JP2000186686A - 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 - Google Patents
高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置Info
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- JP2000186686A JP2000186686A JP10364935A JP36493598A JP2000186686A JP 2000186686 A JP2000186686 A JP 2000186686A JP 10364935 A JP10364935 A JP 10364935A JP 36493598 A JP36493598 A JP 36493598A JP 2000186686 A JP2000186686 A JP 2000186686A
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- oil
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ
装置について、高温のガスを冷却することなく高温のま
まで取扱い、真空ポンプ装置を適切に運転する。 【解決手段】 真空ポンプの軸２０Ａ，２０Ｂを支承す
る軸受３５１，３５２のハウジング側にメカニカルシー
ル５１，５２が設けられ、１本の軸端には潤滑油２８
１，２８２を送るための油ポンプ２５が取付けられ、ポ
ンプの吸込口２６はギヤを収容するギヤ側油槽２７１の
潤滑油に連通させられ、吐出口２９はギヤ側および駆動
側のメカニカルシール支持体３４１，３４２に連通する
送油管３１１，３１２に連通させられ、駆動側油槽２７
２からギヤ側油槽２７１へ導びかれる返還油配管３６が
設けられる。
装置について、高温のガスを冷却することなく高温のま
まで取扱い、真空ポンプ装置を適切に運転する。 【解決手段】 真空ポンプの軸２０Ａ，２０Ｂを支承す
る軸受３５１，３５２のハウジング側にメカニカルシー
ル５１，５２が設けられ、１本の軸端には潤滑油２８
１，２８２を送るための油ポンプ２５が取付けられ、ポ
ンプの吸込口２６はギヤを収容するギヤ側油槽２７１の
潤滑油に連通させられ、吐出口２９はギヤ側および駆動
側のメカニカルシール支持体３４１，３４２に連通する
送油管３１１，３１２に連通させられ、駆動側油槽２７
２からギヤ側油槽２７１へ導びかれる返還油配管３６が
設けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高温ガスを取扱うロ
ータリ形多段真空ポンプ装置に関する。本発明は、吸込
ガス温度が非常に高く、例えば１５０℃〜２５０℃のガ
スを取扱う真空ポンプ装置に適用することができる。
ータリ形多段真空ポンプ装置に関する。本発明は、吸込
ガス温度が非常に高く、例えば１５０℃〜２５０℃のガ
スを取扱う真空ポンプ装置に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】一般に真空ポンプの吸込ガスが高温の場
合は、ポンプのハウジング外周やロータ内から冷却水に
よってガスを冷却する方法や、吸込直前にガス冷却器を
設置し吸込ガスを冷却する方法、などの対策が講じられ
てきた。ハウジングの外周からの冷却では、ハウジング
内の高い温度がロータを支承する軸により伝熱され、軸
受を使用可能温度以上に高温に加熱するので、使用上最
大の問題となっていた。またロータ内から冷却水によっ
てガスを冷却する方法では、回転体であるロータに給水
しなければならず、構造が複雑となり機構上の安定を得
るのが困難であった。そして吸込口直前にガス冷却器を
設置し吸込みガスを冷却する方法では、ガスの圧力と温
度によって定まる析出温度よりも低い温度になると、ガ
スが固体として析出し、真空ポンプの運転が困難であっ
た。
合は、ポンプのハウジング外周やロータ内から冷却水に
よってガスを冷却する方法や、吸込直前にガス冷却器を
設置し吸込ガスを冷却する方法、などの対策が講じられ
てきた。ハウジングの外周からの冷却では、ハウジング
内の高い温度がロータを支承する軸により伝熱され、軸
受を使用可能温度以上に高温に加熱するので、使用上最
大の問題となっていた。またロータ内から冷却水によっ
てガスを冷却する方法では、回転体であるロータに給水
しなければならず、構造が複雑となり機構上の安定を得
るのが困難であった。そして吸込口直前にガス冷却器を
設置し吸込みガスを冷却する方法では、ガスの圧力と温
度によって定まる析出温度よりも低い温度になると、ガ
スが固体として析出し、真空ポンプの運転が困難であっ
た。
【０００３】従来利用されている、ハウジングを外周か
ら冷却する多段真空ポンプの例として第１ポンプ区分、
第２ポンプ区分、第３ポンプ区分、を持った３段ロータ
リ形真空ポンプが、図７に示されている。図８は図７に
示されるポンプのVIII−VIII断面であり、図９は図７の
IX−IX断面図である。本ポンプの構造は以下の通りであ
る。図７において、隔壁１で第１ポンプ区分と第２ポン
プ区分に区切られ、隔壁２で第２ポンプ区分と第３ポン
プ区分に区切られており、図８において、第１軸３と第
２軸４は各ポンプ区分を貫通してそれぞれ２個所の軸受
機構５で支承され、タイミングギヤセット６で互いに反
対方向に回転するように組み込まれている。そしてハウ
ジング外周部には冷却水７を流すための流路が設けられ
ている。第１軸は、外部へ貫通し電動機により駆動する
ことができる。
ら冷却する多段真空ポンプの例として第１ポンプ区分、
第２ポンプ区分、第３ポンプ区分、を持った３段ロータ
リ形真空ポンプが、図７に示されている。図８は図７に
示されるポンプのVIII−VIII断面であり、図９は図７の
IX−IX断面図である。本ポンプの構造は以下の通りであ
る。図７において、隔壁１で第１ポンプ区分と第２ポン
プ区分に区切られ、隔壁２で第２ポンプ区分と第３ポン
プ区分に区切られており、図８において、第１軸３と第
２軸４は各ポンプ区分を貫通してそれぞれ２個所の軸受
機構５で支承され、タイミングギヤセット６で互いに反
対方向に回転するように組み込まれている。そしてハウ
ジング外周部には冷却水７を流すための流路が設けられ
ている。第１軸は、外部へ貫通し電動機により駆動する
ことができる。
【０００４】このポンプ装置の動作は図７〜図９に示さ
れるように第１ポンプ区分において、ポンプの吸込気体
Ｇ５１は、ポンプの吸込口８を通り第１ポンプ区分の吸
込口９から吸込気体Ｇ５１として吸込まれ、ロータ１０
Ａ，１０Ｂの作動にもとづき移送され、ハウジング外周
部の冷却水により冷却された吐出気体Ｇ５２は、連結路
１１を通り次段へと導かれる。各段において上記作用が
繰り返されポンプ吐出口１２より排気される。
れるように第１ポンプ区分において、ポンプの吸込気体
Ｇ５１は、ポンプの吸込口８を通り第１ポンプ区分の吸
込口９から吸込気体Ｇ５１として吸込まれ、ロータ１０
Ａ，１０Ｂの作動にもとづき移送され、ハウジング外周
部の冷却水により冷却された吐出気体Ｇ５２は、連結路
１１を通り次段へと導かれる。各段において上記作用が
繰り返されポンプ吐出口１２より排気される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のような構造と作
用であるが、ハウジング内でロータにより移送され圧縮
された気体は圧縮熱により加熱される。そしてハウジン
グ外周の冷却水７により一部は冷却されるが、ロータは
冷却されていないので、ハウジング内の高い温度がロー
タを支承する軸３，４により伝熱され、軸受けが使用可
能温度以上に加熱される問題があった。
用であるが、ハウジング内でロータにより移送され圧縮
された気体は圧縮熱により加熱される。そしてハウジン
グ外周の冷却水７により一部は冷却されるが、ロータは
冷却されていないので、ハウジング内の高い温度がロー
タを支承する軸３，４により伝熱され、軸受けが使用可
能温度以上に加熱される問題があった。
【０００６】また図１０に示される様にジャーナル継ぎ
手１３等の機構と、貫通する軸を通ってロータ１０Ａ，
１０Ｂ内に注水した冷却水１４により、ガスを冷却し反
対側の軸端１７，１８より排水する方法では、ロータを
支承する中空軸１５，１６により伝熱されることはない
が、回転体であるロータに給水しなければならず、構造
が複雑となり、水漏れの発生がある等、機構上の安定を
得るのが困難であった。
手１３等の機構と、貫通する軸を通ってロータ１０Ａ，
１０Ｂ内に注水した冷却水１４により、ガスを冷却し反
対側の軸端１７，１８より排水する方法では、ロータを
支承する中空軸１５，１６により伝熱されることはない
が、回転体であるロータに給水しなければならず、構造
が複雑となり、水漏れの発生がある等、機構上の安定を
得るのが困難であった。
【０００７】吸込口直前にガス冷却器を設置し、ガスを
冷却し吸込口に導入する方法では、ガスの圧力と温度に
よって定まる析出温度よりも低い温度になると、ガスは
固体として析出し、真空ポンプの運転は困難であった。
冷却し吸込口に導入する方法では、ガスの圧力と温度に
よって定まる析出温度よりも低い温度になると、ガスは
固体として析出し、真空ポンプの運転は困難であった。
【０００８】本発明の主な目的は、前述の従来形におけ
る問題点に鑑み、高温のガスを冷却することなく、高温
のまま安全に取扱うことができる、ロータリ形多段真空
ポンプ装置を提供することにある。
る問題点に鑑み、高温のガスを冷却することなく、高温
のまま安全に取扱うことができる、ロータリ形多段真空
ポンプ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明においては、ロー
タリ形真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され、
軸受に支承される各ポンプ区分の軸が設けられ、これら
の軸に固定されるロータが設けられ、該軸端にはロータ
を同期回転させるための一対のギヤが設けられ、そして
各ポンプ区分を内蔵するハウジングには、吸込口、吐出
口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポンプ区
分の吸込口との連結路が設けられ、圧縮される気体は、
この連結路を通り次段に吸い込まれ、順次各段において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプ装置において、該
軸を支承する４個の軸受のハウジング側にはメカニカル
シールを設け、１本のギヤ側軸端には潤滑油を送るため
の油ポンプを取り付け、該ポンプの吸込口はギヤを収容
するギヤケースの潤滑油に連通させられ、吐出口はギヤ
側及び駆動側のそれぞれ２個所のメカニカルシール支持
体に連通する送油管に連通させられ、駆動側油槽からギ
ヤ側油槽へ導かれる返還油配管が設けられている、こと
を特徴とする、ロータリ形多段真空ポンプ装置が提供さ
れる。
タリ形真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され、
軸受に支承される各ポンプ区分の軸が設けられ、これら
の軸に固定されるロータが設けられ、該軸端にはロータ
を同期回転させるための一対のギヤが設けられ、そして
各ポンプ区分を内蔵するハウジングには、吸込口、吐出
口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポンプ区
分の吸込口との連結路が設けられ、圧縮される気体は、
この連結路を通り次段に吸い込まれ、順次各段において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプ装置において、該
軸を支承する４個の軸受のハウジング側にはメカニカル
シールを設け、１本のギヤ側軸端には潤滑油を送るため
の油ポンプを取り付け、該ポンプの吸込口はギヤを収容
するギヤケースの潤滑油に連通させられ、吐出口はギヤ
側及び駆動側のそれぞれ２個所のメカニカルシール支持
体に連通する送油管に連通させられ、駆動側油槽からギ
ヤ側油槽へ導かれる返還油配管が設けられている、こと
を特徴とする、ロータリ形多段真空ポンプ装置が提供さ
れる。
【００１０】一般に、ハウジング内の圧力は１段目が高
真空であり、３段目は大気圧力近傍になっている。この
ことは、ギヤ側油槽内と駆動側油槽内の圧力が異なり、
両油槽を連通させても、油は圧力の低い方に流れるの
で、駆動側油槽の潤滑油をギヤ側油槽内に流入させるこ
とは出来なかった。本発明による装置においては、軸受
のハウジング側でメカニカルシールを設け、圧力を封止
し、両油槽を大気圧力と連通させ、内部圧力を均しく
し、両油槽を連通する返還油配管を設けることが可能と
なった。両油槽内の圧力を均しくすることにより、軸に
スラスト荷重を発生させることがなく、軸の固定が容易
になり、軸受寿命を延ばすことができる。
真空であり、３段目は大気圧力近傍になっている。この
ことは、ギヤ側油槽内と駆動側油槽内の圧力が異なり、
両油槽を連通させても、油は圧力の低い方に流れるの
で、駆動側油槽の潤滑油をギヤ側油槽内に流入させるこ
とは出来なかった。本発明による装置においては、軸受
のハウジング側でメカニカルシールを設け、圧力を封止
し、両油槽を大気圧力と連通させ、内部圧力を均しく
し、両油槽を連通する返還油配管を設けることが可能と
なった。両油槽内の圧力を均しくすることにより、軸に
スラスト荷重を発生させることがなく、軸の固定が容易
になり、軸受寿命を延ばすことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明による一実施例として、３
段のロータリ形真空ポンプ装置を、図１から図６によっ
て説明する。図２は図１に示されるポンプのII−II断面
図であり、図３は図１における左側のメカニカルシー
ル、図４は図１における右側のメカニカルシールをそれ
ぞれ示す図である。図５は図２のＶ−Ｖ矢視図、図６は
図１のVI−VI断面図である。
段のロータリ形真空ポンプ装置を、図１から図６によっ
て説明する。図２は図１に示されるポンプのII−II断面
図であり、図３は図１における左側のメカニカルシー
ル、図４は図１における右側のメカニカルシールをそれ
ぞれ示す図である。図５は図２のＶ−Ｖ矢視図、図６は
図１のVI−VI断面図である。
【００１２】図１、および図２に示される真空ポンプ装
置においては、ロータリ形真空ポンプが複数のポンプ区
分により形成され、軸受に支承される各ポンプ区分の軸
が設けられ、これらの軸に固定されるロータが設けら
れ、該軸端にはロータを同期回転させるための一対のギ
ヤが設けられ、そして各ポンプ区分を内蔵するハウジン
グには、吸込口、吐出口が設けられ、各ポンプ区分の吐
出口と次段のポンプ区分の吸込口との連結路があり、圧
縮される気体は、この連結路を通り次段に吸込まれ、順
次各段において圧縮される。第１ポンプ区分において、
ポンプの吸込気体Ｇ２１は、ポンプの吸込口２１を通り
第１ポンプ区分の吸込口２３から吸込気体として吸込ま
れ、ロータ２２Ａ，２２Ｂの作動にもとづき移送され、
吐出気体Ｇ２２は吐出口２４より連結路を通り次段へと
導かれる。そして各段において上記作用が繰り返され
る。該真空ポンプにおいて、ギヤ側軸端には潤滑油を送
るための油ポンプ２５を取り付け、該ポンプの吸込口２
６はギヤを収容するギヤ側油槽２７１内の潤滑油２８１
に連通されているので、この潤滑油を吸込み、そして吐
出口２９はメカニカルシール支持体３４に連通している
送油管３１１，３１２が設けられているので、メカニカ
ルシール支持体３４に送油される。
置においては、ロータリ形真空ポンプが複数のポンプ区
分により形成され、軸受に支承される各ポンプ区分の軸
が設けられ、これらの軸に固定されるロータが設けら
れ、該軸端にはロータを同期回転させるための一対のギ
ヤが設けられ、そして各ポンプ区分を内蔵するハウジン
グには、吸込口、吐出口が設けられ、各ポンプ区分の吐
出口と次段のポンプ区分の吸込口との連結路があり、圧
縮される気体は、この連結路を通り次段に吸込まれ、順
次各段において圧縮される。第１ポンプ区分において、
ポンプの吸込気体Ｇ２１は、ポンプの吸込口２１を通り
第１ポンプ区分の吸込口２３から吸込気体として吸込ま
れ、ロータ２２Ａ，２２Ｂの作動にもとづき移送され、
吐出気体Ｇ２２は吐出口２４より連結路を通り次段へと
導かれる。そして各段において上記作用が繰り返され
る。該真空ポンプにおいて、ギヤ側軸端には潤滑油を送
るための油ポンプ２５を取り付け、該ポンプの吸込口２
６はギヤを収容するギヤ側油槽２７１内の潤滑油２８１
に連通されているので、この潤滑油を吸込み、そして吐
出口２９はメカニカルシール支持体３４に連通している
送油管３１１，３１２が設けられているので、メカニカ
ルシール支持体３４に送油される。
【００１３】メカニカルシール５１，５２の詳細は図
３、図４に示されている。潤滑油はギヤを収容するギヤ
側油槽２７１から吸込まれメカニカルシール支持体３４
１，３４２を経て軸受３５１，３５２に送られ、１部は
ギヤを収容するギヤ側油槽２７１へ、残部は駆動側油槽
２７２に流入する。そして駆動側油槽２７２内の潤滑油
２８２は返還油配管３６を経てギヤ側油槽２７１に返還
されるので、潤滑油を循環させることが可能となる。
３、図４に示されている。潤滑油はギヤを収容するギヤ
側油槽２７１から吸込まれメカニカルシール支持体３４
１，３４２を経て軸受３５１，３５２に送られ、１部は
ギヤを収容するギヤ側油槽２７１へ、残部は駆動側油槽
２７２に流入する。そして駆動側油槽２７２内の潤滑油
２８２は返還油配管３６を経てギヤ側油槽２７１に返還
されるので、潤滑油を循環させることが可能となる。
【００１４】そして図５に示すように、温度が上昇した
油を冷却するための冷却器３７をギヤ側油槽内に設け
る。以上の様に、該潤滑油は２本の軸２０Ａ，２０Ｂを
支承する軸受３５１，３５２及びメカニカルシール５
１，５２を潤滑と冷却をし、しかも軸を十分に冷却する
ことが可能なので、軸受が使用可能温度以上に加熱され
ることはない。
油を冷却するための冷却器３７をギヤ側油槽内に設け
る。以上の様に、該潤滑油は２本の軸２０Ａ，２０Ｂを
支承する軸受３５１，３５２及びメカニカルシール５
１，５２を潤滑と冷却をし、しかも軸を十分に冷却する
ことが可能なので、軸受が使用可能温度以上に加熱され
ることはない。
【００１５】図３、図４にはメカニカルシール５１，５
２の詳細が示されている。図３、図４に示されるように
真空ポンプ下部より導入された潤滑油は、４個のメカニ
カルシールの固定環５１１，５２１部に達し、軸を包む
様に流れ、軸を冷却すると共に、メカニカルシールの固
定環５１１，５２１と回転環５１２，５２２のシール面
と軸受を潤滑並びに冷却をし、軸受側より油槽に落下す
る。一方余分な潤滑油はメカニカルシール上部から油槽
に連通する孔部を通って溢流する。
２の詳細が示されている。図３、図４に示されるように
真空ポンプ下部より導入された潤滑油は、４個のメカニ
カルシールの固定環５１１，５２１部に達し、軸を包む
様に流れ、軸を冷却すると共に、メカニカルシールの固
定環５１１，５２１と回転環５１２，５２２のシール面
と軸受を潤滑並びに冷却をし、軸受側より油槽に落下す
る。一方余分な潤滑油はメカニカルシール上部から油槽
に連通する孔部を通って溢流する。
【００１６】本発明の実施例による真空ポンプ装置にお
いては、潤滑油の循環により、メカニカルシールおよび
軸受を潤滑および冷却し、軸は十分に冷却され、軸受が
使用可能温度以上に加熱されることはない。ハウジング
内のガスを高温に維持しても、軸受やギヤ等は高温のハ
ウジングから守られるので、吸込ガスを冷却する必要は
なく、冷却によって析出するようなガスを取り扱うこと
ができる。それにより真空ポンプは適切に運転される。
いては、潤滑油の循環により、メカニカルシールおよび
軸受を潤滑および冷却し、軸は十分に冷却され、軸受が
使用可能温度以上に加熱されることはない。ハウジング
内のガスを高温に維持しても、軸受やギヤ等は高温のハ
ウジングから守られるので、吸込ガスを冷却する必要は
なく、冷却によって析出するようなガスを取り扱うこと
ができる。それにより真空ポンプは適切に運転される。
【図１】本発明の一実施例による真空ポンプ装置を示す
図。
図。
【図２】図１におけるII−II断面図。
【図３】図１における左側のメカニカルシールを示す
図。
図。
【図４】図１における右側のメカニカルシールを示す
図。
図。
【図５】図２におけるＶ−Ｖ矢視図。
【図６】図１におけるVI−VI断面図。
【図７】従来の真空ポンプ装置の一例を示す図。
【図８】図７におけるVIII−VIII断面図。
【図９】図７におけるIX−IX断面図。
【図１０】従来の真空ポンプ装置の一例を示す図。
２０Ａ，Ｂ…軸 ２１…吸込口 ２２Ａ，Ｂ…ロータ ２３…１段目吸込口 ２４…１段目吐出口 ２５…油ポンプ ２６…油ポンプの吸込口 ２７１…ギヤ側油槽 ２８１…潤滑油 ２９…油ポンプの吐出口 ５１，５２…メカニカルシール ３１１，３１２…送油管 ２７２…駆動側油槽 ２８２…駆動側潤滑油 ３４…メカニカルシール支持体 ３５１，３５２…軸受 ３６…返還油配管 ３７…冷却器 Ｇ２１…吸込気体 Ｇ２２…吐出気体 ５１１，５２１…固定環 ５１２，５２２…回転環
Claims (1)
- 【請求項１】 ロータリ形真空ポンプが複数のポンプ区
分により形成され、軸受けに支承される各ポンプ区分の
軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロータを同期回
転させるための軸端の一対のギヤ、および潤滑油を溜め
る油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハウジング
には、吸込口、吐出口が設けられ、各ポンプ区分の吐出
口と次段のポンプ区分の吸込口との連結路が設けられ、
圧縮される気体は、この連結路を通り次段に吸込まれ、
順次各段において圧縮されるロータリ形多段真空ポンプ
において、 該軸を支承する４個の軸受のハウジング側にはメカニカ
ルシールが設けられ、１本の軸端には潤滑油を送るため
の油ポンプが取付けられ、該ポンプの吸込口はギヤを収
容するギヤ側油槽の潤滑油に連通させられ、吐出口はギ
ヤ側及び駆動側のそれぞれ２個のメカニカルシール支持
体に連通する送油管に連通させられ、駆動側油槽からギ
ヤ側油槽へ導びかれる返還油配管が設けられている、こ
とを特徴とするロータリ形多段真空ポンプ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10364935A JP2000186686A (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 |
| US09/392,464 US6318959B1 (en) | 1998-12-22 | 1999-09-09 | Multi-stage rotary vacuum pump used for high temperature gas |
| EP99118106A EP1013934A1 (en) | 1998-12-22 | 1999-09-10 | Multi-stage rotary vacuum pump used for high temperature gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10364935A JP2000186686A (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000186686A true JP2000186686A (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=18483026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10364935A Pending JP2000186686A (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000186686A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008152713A1 (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-18 | Kashiyama Industries, Ltd. | ルーツ式ポンプおよびルーツ式ポンプ製造方法 |
| CN103228921A (zh) * | 2010-11-17 | 2013-07-31 | 株式会社爱发科 | 真空排气装置的联接结构和真空排气系统 |
-
1998
- 1998-12-22 JP JP10364935A patent/JP2000186686A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN103228921A (zh) * | 2010-11-17 | 2013-07-31 | 株式会社爱发科 | 真空排气装置的联接结构和真空排气系统 |
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