CN111664092B - 定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，其中，定子主体的加工方法，定子主体包括两个壳体，加工方法包括壳体的加工步骤和装配步骤，壳体的加工步骤包括：对壳体毛坯进行精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽的位置度均为0.02mm，使壳体毛坯的内腔对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的内腔和弧形槽的粗糙度均为1.6μm；装配步骤包括：将符合第二条件的两个壳体进行拼接后得到定子主体。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于将多个隔板、第一挡板和第二挡板连接在壳本体上的过程中存在组装误差，使得多级转子磨损壳本体的内腔的问题，此外也能够降低组装难度并提高装配效率。

Description

定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵

技术领域

本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵。

背景技术

精密真空泵是泛半导体行业所必需的真空源设备。该真空泵包括泵壳、位于泵壳的内腔内的多级转子、盖在泵壳第一端的盖体以及位于泵壳第二端的底托。泵壳包括壳本体，连接在壳本体的内腔内的多个隔板、连接在壳本体第一端的第一挡板以及连接在壳本体第二端的第一挡板。由于壳本体上连接多个零件，使得泵壳成型的过程中较为复杂。并且在将多级转子安装在壳本体的内腔内时，由于将多个隔板、第一挡板和第二挡板连接在壳本体上的过程中存在组装误差，使得多级转子在内腔内转动时，多级转子会磨损壳本体的内腔，磨损严重后导致多级转子报废，不利于维修。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，以解决相关技术中的由于将多个隔板、第一挡板和第二挡板连接在壳本体上的过程中存在组装误差，使得多级转子磨损壳本体的内腔的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种定子主体的加工方法，定子主体包括两个壳体，加工方法包括壳体的加工步骤和装配步骤，壳体的加工步骤包括：通过熔模铸造或者砂型铸造得到壳体毛坯，使壳体毛坯的表面留有8mm的加工余量，壳体毛坯包括间隔设置的多个板段，多个板段依次包括上板段、多个中间板段以及下板段，上板段和下板段均具有连通通道，每个板段上均具有间隔设置的两个弧形槽；检验壳体毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的壳体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有3mm的加工余量；加工面包括外表面加工面、内腔加工面和弧形槽加工面，对壳体毛坯的外表面进行半精加工，对壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽进行半精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽均留有0.5mm的加工余量；对壳体毛坯进行精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽的位置度均为0.02mm，使壳体毛坯的内腔对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的弧形槽对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的内腔和弧形槽的粗糙度均为1.6μm；通过三坐标测量仪分别对壳体毛坯的外表面、内腔和弧形槽进行检验，并通过超声探伤检验定子主体的内部是否符合第二条件；装配步骤包括：将符合第二条件的两个壳体进行拼接后得到定子主体。

进一步地，在对符合第一条件的壳体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有3mm的加工余量的步骤和对壳体毛坯的外表面进行半精加工的步骤之间，加工方法还包括对壳体毛坯进行时效处理，时效处理时间为两周。

根据本发明的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和转子，定子包括定子主体，定子主体包括两个壳体，两个壳体中的一个为上壳体，另一个为下壳体，壳体根据上述的定子主体的加工方法得到，上壳体包括第一本体部和间隔地设置在第一本体部的内腔上的多个第一板段，下壳体包括第二本体部和间隔地设置在第二本体部的内腔上的多个第二板段，多个第一板段和一一对应的多个第二板段共同形成多个隔板，每个隔板上间隔地设置有第一避让孔和第二避让孔。

进一步地，上壳体包括相对设置的第一端面和第二端面，上壳体的腔壁上设置有进气口，下壳体的腔壁上设置有出气口，多个隔板位于进气口和出气口之间；多个隔板包括沿第一端面至第二端面的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，第一隔板包括朝向第一端面的第一表面和朝向第二端面的第二表面，第一表面上设置有与进气口连通的第一进气槽，第二表面上设置有与第一进气槽连通的第一出气槽，任意相邻的两个第二隔板中的一个的第一避让孔的孔壁上设置有第一缺口，另一个的第二避让孔的孔壁上设置有第二缺口，第一缺口和第二缺口错位设置，第一出气槽与相邻的第二隔板上的第一缺口或者第二缺口错位设置并相互连通；第三隔板包括朝向第一端面的第三表面和朝向第二端面的第四表面，第三表面上设置有第二进气槽，第二进气槽与相邻的第二隔板上的第一缺口或者第二缺口错位设置并相互连通，第四表面上设置有与第二进气槽连通的第二出气槽，第二出气槽与出气口相连通。

进一步地，第一进气槽通过第一连通通道第一出气槽相通道，第一连通通道位于第一隔板内，第二进气槽通过第二连通通道与第二出气槽相连通，第二连通通道位于第三隔板内。

进一步地，第一本体部与第二本体部拼接而成，第一板段与对应的第二板段拼接而成，多个第一板段与第一本体部为一体成型结构，多个第二板段与第二本体部为一体成型结构，第一避让孔的一部分形成在第一板段上，另一部分形成在第二板段上，第二避让孔的一部分形成在第一板段上，另一部分形成在第二板段上。

进一步地，第一本体部与第二本体部之间设置有第一拼接结构，第一拼接结构包括第一插槽和第一插筋，第一插槽与第一插筋相拼接，第一板段与第二板段之间设置有第二拼接结构，第二拼接结构包括第二插槽和第二插筋，第二插槽与第二插筋相拼接。

进一步地，第一本体部的侧壁和第二本体部的侧壁上均设置有减重孔。

根据本发明的另一方面，提供了一种泵体组件的装配方法，包括定子和两个转子，定子包括定子主体、盖体和底托，盖体盖设于定子主体的第一端，底托位于定子主体的第二端上，转子可转动地位于定子主体的上壳体和定子主体的下壳体共同形成的内腔内，转子的第一端可转动地与盖体连接，转子的第二端可转动地与底托连接，泵体组件为上述的泵体组件，泵体组件的装配方法包括以下步骤：将一个转子的转轴对应的放入下壳体上的第一避让孔内，将另一个转子的转轴对应的放入下壳体上的第二避让孔内；将上壳体与下壳体相拼接，以使上壳体上的每个第一板段与对应的下壳体的每个第二板段相拼接；将圆柱销插入至上壳体的第一本体部和下壳体的第二本体部内；将转子的第一端可转动地穿入盖体内，将转子的第二端可转动地穿入底托内，以形成泵体组件。

根据本发明的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。

应用本发明的技术方案，定子主体的加工方法定子主体包括两个壳体，定子主体的加工方法包括壳体的加工步骤和装配步骤。壳体的加工步骤包括：通过熔模铸造或者砂型铸造得到壳体毛坯，使壳体毛坯的表面留有8mm的加工余量，壳体毛坯包括间隔设置的多个板段，多个板段依次包括上板段、多个中间板段以及下板段，上板段和下板段均具有连通通道，每个板段上均具有间隔设置的两个弧形槽；检验壳体毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的壳体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有3mm的加工余量；加工面包括外表面加工面、内腔加工面和弧形槽加工面，对壳体毛坯的外表面进行半精加工，对壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽进行半精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽均留有0.5mm的加工余量；对壳体毛坯进行精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽的位置度均为0.02mm，使壳体毛坯的内腔对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的弧形槽对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的内腔和弧形槽的粗糙度均为1.6μm；通过三坐标测量仪分别对壳体毛坯的外表面、内腔和弧形槽进行检验，并通过超声探伤检验定子主体的内部是否符合第二条件；装配步骤包括：将符合第二条件的两个壳体进行拼接后得到定子主体。通过上述定子主体的加工方法得到的壳体。在将两个壳体进行拼接后得到定子主体的过程中，无需将相关技术中的多个隔板、第一挡板和第二挡板连接在壳本体上，减少了组装误差，使得两个壳体进行拼接后得到定子主体的内腔的组装精度较高，提高了转子安装在内腔内的组装精度，大大降低了转子磨损相关技术中的内腔的可能性。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明的定子主体的加工方法的实施例的流程示意图；

图2示出了根据本发明的泵体组件的实施例的分解结构示意图；

图3示出了图2的泵体组件的上壳体的第一角度的立体结构示意图；

图4示出了图3的泵体组件的局部示意图；

图5示出了图2的泵体组件的下壳体的立体结构示意图；

图6示出了图2的泵体组件的转子的立体结构示意图；

图7示出了图2的泵体组件的盖体的立体结构示意图；

图8示出了图2的泵体组件的底托的立体结构示意图；以及

图9示出了图2的泵体组件的上壳体的第二角度的立体结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、转子；11、转轴；12、叶片；121、第一级叶片；122、第二级叶片；123、第三级叶片；124、第四级叶片；125、第五级叶片；126、第六级叶片；241、第一避让孔；242、第二避让孔；243、第一缺口；244、第二缺口；50、定子主体；51、上壳体；511、第一本体部；512、第一板段；513、第一端面；514、第二端面；515、进气口；52、下壳体；521、第二本体部；522、第二板段；531、第一进气槽；532、第一出气槽；533、第二进气槽；541、第一插槽；542、第一插筋；543、第二插槽；544、第二插筋；55、减重孔；60、盖体；70、底托。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到 ：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

如图1所示，本申请提供了一种定子主体的加工方法。本实施例的定子主体50包括两个壳体，定子主体的加工方法包括壳体的加工步骤和装配步骤。壳体的加工步骤包括：通过熔模铸造或者砂型铸造得到壳体毛坯，使壳体毛坯的表面留有8mm的加工余量，壳体毛坯包括间隔设置的多个板段，多个板段依次包括上板段、多个中间板段以及下板段，上板段和下板段均具有连通通道，每个板段上均具有间隔设置的两个弧形槽；检验壳体毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的壳体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有3mm的加工余量；加工面包括外表面加工面、内腔加工面和弧形槽加工面，对壳体毛坯的外表面进行半精加工，对壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽进行半精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽均留有0.5mm的加工余量；对壳体毛坯进行精加工，使壳体毛坯的内腔和壳体毛坯的弧形槽的位置度均为0.02mm，使壳体毛坯的内腔对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的弧形槽对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使壳体毛坯的内腔和弧形槽的粗糙度均为1.6μm；通过三坐标测量仪分别对壳体毛坯的外表面、内腔和弧形槽进行检验，并通过超声探伤检验定子主体的内部是否符合第二条件；装配步骤包括：将符合第二条件的两个壳体进行拼接后得到定子主体。

应用本实施例的技术方案，通过上述定子主体的加工方法得到的壳体。这样，在将两个壳体进行拼接后得到定子主体的过程中，无需将相关技术中的多个隔板、第一挡板和第二挡板连接在壳本体上，减少了组装误差，使得两个壳体进行拼接后得到定子主体的内腔的组装精度较高，提高了转子10安装在内腔内的组装精度，大大降低了转子10磨损相关技术中的内腔的可能性。因此，本实施例的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

需要说明的是，上述的第一条件是指较小的磨损或者划伤或者砂眼或者针孔或者裂纹或者缺陷变形或者硬度降低或者损伤。上述的第二条件是指无裂纹或者无夹杂或者无折叠或者无气孔或者无砂眼。

如图1所示，在对符合第一条件的壳体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有3mm的加工余量的步骤和对壳体毛坯的外表面进行半精加工的步骤之间，加工方法还包括对壳体毛坯进行时效处理，时效处理时间为两周。壳体毛坯经过两周的时效处理后，能够消除壳体毛坯的内部应力。

本申请还提供了一种泵体组件，如图2至图8所示，本实施例的泵体组件包括定子和转子10，定子包括定子主体50，定子主体50包括两个壳体。两个壳体中的一个为上壳体51，另一个为下壳体52，壳体根据上述的定子主体的加工方法得到。上壳体51包括第一本体部511和间隔地设置在第一本体部511的内腔上的多个第一板段512，下壳体52包括第二本体部521和间隔地设置在第二本体部521的内腔上的多个第二板段522，多个第一板段512和一一对应的多个第二板段522共同形成多个隔板，每个隔板上间隔地设置有第一避让孔241和第二避让孔242。第一避让孔241和第二避让孔242能够避让转子10的转轴11，使得转轴11的能够从每个隔板中穿过。

需要说明的是，多个第一板段512和多个第二板段522均对应于壳体的加工步骤中的多个板段。第一避让孔241由相对设置的两个板段上的两个弧形槽拼接组成。

如图6所示，多个叶片12间隔地设置在转轴11上，多个叶片12包括沿转轴11的轴线依次布置的第一级叶片121、第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124、第五级叶片125和第六级叶片126，第一级叶片121包括第一叶片本体和间隔设置在第一叶片本体上的三个第一凸出部，第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124和第五级叶片125结构相同，第二级叶片122包括第二叶片本体和设置在第二叶片本体上的钩状凸起结构，第六级叶片126包括第三叶片本体和间隔设置在第三叶片本体上的五个第二凸出部。第一级叶片121、第二级叶片122、第三级叶片123、第四级叶片124、第五级叶片125和第六级叶片126形成能够对空气进行六次，相对于相关技术中仅能够提供四级或者五级空气压缩而言，增加了压缩空气的次数，进而提高了带有转子的泵体组件的整体的压缩比。

当然，在本实施例中，转轴与第一级叶片、第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片和第五级叶片为一体成型结构，第六级叶片通过可拆卸地连接在转轴上并沿转轴的轴线位于第五级叶片的后面。当泵体组件处于带有腐蚀性气体的运行环境中或者较容易产生磨损的环境中，第六级叶片最容易产生腐蚀或者磨损现象，在本实施例中，由于第六级叶片通过可拆卸地连接在转轴上，可以在第六级叶片产生腐蚀或者磨损后，将其从在转轴上拆卸下来，更换一个新的，这样，能够避免将第一级叶片、第二级叶片、第三级叶片、第四级叶片和第五级叶片、第六级叶片以及转轴一起换掉，而造成转子的浪费，进而能够节约成本。

如图2至图5和图9所示，上壳体51包括相对设置的第一端面513和第二端面514，上壳体51的腔壁上设置有进气口515，下壳体52的腔壁上设置有出气口，多个隔板位于进气口515和出气口之间。多个隔板包括沿第一端面513至第二端面514的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，第一隔板包括朝向第一端面513的第一表面和朝向第二端面514的第二表面，第一表面上设置有与进气口515连通的第一进气槽531，第二表面上设置有与第一进气槽531连通的第一出气槽532，任意相邻的两个第二隔板中的一个的第一避让孔241的孔壁上设置有第一缺口243，另一个的第二避让孔242的孔壁上设置有第二缺口244，第一缺口243和第二缺口244错位设置，第一出气槽532与相邻的第二隔板上第二缺口244错位设置并相互连通。第三隔板包括朝向第一端面513的第三表面和朝向第二端面514的第四表面，第三表面上设置有第二进气槽533，第二进气槽533与相邻的第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通，第四表面上设置有与第二进气槽533连通的第二出气槽，第二出气槽与出气口相连通。这样，在转轴11带动叶片12进行高速转动时，将气体从进气口515进入，经过第一进气槽531、第一出气槽532、第一缺口243、第二缺口244、第二进气槽533和第二出气槽之后，从出气口排出，气体流经的过程形成一个弯折状的蛇形气体流道，能够将从进气口515抽入至定子主体50的内腔内的气体经过蛇形气体流道实现逐级压缩。在压缩空气的同时能够将蛇形气体流道内的硅片残渣的进行拆解或者清洗。上述的蛇形气体流道仅为气体从进气口515进，从出气口出的单向流通通道，避免相关技术中容易产生返流的冷却气体，返回至进气口515，有利于提高泵体组件的工作效率。

在本实施例中，第二隔板的数量为三个，三个第二隔板沿盖体60至底托70的方向上依次为第一个第二隔板、第二个第二隔板和第三个第二隔板。第一出气槽532与第一个第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通；第二进气槽533与第三个第二隔板上的第二缺口244错位设置并相互连通。

如图3至图5所示，在本实施例中，第一进气槽531通过第一连通通道第一出气槽532相通道，第一连通通道位于第一隔板内，第二进气槽533通过第二连通通道与第二出气槽相连通，第二连通通道位于第三隔板内。第一连通通道的设置使得气体能够从第一进气槽531中通入经过第一连通通道从第一出气槽532排出，这样，第一隔板与相邻的一个第二隔板之间的气体能够传输至相邻的两个第二隔板之间，有利于气体传输。第二连通通道的设置使得气体能够从第二进气槽533中通入经过第二连通通道从第二进气槽533排出，这样，第三隔板与相邻的一个第二隔板之间的气体能够传输至第三隔板的下方，有利于气体传输。

如图3至图5所示，在本实施例中，第一本体部511与第二本体部521拼接而成，第一板段512与对应的第二板段522拼接而成，多个第一板段512与第一本体部511为一体成型结构。多个第二板段522与第二本体部521为一体成型结构，第一避让孔241的一部分形成在第一板段512上，另一部分形成在第二板段522上，第二避让孔242的一部分形成在第一板段512上，另一部分形成在第二板段522上。这样，便于加工，容易成型，尽可能的减少了定子结构的数量及安装工序，提高定子的结构精度。

如图3至图5所示，在本实施例中，第一本体部511与第二本体部521之间设置有第一拼接结构，第一拼接结构包括第一插槽541和第一插筋542，第一插槽541与第一插筋542相拼接，第一板段512与第二板段522之间设置有第二拼接结构，第二拼接结构包括第二插槽543和第二插筋544，第二插槽543与第二插筋544相拼接。第一本体部511与第二本体部521之间通过第一插槽541和第一插筋542相互拼接，同时，第一板段512与第二板段522之间通过第二插槽543与第二插筋544相互拼接时，这样，能够拼接成壳体。在上述结构拼接成壳体的过程中，不需要通过相关技术中的销轴和销孔进行拼接，在减少复杂程序的同时，插槽与插筋配合能够提高拼接成壳体的定位精度，使得安装后的壳体精度较高。

如图2所示，第一本体部511的侧壁和第二本体部521的侧壁上均设置有减重孔55。减重孔55的设置能够降低第一本体部511和第二本体部521自身的重量，同时也能够减少用料，降低成本。

本申请还提供了一种泵体组件的装配方法，如图2至图8所示，泵体组件的装配方法包括定子和两个转子10，定子包括定子主体50、盖体60和底托70，盖体60盖设于定子主体50的第一端，底托70位于定子主体50的第二端上，转子10可转动地位于定子主体50的上壳体51和定子主体50的下壳体52共同形成的内腔内，转子10的第一端可转动地与盖体60连接，转子10的第二端可转动地与底托70连接，泵体组件为上述的泵体组件。泵体组件的装配方法包括以下步骤：将一个转子10的转轴对应的放入下壳体52上的第一避让孔内，将另一个转子10的转轴对应的放入下壳体52上的第二避让孔内；将上壳体51与下壳体52相拼接，以使上壳体51上的每个第一板段512与对应的下壳体52的每个第二板段522相拼接；将圆柱销插入至上壳体51的第一本体部511和下壳体52的第二本体部521内；将转子10的第一端可转动地穿入盖体60内，将转子10的第二端可转动地穿入底托70内，以形成泵体组件。通过泵体组件的装配方法得到的泵体组件能够解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

本申请还提供了一种真空泵，真空泵包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。本实施例的真空泵能够解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位 ( 旋转 90 度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种泵体组件，包括定子和转子（10），所述定子包括定子主体（50），所述定子主体（50）包括两个壳体，两个所述壳体中的一个为上壳体（51），另一个为下壳体（52），其特征在于，所述上壳体（51）包括第一本体部（511）和间隔地设置在所述第一本体部（511）的内腔上的多个第一板段（512），所述下壳体（52）包括第二本体部（521）和间隔地设置在所述第二本体部（521）的内腔上的多个第二板段（522），多个所述第一板段（512）和一一对应的多个所述第二板段（522）共同形成多个隔板，每个所述隔板上间隔地设置有第一避让孔（241）和第二避让孔（242）；

所述上壳体（51）包括相对设置的第一端面（513）和第二端面（514），所述上壳体（51）的腔壁上设置有进气口（515），所述下壳体（52）的腔壁上设置有出气口，多个所述隔板位于所述进气口（515）和所述出气口之间；

多个所述隔板包括沿所述第一端面（513）至所述第二端面（514）的方向上依次设置的第一隔板、多个第二隔板和第三隔板，所述第一隔板包括朝向所述第一端面（513）的第一表面和朝向所述第二端面（514）的第二表面，所述第一表面上设置有与所述进气口（515）连通的第一进气槽（531），所述第二表面上设置有与所述第一进气槽（531）连通的第一出气槽（532），

任意相邻的两个所述第二隔板中的一个的所述第一避让孔（241）的孔壁上设置有第一缺口（243），另一个的所述第二避让孔（242）的孔壁上设置有第二缺口（244），所述第一缺口（243）和所述第二缺口（244）错位设置，所述第一出气槽（532）与相邻的所述第二隔板上的所述第一缺口（243）或者所述第二缺口（244）错位设置并相互连通；

所述第三隔板包括朝向所述第一端面（513）的第三表面和朝向所述第二端面（514）的第四表面，所述第三表面上设置有第二进气槽（533），所述第二进气槽（533）与相邻的所述第二隔板上的所述第一缺口（243）或者所述第二缺口（244）错位设置并相互连通，所述第四表面上设置有与所述第二进气槽（533）连通的第二出气槽，所述第二出气槽与所述出气口相连通；所述第一本体部（511）与所述第二本体部（521）拼接而成，所述第一板段（512）与对应的所述第二板段（522）拼接而成，多个所述第一板段（512）与所述第一本体部（511）为一体成型结构，多个所述第二板段（522）与所述第二本体部（521）为一体成型结构，所述第一避让孔（241）的一部分形成在所述第一板段（512）上，另一部分形成在所述第二板段（522）上，所述第二避让孔（242）的一部分形成在所述第一板段（512）上，另一部分形成在所述第二板段（522）上；

所述第一本体部（511）与所述第二本体部（521）之间设置有第一拼接结构，所述第一拼接结构包括第一插槽（541）和第一插筋（542），所述第一插槽（541）与所述第一插筋（542）相拼接，所述第一板段（512）与所述第二板段（522）之间设置有第二拼接结构，所述第二拼接结构包括第二插槽（543）和第二插筋（544），所述第二插槽（543）与所述第二插筋（544）相拼接；

其中，所述壳体根据定子主体的加工方法得到，所述定子主体的加工方法包括所述壳体的加工步骤和装配步骤，所述壳体的加工步骤包括：

通过熔模铸造或者砂型铸造得到壳体毛坯，使所述壳体毛坯的表面留有8mm的加工余量，所述壳体毛坯包括间隔设置的多个板段，多个所述板段依次包括上板段、多个中间板段以及下板段，所述上板段和所述下板段均具有连通通道，每个所述板段上均具有间隔设置的两个弧形槽；

检验所述壳体毛坯是否符合第一条件；

对符合第一条件的所述壳体毛坯的加工面进行粗加工，使所述加工面留有3mm的加工余量；

所述加工面包括外表面加工面、内腔加工面和弧形槽加工面，对所述壳体毛坯的外表面进行半精加工，对所述壳体毛坯的内腔和所述壳体毛坯的弧形槽进行半精加工，使所述壳体毛坯的内腔和所述壳体毛坯的弧形槽均留有0.5mm的加工余量；

对壳体毛坯进行精加工，使所述壳体毛坯的内腔和所述壳体毛坯的弧形槽的位置度均为0.02mm，使所述壳体毛坯的内腔对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使所述壳体毛坯的弧形槽对其中心面的尺寸公差为0.01mm，使所述壳体毛坯的内腔和弧形槽的粗糙度均为1.6μm；

通过三坐标测量仪分别对所述壳体毛坯的外表面、内腔和所述弧形槽进行检验，并通过超声探伤检验所述定子主体的内部是否符合第二条件；

所述装配步骤包括：将符合第二条件的两个所述壳体进行拼接后得到所述定子主体。

2.根据权利要求1所述的泵体组件，其特征在于，所述第一进气槽（531）通过第一连通通道所述第一出气槽（532）相通道，所述第一连通通道位于所述第一隔板内，所述第二进气槽（533）通过第二连通通道与所述第二出气槽相连通，所述第二连通通道位于所述第三隔板内。

3.根据权利要求1所述的泵体组件，其特征在于，所述第一本体部（511）的侧壁和所述第二本体部（521）的侧壁上均设置有减重孔（55）。

4.一种泵体组件的装配方法，包括定子和两个转子（10），其特征在于，

所述定子包括定子主体（50）、盖体（60）和底托（70），所述盖体（60）盖设于所述定子主体（50）的第一端，所述底托（70）位于所述定子主体（50）的第二端上，所述转子（10）可转动地位于所述定子主体（50）的上壳体（51）和所述定子主体（50）的下壳体（52）共同形成的内腔内，所述转子（10）的第一端可转动地与所述盖体（60）连接，所述转子（10）的第二端可转动地与所述底托（70）连接，所述泵体组件为权利要求1所述的泵体组件，

所述泵体组件的装配方法包括以下步骤：

将一个所述转子（10）的转轴对应的放入所述下壳体（52）上的第一避让孔内，将另一个所述转子（10）的转轴对应的放入所述下壳体（52）上的第二避让孔内；

将所述上壳体（51）与所述下壳体（52）相拼接，以使所述上壳体（51）上的每个第一板段（512）与对应的所述下壳体（52）的每个第二板段（522）相拼接；

将圆柱销插入至所述上壳体（51）的第一本体部（511）和所述下壳体（52）的第二本体部（521）内；

将所述转子（10）的第一端可转动地穿入所述盖体（60）内，将所述转子（10）的第二端可转动地穿入所述底托（70）内，以形成所述泵体组件。

5.一种真空泵，包括泵体组件，其特征在于，所述泵体组件为权利要求1所述的泵体组件。

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