TWI558917B - 真空泵 - Google Patents

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TWI558917B
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百濟壯一
長山真己
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荏原製作所股份有限公司
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Description

真空泵
本發明係關於在屬於半導體、液晶、太陽能電池、LED等之製造步驟之一的CVD或蝕刻(etching)等製程所使用之真空泵，且為在朝泵內部流入昇華性氣體或腐蝕性氣體之製程所使用之真空泵。
在使用真空泵將導入真空室內之處理氣體(process gas)進行真空排氣時，連接於真空泵之真空室之吸氣口附近，會與真空室之內部同樣成為真空狀態，且真空室之排氣口附近，會開放至大氣而大致成為大氣壓。此外，伴隨著真空泵的驅動而將真空室等之內部的處理氣體進行真空排氣時，在排放之處理氣體的壓縮步驟中，泵內部會產生壓縮熱。
特別是，使用多段式真空泵而將真空室等之內部進行真空排氣時，第2段會比第1段增加，第3段會比第2段增加，隨著段數的增加，泵室的內部壓力會階段性增加，而且，氣體在各段之泵室內被壓縮而產生壓縮熱。因此，氣體(處理氣體)會經由各段之泵室內一面階段性加壓一面被移送，氣體之溫度亦伴隨著該移送而階段性上升。而且，即使是相同的泵室，位於泵室之送出側的氣體之一方相較於位於位於吸入側的氣體之一方，壓力及溫度會較高。如此，在使用多段式真空泵而將真空室等之內部進行真空排氣時，靠近多段式真空泵吸氣口，在低壓區域會容易成為 低溫，靠近排氣口，在大氣壓附近的高壓區域會容易成為高溫。
在此，例如在使用於真空室內之排氣而含有昇華性物質的處理氣體朝真空泵的內部流入的情況下，當泵內部的溫度較昇華性物質的昇華曲線低時，流入於泵內部之處理氣體所包含之昇華性物質會從氣體變為固體而析出至泵內部，成為泵停止的原因。
另一方面，當泵內部成為局部性高溫時，會有因流入至泵內部之清淨氣體(cleaning gas)或蝕刻氣體(etching gas)而腐蝕泵內部的情形。
再者，目前已提案有一種乾式泵(dry pump)，因以適於冷凝性氣體或昇華性氣體等氣體的排氣之方式，有利於一面將泵室的溫度維持為較高，一面將潤滑油室之潤滑油的溫度維持為較低，故為了抑制潤滑油之蒸氣化，於相對性溫度較高的泵室與相對性溫度較低的潤滑油室之間，形成有呈中空狀之隔熱用中間室、及供冷媒通過之冷卻通路(參照專利文獻1)。
此外，申請人亦提案有一種回轉式氣體機械用轉子(roter)，為了不犧牲抗腐蝕性及強度等，並使吸氣側與送出側的溫差縮小而精確度良好地管理轉子彼此或轉子與外殼之間隙(clearance)，以得到高的排氣性能，故於軸體部(轉子軸)之內部形成朝軸方向延伸之軸孔，並於該軸孔內一體地埋設由熱傳導率較軸體部之材料高的材料例如鋁(aluminum)所構成之芯部(參照專利文獻2)。
(專利文獻)
(專利文獻1)日本特開2005-105829號公報。
(專利文獻2)日本特開平11-230060號公報。
然而，習知例之任一者皆非為以下述方式構成者：遍及泵整體而將泵內部維持為高溫，藉此一面防止因流入於泵內之處理氣體所包含之昇華性物質等造成生成物析出至泵內部，並一面防止泵內部局部性地成為腐蝕溫度以上的高溫。
本發明係為有鑒於前述實情而研創者，其目的在於提供一種真空泵，能一面防止泵內部局部性地成為腐蝕溫度以上的高溫，並一面藉由將泵內部之溫度遍及泵整體而維持為較高溫之一定溫度(均勻化)，在不須使用加熱器(heater)等之情形下即能簡單地防止生成物產生而堆積於泵內部。
申請專利範圍第1項所記載之發明之真空泵，係具有：泵外殼(pump casing)，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸，係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著前述泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動；前述泵外殼係 具有與前述轉動軸平行地遍及於該泵外殼之長度方向的大致全長而延伸之第1傳熱構件、及位於接近於前述第1傳熱構件之前述排氣口側的端部之位置而沿著該泵外殼之寬度方向延伸的第2傳熱構件。
於多段泵之各泵室，越靠近排氣口側的泵室，內部溫度會依序成為高溫，第1段之泵室為最低溫，且最終段附近的泵室會成為最高溫。此外，即使是相同泵室，相較於位於入口側之區域，位於出口側之區域之一方會成為高溫。因此，透過以與轉動軸平行地遍及泵外殼的長度方向之大致全長而延伸的方式配置於泵外殼的第1傳熱構件、及以位於接近於第1傳熱構件之排氣口側的端部之位置而朝泵外殼的寬度方向延伸之方式配置於泵外殼之第2傳熱構件，遍及於泵外殼之長度方向及寬度方向的全區域，將劃分泵室之泵外殼的熱一面更均勻地分散，一面有效率地將熱從高溫側傳達至低溫側，而能一面防止泵內部局部性成為腐蝕溫度以上的高溫，一面將泵內部之溫度遍及泵整體維持為較高溫之一定溫度(均勻化)。傳熱構件係例如由鋁、鋁合金或銅等之傳熱性佳的材料所構成。
申請專利範圍第2項所記載之發明，係具有：泵外殼，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸，係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸 的轉動而轉動；在前述泵外殼係形成有與連通於前述排氣口之泵室之反泵室側鄰接而連通於該泵室之中間室；在該中間室之內部係設置有間隔板，該間隔板係形成沿著被導入於該中間室內之處理氣體前述轉動軸周圍旋轉之流路；間隔板可與泵外殼一體地設置，亦可設置為與泵外殼不同構件。
如同前述，於多段泵之中，最終段附近之泵室會成為最高溫，此外，即使在相同最終段附近之泵室，位於出口側之區域的一方亦較位於入口側之區域高溫。因此，在本例中，係將從最終段之泵室送出之高溫的處理氣體的一部分導引至中間室內，並循環於中間室內而在藉由高溫的處理氣體加熱最終段之泵室的入口側之後排放處理氣體，藉此不須安裝加熱器等即能使最終段泵室的入口側成為高溫，並能抑制泵內部之生成物的析出。
申請專利範圍第3項所記載之發明之真空泵，係具有：泵外殼，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸、係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動；前述泵外殼之端面，係設置有將鄰接於該端面而配置之側板予以區隔之端壁。
如此，於泵外殼之端面設置將與該端面鄰接而配置之側板予以區隔之端壁，以泵外殼將配置於泵室內的轉子之 全部覆蓋，例如藉由以供冷卻軸承之潤滑油等的傳熱而變冷之側板，泵外殼內之泵室及處理氣體會冷卻，而能抑制生成物析出至泵內部。
申請專利範圍第4項所記載之發明，係為於申請專利範圍第1項至第3項中任一項所記載之真空泵中，前述泵外殼之外主體係具有於內部具備氣體通路的雙重壁構造。
如此，藉由將泵外殼之外主體做成為於內部具有氣體通路之雙重壁構造，透過沿著該氣體通路流動之高溫的處理氣體，更確實地隔絕泵室之內部與外部，藉此，泵內部會成為低溫，能防止昇華性物質從氣體變為固體而附著於泵內部(泵外殼內周面)。
申請專利範圍5所記載之發明，係為於申請專利範圍第1項至第4項中任一項所記載之真空泵中，前述泵外殼具有包圍該泵外殼之外周部的保溫夾套。
藉此，藉由以包圍泵外殼之外周部的保溫夾套80將泵室之內部予以保溫，泵內部會成為低溫，能防止昇華性物質從氣體變為固體而附著於泵內部(泵外殼內周面)。
根據本發明，能提供一種真空泵，不須使用加熱器等零件，即可將泵內部之溫度遍及於泵整體而維持為較高溫的一定溫度(均勻化)，且抑制泵內部之生成物的析出或腐蝕，藉此，能提升處理的可靠性。
以下，根據圖式說明本發明之實施形態。第1圖係為 顯示本發明實施形態之真空泵10的縱剖面前視圖。如第1圖所示，真空泵10係具有配置於真空側的增壓泵(boost pump)12、及配置於大氣側的主泵14，增壓泵12與主泵14係以連絡配管16相互連接。在此例中，以主泵14而言，係使用6段之魯氏真空泵，並與由單段之魯式真空泵所構成之增壓泵12組合使用而構成。
增壓泵12係具有：泵外殼22，係具有於內部劃分形成泵室18之大致圓筒狀的外主體20；及一對轉動軸26，係伴隨於馬達24之驅動而相互同步朝反方向轉動。在泵室18內，由例如2葉片之轉子所構成的一對轉子28係分別轉動自如地收容於相互鄰接之位置，且該各轉子28係分別固設於轉動軸26。在泵外殼22之外主體20係設置有與從處理對象之真空室等延伸之送出管(未圖示)連接之吸氣口20a、及與連絡配管16連接之排氣口20b。藉此，構成為伴隨於一對轉子28之相互朝反方向的轉動，使處理氣體從吸氣口20a朝泵室18內流入，且進行壓縮而從排氣口20b移送至外部。再者，雖第1圖僅圖示轉動軸26及該轉動軸26之驅動機構等的一部分，但於與紙面相反之側亦具備大致同樣的構成。
於本例中，除了泵外殼22之外主體20的吸氣口20a及排氣口20b之外之區域的外周部，係以大致圓筒狀的保溫夾套30一體性包圍。藉此，以保溫夾套30隔絕泵室18的外部與內部，使泵室18內保溫。
於泵外殼22之兩側方，分別配置有側板(side panel) 32a,32b，透過收容在分別安裝於該各側板32a,32b之軸承蓋(housing)34a,34b的軸承36a,36b，轉動軸26係在其兩端轉動自如地被支撐。再者，位於側板32a,32b之側方，配置有於內部儲留潤滑油之潤滑油蓋40a,40b，且在一方的潤滑油蓋40b係連結有馬達24之馬達蓋。
在側板32a,32b係分別設置有沖洗氣體(purge gas)通路42a,42b，係用以將N2氣體等沖洗氣體供給至側板32a,32b之轉動軸26的插通部，以防止流入於泵室18內之處理氣體朝軸承36a,36b之方向流出。
一般而言，增壓泵12係真空度高(壓力低)，且因不太產生壓縮熱而不太會發熱。因此，宜為於增壓泵12之外部或內部設置加熱器等加熱手段，積極地將增壓器12加熱。而且，藉由以保溫夾套30包圍泵外殼22之除了外主體20的吸氣口20a及排氣口20b的區域，即能防止泵室18內之溫度因外部氣體而降低。
於本例中，主泵14係以6段之魯式真空泵所構成，並具有：泵外殼54，係具有於內部劃分形成第1至第6之合計6段的泵室50a至50f之大致圓筒狀的外主體52；及一對轉動軸58，係伴隨於馬達56的驅動而相互同步朝相反方向轉動。如第2圖所示，於第1段泵室50a之內部，係收容有分別轉動自如的一對轉子60a，該一對轉子60a係例如由3葉片轉子所構成。同樣地，分別於第2段泵室50b之內部收容有例如由3葉片轉子所構成的一對轉子60b，於第3段泵室50c之內部收容有例如由3葉片轉子所 構成的一對轉子60c，於第4段泵室50d之內部收容有例如由3葉片轉子所構成的一對轉子60d，於第5段泵室50e之內部收容有例如由3葉片轉子所構成的一對轉子60e，於第6段泵室50f之內部收容有例如由3葉片轉子所構成的一對轉子60f。而且，分別將排列為直線狀之一方的轉子60a至60f固設於一方的轉動軸58，將另一方的轉子60a至60f固設於另一方的轉動軸58。
泵外殼54係具有將外主體52之端部封閉之一對端壁62a,62b、及將外主體52之內部予以區隔之5片間隔壁64a至64e，並分別於一方的端壁62a與第1間隔壁64a之間形成第1段泵室50a，於第1間隔壁64a與第2間隔壁64b之間形成第2段泵室50b，於第2間隔壁64b與第3間隔壁64c之間形成第3段泵室50c，於第3間隔壁64c與第4間隔壁64d之間形成第4段泵室50d，於第4間隔壁64d與第5間隔壁64e之間形成第5段泵室50e，於第5間隔壁64e與另一方的端壁62b之間形成第6段泵室50f。
如第2圖所示，第1段泵室50a係構成為使處理氣體伴隨著一對轉子60a之相互同步之反方向的轉動，從該入口側(在圖式為上側，以下相同)朝第1段泵室50a之內部流入而壓縮，並將處理氣體從出口側(在圖式為下側，以下相同)朝第1段泵室50a之外部移送。此情形在第2至第6段泵室50b至50f皆大致相同。
泵外殼54之外主體52係設置有連接於連絡配管16而連通於第1段泵室50a之入口側(上側)的吸氣口52a、 及連通於第6段泵室(最終段泵室)50f之出口側(下側)的排氣口52b。而且，泵外殼54之外主體52係具有具備內壁66及與該內壁66隔開預定間隔而配置之外壁68之雙重壁構造，且在內壁66與外壁68之間係形成氣體通路70a至70e。亦即，分別於第1段泵室50a之周圍形成第1氣體通路70a，於第2段泵室50b之周圍形成第2氣體通路70b，於第3段泵室50c之周圍形成第3氣體通路70c，於第4段泵室50d之周圍形成第4氣體通路70d，於第5段泵室50e之周圍形成第5氣體通路70e。第5氣體通路70e係進一步擴張至第6段泵室50f之周圍。
該等各氣體通路70a至70e之一方，係在各泵室50a至50e之出口側(下側)分別連通於各泵室50a至50e之內部，且各氣體通路70a至70e之另一方，係在各泵室50b至50f之入口側(上側)分別連通於各泵室50b至50f之內部。藉此，如第2圖所示，通過吸引口52a而從入口側朝第1段泵室50a內流入之處理氣體，係在通過第1段泵室50a之內部後，從第1段泵室50a之出口側(下側)朝第1氣體通路70a內流入，並沿著該第1氣體通路70a朝上方流動後，到達第2段泵室50b之入口側(上側)。而且，從入口側朝第2段泵室50b內流入之處理氣體，係在通過第2段泵室50b之內部後，從第2段泵室50b之出口側朝第2氣體通路70b內流入，並沿著該第2氣體通路70b朝上方流動後，到達第3段泵室50c之入口側。如此，處理氣體係在依序通過第3段至第6段泵室50c至50f內之後，從 第6段泵室50f之出口側通過排氣口52b被排放至外部。
在位於泵外殼54之各泵室50a至50e之出口側的下部，係在泵外殼54之寬度方向位於大致中央處，於泵外殼54之內部埋設有例如由棒狀體所構成之1隻縱傳熱構件(第1傳熱構件)72，係與轉動軸58平行地遍及於泵外殼54之長度方向的大致全長而延伸，並使吸引口52a側端部露出於泵外殼54之外部而配置。再者，接近於縱傳熱構件72之排氣口52b側之端部的位置，在本例中係在將第4段泵室50d與第5段泵室50e予以區隔之第4間隔壁64d、及將第5段泵室50e與第6段泵室50f予以區隔之第5間隔壁64e的內部，位於泵室50d至50f之出口側的下部，係以使兩端露出於泵外殼54之外部的方式埋設有例如由棒狀體所構成之橫傳熱構件(第2傳熱構件)74，其遍及於泵外殼54之寬度方向的大致全長而延伸。
縱傳熱構件72及橫傳熱構件74可為由傳熱性良好的例如鋁、鋁合金或銅經切削加工之不同個體，亦可以鋁鑄件等一體成形於以抗腐蝕材料所製作之泵外殼54。
於多段泵之各泵室中，越靠近排氣口側的泵室，內部溫度會依序成為高溫。亦即，在本例中，第1段泵室50a為最低溫，且最終段附近的第5段泵室50e至第6段泵室50f會成為最高溫。此外，即使是相同泵室，相較於位於入口側之區域(上側)，位於出口側之區域(下側)之一方會成為高溫。亦即，在本例中，第5段泵室50e之出口側(下側)至第6段泵室50f之出口側(下側)為最高溫。
根據本例，藉由配置於第4間隔壁64d及第5間隔壁64e之內部的橫傳熱構件74，將主要最高溫的部位、亦即將第5段泵室50e之出口側(下側)至第6段泵室50f之出口側(下側)的溫度，均勻地分散至泵外殼54之寬度方向，並且藉由以與轉動軸58平行地遍及於泵外殼54之長度方向的大致全長而延伸配置之縱傳熱構件72，將主要高溫側的溫度傳遞至低溫側，藉以能一面防止泵內部局部性成為腐蝕溫度以上的高溫，一面將泵內部之溫度遍及整體而維持為較高溫的一定溫度(均勻化)。亦即，如此藉由於泵外殼54之內部配置縱傳熱構件72及橫傳熱構件74，即能遍及其長度方向與寬度方向之全區域，將泵外殼54之溫度抑制在生成物析出溫度(例如110℃)以上，且在泵腐蝕溫度以下(例如200℃)以下之必要溫度範圍內。
此外，藉由將泵外殼54之外主體52做成為於內部具有氣體通路70a至70e之雙重壁構造，透過沿著該氣體通路70a至70e流動之高溫的處理氣體，更確實地隔絕泵室50a至50f之內部與外部，藉此，泵內部會成為低溫，且能防止處理氣體所包含之昇華性物質等從氣體變為固體而附著於泵內部(泵外殼內周面)。特別是，藉由以高溫的處理氣體沿著氣體通路70a至70e而從各泵室50a至50e之出口側(下側)朝向下一段之入口側(上側)流動的方式，能以該高溫的處理氣體將泵室50a至50f有效地加熱。
在本例中，係將泵外殼54之除了外主體52的吸氣口52a及排氣口52b以外之區域的外周部以大致圓筒狀之保 溫夾套80一體性包圍。藉此，亦藉由保溫夾套80隔絕泵室50a至50f之內部與外部，且能提升泵室50a至50f的保溫效果。
於泵外殼54之端壁62a,62b的側方，係分別配置有側板82a,82b，透過收容在分別安裝於該側板82a,82b之軸承蓋84a,84b的軸承86a,86b，轉動軸58係在其兩端轉動自如地被支撐。而且，位於側板82a,82b之側方，配置有於內部儲留潤滑油之潤滑油蓋90a,90b，且在一方的潤滑油蓋90b連結有馬達56之馬達蓋。在側板82a,82b係分別設置有沖洗氣體通路92a,92b，係用以將N2氣體等沖洗氣體供給至側板82a,82b之轉動軸58的插通部，以防止流入於泵室50a至50f內之處理氣體朝軸承86a,86b之方向流出。
在本例中，位於泵外殼54之第1段泵室50a側的端壁62a，係位於收容於第1段泵室50a內之轉子60a與配置於該轉子60a之側方的側板82a之間，且位於泵外殼54之第6段泵室50f側的端壁62b，係位於收容於第6段泵室50f內之轉子60f與配置於該轉子60f之側方的側板82b之間，而構成為能以泵外殼54覆蓋配置於泵室50a至50f內之全部的轉子60a至60f。藉此，例如藉由以供冷卻軸承86a,86b之潤滑油等的傳熱而變冷之側板82a,82b，泵外殼54內之泵室50a至50f及處理氣體會冷卻，而能抑制生成物析出至泵內部。
再者，在本例中，在泵外殼54之位於第6段泵室(最 終段泵室)50f側之端壁62b與配置於該端壁62b之側方的側板82b之間，係形成有中間室94。如第4圖及第6圖所示，於端壁62b之寬度方向的大致中央處，位於第6段泵室(最終段泵室)50f之出口側(下側)，係設置有排氣孔96。此外，如第6圖所示，位於排氣孔96之側方，係設置有逆流孔98，而且，位於排氣孔96與逆流孔98之間，設置有間隔板100，係從轉動軸58延伸至中間室94之底面而防止從排氣孔96排放之處理氣體往逆流孔98之短路。藉此，如第6圖所示，係形成有氣體流路102，係於中間室94的內部從排氣孔96朝向上方達到轉動軸58之上方，而後沿著轉動軸58之周圍下降。
再者，於本例中，雖顯示將間隔板100以與泵外殼54不同個體之板體構成，並將由該板體所構成之間隔板100固定於泵外殼54之例，但亦可將泵外殼54與間隔板100一體成形。
如同前述，於多段泵之中，最終段附近之泵室會成為最高溫，此外，即使在相同最終段附近之泵室，位於出口側之區域的一方亦較位於入口側之區域高溫。因此，在本例中，係使從第6段泵室(最終段泵室)50f送出之高溫的處理氣體的一部分，通過排氣孔96而導引至中間室94的內部，沿著氣體流路102而循環於中間室94內，並藉由高溫的處理氣體透過端壁62b加熱第6段泵室50f的入口側，而後，使高溫的處理氣體通過逆流孔98而從排氣口52b排放，即能使第6段泵室(最終段泵室)50f的內部之溫度 成為更高溫。
於以前述方式構成之真空泵10中，係驅動增壓泵12之馬達24及主泵14之馬達56，將導入於真空室等內部之處理氣體以增壓泵12及主泵14進行真空排氣。
此時，藉由使真空泵10之內部遍及泵整體維持為較高溫，能一面防止流入於泵內之處理氣體所包含之昇華性物質等造成生成物析出至泵內部，一面防止泵內部局部性成為腐蝕溫度以上的高溫。
至此，雖已就本發明之一實施形態進行說明，惟本發明並未限定於前述之實施形態，自不待言，於其技術性思想之範圍內，亦可以包含爪(claw)式、螺旋(screw)式之種種不同形態來實施。
10‧‧‧真空泵
12‧‧‧增壓泵
14‧‧‧主泵
16‧‧‧連絡配管
18‧‧‧泵室
20、52‧‧‧外主體
20a、52a‧‧‧吸氣口
20b、52b‧‧‧排氣口
22、54‧‧‧泵外殼
24、56‧‧‧馬達
26、58‧‧‧轉動軸
28、60a、60b、60c、60d、60e、60f‧‧‧轉子
30、80‧‧‧保溫夾套
32a、32b、82a、82b‧‧‧側板
34a、34b、84a、84b‧‧‧軸承蓋
36a、36b、86a、86b‧‧‧軸承
40a、40b、90a、90b‧‧‧潤滑油蓋
42a、42b、92a、92b‧‧‧沖洗氣體通路
50a‧‧‧第1段泵室
50b‧‧‧第2段泵室
50c‧‧‧第3段泵室
50d‧‧‧第4段泵室
50e‧‧‧第5段泵室
50f‧‧‧第6段泵室
52a‧‧‧吸引口
62a、62b‧‧‧端壁
64a‧‧‧第1間隔壁
64b‧‧‧第2間隔壁
64c‧‧‧第3間隔壁
64d‧‧‧第4間隔壁
64e‧‧‧第5間隔壁
66‧‧‧內壁
68‧‧‧外壁
70a‧‧‧第1氣體通路
70b‧‧‧第2氣體通路
70c‧‧‧第3氣體通路
70d‧‧‧第4氣體通路
70e‧‧‧第5氣體通路
72‧‧‧縱傳熱構件(第1傳熱構件)
74‧‧‧橫傳熱構件(第2傳熱構件)
94‧‧‧中間室
96‧‧‧排氣孔
98‧‧‧逆流孔
100‧‧‧間隔板
102‧‧‧氣體流路
第1圖係為顯示本發明實施形態之真空泵的縱剖面前視圖。
第2圖係為第1圖所示之真空泵所具備之主泵的第1段泵室之縱剖面側視圖。
第3圖係為顯示第1圖所示之真空泵所具備之主泵的泵外殼之立體圖。
第4圖係為第1圖所示之真空泵所具備之主泵的泵外殼之第2圖所示之X-X線剖面圖。
第5圖係為以剖面顯示第1圖所示之真空泵所具備之主泵的泵外殼之第1段泵室的立體圖。
第6圖係為從馬達側觀察第1圖所示之真空泵所具備 之主泵的泵外殼之位於排氣口之側壁的圖。
52‧‧‧外主體
52a‧‧‧吸氣口
54‧‧‧泵外殼
62a‧‧‧端壁
68‧‧‧外壁
72‧‧‧縱傳熱構件(第1傳熱構件)
74‧‧‧橫傳熱構件(第2傳熱構件)

Claims (7)

  1. 一種真空泵，係具有：泵外殼，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸，係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著前述泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動；前述泵外殼係具有：與前述轉動軸平行地遍及於該泵外殼之長度方向的大致全長而延伸之第1傳熱構件；及位於接近於前述第1傳熱構件之前述排氣口側的端部之位置而沿著該泵外殼之寬度方向延伸的第2傳熱構件。
  2. 一種真空泵，係具有：泵外殼，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸，係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著前述泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動；在前述泵外殼係形成有與連通於前述排氣口之泵 室之反泵室側鄰接而連通於該泵室之中間室；該中間室之內部係設置有間隔板，該間隔板係形成沿著被導入於該中間室內之處理氣體繞著前述轉動軸周圍旋轉之流路。
  3. 一種真空泵，係具有：泵外殼，係具有相互連通而沿著長度方向延伸的複數個泵室、連通於位於吸氣側之泵室的吸氣口、及連通於位於送出側之泵室的排氣口；轉動軸，係兩端以軸承轉動自如地支撐而沿著前述泵外殼的長度方向延伸；以及複數個轉子，係分別收容於前述各泵室內，並連結於前述轉動軸而伴隨著該轉動軸的轉動而轉動；在前述泵外殼之前述吸氣口側的端面，係設置有將位於前述吸氣口側之泵室與鄰接於該端面而配置之側板予以區隔之端壁。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之真空泵，其中，前述泵外殼係具有外主體，該外主體係具有於內部具備氣體通路的雙重壁構造。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之真空泵，其中，前述泵外殼具有包圍該泵外殼之外周部的保溫夾套。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之真空泵，其中，在前述中間室與連通於前述排氣口之泵室之間，係設有端壁。
  7. 如申請專利範圍第2項所述之真空泵，其中，前述中間 室係形成在位於連通於前述排氣口之泵室側之端壁與配置於該端壁之側方的側板之間。
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