CN110685912A - 一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构 - Google Patents

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Abstract

一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，包括转子本体，转子本体的一侧端面设置有母轴，母轴内开设有子轴腔，子轴腔内部两侧表面对称开设有定位键槽；转子本体的另一侧端面设置有子轴，相邻两个转子本体的子轴与子轴腔相匹配，子轴两侧表面开设有对称开设有键槽，键槽与定位键槽内通过子母轴键进行安装固定。本发明克服了现有技术的不足，通过轴承将第一级转子本体进行限位固定，而第二级转子本体只受到第一级转子本体中轴承的径向限位，且另一侧的母轴也是被轴承固定限位，因此第二级转子本体在运行过程中，其热膨胀位移和热应力是完全独立的，第一级转子本体的热膨胀位移并不会影响第二级的转子本体，而且又能同步驱动第二级的转子本体。

Description

一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构
技术领域
本发明涉及罗茨泵转子技术领域，具体涉及一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构。
背景技术
现有的多级罗茨泵都是两轴、三轴以及非共轴的，最为常见的罗茨的转子连接方式是在一根轴上套着至少2个或者多个罗茨转子，从而组成的多级罗茨泵。一根轴上连接多个罗茨转子最大的优势是，这些转子都是共轴的，同心度可以得到最大的保证，在加工上更加容易保证动平衡和减少累积误差。但是也有非常明显的不足之处。
由于罗茨转子的结构特性，其气流方式只能沿着径向方向流动，不能向螺杆转子沿着轴向方向流动。因此单个罗茨转子轴的两侧端面必须要有隔板阻挡，同时在轴与隔板处需要进行密封，防止气流从轴与隔板之间的密封处泄露。因此需要在安装过程中，先套入第一级的罗茨转子，然后再安装隔板和密封件，对第一级的泵腔进行密封。然后装第二级的罗茨转子，再安装隔板和密封件，对第二级的泵腔进行密封，依次实现多级罗茨转子的安装。
虽然在安装完毕后每一级罗茨转子与两侧的端盖预留的间隙是确定的，但是，在实际运行中，因为会出现热膨胀位移和热应力，因此是在第一级罗茨转子轴的一端采用球轴承固定。另一侧端则是可以位移的，而抵消热应力和热膨胀位移。对于第二级罗茨转子来说，其转子两侧端则都是可以位移的，靠近第一级罗茨转子的二级罗茨转子侧端的热位移量就是第一级罗茨转子整的热位移量，二级罗茨转子另一侧端的热位移量则是：第一级罗茨转子整的热位移量加上第二级罗茨转子整的热位移量。依次来看，越是级数多的罗茨转子，其两个侧端面的热位移量是前面几个罗茨转子总位移量的叠加。而热位移量是由实际运行温度，不同材料在不同温度下的热喷胀系数共同决定的，再加上装配累积误差，在安装时所需要预留的间隙是很难预测和控制的。这也就是为什么多级罗茨泵在安装时，对于调整和固定后几级的罗茨转子与端面的间隙非常困难。传统的做法是，预留间隙放大，但过大的间隙因返流会造成效率降低，震动变大，直接造成多级罗茨真空泵性能不达标。但即使按照预留标准调整好，在实际运行中也很容易出现后几级转子卡泵咬死的现象，就是因为多级转子在一根轴上，其热膨胀量属于累加，后几级转子的预留间隙量不能控制而造成的。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，克服了现有技术的不足，设计合理，通过轴承将第一级转子本体进行限位固定，而第二级转子本体只受到第一级转子本体中轴承的径向限位，同样第二级转子本体另一侧的母轴也是被轴承固定限位，因此第二级转子本体在运行过程中，其热膨胀位移和热应力是完全独立的，第一级转子本体的热膨胀位移并不会影响第二级的转子本体，而且又能同步驱动第二级的转子本体。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：
一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，包括转子本体，所述转子本体的一侧端面设置有母轴，所述母轴内开设有子轴腔，所述子轴腔与母轴同心同轴设置，所述子轴腔内部两侧表面对称开设有定位键槽；所述转子本体的另一侧端面设置有子轴，所述子轴与母轴同心同轴设置，且相邻两个转子本体的子轴与子轴腔相匹配，所述子轴两侧表面开设有对称开设有键槽，所述键槽与定位键槽相对应设置，且所述键槽与定位键槽内通过子母轴键进行安装固定。
优选地，所述定位键槽的深度小于子轴腔的深度，所述子轴腔的深度小于母轴的长度。
优选地，所述子轴表面的键槽长度小于子轴的长度。
优选地，所述母轴与子轴均采用铸铁材质，且所述子轴与子轴腔过盈配合。
优选地，所述子母轴键的一端侧面为平面端面，所述平面端面用于和母轴进行定位，所述子母轴键的另一端侧面为弧形端面，所述弧形端面用于对子轴的安装导向作用。
本发明提供了一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构。具备以下有益效果：通过子母轴键使相邻两个转子本体的母轴和子轴相配合同心圆装配，从而能够确保两个转子的轴在同一个轴中心上；同时也确保母轴和子轴通过子母轴键的配合安装后两个转子本体的轴旋转角度保持一致；并且由于第一级转子本体被轴承固定限位，而第二级转子本体只受到第一级转子本体中轴承的径向限位，同样第二级转子本体另一侧的母轴也是被轴承固定限位，因此第二级转子本体在运行过程中，其热膨胀位移和热应力是完全独立的，第一级转子本体的热膨胀位移并不会影响第二级的转子本体，而且又能同步驱动第二级的转子本体。
附图说明
为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1 本发明的结构示意图；
图2 本发明的剖面图；
图3 本发明中子母轴键的结构示意图；
图4 本发明中子母轴键的剖面图；
图5 本发明在组合时的状态结构示意图；
图6 本发明组合时的剖面图一；
图7 本发明组合时的剖面图二；
图中标号说明：
1、转子本体；2、母轴；3、子轴；4、定位键槽；5、键槽；6、子母轴键；61、平面端面；62、弧形端面；7、子轴腔。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1-7所示，一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，包括转子本体1，转子本体1的一侧端面设置有母轴2，母轴2内开设有子轴腔7，子轴腔7与母轴2同心同轴设置，子轴腔7内部两侧表面对称开设有定位键槽4；转子本体1的另一侧端面设置有子轴3，子轴3与母轴2同心同轴设置，且相邻两个转子本体1的子轴3与子轴腔7相匹配，子轴3两侧表面开设有对称开设有键槽5，键槽5与定位键槽4相对应设置，且键槽5与定位键槽4内通过子母轴键6进行安装固定。
在本发明实施中，一个整体的罗茨泵转子是由多个转子本体1进行组合，且每个转子本体1的尺寸包括转子本体1的长度、外径和行线结构等均可以不同，只需要每个转子本体1的母轴2内子轴腔7的内径、子轴3的外径、子轴腔7内的定位键槽4和子轴3外表面的键槽5一致即可。并且第一级转子本体1只需要母轴，而另一侧端面为正常轴设计，并且能够满足满足齿轮、轴承、锁紧螺母等部件安装即可。
在多个转子本体1进行组合之前，先将第一级转子本体1正常轴的一端的部件进行安装，从而对第一级转子本体1进行定位，而第一级转子本体1的母轴2外表面也可以安装轴承，从而通过两个轴承使整个第一级转子本体1都进行限位，再安装隔板和密封元件，使得第一级罗茨泵腔两侧端面密封，从而使第一级转子本体1在一个独立的罗茨泵腔内。并且隔板上预留出第一级转子本体1的母轴2，用于与第二级转子本体1的子轴相连接。
在将多个转子本体1进行组合时，先在第一级转子本体1的母轴2内安装两个子母轴键6，并使子母轴键6与定位键槽4相对应，再将第二级转子本体1的子轴3表面的键槽5对准第一级转子本体1的母轴2内已经安装好的两个子母轴键6，以保证子轴3插入母轴2中，并且母轴2和子轴3是同心圆装配，从而能够确保两个转子的轴在同一个轴中心上；同时确保母轴2和子轴3通过子母轴键6的配合安装后两个转子本体1的轴旋转角度保持一致；并且为了进一步提高旋转时的轴旋转角度，消除累积误差，在几个转子啮合装配在一起后，可将几个转子本体1整体加工其外圆型线，以确保几个转子本体1的轴旋转角度完全一致。
在将第二级转子本体1的子轴3插入第一级转子本体1的母轴2后，由于第一级转子本体1被轴承固定限位（包括轴向和径向），而第二级转子本体1的子轴3因为与第一级转子本体1的母轴2可以轴向位移，因此只受到第一级转子本体1中轴承的径向限位，同样第二级转子本体1另一侧的母轴2也是被轴承固定限位（包括轴向和径向），因此第二级转子本体1在运行过程中，其热膨胀位移和热应力就是完全独立的，第一级转子本体1的热膨胀位移并不会影响第二级的转子本体1，但又能同步驱动第二级的转子本体1；同理第三级转子本体1的子轴3以相同的方式插入在第二级转子本体1的母轴2中；使多级罗茨泵的每一个转子本体1都是独立固定且热膨胀位移也是独立的，不存在累积叠加。从而只要精度满足要求，多级罗茨泵的级数可以更多，且不受热膨胀位移和热应力的影响。
进一步的，定位键槽4的深度小于子轴腔7的深度，子轴腔7的深度小于母轴2的长度。并且保证母轴2的外圆是连续的，在最外圆的弧面没有缺口，由于子轴腔7的深度达不到母轴2的根部，因此能够保证母轴2的强度。使在驱动的时，不会因为角旋转力使得母轴2在转子本体1的根部处撕裂。
进一步的，子轴3表面的键槽5长度小于子轴3的长度，并且保证子轴3外圆是连续的，在最外圆的弧面没有缺口。由于键槽5长度也达不到子轴3的根部，因此能够保证子轴3的强度。使在驱动的时，不会因为角旋转力使得子轴3在转子本体1的根部处撕裂。
进一步的，母轴2与子轴3均采用铸铁材质，且子轴3与子轴腔7过盈配合。从而能够满足子轴3顺利插入母轴2而不出现黏连。
进一步的，子母轴键6的一端侧面为平面端面61，平面端面61用于和母轴2进行定位，使子母轴键6安装在定位键槽4内时，平面端面61能够与定位键槽4的端面相贴合；子母轴键6的另一端侧面为弧形端面62，通过弧形端面62，使子轴3在插入母轴2时能够起到一定的安装导向作用；并且与母轴2啮合实现的驱动的是子母轴键6的两端上侧面和顶面，与子轴3啮合实现的驱动的是子母轴键6的两端下侧面和底面。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，包括转子本体（1），其特征在于：所述转子本体（1）的一侧端面设置有母轴（2），所述母轴（2）内开设有子轴腔（7），所述子轴腔（7）与母轴（2）同心同轴设置，所述子轴腔（7）内部两侧表面对称开设有定位键槽（4）；
所述转子本体（1）的另一侧端面设置有子轴（3），所述子轴（3）与母轴（2）同心同轴设置，且相邻两个转子本体（1）的子轴（3）与子轴腔（7）相匹配，所述子轴（3）两侧表面开设有对称开设有键槽（5），所述键槽（5）与定位键槽（4）相对应设置，且所述键槽（5）与定位键槽（4）内通过子母轴键（6）进行安装固定。
2.根据权利要求1所述的一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，其特征在于：所述定位键槽（4）的深度小于子轴腔（7）的深度，所述子轴腔（7）的深度小于母轴（2）的长度。
3.根据权利要求1所述的一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，其特征在于：所述子轴（3）表面的键槽（5）长度小于子轴（3）的长度。
4.根据权利要求1所述的一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，其特征在于：所述母轴（2）与子轴（3）均采用铸铁材质，且所述子轴（3）与子轴腔（7）过盈配合。
5.根据权利要求1所述的一种多轴多级罗茨泵转子连接的结构，其特征在于：所述子母轴键（6）的一端侧面为平面端面（61），所述平面端面（61）用于和母轴（2）进行定位，所述子母轴键（6）的另一端侧面为弧形端面（62），所述弧形端面（62）用于对子轴（3）的安装导向作用。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111706509A (zh) * 2020-06-30 2020-09-25 江苏格里克真空技术有限公司 三轴多级罗茨泵
CN116538089A (zh) * 2023-06-08 2023-08-04 北京通嘉宏瑞科技有限公司 转子结构及真空泵

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2349425B (en) * 1999-03-29 2003-03-19 Deutz Ag Internal geared wheeled pump with play compensation in the drive region
CN203035795U (zh) * 2013-01-15 2013-07-03 乐清市三丰传动有限公司 一种球铰式万向联轴器
CN205895596U (zh) * 2016-08-05 2017-01-18 东莞市金达机电有限公司 一种空压机的传动组件
CN107420306A (zh) * 2017-09-13 2017-12-01 荣易 三轴模块化干式真空泵
CN107542796A (zh) * 2016-06-24 2018-01-05 山东华联矿业股份有限公司 潜孔钻回转减速机传动机构
CN208041089U (zh) * 2018-03-15 2018-11-02 江苏星晨高速电机有限公司 一种主轴的同步带轮定位结构
CN109505797A (zh) * 2017-09-14 2019-03-22 柴姣姣 一种便于维护的油泵轴

Family Cites Families (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2332271A (en) * 1942-04-17 1943-10-19 Eaton Mfg Co Key construction for fastening objects to rotatable shafts
US2694978A (en) 1952-08-23 1954-11-23 Oliver Iron And Steel Corp Rotary power device of the rotary abutment type
GB1513864A (en) 1974-07-02 1978-06-14 Morris S Rotary piston positive displacement fluid machines
US4171939A (en) * 1978-03-27 1979-10-23 Sundstrand Corporation Arrangement for mounting a gear on a shaft
US4595349A (en) 1983-06-20 1986-06-17 Eaton Corp. Supercharger rotor, shaft, and gear arrangement
US4728271A (en) * 1986-09-02 1988-03-01 Suntec Industries Incorporated Gear pump with improved pinion mounting
JP2691168B2 (ja) 1988-09-05 1997-12-17 株式会社宇野澤組鐵工所 冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ
US5090879A (en) 1989-06-20 1992-02-25 Weinbrecht John F Recirculating rotary gas compressor
US4958997A (en) * 1989-09-27 1990-09-25 Suntec Industries Incorporated Two-stage gear pump with improved spur gear mounting
JPH03145594A (ja) 1989-10-30 1991-06-20 Anlet Co Ltd 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置
US5335640A (en) 1992-06-19 1994-08-09 Feuling Engineering, Inc. Rotor to casing seals for roots type superchargers
JPH09126171A (ja) * 1995-11-01 1997-05-13 Toshiba Corp 流体機械
EP0953771A1 (en) 1998-04-27 1999-11-03 Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho Single-stage and multi-stage roots pump
JP3896930B2 (ja) 2002-09-10 2007-03-22 株式会社豊田自動織機 流体ポンプ装置
JP2005098210A (ja) 2003-09-25 2005-04-14 Aisin Seiki Co Ltd 多段ドライポンプ
CN2667203Y (zh) 2003-11-06 2004-12-29 巴德纯 多级罗茨式无油真空泵
GB2417757A (en) 2004-09-02 2006-03-08 Boc Group Plc Vacuum pump with fewer rotors at exhaust stage
FR2883934B1 (fr) 2005-04-05 2010-08-20 Cit Alcatel Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie
GB2435675B (en) 2006-03-02 2011-02-09 Boc Group Plc Rotor assembly
US8215937B2 (en) 2006-07-19 2012-07-10 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Fluid machine with divided housing
GB0620144D0 (en) 2006-10-11 2006-11-22 Boc Group Plc Vacuum pump
US20100135839A1 (en) 2006-12-26 2010-06-03 Fraser Bruce A Screw compressor with integral bearing cover and discharge plenum divider
JP2009287579A (ja) 2008-05-27 2009-12-10 Toyota Industries Corp トルク伝達機構
US8082784B2 (en) 2008-06-16 2011-12-27 Romet Limited Rotary meter flexible edge impeller assembly
CN201396281Y (zh) 2009-03-19 2010-02-03 孙成忠 多级三叶罗茨真空泵
DE102010051316A1 (de) 2010-11-13 2012-05-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
KR101173168B1 (ko) 2010-11-17 2012-08-16 데이비드 김 다단형 건식 진공펌프
CN101985937B (zh) 2010-11-30 2012-10-17 东北大学 一种三轴爪型真空泵
CN101985935B (zh) 2010-11-30 2012-12-26 东北大学 一种三轴罗茨真空泵
GB2487376A (en) 2011-01-19 2012-07-25 Edwards Ltd Two material pump stator for corrosion resistance and thermal conductivity
KR101286187B1 (ko) 2011-11-08 2013-07-15 데이비드 김 다단형 건식 진공펌프
WO2013120049A1 (en) 2012-02-10 2013-08-15 Randy Dixon Rotary lobe pump with wiper blades
CN202851357U (zh) 2012-03-29 2013-04-03 浙江佳力科技股份有限公司 罗茨真空泵
JP2014001668A (ja) * 2012-06-18 2014-01-09 Toshiba Corp ルーツポンプ
CN202690445U (zh) 2012-07-13 2013-01-23 黄山拓达科技有限公司 一种真空机组
CN102828952B (zh) 2012-07-24 2015-04-08 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵
CN202867219U (zh) 2012-10-18 2013-04-10 江阴天田真空设备制造有限公司 带磁力传动装置的三叶形罗茨真空泵
CN103486034B (zh) 2013-10-17 2016-04-06 山东伯仲真空设备股份有限公司 多级罗茨泵
DE102013112704B4 (de) 2013-11-18 2022-01-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gehäuse für eine Wälzkolbenpumpe
CN107073846A (zh) 2014-09-25 2017-08-18 伊顿公司 复合成型旋转部件
CN205383080U (zh) 2015-08-27 2016-07-13 上海伊莱茨真空技术有限公司 一种多驱动腔非共轴真空泵
CN105222980B (zh) 2015-11-12 2016-09-14 浙江真空设备集团有限公司 一种风洞洞体抽真空系统
CN205779709U (zh) 2016-05-26 2016-12-07 河南豫辰药业股份有限公司 一种螺杆真空和罗茨真空联合改造的真空机组装置
CN105864036A (zh) 2016-06-12 2016-08-17 无锡市四方真空设备有限公司 一种具有机械密封结构的罗茨泵
US20190309756A1 (en) 2016-07-12 2019-10-10 Elivac Company, Ltd. Multistage power saving vacuum device with root vacuum pump in first stage
CN206377025U (zh) 2016-09-14 2017-08-04 江阴爱尔姆真空设备有限公司 一种全气冷罗茨机组
CN106499631A (zh) 2016-11-04 2017-03-15 西安航空动力控制科技有限公司 一种罗茨风机
CN107061284A (zh) 2017-04-11 2017-08-18 浙江神工真空设备制造有限公司 一种罗茨真空泵
CN106949050B (zh) 2017-05-22 2020-04-21 马德宝真空设备集团有限公司 一种罗茨泵
EP3434905B1 (de) 2017-07-25 2023-04-26 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe sowie verfahren zum betreiben einer vakuumpumpe
DE102019100404B4 (de) 2018-01-22 2023-06-22 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Motorgetriebene Wälzkolbenpumpe
CN108317080B (zh) 2018-04-17 2024-03-01 山东省章丘鼓风机股份有限公司 一种防爆的罗茨鼓风机
CN108799112B (zh) 2018-05-08 2019-08-13 王麒越 一种罗茨真空泵
CN108953146B (zh) 2018-07-09 2021-09-28 上海伊莱茨真空技术有限公司 一种循环油冷的罗茨泵
CN109026710A (zh) 2018-07-17 2018-12-18 西安交通大学 一种罗茨氢循环泵用径向密封件及罗茨氢循环泵
CN109058110A (zh) 2018-08-02 2018-12-21 抚顺煤矿电机制造有限责任公司 一种真空电机
CN209414166U (zh) 2018-12-04 2019-09-20 江阴爱尔姆真空设备有限公司 一种两级气冷罗茨液环真空机组
WO2020160770A1 (fr) 2019-02-06 2020-08-13 Ateliers Busch Sa Corps de pompe multiétagée et pompe à gaz multiétagée

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2349425B (en) * 1999-03-29 2003-03-19 Deutz Ag Internal geared wheeled pump with play compensation in the drive region
CN203035795U (zh) * 2013-01-15 2013-07-03 乐清市三丰传动有限公司 一种球铰式万向联轴器
CN107542796A (zh) * 2016-06-24 2018-01-05 山东华联矿业股份有限公司 潜孔钻回转减速机传动机构
CN205895596U (zh) * 2016-08-05 2017-01-18 东莞市金达机电有限公司 一种空压机的传动组件
CN107420306A (zh) * 2017-09-13 2017-12-01 荣易 三轴模块化干式真空泵
CN109505797A (zh) * 2017-09-14 2019-03-22 柴姣姣 一种便于维护的油泵轴
CN208041089U (zh) * 2018-03-15 2018-11-02 江苏星晨高速电机有限公司 一种主轴的同步带轮定位结构

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111706509A (zh) * 2020-06-30 2020-09-25 江苏格里克真空技术有限公司 三轴多级罗茨泵
CN116538089A (zh) * 2023-06-08 2023-08-04 北京通嘉宏瑞科技有限公司 转子结构及真空泵

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