KR0161110B1

KR0161110B1 - 드라이터보 진공펌프

Info

Publication number: KR0161110B1
Application number: KR1019950030403A
Authority: KR
Inventors: 아끼라 니시우찌; 마사히로 마세; 노보루 마쯔무라; 가쯔아끼 기구찌; 다까시 나가오까
Original assignee: 가나이 쯔도무; 가부시키 가이샤 히다치 세사쿠쇼
Priority date: 1994-09-19
Filing date: 1995-09-18
Publication date: 1999-01-15
Also published as: GB2298457B; GB9518969D0; US5664935A; JPH0886298A; KR960011150A; GB2298457A

Abstract

원주류펌프의 적어도 1단의 원심펌프의 임펠러를 일체로 형성하여 드라이터보 진공펌프를 구성한다. 펌프단의 스테이터 및 모터케이싱에는 리브가 설치되고, 윤활과 냉각을 겸용하는 윤활유의 연통로가 리브내부에 형성되어 있다. 그리고 복잡한 냉각 및 윤활유 배관부품을 드라이터보 진공펌프 내부에 수납함으로써 펌프구성을 콤팩트하게 하였다. 또, 스테이터의 단간벽의 임펠러와 대향하는 면의 형사을 평판상으로 하고 있고, 이 단간벽과의 사이에 형성된 극간으로부터 주형을 떼어냄으로써 일체형으로 형성한 임펠러를 보통주조로 제작하였다. 또한 본 발명의 변형예에서는 배기용량의 증대 또는 감소용으로 탈착 자유로운 부가원심펌프단을 설치하고 있다.

Description

드라이터보 진공펌프

제1도는 본 발명의 일실시예의 종단면도.

제2도는 제1도에 나타낸 실예의 횡단면도.

제3도는 본 발명의 일실시예의 원주류임펠러의 종단면 상세도.

제4도는 본 발명의 일실시예의 원주류임펠러의 종단면 상세도.

제5도는 제3도 및 제4도에 나타낸 실시예의 외주에서 본 도.

제6도는 원주류 임펠러의 정면도.

제7도는 본 발명의 일실시예의 스테이터의 정면도

제8도는 본 발명의 일실시예의 스테이터 둑부의 외주에서 본 도.

제9도는 본 발명의 일실시예의 윤활유 계통을 나타내는 종단면도.

제10도는 본 발명의 일실시예의 스테잉터의 횡단면도.

제11도는 본 발명의 일실시예의 스테이터의 측면도.

제12도는 본 발명의 일실시예의 모터케이싱의 횡단면도.

제13도는 본 발명의 일실시예의 모터케이싱의 횡단면도.

제14도는 본 발명의 다른 실시예의 종단면도.

제15도는 본 발명의 일시예의 드라이터보 진공펌프를 탑재한 패키지형 진공배기장치의 종단면도

제16도는 본 발명의 변형예의 종단면도.

제17도는 본 발명의 또 다른 변형예의 종단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 로터 2 : 스테이터

3 : 샤프트 4a : 원심펌프

4b : 원주류펌프 5 : 흡입케이싱

6 : 급기구 7a, 7b : 베이링

8a : 모터로터 8b : 모터스테이터

9 : 냉각쟈켓 10 : 모터케이싱

11 : 냉각 자켓 12 : 배기구

14 : 원주류임펠러 17 : 둑부

18 : 단간벽 20 : 오일펌프

21 : 오일필터 22, 23 : 연통로

24 : 오일탱크부 25 : 연통로

26a, 26b, 27b : 연통로 32 : 베어링홀더

33 : 홀더 스페이서 35 : 펌프본체

51a∼51d : 원주류 임펠러 53 : 오일 고임부

54a∼54b : 원심 임펠러

본 발명은 배기구의 압력이 대기압인 드라이터보 진공펌프에 관한 것으로, 특히 반도체나 식품, 약품등의 제조장치에 사용되어, 청정한 진공을 만들어내는데 적합한 드라이터보 진공펌프에 관한 것이다.

종래의 배기구의 압력을 대기압으로 한 드라이터보 진공펌프는, 일본국 특공 평3-7039호 공보에 기재되어 있는 바와 같이, 원주류펌프단의 기계가공이 곤란하기 때문에 원주류펌프단을 정밀주좌고, 기계가공으로 제작한 원심펌프단과, 나사등을 이용하여 체결하고, 임펠러단을 구성하고 있었다. 그리고 임펠러를 정밀주조로 제작하는 것에 대해서는 일본국 특개 소63-61798호 공보에 상세히 나타나 있다.

또, 진공펌프의 스테이터에 대해서는 일본국 특개 소 62-258186호 공보에 기재되어 있는 바와 같이 스테이터 단간벽(段間壁)의 임펠러에 대향하는 부분에 오목부가 있는 형상으로 되어 있었다.

상기 종래의 기술의 일본국 특공 평3-7039호 공보에 기재된 것은, 원주류펌프단에 원심펌프단을 설치하는 작업이 필요하고, 조립시에 임펠러의 동심도(同心度)의 확보, 면침식 방지등의 작업을 필요로 하여 조립성이 좋지 않았다. 그리고, 복수부품을 조합하는 결과, 각 부품의 치수공차가 누적되어, 임펠러와 스테이터간의 가는 틈의 치수 관리 및 확보가 어렵고, 진공펌프에 요구되는 성능의 확보가 곤란하였다.

또, 일본국 특허공개 소63-61798호 공보에 기재된 방법은, 임펠러의 제법이 주조법이기 때문에 치수정밀도가 나쁘고, 제품의 성능에 불균일이 생긴다고 하는 문제점이 있었다. 또한, 내부결함을 모두 없게하는 것은 어려워 주조작업 후의 가공도중에 결합의 노출이 발생하여 폐각하지 않으면 안되는 등 부품으로서의 수율이 나빴다.

또한, 일본국 특공 소62-258186호 공보에 기재된 임펠러형상을 주물로 만드는 데에는, 로스트왁스에 의한 주조방법을 사용하지 않을 수가 없어 소재단계에서의 비용이 많아진다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 부품점수를 적게하고, 콤팩트하게 제작 및 관리가 용이한 드라이터보 진공펌프를 제공하는데 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은 제작상의 제반요인에 의한 성능의 불균일을 작게한 드라이터보 진공펌프를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 이 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되어, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기에 배기하는 트라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 형성한 것이다.

그리고, 바람직하게는 상기 원주류임펠러는 심판(心板)과, 그 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 날개로 이루어지고, 이 날개 사이의 홈저면의 반경방향 단면형상을 계단상 또는 단속적인 직선군으로 형성한 것이다.

또, 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 그 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 이 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되고, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단의 원주류펌프단의 적어도 2단의 스테이터 부분의 내경이 실질적으로 동일하고, 이 스테이터에 설치된 각 단을 간막이하는 단간벽의 임펠러에 대향하는 부분을 평판상으로 한 것이다.

또한, 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 이 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되고, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 스테이터를 절반정도 분할된(半割部) 구조로 하고, 각각의 반할부에 냉각쟈켓부를 설치하고, 각 반할부의 쟈켓부 사이를 연통하는 연통로를 각 반할부에 형성한 것이다.

흡기구와 배기구를 구비한 하우징과, 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터와, 이 다단의 원주류펌프를 구동하는 모터로터 및 모터스테이터를 가지는 모터와, 이 모터스테이터를 수용하는 모터케이싱을 구비한 드라이버터보 진공펌프에 있어서, 상기 모터케이싱의 외주측에 모터냉각쟈켓을 각각 설치하고, 상기 오일고임부와 상기 모터냉각쟈켓과 상기 냉각쟈켓을 순차 연통시켜 냉각오일의 순환로를 형성한 것이다.

바람직하게는, 상기 어는 한 드라이터보 진공펌프에 있어서, 스테이터의 단간벽의 임펠러에 대향하는 부분을 평판상으로 하고, 보통의 주조로 제작가능한 형상으로 한 것이다.

또, 바람직하게는, 모터케이싱내에 오일고임부를 설치하고, 이 오일고임부와 케이싱의 냉각쟈켓부를, 모터케이싱의 외주부에 설치한 리브내에 형성한 연통로와, 스테이터의 외주부에 설치한 리브에 형성한 연통로와 연통한 것이다.

다시, 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 이 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되고, 상기 흡기굴부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기에 배기하는 드랑디터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 형성하고, 상기 회전축을 지지하는 베어링 중의 상부 베어링을 지지하는 홀더를 상기 스테이터 사이에 스페이서를 설치한 것이다.

종래 정밀주조였던 원주류임펠러를 다축 수치제어가공기를 사용하여 기계가공할 수 있는 형상으로 함으로써, 원주류펌프와 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 기계가공할 수가 있게 된다. 이에 의하여 원주류펌프와 원심펌프의 조립공정을 삭감할 수 있어 작업성이 향상되다. 또, 일체가공할 수 있으므로 가공정밀도를 향상시킬 수가 있어, 임펠러와 스테이터와의 미세한 틈의 치수관리가 용이하게되어, 성능의 불군일이 작은 펌프를 제공할 수가 있다.

또, 스테이터의 단간벽의 임펠러에 대향하는 부분의 형상을 평판상으로 하였으므로, 주조형틀의 빠짐이 용이하게 되어 보통의 주조로 제작가능하게 된다. 이에 의하여 종래의 로스트왁스에 의한 정밀주조방식보다 소재를 약 1/10로 저감할 수 있다.

또한, 모터케이싱과 스테이터에 냉각용의 쟈켓을 설치하고, 이 쟈켓에 급유 및 쟈켓으로부터 배유(排油)하기 위한 냉각유로를 모터케이싱과 스테이터내에 설치함으로써, 냉각오일 배관을 필요로 하지 않고 외부배관 작업을 대폭으로 삭감할 수 있어 작업성이 향상됨과 동시에 설치후의 보수점검도 용이하게 한다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 이용하여 설명한다. 제1도는 본 발명의 제 일의 실시예를 나타낸 도이고, 상하방향으로 축배치된 샤프트(3)의 중간부 및 하단부를 전동베어링(7a), 및 (7b)으로 지지하고, 그 베어링 사이에 고주파모터(8a)가 압입되어 있다. 이 샤프트(3)의 상부측에 다단의 원주류임펠러로 이루어지는 원주류펌프(4b)와 원심류임펠러로 이루어지는 원심펌프(4a)의 적어도 1단을 일체화한 펌프로터(이하, 간단히 로터라고 칭한다)(1)를 압입하여 체결한다. 그리고 이 로터(1)에 대향하여 로터(1)와 동축에 극간을 가지고 펌프스테이터(이하, 간단히 스테이터라고 칭한다)(2)가 배치되고, 스테이터(2)의 상부에는 펌프의 흡기구(6)가 형성된 흡입케이싱(5)이 기밀성을 가지고 설치되어 있다. 그리고, 스테이터(2)의 외주부로서 임펠러 외주측의 진공펌프 작용을 행하는 부분에 대응한 위치에, 펌프작용에 의하여 생긴 열을 제거하는 냉각쟈켓(9)이 형성되어 있다.

한편, 모터로터(8a)의 외경측에서 모터로터에 대향하여 배치된 모터스테이터(8b)가 모터케이싱(10)에 지지되어 있다. 모터스테이터(8b)와 모터로터(8a)가 대향하는 부분의 외경측에 위치하는 모터케이싱(10)의 부분에 모터를 냉각하기 위한 냉각유로, 즉 냉각쟈켓(11)이 형성되어 있다. 또한, 이 제1도에서는 모터부와 펌프부로 둘레방향 단면위치를 변화시키고 있다.

다음에 이와 같이 구성한 본 발명의 일실시예의 동작에 대하여 설명한다.

도시하지 않은 제어장치의 지령에 의거하여 고주파 모터로터(8a) 및 고주파 모터스테이터(8b)로 이루어지는 모터가 샤프트(3) 및 로터(1)를 고속구동하면, 흡기구(6)로부터 흡입된 기체는 원심펌프단(4a) 및 원주류펌프단(4b)을 거침에 따라 순차 압축되어, 배기구(12)로부터 배기된다. 제2도는 원주류펌프단의 횡단면도로서 원주류펌프의 각 단에서는, 각 단에 설치된 흡입구(13)로부터 기체가 유입하고, 고속으로 회전하는 원주류임펠러(14)에 의하여 기체에 둘레방향의 속도성분이 부가된다. 그리고 원심력에 의하여 원주류임펠러(14)로부터 반경 방향으로 배출되고, 통풍로(15)내에서 감속되어 압력회복하고, 다시 원주류임펠러(14)에 유입한다. 기체는 통풍로(15)를 통하여 빠져나가는 사이에 상기 작용을 반복하여, 원주류임펠러(14)로부터 에너지를 얻어 통풍로(15)내를 나선상으로 흘러 토출구(16)로부터 다음 단으로 유입한다. 이 작용을 복수단에서 행함으로써 높은 압축비를 얻을 수가 있어, 그 결과 기체를 대기에 직접 배기할 수가 있게 된다.

제3도 내지 제6도에 상기 실시예에 사용하는 원주류임펠러의 일실시예를 나타낸다. 원주류임펠러는 심판(14a)의 외경측에 복수의 날개(14b)가 방사상으로 배치되어 있고, 날개 사이에는 홈부(14c)가 형성되어 있다. 그리고, 그 날개의 두께는 거의 같은 모양으로 되어 있다. 제3도 및 제4도에 나타내는 바와 같이 원주류임펠러의 날개 사이의 홈저면(14d)의 반경방향 형상은, 단속적인 직선군 또는 다단상으로 되어 있다. 그리고, 제5도에 나타내는 바와 같이 원주류임펠러의 날개 사이의 홈저면의 원주방향 형상은 복수의 원호로 형성되어 있다. 다시, 제6도에 나타내는 바와 같이 원주류임펠러의 날개의 심판측 내경부를 원호상으로 형성하고 있다. 이와 같이 원주류임펠러의 형상을 구성함으로써 원주류임펠러의 가공을 수치 제거가공기를 사용하여 행할 수가 있게 된다.

이에 의하여 원주류임펠러의 치수정밀도가 향상되고, 성능의 불균일이 작아진다. 또한 원주류펌프와 원심펌프를 일체화할 수 있으므로 조립의 작업성도 향상한다. 또, 주물에 비하여 기계가공으로 제작한 로터의 쪽이 주조결함등에 기인하는 언발란스양이 적고, 바란스 조정 작업을 단출할 수 있는 이점도 있다. 또, 원주류임펠러의 반심판측의 날개 단부는 제5도에 나타내는 바와 같이 회전방향(화살표시로 나타냄)으로 경사시킴으로써 압축비를 10%∼30%향상시킬 수가 있다.

또한, 상기 실시예에서는 날개 사이의 홈저면의 반경방향 형상을 직선군 또는 계단상으로, 둘레방향 형상을 복수의 원호로, 다시 심판측 내경부를 원호상으로 형성하였으나, 이들은 모두를 만족할 필요는 없고, 기계가공이 가능해지는 형상이면 어떠한 구성이라도 좋다.

또, 본 실시예에서는 엔드밀을 이용한 가공을 전제로 하고 있으마, 엔드밀 이외의 공구에 의해서도 동일한 가공이 가능한 것이 본 발명에 포함된다.

제7도에, 제1도에 나타낸 스테이터(2)를 나타낸다. 본 실시예에서는, 원주류펌프단은 8단의 펌프로 이루어지고, 그 위로부터 1∼6단의 내경이 동일직경이고, 또 제7 및 제8단의 내경이 동일직경으로 되어 있다. 그리고, 스테이터의 단간에 형성되는 단간벽(18)의 임펠러에 대향하는 부분은 평판상으로 되어 있다. 단간벽(18)을 평판형상으로 함으로써, 주조시에 주형을 용이하게 떼어낼 수가 있어, 소재이 제작방법을 종래의 정밀주조방식으로부터 보통 주조방식으로 함으로서 재료비를 1/10정도로 저감시킬 수 있다. 또한, 제8도에 나타내는 바와 같이, 스테이터(2)의 단간벽(18)의 일부에는 원주류임펠러의 둘레방향 날개 피치 이상, 즉 날개가 2개 이상 들어가는 길이를 가진 둑부(17)를 설치하고, 각 단에서 압축된 기체가, 펌프안에서 재순환하거나, 내부누설을 일으키는 일 없이 다음 단으로 유입하도록 되어 있다. 그리고 둑부(17)의 둘레방향 위치를 제7도에 나타내는 바와 같이 상류측으로부터 하류측으로 순차 엇갈린 구조로 되어있어, 이에 의하여 드러스트력의 둘레방향 분포의 균일화와 스테이터(2)의 축방향치수를 저감이 가능하게 된다.

제9도에 본 발명의 급유계통의 일실시예를 나타낸다. 본 실시예에 있어서, 윤활유는 베어링의 윤활·냉각이라고 하는 기능과, 펌프본체 및 모터의 냉각이라고 하는 두가지의 기능을 가지고, 그 때문에 유로계통이 2계통으로 형성되어 있다. 먼저, 베어링에의 윤활 및 냉각계통에 대하여 설명한다. 오일펌프(20)에 의하여 모터케이싱(10)에 공급된 오일은, 모터케이싱의 측부에 설치한 오일필터(21)수용부에 수용된 오일필터(21)에 의하여 여과되어 모터케이싱내에서 분기되고, 한쪽은 모터케이싱(10)에 설치한 연통로(22)를 통하여 위베어링(7a)에 공급되고, 다른쪽은 모터케이싱(10)에 별도로 설치한 연통로(23)를 통하여 아래베어링(7b)에 공급된다. 각 연통로(22), (23)의 도중에는 오리피스(22a), (23a)가 조립되어 있고, 이 오리피스에 의하여 각 베어링에의 급유량을 조정될 수 있는 구조로 되어 있다. 각 베어링을 윤활 및 냉각한 오일은, 모터케이싱내의 샤프트 근방의 공간 및 베어링 하부에 형성된 공간을 하강하여 모터케이싱(10)내의 오일탱크부(24)에 되돌아간다.

다음에, 모터 및 펌프본체의 냉각계통에 대하여 설명한다. 오일펌프(20)에 의하여 모터케이싱(10)에 공급된 오일은, 오일필터(21)를 통하지 않고, 모터케이싱내에 설치한 연통로(25)를 통하여 모터냉각용의 냉각쟈켓(11)에 공급되어 모터를 냉각한 후, 연통로(26a), (26b)를 통하여 스테이터(2)의 냉각쟈켓(9)에 공급된다. 펌프단을 냉각한 오일은 연통로(27a), (27b)를 통하여 모터케이싱내의 오일탱크부(24)에 되돌아간다. 오일탱크부로 되돌아온 오일은 도시하지 않은 오일쿨러에 의하여 온도콘트롤 되고, 오일펌프(20)에 의하여 다시 모터케이싱(10)에 공급되고, 이후 이 순환을 반복한다.

상기 윤활유에서의 냉각상태을 더욱 상세하게 설명하기 위하여 제10도 및 제11도에 스테이터(2)에 형성한 냉각쟈켓(9)의 일실시예를 나타낸다. 스테이터(2)는 냉각쟈켓부에서는 대략 장방형으로 형성되고, 그 장방형의 모서리부와 스테이터 단간벽보다 약간 외경의 스테이터벽면에서 형성된 부분을 이용하여 냉각쟈켓(9)을 구성한다. 이 공간의 출구부(28)에 패킹(28d)등을 개재하여 쟈켓커버(28a), (28b)를 나사로 고정하는 구조로 되어 있다. 스테이터(2)는 반할구조이고, 양 쟈켓(반할부)사이를 연통하는 구멍(29)을 양 쟈켓에 마련하고 있다. 이것에 의하여 한쪽의 쟈켓에 연통로(26b)로부터 공급된 오일이 다른 한쪽의 쟈켓에 유입될 수 있는 구조로 되어 있다. 연통로(26b), (27a)는 스테이터(2)의 외주에 설치한 리브내에 구비되어 있따. 이에 의하여 외부배관을 생략할 수가 있어, 작업성의 향상과 운반 및 가동중에서의 배관불량을 방지할 수 있다.

제12도 및 제 13도에 모터케이싱의 냉각쟈켓(11) 및 각 연통로의 일실시예를 나타낸다. 모터케이싱의 외주측에는 연통로용으로 리브(41), (42), (43)가 형성되어 있고, 이 내부에는 연통로(22), (26a), (27b)가 형성되어 있따. 이 모터케이싱의 냉각쟈켓도 스테이터의 경우와 마찬가지로 외부배관을 생략할 수가 있어 작업성이 향상된다.

제14도에 본 발명의 다른 실시예를 나타낸다. 외부케이스(30)는, 스테이터(2) 및 흡입케이싱(5)의 외주를 덮는 원통형상을 하고 있고, 스테이터의 외주에 배설한 0링(31)으로 상부를 지지하고, 하단측을 플랜지상으로 구부려, 그 구부러진 부분을 볼트로 고정하고 있다. 이구조에 의하여 외부 케이스(30)가 탈착자유로워져 작업성이 향상한다. 또, 베어링홀더(32)와 반할의 홀더스페이서(33)를 별도의 부품으로 했다. 이것에 의하여 로터(1)와 스테이터(2)의 갭조정작업에 있어서 필요한 카라(34) 길이의 조정에 있어서, 종래 필요하였던 로터(1)의 샤프트(3)로부터의 떼어내는 작업이 불필요해졌다. 그리고, 상기 갭조정은 홀더스페이서(33)의 두께를 조정하는 것 만으로 되고, 로터(1)와 샤프트(3)의 분해 및 재조립이 불필요해져 펌프 1대에 대하여 6시간 정도의 조립시간의 단축이 도모되었다.

제15도는 본 발명의 드라이 진공펌프를 탑재한 장치의 일실시예이고, 펌프본체(35), 펌프용 제어장치(36) 및 기타 보조기관계 기기를 가대(37)에설치하고, 커버(38)로 덮어 패키지화 하고 있다. 패키지화함으로써 사용자가 펌프본체(35)와 펌프용 제어장치(36)사이의 배선 작업을 하지 아니해도 된다. 또, 전원, 급배수, 및 축봉(軸封)가스등 사용 설비에 접속하는 것 만으로 즉시 펌프를 기동할 수가 있다.

제16도 및 제17도는 본 발명의 드라이 진공펌프의 변형예를 나타낸 것으로, 배기용량을 변화시키는 경우이다. 배기용량을 작게할 때에는 일체형으로 형성한 원심펌프단과 원주류펌프단과의 상부에 부가한 원심푸머프단을 떼어내고, 배기용량을 크게할 때에는 일체형으로 형성한 원심펌프단의 상부로 다시 제거 자유로운 원심펌프단을 추가하여, 이 원심펌프단의 스테이터 또는 스테이터의 상부에 흡입케이싱(5)을 설치하게 되어 있다. 이에 의하여, 원심펌프단의 단수를 증가하는 것 만으로 그 기타의 부분은 변경하는 일 없이, 배기용량을 1000 1/min으로부터 9000 1/min까지 변화시킬 수가 있게 되어, 부품의 공급화가 도모되고 소재비, 조립비의 저감이 도모된다.

본 발명에 의하여 원주류펌프단과 원심펌프단의 적어도 일단을 일체화하였으므로, 치수관리가 용이해짐과 동시에, 성능의 불균일이나 성능의 향상이 가능하게 되었다.

또, 외부배관을 대폭으로 삭감시킬 수 있으므로 조립에 요하는 시간을 종래의 약 절반으로 삭감하는 동시에, 운반가동시의 배관계의 신뢰성을 향상시킬 수가 있다.

또, 스테이터의 제작방법을 종래의 정밀주조방식으로부터 보통주조방식으로 가능하게 함으로써 스테이터의 제작비용을 종래의 약 1/10로 크게 코스트다운 시킬 수 있게된다.

Claims

드라이 터보 진공펌프에 있어서, 흡기구 및 배기구를 가지는 스테이터와, 상기 스테이터내에 유지된 2개의 베어링 수단에 의하여 회전 자유롭게 지지되어, 상기 스테이터내에 수용되는 회전축과, 상기 회전축에 설치된 다단의 원주류임펠러, 및 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하도록 상기 원주류 임펠러의 흡기구측에 배치되는 원심 임펠러를 포함하여, 상기 다단 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단(段)을 일체로 형성한 것을 특징으로 하는 드리이터보 진공펌프.
제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 형성된 복수개의 날개로 이루어지고, 상기 날개 사이의 홈 바닥면의 반경방향 단면형상을 계단상 또는 계속적이 직선군으로 형성한 것을 특징으로 하는 트라이터보 진공펌프.
제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 형성된 복수개의 날개로 이루어지고, 상기 날개 사이의 홈저면의 원주방향 단면형상을 복수의 원호로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 날개로 이루어지고, 반심판측의 날개 선단부를 원주방향으로 경사시킨 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 형성된 복수개의 날개로 이루어지고, 상기 날개의 심판측 내경부를 원호로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원주류임펠러의 날개와 심판을 수치제어가공기에 의하여 일체적으로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
드라이 터보 진공펌프에 있어서, 흡기구 및 배기구를 가지는 스테이터와, 상기 스테이터내에 유지된 2개의 베어링 수단에 의하여 회전 자유롭게 지지되어, 상기 스테이터내에 수용되는 회전축과; 상기 회전축에 설치된 다단의 원주류임펠러, 및 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하도록 상기 원주류 임펠러의 흡기구측에 설치된 원심 임펠러를 포함하여, 상기 스테이터의 적어도 인접하는 2단의 내경을 실절적으로 동일하게 하고, 이 스테이터에 설치한 각 단을 간막이하는 단간 벽의 상기 원주류 임펠러에 대향하는 부분을 평판상으로 한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.
제7항에 있어서, 상기 스테이터는 보토 주조법으로 작성한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.
제7항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 복수의 날개로 이루어지고, 상기 스테이터의 단간 벽에 상기 2매의 날개 피치 이상의 둘레방향 길이를 가지는 둑부를 설치한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
제7항에 있어서, 상기 단간벽에 마련한 둑부의 둘레방향 위치를 각 단마다 변화시킨 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
드라이 터보 진공펌프에 있어서, 흡기구 및 배기구를 가지는 스테이터와, 상기 스테이터내에 유지된 2개의 베어링 수단에 의하여 회전 자유롭게 지지되어, 상기 스테이터내에 수용되는 회전축과, 상기 회전축에 설치된 다단의 원주류임펠러, 및 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하도록 상기 원주류 임펠러의 흡기구측에 설치되는 원심 임펠러를 포함하여, 상기 스테이터를 2분할(반 나눔)구조로 하고, 이 2분할 스테이터의 각각에 냉각 쟈켓부를 설치하고, 각 2분할 스테이터의 쟈켓부간을 연통하는 구멍을 각 2분할 스테이터에 형성한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.
제11항에 있어서, 상기 2분할 스테이터의 각각의 외주부에 오목부를 마련하고, 상기 쟈켓부를 상기 오목부와 이 오목부를 덮어 2분할 스테이터에 설치한 부재에 의하여 형성한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.
드라이 터보 진공펌프에 있어서, 흡기구 및 배기구를 가지는 스테이터와, 상기 스테이터내에 유지된 베어링 수단에 의하여 지지되고, 상기 스테이터내에 수용되는 회전축과, 상기 회전축에 설치된 다단의 원주류임펠러와, 상기 원주류 임펠러의 아래쪽에 있어서 상기 회전축에 설치된 모터 로터와, 상기 스테이터의 하부에 접속되는 모터 케이상과, 상기 모터 케이싱에 유지된 모터 로터의 외경측에 배치되는 모터 스테이터 및 상기 흡기로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기중으로 배기하도록 상기 원주류임펠러의 흡기구측에 설치되는 원심 임펠러를 포함하여, 상기 모터케이싱 하부에 오일 고임부를, 상기 스테이터의 외주측에 냉각 쟈켓을, 상기 모터케이싱의 외주측에 모터 냉각 쟈켓을 각각 설치하고, 이들 오일 고임부, 모터냉각쟈켓을 상기 냉각쟈켓을 연통하여 오일순환로를 형성한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.
제1항에 있어서, 상기 다단의 원주류 임펠러의 상류측에 원심 임펠러를 탈착 자유롭게 설치함으로써 용량가변으로 한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
제7항에 있어서, 상기 베어링 수단을 상기 회전축의 상하 방향에 배치하고, 위쪽의 베어링과 상기 스테이터 사이에 스페이서를 설치한 것을 특징으로 하는 드라이 터보 진공펌프.