へ運べるようにするために、各出口ポートは、ポンピングされた流体を各出口ポートのそれぞれのポンピングチャンバから受け取る第１の部分と、第１の部分に対して角度を成して延びる、ポンピングされた流体をそれぞれの移送路へ運ぶための少なくとも１つの第２の部分とを備えることが好ましい。このように、移送路がポンピングチャンバの向かい合う側面に２つの部分を備える場合、出口ポートはヘリングボーン型の形状を有することができる。ポンピングチャンバのサイズの変化に対応するために、各出口ポートはそれぞれの異なる形状を有することができる。例えば、出口ポートは、出口ポートの第１の部分と第２の部分との間に異なるそれぞれの角度を有することができる。入口ポートは、実質的に同じ形状を有することができ、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置されたスロットを備えることが好ましい。

代替例として、各移送路を、これらの移送路のそれぞれのポンピングチャンバの出口ポートから流体を受け取るように配置し、この移送路から流体を受け取るように入口ポートを形状作ることもできる。各入口ポートは、流体を各入口ポートのそれぞれのポンピングチャンバに入れる第１の部分と、第１の部分に対して角度を成して延び且つ流体をそれぞれの移送路から受け取るための少なくとも１つの第２の部分とを備えることができる。この場合も、移送路がポンピングチャンバの向かい合う側面に２つの部分を備える場合、入口ポートはヘリングボーン型の形状を有することができる。ポンピングチャンバのサイズの変化に対応するために、各入口ポートはそれぞれの異なる形状を有することができる。例えば、入口ポートは、第１の部分と第２の部分との間に異なるそれぞれの角度を有することができる。出口ポートは、実質的に同じ形状を有することができ、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置されたスロットをそれぞれ備えることが好ましい。別の代替例として、入口ポート及び出口ポートの両方が実質的に同じ形状を有することができ、またこの両方が、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置されたスロットを備え、移送路は、１つのポンピングチャンバの出口ポートから別のポンピングチャンバの入口ポートへ斜めに延びることができる。

第１のステータ部品の外面に装着される第１のカバープレートにより入口ポートを閉鎖することができ、また第２のステータ部品の外面に装着される第２のカバープレートにより出口ポートを閉鎖することができる。

ステータ内の流路を通る水を使用して、多段式真空ポンプを冷却することが知られている。より小型で軽量なポンプを提供するために、これらの流路を除去し、ポンプハウジングの外面の大部分に固定された送水管を使用してポンプを冷却し、ポンプから熱を除去することが望ましい。しかしながら、この冷却技術の問題点は、ポンプの中央部が十分冷却されないという点である。

この点を考慮して、好ましい実施形態では、カバープレートの少なくとも一方が複数組の冷却フィンを備え、各組がそれぞれのポート内に突出して、ポンプ内を通過する流体と接触する。このようにカバープレートは、複数のポートを閉鎖するとともに、ポンピングチャンバ間で冷却流体が運ばれる際に、冷却流体に内部相互冷却システムを提供するという二重の役割を果たすことができる。各ポートにおける冷却を最適化するように、フィンの面積、形状、間隔、及び／又は各組のフィンの数を個別に設定することができる。

この点を考慮して、第３の態様では、本発明は、各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された複数のポンピングチャンバを定める第１及び第２のハーフシェルステータ部品と、ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路とを備えた真空ポンプハウジングを提供し、入口ポートは第１のステータ部品の外面上で開口し、出口ポートは第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、これらのポートは、上記両面に装着されたカバープレートにより閉鎖され、カバープレートの少なくとも一方は複数組の冷却フィンを備え、各組はそれぞれのポート内に突出して、ポンプ内を通過する流体と接触する。

フィンは、ポート内の流体の流れの方向にほぼ平行に延びる長さを有することが好ましい。例えば、ポンピングチャンバにほぼ平行に延びる入口又は出口ポート内へ挿入するために、冷却フィンもまた、ポンピングチャンバにほぼ平行に延びることが好ましい。これにより、ポート内の流体の流れの方向に比較的大きな表面積を提供し、この結果、流体からフィンへの熱伝達を最大にすることができる。

各組の冷却フィンをそれぞれの入口ポート又はそれぞれの出口ポート内へ突出させた状態で、冷却フィンをカバープレートの一方又は両方に設けることができる。

流体によりフィンに伝達された熱をカバープレートから除去するための手段を設けることができる。例えば、１又はそれ以上の送水管をカバープレートの外面に装着して、フィンからの熱を受け取るためのカバープレートに沿って又はカバープレートの周囲に冷媒を運ぶことができる。カバープレート内に溝を形成して送水管を受け入れることができる。

本発明の第１の態様に関連して上述した特徴は、第２及び第３の態様に対しても同様に適用可能であり、その逆もまた可能である。

次に、添付図面を参照しながら、例示のみの目的で本発明の好ましい特徴について説明する。

真空ポンプハウジングの一部の等角図である。図１のハウジングの別の等角図である。図１のハウジングの底面図である。図１のハウジングの上面図である。図４の線Ｄ−Ｄに沿った断面図である。ハウジングの入口及び出口ポートを閉鎖するためのカバープレートを示す、図１の真空ポンプハウジングの分解図である。

図１から図６までを参照すると、真空ポンプハウジング１０が、第１のハーフシェルステータ部品１２と第２のハーフシェルステータ部品１４とを備え、これらの部品は共にハウジング１０の本体を形成する。ステータ部品１２、１４は、組立孔１５内に挿入されるボルト又はその他の固定部材により組み立てられる。

ステータ部品１２、１４は、ハウジング１０内に複数のポンピングチャンバを定めるように機械加工、鋳造、又はその他の方法で成形される。この例では、ハウジング１０は、５段式真空ポンプ用のものであり、横方向壁２６、２８、３０及び３２の形態の仕切り部材により分離された５つのポンピングチャンバ１６、１８、２０、２２及び２４を備える。これらの横方向壁は、ステータ部品１２、１４と一体化したものであることが好ましい。

ハウジング１０内には、各々が真空ポンプのロータアセンブリのそれぞれの駆動シャフト（図示せず）を受け入れるための開口部３４、３６が設けられる。複数のルーツロータ部品を駆動シャフトに装着し、或いは一体化することにより、各ポンピングチャンバは、１対の補完的ロータ部品を収容してポンプのポンピング段を構成する。ステータ部品１２、１４の端面３８、４０上にヘッドプレート（図示せず）を装着して、ステータ部品１２、１４の端部を密閉する。

各ポンピングチャンバ１６、１８、２０、２２、２４は、これらのポンピングチャンバがポンピングする流体を受け入れるためのそれぞれの入口ポート４２、４４、４６、４８、５０を備える。図示のように、入口ポートは、（図における）第１のステータ部品１２の頂部の外面５２上で開口する。各ポンピングチャンバ１６、１８、２０、２２、２４は、また、それぞれの出口ポート５４、５６、５８、６０、６２を備え、ポンピングされた流体はこの出口ポートを通ってチャンバから排出される。図示のように、出口ポートは、（図における）第２のステータ部品１４の底部の外面６４上で開口する。

ステータ部品１２、１４は、ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路６６、６８、７０及び７２も定める。移送路の各々は、それぞれのポンピングチャンバの側方に、好ましくはこれと同一面上に配置され、移送路のそれぞれのポンピングチャンバの直ぐ上流に配置されたポンピングチャンバの出口ポートから流体を受け取り、流体を移送路のそれぞれのポンピングチャンバの入口ポートへ運ぶように構成される。例えば、移送路６６は、ポンピングチャンバ１８の側方に配置され、ポンピングチャンバ１６の出口ポート５４から流体を受け取り、流体をポンピングチャンバ１８の入口ポート４４へ運ぶように構成され、移送路６８は、ポンピングチャンバ２０の側方に配置され、ポンピングチャンバ１８の出口ポート５６から流体を受け取り、この流体をポンピングチャンバ２０の入口ポート４６へ運ぶように構成される、等々である。

この例では、各移送路は、ハウジングの向かい合う側、従って各移送路のそれぞれのポンピングチャンバの向かい合う側に配置された２つの部分を備える。図５に示すように、各移送路は、ステータ部品１２、１４の反対向きの外面５２、６４間で好ましくはほぼ直角に延びて、移送路の製造及び清掃を容易にする。

このようにして、ポンピングチャンバ１６、１８、２０、及び２２の出口ポート５４、５６、５８、及び６０は、ポンピングされた流体をそれぞれ移送路６６、６８、７０、及び７２内へ運ぶように形状作られる。図２及び図３に示すように、これらの出口ポートは、ヘリングボーン型の形状を有することができ、各々は、ポンピングされた流体を各出口ポートのそれぞれのポンピングチャンバから受け取るための第１の部分７４、７６、７８、及び８０と、各々が第１の部分から角度を成して延びる、ポンピングされた流体をそれぞれの移送路６６、６８、７０、及び７２へ運ぶための２つの第２の部分８２、８４、８６、８８とを備える。第２の部分は各々、第２のステータ部品１４の端面６４内に形成されたスロット又は溝の形態を成す。

ポンピングチャンバ１６、１８、２０、及び２２の入口ポート４４，４６，４８，及び５０は、それぞれの移送路６６、６８、７０、及び７２から流体を受け取り、受け取った流体をそれぞれのポンピングチャンバ内へ運ぶように形状作られる。図１及び図４を参照すると、これらの入口ポートの各々は、流体をこれらの入口ポートのそれぞれのポンピングチャンバ内へ運ぶための第１の部分９０、９２、９４、及び９６と、流体をそれぞれの移送路６６、６８、７０、７２からそれぞれの移送路の第１の部分へ導くための第２の部分９８、１００、１０２、及び１０４とを備える。この例では、これらの入口ポートの第２の部分は、第１のステータ部品１２の頂部外面５２内に形成されたスロット又は溝の形態を成しており、各スロットは、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置され、ハウジング１０の幅の大部分に沿って延びる。

流体は、ステータ部品１２、１４の端面３８内に配置されたポンプ入口ポート１１０を介してハウジング１０に入る。ステータ部品１２、１４の外面５２、６４とほぼ直交する方向に、且つポンピングチャンバ１６の反対側に延びる流体移送路１１２が流体をポンプ入口ポート１１０から受け取り、この流体をポンピングチャンバ１６の入口ポート４２へ運ぶ。入口ポート４２は、その他の入口ポートと同様に配置され、この入口ポート４２は、流体を入口ポート４２のそれぞれのポンピングチャンバ１６内へ運ぶための第１の部分１１４と、流体を移送路１１２から入口ポートの第１の部分１１４へ運ぶための第２の部分１１６とを備える。

流体は、ステータ部品１２、１４の端面４０内に配置されたポンプ排出ポート（図示せず）を通ってハウジングから出る。ポンピングチャンバ２４の出口ポート６２は、ポンピングチャンバ２４からポンピングされた流体を受け取るための第１の部分１１８と、ポンピングされた流体を移送路１２２へ運ぶための２つの第２の部分１２０とを備え、移送路１２２が、ポンピングされた流体をポンプ排出ポートへ運ぶ。

ポンピングチャンバ１６、１８、２０、２２、２４は、様々な異なる寸法及び／又は厚さを有することができるため、これらのチャンバの入口及び出口ポートは、様々な異なる形状を有することができる。例えば、図３に示すように、出口ポートの第１の部分は、それぞれの異なる長さ及び／又は幅を有することができ、また出口ポートの第２の部分は、それぞれの異なる長さ、幅、及びこれらの出口ポートのそれぞれの第１の部分に対する角度を有することができる。同様に、図４に示すように、入口ポートの第１及び第２の部分も、それぞれの異なる長さ及び／又は幅を有することができる。これら２つの図に示すように、移送路６６、６８、７０、及び７２も、それぞれの異なる形状を有することができる。

次に図６を参照すると、入口ポートは、第１のステータ部品１２の頂部外面５２に装着された第１のカバープレート１３０により閉鎖され、出口ポートは、第２のステータ部品１４の底部外面６４に装着された第２のカバープレート１３２により閉鎖される。これらのカバープレート１３０、１３２はまた、これらの外面５２、６４上で開口する移送路６６、６８、７０、７２、１１２、１２２の端部を閉鎖する機能も果たす。

カバープレートの少なくとも一方、この例では第１のカバープレート１３０は、複数組のフィン１３４を備え、カバープレート１３０が頂部外面５２に装着された場合、各組がそれぞれの入口ポート内へ突出して、ハウジング１０内を通過する流体と接触する。それぞれのフィンの組の冷却フィン１３４の各々は、冷却フィン１３４のそれぞれの入口ポート内の流体の流れの方向に縦に延びるように配置される。この結果、この例の場合、入口ポートは、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置され、ハウジング１０の幅の大部分に沿って延びるので、フィン１３４も、同様にポンピングチャンバにほぼ平行に配置され、ハウジング１０の幅の大部分に沿って延びる。これにより、ポンプ内を通過する流体にさらされるフィンの表面積を最大にすることができ、この結果、流体とフィン１３４との間の熱伝達を最大にすることができる。各入口ポートにおける冷却を最適化するように、フィンの面積、形状、間隔、及び／又は各組のフィンの数を個別に設定することができる。

第２のカバープレート１３２を第２のステータ部品１４の底部外面６４に装着した場合、フィンを第２のカバープレート１３２上に配置して出口ポート内へ突出させることもできる。この場合、これらのフィンは複数組のフィンを備え、各組は、出口流路のそれぞれの第２の部分内へ突出するとともに、出口流路のそれぞれの第２の部分内における流体の流れの方向にほぼ平行に延びる。

フィンを冷却するためにカバープレート１３０、１３２の外面周辺に冷媒を運ぶ送水管を受け入れるために、第１のカバープレート１３０の外面１３８上に溝１３６が形成され、第２のカバープレート１３２の外面１４２上に溝１４０が形成される。

以上の説明は、本発明の１つの実施形態を表すものであると理解すべきであり、当業者であれば、添付の特許請求の範囲により定められる本発明の真の範囲から逸脱することなく、その他の実施形態を想到できるであろう。

例えば、図１から図６では、各移送路は、これらの移送路が流体を運ぶ先のポンピングチャンバの平面内に配置されているが、変形例として、各移送路を、これらの移送路がポンピングされた流体を受け取る元のポンピングチャンバの平面内に配置することもできる。この場合、入口ポートは、図１から図６に示した出口ポートと同様の構成を有し、出口ポートは、図１から図６に示した入口ポートと同様の構成を有することができる。別の例として、移送路を１つのポンピングチャンバの出口ポートから別のポンピングチャンバの入口ポートへ（ステータ部品１２、１４の外面５２、６４に対して）斜めに延ばした状態で、入口ポート及び出口ポートの両方が、図４に示した構成と同様の構成を有するようにすることもできる。

Claims

各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された前記複数のポンピングチャンバを定める第１のハーフシェルステータ部品及び第２のハーフシェルステータ部品と、
前記ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路と、を備えた真空ポンプハウジングであって、
前記入口ポートは前記第１のステータ部品の外面上で開口し、前記出口ポートは前記第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、各移送路は、前記ステータ部品内においてそれぞれの出口ポートからそれぞれの入口ポートまで延び、各移送路は、前記ハウジングの向かい合う側に配置された第１及び第２の部分を備える、
ことを特徴とする真空ポンプハウジング。
各移送路は前記少なくとも１つのポンピングチャンバの側方に配置される、
ことを特徴とする請求項１に記載のハウジング。
各移送路は、前記ステータ部品の前記外面の間で、それぞれの出口ポートからそれぞれの入口ポートまで延びる、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のハウジング。
各移送路は、前記それぞれのポンピングチャンバの側方に配置され、前記入口ポート及び排出ポートは、前記移送路から流体を受け取り、前記移送路内へ流体を運ぶようにそれぞれ形状作られる、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のハウジング。
各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された前記複数のポンピングチャンバを定める第１のハーフシェルステータ部品及び第２のハーフシェルステータ部品と、
前記ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路と、を備えた真空ポンプハウジングであって、
前記入口ポートは前記第１のステータ部品の外面上で開口し、前記出口ポートは前記第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、各移送路は、少なくとも部分的に前記それぞれのポンピングチャンバの側方に配置され、前記入口ポート及び排出ポートは、前記移送路から流体を受け取り、前記移送路内へ流体を運ぶようにそれぞれ形状作られる、
ことを特徴とする真空ポンプハウジング。
各移送路は、該各移送路のそれぞれのポンピングチャンバの向かい合う側に配置された第１の部分及び第２の部分を備える、
ことを特徴とする請求項５に記載のハウジング。
各移送路は前記ステータ部品の前記外面の間で延びる、
ことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のハウジング。
各移送路は前記ステータ部品の前記外面の間でほぼ直角に延びる、
ことを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載のハウジング。
各移送路は、該各移送路のそれぞれのポンピングチャンバの前記入口ポートへ流体を運ぶように配置され、前記出口ポートは、前記移送路内へ流体を運ぶように形状作られる、
ことを特徴とする請求項５から請求項８のいずれか１項に記載のハウジング。
各出口ポートは、ポンピングされた流体を前記各出口ポートのそれぞれのポンピングチャンバから受け取るための第１の部分と、該第１の部分に対して角度を成して延び且つポンピングされた流体をそれぞれのポンピングチャンバへ運ぶための少なくとも１つの第２の部分とを備える、
ことを特徴とする請求項９に記載のハウジング。
前記出口ポートは異なるそれぞれの形状を有する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のハウジング。
前記入口ポートは、前記ポンピングチャンバにほぼ平行に配置されたスロットを備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載のハウジング。
各移送路は、該各移送路のそれぞれのポンピングチャンバの前記出口ポートから流体を受け取るように配置され、前記入口ポートは、前記移送路から流体を受け取るように形状作られる、
ことを特徴とする請求項５から請求項８のいずれか１項に記載のハウジング。
各入口ポートは、流体を該各入口ポートのそれぞれのポンピングチャンバに入れる第１の部分と、該第１の部分に対して角度を成して延び且つそれぞれの移送路から流体を受け取るための少なくとも１つの第２の部分とを備える、
ことを特徴とする請求項１３に記載のハウジング。
前記入口ポートは異なるそれぞれの形状を有する、
ことを特徴とする請求項１４に記載のハウジング。
前記出口ポートは、ポンピングチャンバにほぼ平行に配置されたスロットを備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項８及び請求項１２から請求項１５のいずれか１項に記載のハウジング。
前記第１のステータ部品の前記外面に装着されて前記入口ポートを閉鎖する第１のカバープレートと、前記第２のステータ部品の前記外面に装着されて前記出口ポートを閉鎖する第２のカバープレートとを備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載のハウジング。
前記カバープレートの少なくとも一方は複数組の冷却フィンを備え、各組は、それぞれのポート内に突出して前記ポンプ内を通過する流体と接触する、
ことを特徴とする請求項１７に記載のハウジング。
各々が流体を受け入れるための入口ポートとポンピングされた流体がチャンバから排出される際に通過する出口ポートとを備えた、仕切り部材により分離された複数のポンピングチャンバを定める第１のハーフシェルステータ部品及び第２のハーフシェルステータ部品と、
前記ポンピングチャンバ間で流体を運ぶための移送路と、を備えた真空ポンプハウジングであって、
前記入口ポートは前記第１のステータ部品の外面上で開口し、前記出口ポートは前記第２のステータ部品の反対側の外面上で開口し、前記ポートは、前記両面に装着されたカバープレートにより閉鎖され、該カバープレートの少なくとも一方は複数組の冷却フィンを備え、各組は、それぞれのポート内に突出して、前記ポンプ内を通過する流体と接触する、
ことを特徴とする真空ポンプハウジング。
冷却フィンの各組はそれぞれの入口ポート内に突出する、
ことを特徴とする請求項１９に記載のハウジング。
冷却フィンの各組はそれぞれの出口ポート内に突出する、
ことを特徴とする請求項１９に記載のハウジング。
前記冷却フィンは前記ポンピングチャンバにほぼ平行に配置される、
ことを特徴とする請求項１９から請求項２１のいずれか１項に記載のハウジング。
各カバープレートは複数組の冷却フィンを備え、各組は、それぞれのポート内に突出してポンプ内を通過する流体と接触する、
ことを特徴とする請求項１９から請求項２２のいずれか１項に記載のハウジング。
前記カバープレートを冷却するための手段を備える、
ことを特徴とする請求項１９から請求項２３のいずれか１項に記載のハウジング。
前記冷却手段は、前記カバープレートの周囲に冷媒を運ぶための１又はそれ以上の管を備える、
ことを特徴とする請求項２４に記載のハウジング。