JP2001020884A - 冷却器により形成される外壁をもつ気体流路を有するロータリ形多段真空ポンプ - Google Patents
冷却器により形成される外壁をもつ気体流路を有するロータリ形多段真空ポンプInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロータリ形多段真空ポンプにおいて各ポンプ
区分に吸込まれた気体が外周気体流路を通るとき、該外
周気体の流路の外壁の冷却器により放熱し、該冷却器に
よる冷却面積が選択されることができるようにする。 【解決手段】 ロータリ形多段真空ポンプのハウジング
１１，２１，３１の外周部の該ハウジングに隣接する外
周気体流路１６Ａ，１６Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの外壁を、
冷却水を流すための流路を内包する冷却器１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄにより形成する。
区分に吸込まれた気体が外周気体流路を通るとき、該外
周気体の流路の外壁の冷却器により放熱し、該冷却器に
よる冷却面積が選択されることができるようにする。 【解決手段】 ロータリ形多段真空ポンプのハウジング
１１，２１，３１の外周部の該ハウジングに隣接する外
周気体流路１６Ａ，１６Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの外壁を、
冷却水を流すための流路を内包する冷却器１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄにより形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は冷却流路が取付けら
れたロータリ形多段真空ポンプに関する。本発明による
真空ポンプは蒸留、脱泡、脱ガス、乾燥、蒸着など真空
を利用する化学、食品金属、半導体製造、光学などの工
業用に使用される真空ポンプに適用されることができ
る。
れたロータリ形多段真空ポンプに関する。本発明による
真空ポンプは蒸留、脱泡、脱ガス、乾燥、蒸着など真空
を利用する化学、食品金属、半導体製造、光学などの工
業用に使用される真空ポンプに適用されることができ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、一対のロータがそれらを包括す
るハウジングと微少な隙間を保ちながら回転し、気体の
吸込、吐出を行う真空ポンプ等においては、できる限り
その隙間を微少に保ち運転することが、高性能なポンプ
を実現するうえで重要となる。従来、特に高圧縮比状態
で運転され、その圧縮熱により運転時の温度が比較的高
温となる多段式真空ポンプ等においては、予め予想され
る運転時のロータとハウジングの温度に基づき隙間の設
定がおこなわれる。
るハウジングと微少な隙間を保ちながら回転し、気体の
吸込、吐出を行う真空ポンプ等においては、できる限り
その隙間を微少に保ち運転することが、高性能なポンプ
を実現するうえで重要となる。従来、特に高圧縮比状態
で運転され、その圧縮熱により運転時の温度が比較的高
温となる多段式真空ポンプ等においては、予め予想され
る運転時のロータとハウジングの温度に基づき隙間の設
定がおこなわれる。
【０００３】例えば、ロータリ形多段真空ポンプを逆流
冷却式とする場合、各ポンプ区分の吐出口８４，９４，
１０４と次のポンプ区分の吸込口とを連結する外周気体
流路が設けられ、該外周気体流路の外側に冷却水を流す
ための冷却水路を設け、吐出された高温の気体を吸込口
までの外周気体流路内を流れる間に冷却する方法が提案
されている（特許２６９１１６８号、特開平２−７０９
９０号公報）。
冷却式とする場合、各ポンプ区分の吐出口８４，９４，
１０４と次のポンプ区分の吸込口とを連結する外周気体
流路が設けられ、該外周気体流路の外側に冷却水を流す
ための冷却水路を設け、吐出された高温の気体を吸込口
までの外周気体流路内を流れる間に冷却する方法が提案
されている（特許２６９１１６８号、特開平２−７０９
９０号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の外周気体流路の
外側に冷却水を流すための冷却水路を設けるものは、ハ
ウジングを含む外周気体流路およびその外周の冷却水路
を一体とするものであり、構造が複雑である。冷却水は
ハウジングと一体となった冷却水路内を流れており、冷
却水路内の錆による冷却水の汚濁を避ける場合、または
冷却水の水質が悪く水垢の付着による冷却能力の低下が
著しい場合、耐蝕材料の使用が望まれるが、冷却水路の
みに耐蝕材料を用いることは製造技術的に困難であっ
た。
外側に冷却水を流すための冷却水路を設けるものは、ハ
ウジングを含む外周気体流路およびその外周の冷却水路
を一体とするものであり、構造が複雑である。冷却水は
ハウジングと一体となった冷却水路内を流れており、冷
却水路内の錆による冷却水の汚濁を避ける場合、または
冷却水の水質が悪く水垢の付着による冷却能力の低下が
著しい場合、耐蝕材料の使用が望まれるが、冷却水路の
みに耐蝕材料を用いることは製造技術的に困難であっ
た。
【０００５】本発明は、前述の従来形における問題点に
対処する解決策を提案するものである。本発明の目的
は、ロータリ形多段真空ポンプにおいて、特別な制御装
置を使用せず、気体の物性に見合った冷却能力が得ら
れ、ハウジングの構造が簡素化され、冷却水路に耐蝕性
材料を使用することが簡単にできるようにすることにあ
る。
対処する解決策を提案するものである。本発明の目的
は、ロータリ形多段真空ポンプにおいて、特別な制御装
置を使用せず、気体の物性に見合った冷却能力が得ら
れ、ハウジングの構造が簡素化され、冷却水路に耐蝕性
材料を使用することが簡単にできるようにすることにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては、複数
のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される各ポ
ンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロー
タを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤滑油
を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハ
ウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジン
グの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポンプ区
分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、各ポ
ンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を通り
次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該ハウ
ジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体流路
の外壁を、冷却水を流すための流路を内包する冷却器に
より形成し、気体の冷却能力が適正にされた、ことを特
徴とするロータリ形多段真空ポンプが提供される。
のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される各ポ
ンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロー
タを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤滑油
を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハ
ウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジン
グの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポンプ区
分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、各ポ
ンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を通り
次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該ハウ
ジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体流路
の外壁を、冷却水を流すための流路を内包する冷却器に
より形成し、気体の冷却能力が適正にされた、ことを特
徴とするロータリ形多段真空ポンプが提供される。
【０００７】この真空ポンプの作用は、以下の通りであ
る。各ポンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込ま
れた気体は、ロータの動作にもとづき移送されるが、こ
の時該気体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外
壁に取り付けられた冷却器により放熱するとともに、ハ
ウジングが冷却水により直接冷却されることを防止する
ことによって、ハウジングを適度な温度に保温しつつ外
周気体流路を流れ、次のポンプ区分に流入する。該流入
する気体は、冷却器の取付け個数により、その冷却面積
は選択できるので、気体はその物性値に合わせて設定さ
れた、適度な温度まで冷却器により冷却され、外周気体
流路を流れ続け、次のポンプ区分の吸込口に到る。以上
の作用が各ポンプ区分において順次行われる。
る。各ポンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込ま
れた気体は、ロータの動作にもとづき移送されるが、こ
の時該気体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外
壁に取り付けられた冷却器により放熱するとともに、ハ
ウジングが冷却水により直接冷却されることを防止する
ことによって、ハウジングを適度な温度に保温しつつ外
周気体流路を流れ、次のポンプ区分に流入する。該流入
する気体は、冷却器の取付け個数により、その冷却面積
は選択できるので、気体はその物性値に合わせて設定さ
れた、適度な温度まで冷却器により冷却され、外周気体
流路を流れ続け、次のポンプ区分の吸込口に到る。以上
の作用が各ポンプ区分において順次行われる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の真空ポンプにおいては、
複数のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される
各ポンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該
ロータを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤
滑油を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵す
るハウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウ
ジングの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポン
プ区分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、
各ポンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を
通り次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分にお
いて圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該
ハウジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体
流路の外壁を、冷却水を流すための流路を内包する冷却
器により形成し、気体の冷却能力が適正にされる。
複数のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される
各ポンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該
ロータを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤
滑油を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵す
るハウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウ
ジングの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポン
プ区分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、
各ポンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を
通り次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分にお
いて圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該
ハウジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体
流路の外壁を、冷却水を流すための流路を内包する冷却
器により形成し、気体の冷却能力が適正にされる。
【０００９】この真空ポンプにおいては、冷却器を予め
選択された数の冷却器として形成することが可能であ
る。また、冷却水の流れる冷却流路のみを耐蝕材料、例
えばステンレス材、で製作することが可能である。
選択された数の冷却器として形成することが可能であ
る。また、冷却水の流れる冷却流路のみを耐蝕材料、例
えばステンレス材、で製作することが可能である。
【００１０】本発明の一実施例として、第１ポンプ区分
１、第２ポンプ区分２、第３ポンプ区分３、を持つロー
タリ形多段真空ポンプが図に示されている。図１は、図
２のＩ−Ｉ断面図であり、図３は、III −III 断面図、
図４は、IV−IV断面図、図５はＶ−Ｖ断面図である。そ
して図６はIII −III 断面における冷却器を２個に減ら
した図である。
１、第２ポンプ区分２、第３ポンプ区分３、を持つロー
タリ形多段真空ポンプが図に示されている。図１は、図
２のＩ−Ｉ断面図であり、図３は、III −III 断面図、
図４は、IV−IV断面図、図５はＶ−Ｖ断面図である。そ
して図６はIII −III 断面における冷却器を２個に減ら
した図である。
【００１１】真空ポンプの構造は以下の通りである。図
２において、隔壁４で第１ポンプ区分１と第２ポンプ区
分２に区切られ、隔壁５で第２ポンプ区分２と第３ポン
プ区分３に区切られており、図１において、第１シャフ
ト７１と第２シャフト７２は、各ポンプ区分を貫通して
それぞれ２個所の軸受け機構７４で支承され、タイミン
グギヤセット７３で互いに反対方向に回転するように組
み込まれている。第一シャフトは、軸封機構７５を貫通
し電動機により駆動されることができる。
２において、隔壁４で第１ポンプ区分１と第２ポンプ区
分２に区切られ、隔壁５で第２ポンプ区分２と第３ポン
プ区分３に区切られており、図１において、第１シャフ
ト７１と第２シャフト７２は、各ポンプ区分を貫通して
それぞれ２個所の軸受け機構７４で支承され、タイミン
グギヤセット７３で互いに反対方向に回転するように組
み込まれている。第一シャフトは、軸封機構７５を貫通
し電動機により駆動されることができる。
【００１２】各ポンプ区分の構造は、以下の通りであ
る。図２および図３において、第一ポンプ区分１は、吸
込口１３と吐出口１４とを有するハウジング１１と一対
の軸７１，７２に支承されるロータ１２Ａ，１２Ｂから
成り、ハウジング１１の外周部には吐出口１４と第２区
分へ向かう外周気体流路１６Ａ，１６Ｂを有し、外周気
体流路１６Ａ，１６Ｂの外周部には、冷却水を流すため
の冷却器１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを有する。
る。図２および図３において、第一ポンプ区分１は、吸
込口１３と吐出口１４とを有するハウジング１１と一対
の軸７１，７２に支承されるロータ１２Ａ，１２Ｂから
成り、ハウジング１１の外周部には吐出口１４と第２区
分へ向かう外周気体流路１６Ａ，１６Ｂを有し、外周気
体流路１６Ａ，１６Ｂの外周部には、冷却水を流すため
の冷却器１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを有する。
【００１３】図２および図４において、第２ポンプ区分
２は、吸込口２３と吐出口２４とを有するハウジング２
１と一対の軸７１，７２に支承されるロータ２２Ａ，２
２Ｂから成り、ハウジング２１の外周部には、第１ポン
プ区分より第２ポンプ区分の吸込口２３に連通する外周
気体流路１６Ａ，１６Ｂと、吐出口２４と第３ポンプ区
分へ向かう外周気体流路２６Ａ，２６Ｂを有し、外周気
体流路１６Ａ，１６Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの外壁には冷却
水を流すための冷却器１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ
を有する。
２は、吸込口２３と吐出口２４とを有するハウジング２
１と一対の軸７１，７２に支承されるロータ２２Ａ，２
２Ｂから成り、ハウジング２１の外周部には、第１ポン
プ区分より第２ポンプ区分の吸込口２３に連通する外周
気体流路１６Ａ，１６Ｂと、吐出口２４と第３ポンプ区
分へ向かう外周気体流路２６Ａ，２６Ｂを有し、外周気
体流路１６Ａ，１６Ｂ，２６Ａ，２６Ｂの外壁には冷却
水を流すための冷却器１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ
を有する。
【００１４】図２および図５において、第３ポンプ区分
３は、吸込口３３と吐出口３４とを有するハウジング３
１と一対の軸７１，７２に支承されるロータ３２Ａ，３
２Ｂから成り、ハウジング３１の外周部には、第２ポン
プ区分により第２ポンプ区分の吸込口３３に連通する外
周気体流路２６Ａ，２６Ｂを有し、外周気体流路２６
Ａ，２６Ｂの外周部には、冷却水を流すための冷却器１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを有する。図１〜図５に
おいて、冷却流路は同一個所のものは各ポンプ区分につ
いて、共通で一体化されており、冷却水の入り口は冷却
水の出口に連通している。
３は、吸込口３３と吐出口３４とを有するハウジング３
１と一対の軸７１，７２に支承されるロータ３２Ａ，３
２Ｂから成り、ハウジング３１の外周部には、第２ポン
プ区分により第２ポンプ区分の吸込口３３に連通する外
周気体流路２６Ａ，２６Ｂを有し、外周気体流路２６
Ａ，２６Ｂの外周部には、冷却水を流すための冷却器１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを有する。図１〜図５に
おいて、冷却流路は同一個所のものは各ポンプ区分につ
いて、共通で一体化されており、冷却水の入り口は冷却
水の出口に連通している。
【００１５】本ポンプ装置の動作を図１〜図５を用いて
説明すると下記の通りである。第１ポンプ区分１におい
て、図２および図３に示すように、ポンプの吸込気体Ｇ
８１は、ポンプの吸込口８１を通り第１ポンプ区分の吸
込口１３から吸込気体として吸込まれ、ロータ１２Ａ，
１２Ｂの動作にもとづき移送され、第１ポンプ区分の吐
出気体Ｇ１４として吐出口１４から外周気体流路１６
Ａ，１６Ｂに吐出される。吐出気体Ｇ１４は、冷却流路
内を流れる冷却水Ｗ９により冷却された冷却流路１５
Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに放熱しつつ外周気体流路
１６Ａ，１６Ｂを流れ第２ポンプ区分の吸込口２３へ流
入する。
説明すると下記の通りである。第１ポンプ区分１におい
て、図２および図３に示すように、ポンプの吸込気体Ｇ
８１は、ポンプの吸込口８１を通り第１ポンプ区分の吸
込口１３から吸込気体として吸込まれ、ロータ１２Ａ，
１２Ｂの動作にもとづき移送され、第１ポンプ区分の吐
出気体Ｇ１４として吐出口１４から外周気体流路１６
Ａ，１６Ｂに吐出される。吐出気体Ｇ１４は、冷却流路
内を流れる冷却水Ｗ９により冷却された冷却流路１５
Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに放熱しつつ外周気体流路
１６Ａ，１６Ｂを流れ第２ポンプ区分の吸込口２３へ流
入する。
【００１６】第２ポンプ区分２において、図２および図
４に示すように、ポンプの吸込気体Ｇ２３は、第２ポン
プ区分の吸込口２３から吸込まれ、ロータ２２Ａ，２２
Ｂの動作にもとづき移送され、第２ポンプ区分の吐出気
体Ｇ２４として吐出口２４から外周気体流路２６Ａ，２
６Ｂに吐出される。吐出気体Ｇ２４は、冷却流路内を流
れる冷却水Ｗ９により冷却される冷却流路１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに放熱しつつ外周気体流路２６Ａ，
２６Ｂを流れ第３ポンプ区分の吸込口３３へ流入する。
４に示すように、ポンプの吸込気体Ｇ２３は、第２ポン
プ区分の吸込口２３から吸込まれ、ロータ２２Ａ，２２
Ｂの動作にもとづき移送され、第２ポンプ区分の吐出気
体Ｇ２４として吐出口２４から外周気体流路２６Ａ，２
６Ｂに吐出される。吐出気体Ｇ２４は、冷却流路内を流
れる冷却水Ｗ９により冷却される冷却流路１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに放熱しつつ外周気体流路２６Ａ，
２６Ｂを流れ第３ポンプ区分の吸込口３３へ流入する。
【００１７】第３ポンプ区分においては、図２と図５に
示すように、第３ポンプの吸込気体Ｇ３３は、吸込口３
３から吸込まれ、ロータ３２Ａ，３２Ｂの動作にもとづ
き移送され、ポンプの吐出口８２よりポンプ外へ吐出気
体Ｇ８２として吐出される。
示すように、第３ポンプの吸込気体Ｇ３３は、吸込口３
３から吸込まれ、ロータ３２Ａ，３２Ｂの動作にもとづ
き移送され、ポンプの吐出口８２よりポンプ外へ吐出気
体Ｇ８２として吐出される。
【００１８】本発明による真空ポンプにおいては、各ポ
ンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込まれた気体
は、ロータの動作にもとづき移送される。このとき該気
体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外壁に取り
付けられた冷却器により放熱するとともに、ハウジング
が冷却水により直接冷却されることが防止され、気体は
ハウジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流
れ、次のポンプ区分に流入する。該流入する気体は、予
め選定された数の冷却器により冷却面積が決定される。
気体は、その物性値に合わせて設定される適度な温度ま
で冷却器により冷却され、外周気体流路を流れ続け、次
のポンプ区分の吸込口に到達する。以上の作用が各ポン
プ区分において順次行われる。
ンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込まれた気体
は、ロータの動作にもとづき移送される。このとき該気
体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外壁に取り
付けられた冷却器により放熱するとともに、ハウジング
が冷却水により直接冷却されることが防止され、気体は
ハウジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流
れ、次のポンプ区分に流入する。該流入する気体は、予
め選定された数の冷却器により冷却面積が決定される。
気体は、その物性値に合わせて設定される適度な温度ま
で冷却器により冷却され、外周気体流路を流れ続け、次
のポンプ区分の吸込口に到達する。以上の作用が各ポン
プ区分において順次行われる。
【００１９】以上はポンプ区分が３個の場合について記
述したが、４個以上についても第１ポンプ区分は図３の
構成、最終ポンプ区分においては図５の構成をとること
になる。
述したが、４個以上についても第１ポンプ区分は図３の
構成、最終ポンプ区分においては図５の構成をとること
になる。
【図１】本発明の一実施例として、３段ロータリ真空ポ
ンプの構造図である。
ンプの構造図である。
【図２】図１のポンプを垂直方向の断面図であらわした
図である。
図である。
【図３】図２のポンプのIII −III 断面図である。
【図４】図２のポンプのIV−IV断面図である。
【図５】図２のポンプのＶ−Ｖ断面図である。
【図６】図２のポンプのIII −III 断面図における冷却
器を２個に減らした場合の図である。
器を２個に減らした場合の図である。
１…第１ポンプ区分 １１…ハウジング １２Ａ，１２Ｂ…ロータ １３…吸込口 １４…吐出口 １５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ…冷却器 １６Ａ，１６Ｂ…外周気体流路 ２…第２ポンプ区分 ２１…ハウジング ２３…吸込口 ２４…吐出口 ２６Ａ，２６Ｂ…外周気体流路 ３…第３ポンプ区分 ３１…ハウジング ３２Ａ，３２Ｂ…ロータ ３３…吸込口 ３４…吐出口 ７１…第１シャフト ７２…第２シャフト ７３…タイミングギヤセット ７４…軸受け機構 ７５…軸封機構 ８１…ポンプの吸込口 ８２…ポンプの吐出口 Ｇ１４…第１ポンプ区分の吐出気体 Ｇ２３…第２ポンプ区分の吸込気体 Ｇ２４…第２ポンプ区分の吐出気体 Ｇ３３…第３ポンプ区分の吸込気体 Ｇ８１…ポンプの吸込気体 Ｇ８２…ポンプの吐出気体 Ｗ９…冷却水 ４…第１ポンプ区分と第２ポンプの隔壁 ５…第２ポンプ区分と第３ポンプの隔壁
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年３月３０日（２０００．３．３
０）
０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては、複数
のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される各ポ
ンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロー
タを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤滑油
を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハ
ウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジン
グの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポンプ区
分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、各ポ
ンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を通り
次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該ハウ
ジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体流路
の外壁部分が除去され、該除去された外壁部分の代りと
して冷却水を流すための流路を内包する冷却器が設けら
れ、該冷却器の個数および冷却面積が予め選択され、該
冷却器により外周気体通路を流れる気体が適切な温度に
冷却されるようになっている、ことを特徴とするロータ
リ形多段真空ポンプ、が提供される。
のポンプ区分により形成され、軸受けに支承される各ポ
ンプ区分の軸、これらの軸に固定されるロータ、該ロー
タを同期させるために軸端に一対のギヤ、および潤滑油
を貯溜する油槽が設けられ、各ポンプ区分を内蔵するハ
ウジングには、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジン
グの外周部には、各ポンプ区分の吐出口と次のポンプ区
分の吸込口とを連結する外周気体流路が設けられ、各ポ
ンプ区分より吐出された気体は、該外周気体流路を通り
次のポンプ区分に吸込まれ、順次各ポンプ区分において
圧縮されるロータリ形多段真空ポンプにおいて、該ハウ
ジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気体流路
の外壁部分が除去され、該除去された外壁部分の代りと
して冷却水を流すための流路を内包する冷却器が設けら
れ、該冷却器の個数および冷却面積が予め選択され、該
冷却器により外周気体通路を流れる気体が適切な温度に
冷却されるようになっている、ことを特徴とするロータ
リ形多段真空ポンプ、が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】本発明による真空ポンプにおいては、各ポ
ンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込まれた気体
は、ロータの動作にもとづき移送される。このとき該気
体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外壁に取り
付けられた冷却器により放熱するとともに、ハウジング
が冷却水により直接冷却されることが防止され、気体は
ハウジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流
れ、次のポンプ区分に流入する。該流入する気体は、予
め選定された数の冷却器により冷却される。冷却器の個
数および冷却面積は適切な値に予め決定される。気体
は、その物性値に合わせて設定される適切な温度まで冷
却器により冷却される。冷却面積がこのように調整さ
れ、過冷却、不足冷却を生じないよう気体物性に適合し
た冷却面積が与えられる。気体は、外周気体流路を流れ
続け、次のポンプ区分の吸込口に到達する。以上の作用
が各ポンプ区分において順次行われる。
ンプ区分の吸込口からハウジング内部へ吸込まれた気体
は、ロータの動作にもとづき移送される。このとき該気
体は外周気体流路を通り、該外周気体流路の外壁に取り
付けられた冷却器により放熱するとともに、ハウジング
が冷却水により直接冷却されることが防止され、気体は
ハウジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流
れ、次のポンプ区分に流入する。該流入する気体は、予
め選定された数の冷却器により冷却される。冷却器の個
数および冷却面積は適切な値に予め決定される。気体
は、その物性値に合わせて設定される適切な温度まで冷
却器により冷却される。冷却面積がこのように調整さ
れ、過冷却、不足冷却を生じないよう気体物性に適合し
た冷却面積が与えられる。気体は、外周気体流路を流れ
続け、次のポンプ区分の吸込口に到達する。以上の作用
が各ポンプ区分において順次行われる。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のポンプ区分により形成され、軸受
けに支承される各ポンプ区分の軸、これらの軸に固定さ
れるロータ、該ロータを同期させるために軸端に一対の
ギヤ、および潤滑油を貯溜する油槽が設けられ、各ポン
プ区分を内蔵するハウジングには、吸込口、吐出口が設
けられ、該ハウジングの外周部には、各ポンプ区分の吐
出口と次のポンプ区分の吸込口とを連結する外周気体流
路が設けられ、各ポンプ区分より吐出された気体は、該
外周気体流路を通り次のポンプ区分に吸込まれ、順次各
ポンプ区分において圧縮されるロータリ形多段真空ポン
プにおいて、 該ハウジングの外周部の該ハウジングに隣接する外周気
体流路の外壁を、冷却水を流すための流路を内包する冷
却器により形成し、気体の冷却能力が適正にされた、こ
とを特徴とするロータリ形多段真空ポンプ。 - 【請求項２】 該冷却器は予め選択された数の冷却器と
して形成される、請求項１記載のロータリ形多段真空ポ
ンプ。 - 【請求項３】 該冷却器は、耐蝕性材料を用いて構成さ
れる、請求項１記載のロータリ形多段真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190660A JP2001020884A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 冷却器により形成される外壁をもつ気体流路を有するロータリ形多段真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190660A JP2001020884A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 冷却器により形成される外壁をもつ気体流路を有するロータリ形多段真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001020884A true JP2001020884A (ja) | 2001-01-23 |
Family
ID=16261794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11190660A Pending JP2001020884A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 冷却器により形成される外壁をもつ気体流路を有するロータリ形多段真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001020884A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408153B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2003-12-01 | 주식회사 우성진공 | 드라이 진공펌프 |
| WO2010041445A1 (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
| CN103104496A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种真空泵水冷结构 |
| WO2020160770A1 (fr) | 2019-02-06 | 2020-08-13 | Ateliers Busch Sa | Corps de pompe multiétagée et pompe à gaz multiétagée |
-
1999
- 1999-07-05 JP JP11190660A patent/JP2001020884A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408153B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2003-12-01 | 주식회사 우성진공 | 드라이 진공펌프 |
| WO2010041445A1 (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
| US8573956B2 (en) | 2008-10-10 | 2013-11-05 | Ulvac, Inc. | Multiple stage dry pump |
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| KR20210124385A (ko) * | 2019-02-06 | 2021-10-14 | 아뜰리에 부쉬 에스.아. | 다단 펌프 본체 및 다단 가스 펌프 |
| KR102612571B1 (ko) | 2019-02-06 | 2023-12-11 | 아뜰리에 부쉬 에스.아. | 다단 펌프 본체 및 다단 가스 펌프 |
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