TW201341663A - Pump - Google Patents

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Jack Raymond Tattersall
Neil Turner
Paul David Neller
Malcolm Williams Gray
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Abstract

本發明係關於一種具有複數個泵級12、14、16、18之一多級真空泵10。該泵包括一定子，其形成各自泵級之泵室32、34、36、38；及至少一軸桿40、42，其等係用於支撐在各自泵室中用於旋轉之複數個轉子44a、44b，46a、46b，48a、48b，50a、50b。該定子包括：一定子封套20，其延伸超過複數個定子級之一軸向範圍，藉此外接該至少一軸桿並且形成複數個定子級之一內部剖面；及複數個橫向壁22、24、26、28、30，其等定位於該等定子級之一軸向側上以形成各自該等泵室。該等橫向壁之至少一者係在定子級之間的一中間級26、28、30，並且該定子封套經組態以外接該中間級以在定子零件中向內徑向定位該中間級。

Description

泵
本發明係關於一種多級真空泵及一種此一泵之定子。
一種真空泵可藉由諸如魯氏泵(roots pump)或爪式泵之正排量泵形成，其具有串聯連接之一或多個泵級。需要多級泵，此係因為與串聯之多個泵相比多級泵涉及較少製造成本及組裝時間。
多級魯氏泵或爪式泵通常以兩個常見形式(即，作為一定子堆疊或蛤殼式)的一者製造及組裝。
圖10中展示具有一定子堆疊配置之一泵110。泵110包括複數個泵級112、114、116、118。該等泵級之每一者包括一轉子配置(未展示)及用於將流體自每一級之一入口抽汲至一出口的一定子配置120、122、124、126。一泵級之出口與鄰近下游級之一入口流體連通，使得藉由該泵達到之壓縮累積該等級之每一者。中間級配置128、130、132內插於鄰近泵級。中間級配置分離鄰近泵級之泵室，並且將流體自一上游泵級傳送至一下游泵級之入口。兩個頭板134、136定位於泵堆疊之每一末端處。該等頭板將最上游及最下游泵級之泵室自該泵的其他組件(諸如齒輪及電機)各自分離，並且將流體傳送至第一泵級之入口中，並且將流體自最後泵級之出口傳送。相應地，該泵係由層壓在一起以形成該泵之複數個離散層製造。層壓可藉由一或多個錨桿適當地達到，該等錨桿通行通過該等層之每一者中的 開口並且憑藉諸如螺栓之緊固件緊固。本文中，該等定子配置將被稱為定子片並且該等中間級配置簡單稱為中間級。
在圖11中展示通過該泵110之一斷面圖。該轉子配置在圖11中展示並且包括複數個轉子級138、140、142、144，此實例中，每一轉子級包括一對協作轉子A、B。為不使圖式具有過多參考數字之目的，僅將第一轉子級138中之該等轉子稱為A、B。藉由軸桿146支撐該等轉子A以旋轉，並且藉由軸桿148支撐該等轉子B以旋轉。在旋轉中，該等轉子級將流體自該級之一入口抽汲至該級之一出口，使得流體通過該等級自泵入口(IN)抽汲至泵出口(OUT)。
在組裝中，泵之個別組件按順序堆疊在一起。組裝一第一頭板134及軸桿146、148。定子級120通常憑藉榫釘抵著頭板134定位於適當位置。頭板及定子級之一或二者可包括環狀凹槽，其等收納用於密封介於頭板與定子級之間之介面的一O形環。該等轉子112裝配於該等軸桿上，並且可具有用於將該等轉子定位於正確位置中之一鑰匙控制配置。中間級128接著又一次通常使用榫釘抵著定子級120裝配，並且具有用於密封位於該頭板與該定子級該介面的一O形環。泵堆疊之剩餘部分以類似方式組裝，並且該堆疊可夾緊以抵抗組件之間在軸向方向上的移動。在一些配置中，每一中間級與一鄰近定子級整合，並且此整合式組件與上文描述般類似組裝。亦將清楚可以一不同順序組裝該泵，例如可最後裝配頭板。
在一替代配置中，一定子組件可包括先前提到之定子組件的二者，例如零件122及130可整合，前提是此等整合式組件僅形成一中間級。
必須精確控制轉子與中間級或頭板之間的軸向間隔或餘隙，此係因為否則經抽汲流體可通過該等軸向餘隙自泵室之一低真空區域漏洩至一高真空區域。在精確加工該等組件時，組件組態中不可避免地存在變化，該等變化需要在潛在地增加轉子與中間級或頭板之間之軸向餘隙的泵設計上強加容限。泵堆疊經受藉由組件之間之許多介面之每一者提供的容限之一累積的不利影響。在圖解說明之泵中有八個此等介面。因此將理解不可精確控制轉子與中間級或頭板之間的相對位置，其或導致經抽汲流體之漏洩、或轉子與中間級或頭板之間的接觸。
組件大小中之變化可造成導致卡住之過多餘隙或不足餘隙。為消除卡住之可能性，將增加標稱餘隙，導致過多餘隙及及受損真空效能的增加可能性。繼而此可造成具有複雜性及成本的相關增長之對於額外泵級的一需要。
額外地，因為每一介面需要密封，所以大量介面需要大量密封物，密封物之每一者係潛在漏洩源。可能未正確組裝該等密封物；該等O形環隨時間推移被化學腐蝕降解；並且接合O形環之不完全密封面全部促成尤其經降低密封。
對O形環之需求增加泵之成本並且添加O形環凹槽的額外加工。該等榫釘及榫釘孔亦促成成本及製造。
在EP 0480629中揭示一種經修改定子堆疊配置。此文件揭示末端對末端地結合在一起之定子零件的一堆疊16。在各自定子零件內側徑向定位中間級17。中間級之外周邊及定子零件之間的軸向介面憑藉O形環密封。此配置經受上文較詳細描述之定子配置的許多缺點的不利影響。定子零件之間的介面需要密封並且緊固在一起以防止經抽汲流體自該泵逸出。亦不可避免地存在軸向容限之一累積，該累積限制設計一精確泵的能力。
一替代泵配置包括如圖12中圖解說明之一所謂蛤殼。該泵150包括兩個定子零件或殼152、154。該定子零件154自圖式之觀點較詳細展示，並且定子零件152具有一對應組態。定子零件154包括頭板部分164、166及中間級168、170、172、174、176，其等與零件152一起形成定子級155、156、157、158、159、160。頭板及中間級具有凹陷178，其在組裝時收納該等轉子支撐於其等上的兩個軸桿。
在組裝時，如藉由圖12中之箭頭展示般將該等轉子及軸桿(未展示)接在一起，並且藉由榫釘定位於適當位置，接著經密封並且夾緊以形成泵。第一與第二定子零件之間的介面174通常憑藉一密封墊或密封劑密封，其較先前討論之O形環針對漏洩固有地抵抗較弱。
要求緊密控制該等轉子與定子級之間的徑向間隔或餘隙，使得該等轉子在旋轉期間可有效地拂掠泵室之內部表面，並且阻擋經過該等轉子之流體的漏洩。在一蛤殼式定 子中，徑向容限較大，此係因為不能如一定子堆疊之鑽孔般簡單或精確地加工定子剖面。需要額外軸向容限，以防止兩個定子半體之間的潛在不對準。
本發明提供一種經改良真空泵。
本發明提供一種具有複數個泵級之多級真空泵，該泵包括形成各自泵級之泵室的一定子，及用於支撐在各自泵室中用於旋轉之複數個轉子的至少一軸桿，該定子包括：一定子封套，其延伸超過複數個定子級之一軸向範圍，藉此外接該至少一軸桿並且形成複數個定子級之一內部剖面；及複數個橫向壁，其等定位於該等定子級之任一軸向側上以形成各自該等泵室，其中該等橫向壁之至少一者係在定子級之間的一中間級，並且該定子封套經組態以外接中間級以在定子零件中向內徑向定位該中間級。
本發明亦提供一種用於多級泵之定子。
為可較佳瞭解本發明，現在將參考圖式描述僅藉由實例之方式給出之其等的一些實施例。
參考圖1，一多級真空泵10經展示具有複數個泵級12、14、16、18。在此實例中，提供四個泵級，但是可根據要求而存在兩個、三個或多於四個泵級。該泵包括一定子，該定子包括形成各自泵級之該等泵室32、34、36、38的組件20、22、24、26、28、30。圖1展示一魯氏式泵或爪式泵，其中存在支撐在各自泵室32、34、36、38中用於旋轉 之複數個嚙合轉子對44a、44b，46a、46b，48a、48b，50a、50b的兩個軸桿40、42。其他類型之泵機制落入本發明之範疇內，諸如在每一泵室中具有支撐一單個轉子之一單個軸桿的一轉葉式泵。
如圖1中展示，定子包括一單件式定子零件、或封套20，其外接該等軸向軸桿並且形成複數個定子級之一內部剖面52。此配置係與其中一定子零件外接該等軸桿的已知定子堆疊配置區分，但是僅界定一定子級之內部剖面。類似地，本發明配置係與其中一定子零件僅繞該軸桿部分延伸並且具有一內部剖面的已知蛤殼式配置區分，該內部剖面形成複數個泵室之定子級的部分。
亦參考圖2，其展示沿通過泵級16之線II-II通過圖1中之泵所取之一徑向橫截面。將瞭解該等泵級12、14及18具有類似橫截面。該定子零件20形成該四個定子級之每一者的內部剖面52。在使用中，在旋轉期間該等定子級之內部剖面52藉由轉子44至50拂掠。維持該等轉子之徑向極端與內部剖面52之間的一小餘隙以允許在使用期間膨脹。定子零件20之外剖面54可係諸如一方塊之任何適合形狀。然而較佳地該外剖面相對薄以允許熱量轉移離開該等泵室，並且在此情況中外剖面54可大約係如內部剖面的相同形狀。
再次參考圖1，複數個橫向壁22、24、26、28、30定位於該等定子級之任一軸向側上以形成泵室32、34、36、38。橫向壁22、24係定位於定子零件之軸向末端處的所謂頭板。若需要，該等頭板之一者可與定子零件20整合地形 成。該等橫向壁26、28、30係所謂中間級，此係因為該等橫向壁定位於兩個鄰近定子級之間。該定子零件20經組態以外接該等橫向壁26、28、30以在定子零件中向內徑向定位該等橫向壁。固定構件56將該等中間級固定於適當位置中。本發明係關於具有兩個或以上級之一多級泵，並且在具有僅兩個級之一泵中需要在定子零件20中向內徑向定位僅一中間級。
定子零件封閉泵之軸或諸軸並且延伸360°，不像先前討論其中每一定子零件繞軸或諸軸延伸僅約180°之蛤殼式配置。額外地，定子零件界定複數個定子級，該複數個定子級與一或多個中間級一起形成複數個泵室。此配置不像先前討論之定子堆疊配置，其中一定子零件封閉泵之軸並且延伸360°之定子堆疊配置，但每一定子零件界定僅一單個定子級。
相應地，定子零件或封閉體具有一縱向或軸向延伸之內部空腔，其通過該封閉體部分或全部延伸。圖3展示定子零件20之空腔64，為清楚之目的而無其他零件。頭板之位置60及中間級之位置62由虛線展示。構成58展示於中間級可固定於適當位置之處，並且下文較詳細描述。如圖3中展示，通過該等定子級之每一者之橫截面大體上均勻，並且自一級至下一級之橫截面亦均勻。因此，該等中間級大小及形狀大體上類似。
在圖4中展示之一替代配置中，每一級之橫截面可係均勻的，但是自一級至下一級不同。該等定子級朝向圖之右 側具有更大體積，其等通常係泵之上游泵級。圖4示意地展示泵之三個製造階段。在圖4a中，定子零件20與兩個中間級26、28一起展示於一未組裝條件中。在圖4b中之一部分組裝條件中，將一或多個第一轉子44插入穿過該內部空腔64並且定位於一或多個軸桿(未展示)上之適當位置。接著將一第一中間級26插入穿過空腔並且鎖於適當位置。隨後，一或多個第二轉子46定位於該等軸桿上之適當位置，並且將該第二中間級28插入穿過空腔64並且鎖於適當位置。在圖4c中之一完全組裝之條件中，一或多個第三轉子48鎖於該或該等軸桿上之適當位置，並且頭板22、24固定於定子零件20之軸向末端處的適當位置。
在一仍進一步替代方案中，鄰近橫向壁之間之軸向間隔A1、A2、A3、A4、A5(圖5)可根據泵要求而自一定子級至下一定子級而不同。在一實例中，該等中間級可如先前討論般定位於定子零件之預先界定構成處。就此而言，固定構件經組態以將該等中間級之至少一者、並且較佳地所有中間級定位並且固定於沿該定子零件之軸向範圍的任何經選擇位置處。該等中間級可干涉配合於定子20內側並且可具有一徑向外周邊，該徑向外周邊包括一密封材料以抵著該定子20之內表面密封。
在如圖5中展示之另一實例中，定子零件中之該等中間級之位置非預先界定的，並且可藉由可操作地組裝該泵而在原處選擇。當在組裝時選擇中間級位置時，可能從餘隙消除針對在轉子及定子組件中之製造變化的一些容差，因 此無須增加製造成本而改良機器效能。就此而言，一或多個中間級可經配置以浮動於鄰近轉子之間。一浮動中間級非固定至該定子並且在軸向方向上自由移動。憑藉中間級之互補形狀及定子之內表面防止中間級的角度移動。藉由鄰近浮動中間級之轉子的軸向末端而抑制軸向移動。較佳地，用一摩擦減少材料塗覆該等中間級及塗覆該等轉子之軸向末端，以減少針對該等轉子之旋轉的阻力，並且減少摩擦加熱。因為該等浮動中間級將藉由該等鄰近轉子(而非藉由固定至定子封套)而定位於適當位置，並且因為可自泵餘隙去除許多針對熱膨脹的容差，所以此配置允許要求之總軸向餘隙中的一進一步減少。
圖6較詳細地展示圖1中展示之固定構件56的一配置。圖6a展示在一切線方向上觀察之圖1中展示之部分VI的一經放大圖，同時圖6b展示在一軸向方向上觀察之相同部分。圖6c及圖6d展示在裝配之前之一緊固件58。
一緊固件58包括一固定零件66，其在一第一條件中允許將一中間級26插入穿過該定子零件20，並且在一第二條件中允許中間級固定於適當位置。一頭部零件68可操作以在第一與第二條件之間轉移固定零件。該固定零件包括較佳地具有逐漸變細之一厚度的一部分拱形凸緣。該定子零件20具有形成於內部剖面52中以在第二條件中收納固定零件的一切口槽70。該中間級26具有用於收納該緊固件之一空腔72。該空腔向外徑向敞開以允許拱形凸緣在該凸緣在第二條件中時自中間級凸起，並且軸向敞開以元許一技工將 一工具插入該頭部零件中以操作。該頭部零件經塑形以收納一互補塑形之工具以在諸條件之間旋轉固定零件。
較佳地，繞中間級之周邊提供至少三個緊固件58以將中間級固定至該定子零件。
在使用中，將中間級26插入穿過定子零件，同時固定零件66在第一條件中。自該定子零件之內剖面52向內徑向延伸之一端緣78可經提供以定位該中間級。當在正確位置處時，使用工具來旋轉每一緊固件58之凸緣或每一緊固件58，使得其凸起至定子零件20之切口槽70中。凸緣之最薄部分首先進入該凹槽，並且持續之旋轉引起該凸緣之一較厚部分與凹槽之軸向面74、76契合以將該中間級精確定位並且鎖於適當位置。
在圖7中展示之一替代固定配置中，一閉孔式鑽孔80以一斜角形成於該定子零件20之內部剖面52中。一貫通鑽孔82形成於中間級中，其自一軸向末端面傾斜地延伸通過至該中間級的一徑向周邊。將該緊固件插入穿過對準之鑽孔80、82以將中間級固定於適當位置。鑽孔80、82之一或二者可有螺紋以收納一螺紋緊固件58。緊固件在螺紋鑽孔中之緊固可經配置以抵著定子之內壁小範圍擴張中間級以改良密封。
在一仍進一步配置中，該等中間級可經干涉配合以將其等固定於定子封套中之適當位置。在此情況中，定子封套無須具備固定形成並且可具有一光滑內表面。替代地，內表面可具備環狀端緣以將該等中間級在固定之前定位於適 當位置。在組裝中，一中間級係由諸如一金屬或金屬合金之經歷熱膨脹的一材料製成。在插入於定子封套中之前，一中間級藉由任何適當方式冷卻使得其收縮。較佳地，中間級經收縮使得其外剖面剛好裝配於定子封套內，並且因此可沿封套插入直至其接合一環狀端緣。接著允許該中間級在周圍溫度條件之下變暖，使得其經歷熱膨脹並且干涉配合於適當位置。在一替代方案中，定子封套可經加熱使得其經歷熱膨脹以允許插入中間級，並且接著允許定子封套冷卻以產生干涉配合。
圖8中展示針對一爪式泵之一例示性中間級橫向壁26。中間級之外部剖面84經塑形以對應於定子零件之內部剖面52，使得中間級在組裝期間可在一軸向方向上通行通過該定子零件之內部空腔64。中間級26包括用於收納軸桿40、42(圖1中展示)之兩個鑽孔86、88。該等鑽孔88之一者經組態以提供自一上游泵室至一下游泵室之一入口的一出口。此實例中之剖面84適用於一魯氏式泵或爪式泵配置，其中該等轉子大體上在各自泵室部分中旋轉，並且如圖式中展示之中間級之左及右側葉片經組態以與各自泵室部分互補。在一替代配置中，尤其係在轉子及中間級子總成係在插入於定子封套中之前組裝的情況下，該等中間級可由兩個零件形成以裝配至轉子及驅動軸桿。
在圖9A及圖9B中展示圖1實施例之一修改。將給出類似參考數字給兩個實施例之類似零件，並且圖9之描述將省略上文已經涵蓋之任何態樣。
在圖9中，該等中間級緊固至單件式定子零件之方式不同於圖1配置。詳言之，一單件式定子組件90包括與該等中間級91、92、93對準之複數個貫通鑽孔94。一緊固件95經組態以部分地延伸穿過該等貫通鑽孔之每一者，並且與一中間級之一閉孔式鑽孔96契合。該等貫通鑽孔94具有埋頭肩部97以將該等緊固件以徑向方向定位。圖9A展示六個此等緊固配置，並且圖9B展示如圖9A中之圈IXB標記之一此配置的一經放大圖。
圖9A中展示之泵可藉由首先組裝一轉子及中間級子總成而組裝。該子總成可接著插入至定子組件90中。當在適當位置中時，子總成憑藉緊固件95、藉由緊固該等中間級91、92、93之每一者至定子組件90而緊固於適當位置。在緊固之後，貫通鑽孔94較佳地憑藉一閉孔部件98而被閉孔，並且憑藉密封件密封。以此方式，該等轉子可在插入於定子封套90中之前相對於軸桿40、42固定，並且因此可較精確地控制多個轉子之角度對準。在一進一步修改中，該等轉子可與該等軸桿整合地製造。然而，若情況如此，該等中間級之每一者必須由可在該等轉子之間組裝在一起的至少兩個組件製成。同時其等受益於經增加轉子對準之經修改配置可較圖1配置更易漏洩。根據特定泵要求，即使漏洩可增加，可需要精確轉子對準。
在圖9配置之一修改中，固定可類似於關於圖6描述之固定。具有拱形凸緣之緊固件可定位於定子封套中，並且透過一鑽孔可被該封套接達，以憑藉一工具旋轉該緊固件使 得其將該中間級契合並且鎖於適當位置。
根據討論之實施例，該等轉子及中間級可替代地組裝於定子內。當一中間級定位於定子20內，其可接著鎖於適當位置。此配置意謂存在針對密封的一經減少要求，此係因為經抽汲流體始終維持於定子封套內。該配置可憑藉已知設計而收縮，其中該等定子零件必須不僅通常憑藉螺栓緊固在一起，而且必須提供密封物以防止流體自定子零件之間的泵逸出。在本發明配置中，無需此等密封物及緊固件，並且因此定子本體可製造地較薄，此係因為其無須容納密封物或緊固件。一較薄定子較適用於耗散來自泵室的熱量。可距熱增加之源更近定位諸如夾套之進一步冷卻構件。因為熱量可易於耗散，中間級之熱特性較不重要，使得可主要針對諸如耐蝕之其他特性而選擇中間級材料。
該等中間級之經減少功能性及機械要求意謂可製成其等之材料的選擇增加，使得可考慮較多外來材料。較少材料亦意謂可考慮較昂貴材料，諸如富鎳鐵、不鏽鋼、PTFE、複合材料、或陶瓷。
因為存在較少以軸向序列連接在一起之零件，所以在介面處存在較少要求之軸向容限，並且因此可較精確組態泵整體。
可藉由加工相對簡單並且精確地製造定子20之內部縱向空腔。
針對上文描述之實施例的修改可行，同時仍落入申請專利範圍之範疇內。例如，定子20係界定該等定子級之每一 者的一單件式組件。然而，藉由採取兩個定子零件(例如，藉此每一定子零件具有界定一個以上定子級之一內部剖面)可仍得到本發明之某些優點。相應地，將又一次存在定子零件之間的較少軸向介面。
10‧‧‧多級真空泵
12‧‧‧泵級
14‧‧‧泵級
16‧‧‧泵級
18‧‧‧泵級
20‧‧‧定子零件/封套
22‧‧‧橫向壁/頭板
24‧‧‧橫向壁/頭板
26‧‧‧橫向壁/中間級
28‧‧‧橫向壁/中間級
30‧‧‧橫向壁/中間級
32‧‧‧泵室
34‧‧‧泵室
36‧‧‧泵室
38‧‧‧泵室
40‧‧‧軸桿
42‧‧‧軸桿
44a‧‧‧轉子
44b‧‧‧轉子
46a‧‧‧轉子
46b‧‧‧轉子
48a‧‧‧轉子
48b‧‧‧轉子
50a‧‧‧轉子
50b‧‧‧轉子
52‧‧‧內部剖面
54‧‧‧外剖面
56‧‧‧固定構件
58‧‧‧構成/緊固件
60‧‧‧頭板之位置
62‧‧‧中間級之位置
64‧‧‧定子零件之內部空腔
66‧‧‧固定零件
68‧‧‧頭部零件
70‧‧‧切口槽
72‧‧‧緊固件之空腔
74‧‧‧軸向面
76‧‧‧軸向面
78‧‧‧端緣
80‧‧‧閉孔式鑽孔
82‧‧‧貫通鑽孔/鑽孔
84‧‧‧外部剖面
86‧‧‧鑽孔
88‧‧‧鑽孔
90‧‧‧定子組件/定子封套
91‧‧‧中間級
92‧‧‧中間級
93‧‧‧中間級
94‧‧‧貫通鑽孔
95‧‧‧緊固件
96‧‧‧閉孔式鑽孔
97‧‧‧埋頭肩部
98‧‧‧閉孔式部件
110‧‧‧泵
112‧‧‧泵級/轉子
114‧‧‧泵級
116‧‧‧泵級
118‧‧‧泵級
120‧‧‧定子配置/定子級
122‧‧‧定子配置/零件
124‧‧‧定子配置
126‧‧‧定子配置
128‧‧‧中間級
130‧‧‧中間級配置/零件
132‧‧‧中間級配置
134‧‧‧頭板
136‧‧‧頭板
138‧‧‧轉子級
140‧‧‧轉子級
142‧‧‧轉子級
144‧‧‧轉子級
146‧‧‧軸桿
148‧‧‧軸桿
150‧‧‧泵
152‧‧‧定子零件或殼
154‧‧‧定子零件或殼
155‧‧‧定子級
156‧‧‧定子級
157‧‧‧定子級
158‧‧‧定子級
159‧‧‧定子級
160‧‧‧定子級
164‧‧‧頭板部分
166‧‧‧頭板部分
168‧‧‧中間級
170‧‧‧中間級
172‧‧‧中間級
174‧‧‧中間級/介面
176‧‧‧中間級
178‧‧‧凹陷
A‧‧‧協作轉子
A1‧‧‧軸向間隔
A2‧‧‧軸向間隔
A3‧‧‧軸向間隔
A4‧‧‧軸向間隔
A5‧‧‧軸向間隔
B‧‧‧協作轉子
IN‧‧‧泵入口
IXB‧‧‧圈
OUT‧‧‧泵出口
圖1示意地展示通過一多級真空泵之一橫截面；圖2展示沿圖1中之線II-II所取之一徑向橫截面；圖3係圖1中展示之定子零件的一經簡化圖；圖4a、4b及4c展示在組裝期間與轉子及橫向壁一起之一經修改定子零件；及圖5展示另一經修改定子零件及橫向壁；圖6a至圖6d展示一橫向壁至定子零件的緊固；圖7展示一橫向壁至定子零件的另一緊固；圖8較詳細展示一中間級橫向壁；圖9A係通過一修改泵之一橫截面，並且圖9B係一固定配置的一經放大圖；圖10展示具有一定子堆疊配置的一真空泵；圖11展示通過圖10中展示之真空泵所取的一橫截面；及圖12展示一蛤殼式真空泵的一透視圖。
10‧‧‧多級真空泵
12‧‧‧泵級
14‧‧‧泵級
16‧‧‧泵級
18‧‧‧泵級
20‧‧‧定子零件/封套
22‧‧‧橫向壁/頭板
24‧‧‧橫向壁/頭板
26‧‧‧橫向壁/中間級
28‧‧‧橫向壁/中間級
30‧‧‧橫向壁/中間級
32‧‧‧泵室
34‧‧‧泵室
36‧‧‧泵室
38‧‧‧泵室
40‧‧‧軸桿
42‧‧‧軸桿
44a‧‧‧轉子
44b‧‧‧轉子
46a‧‧‧轉子
46b‧‧‧轉子
48a‧‧‧轉子
48b‧‧‧轉子
50a‧‧‧轉子
50b‧‧‧轉子
52‧‧‧內部剖面
56‧‧‧固定構件

Claims (15)

  1. 一種具有複數個泵級之多級真空泵，該泵包括形成各自泵級之泵室的一定子，及用於支撐用於在各自泵室中旋轉之複數個轉子的至少一軸桿，該定子包括：一定子封套，其延伸超過複數個定子級之一軸向範圍，藉此外接該至少一軸桿並且形成複數個定子級之一內部剖面；及複數個橫向壁，其等定位於該等定子級之任一軸向側上以形成各自該等泵室，其中該等橫向壁之至少一者係在定子級之間的一中間級，並且該定子封套經組態以外接該中間級以在該定子零件中向內徑向定位該中間級。
  2. 如請求項1之多級真空泵，其中該定子零件具有通過其形成之一軸向延伸的內部鑽孔，該鑽孔形成該等各自定子級的剖面。
  3. 如請求項1之多級真空泵，其中每一定子級處之該內部鑽孔之一徑向橫截面在軸向方向上大體上均勻。
  4. 如請求項1之多級真空泵，其中至少一定子級之該徑向橫截面不同於至少一其他定子級的徑向橫截面。
  5. 如請求項1之多級真空泵，其中該定子零件之至少一末端係開放的以允許沿該內部鑽孔的插入該至少一中間級以定位在兩個定子級之間。
  6. 如請求項1之多級真空泵，其中該內部鑽孔包括用於將一中間級定位於兩個定子級之間的一構形。
  7. 如請求項6之多級真空泵，其中該構形包括向內徑向延 伸至該內部空腔中之一歩階表面，在正確定位於定子級之間時該橫向壁抵著該步階表面接合。
  8. 如請求項6之多級真空泵，其中該構形包括至少一閉孔式鑽孔，其係用於收納用於將該橫向壁固定於適當位置之一緊固件。
  9. 如請求項1之多級真空泵，其中該至少一中間級包括一鑽孔，一緊固件可通過該鑽孔延伸以將該中間級固定至該定子零件。
  10. 如請求項1之多級真空泵，其中該中間級經組態以選擇性地固定於該定子零件中之一個以上位置處。
  11. 如請求項1之多級真空泵，其包括用於將該等中間級之一或多者緊固至該定子零件之該內部剖面的一或多個緊固件。
  12. 如請求項11之多級真空泵，其中該緊固件經塑形使得在其之一第一條件中，該中間級可通行通過該定子零件之該內部鑽孔，並且在其之一第二條件中，該緊固件將在適當位置中之該中間級緊固至該定子零件。
  13. 如請求項1之多級真空泵，其中該中間級之一軸向面對表面或一鄰近轉子之軸向面對表面之至少一者塗覆有一摩擦減少材料。
  14. 如請求項1之多級真空泵，其中該等中間級不固定在該定子零件內之預先決定位置處，並且允許其等在轉子之間浮動。
  15. 一種針對如請求項1之多級真空泵組態的定子。
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