JP3896930B2 - 流体ポンプ装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハウジング内に、回転軸の回転によって動作するポンプ機構と、当該ポンプ機構の回転軸を回転駆動する駆動源とが収容されてなる流体ポンプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造プロセスにおいては、半導体加工装置内から気体反応生成物を排気するために、真空ポンプ装置が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この種の流体ポンプ装置においては、気体反応生成物が内部で固化することがある。この反応生成物の固化物は、真空ポンプ装置の運転中においては気体反応生成物と共に外部へ排出されるため、よほど多量に固化しない限り、真空ポンプ装置の運転の継続に支障を来すことはない。
【０００３】
しかし、内部に固化物が存在した状態で真空ポンプ装置の運転を停止すると、当該真空ポンプ装置の起動トルクが過大となり、駆動源（例えば電動モータ）によっては再起動が不可能となる問題を生じることがある。つまり、回転部材とハウジングとの間のクリアランスに固化物が入り込んだ場合、真空ポンプ装置の運転停止（温度低下）による当該クリアランスの減少によって、回転部材が固化物を挟み込むようにしてハウジングに圧接し、そして固着してしまうのである。
【０００４】
従って、従来においては、再起動の前に真空ポンプ装置をオーバーホールして、内部に堆積した固化物を除去するようにしていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−７８３００号公報（第２頁、第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、再起動毎の真空ポンプ装置のオーバーホールは手間であった。
本発明の目的は、メンテナンスが容易な流体ポンプ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１、２の発明の流体ポンプ装置は、ポンプ機構の回転軸又は当該回転軸と作動連結された回転部材に、メンテナンス用工具との係合部が設けられている。ハウジングにおいて係合部と対向する位置には、ハウジング外で準備されたメンテナンス用工具を係合部に係合させることを許容する許容手段が設けられている。そして、メンテナンス用工具を係合部と係合させた状態で回転させることにより、回転軸が回転される。
【０００８】
前記メンテナンス用工具は、そのレバー作用によって、駆動源よりも遙かに大きなトルクを回転軸に付与することが可能である。従って、このメンテナンス用工具を用いた回転軸の回転言い換えれば簡単なメンテナンスにより、例えば、従来技術において述べた回転部材のハウジングに対する固着を解除することができる。よって、オーバーホール等の面倒なく、流体ポンプ装置の再起動が可能となる。
【００１０】
とくに、請求項１の発明において、前記許容手段はハウジングに回動可能に設けられた中間部材からなっている。当該中間部材は、係合部に対して接離可能であるとともに、係合部及びメンテナンス用工具のそれぞれに係合可能に構成されている。そして、メンテナンス用工具を介して中間部材をハウジングの内方へ押し込むことで、メンテナンス用工具と、係合部が設けられた回転軸又は回転部材とが、中間部材を介して一体回転可能に連結される。
【００１１】
このように、メンテナンス用工具と係合部との間に中間部材を介在させることで、ハウジングの内空間を大気に開放しなくとも、流体ポンプ装置のメンテナンス（メンテナンス用工具による回転軸の回転作業）を行うことが可能となる。従って、例えば、ポンプ機構が、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合には、メンテナンス作業時における作業者の安全性が向上されることとなる。
【００１２】
とくに、請求項２の発明において、前記ハウジングはカバーに内蔵されている。当該カバーにおいて許容手段と対向する位置には、メンテナンス用工具がカバー外から許容手段へ到達することを許容する透孔が形成されている。前記カバーには、透孔を開閉可能な透孔開閉手段が設けられている。
【００１３】
前記ハウジングをカバーに内蔵することで、ハウジングから漏れたガスの大気への放出を防止することができる。このような配慮は、例えば、ポンプ機構が、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合において特に有効である。また、透孔は、透孔開閉手段によって開閉可能である。従って、流体ポンプ装置の運転中においては、透孔を透孔開閉手段によって閉塞しておけば、カバーの密閉が良好に保たれる。さらに、メンテナンス時においては、透孔開閉手段を開放するのみの簡単な作業によって透孔が開放され、メンテナンス用工具のカバー内への挿入が可能となる。
請求項３の発明は請求項２において、前記許容手段は、メンテナンス用工具のハウジング内への挿入を許容する工具挿入孔である。このような簡単な孔構造によって、メンテナンス用工具を係合部に係合させることが可能となる。また、前記ハウジングには、工具挿入孔を開閉可能な工具挿入孔開閉手段が設けられている。従って、流体ポンプ装置の運転中においては、工具挿入孔を工具挿入孔開閉手段によって閉塞しておけば、ハウジングの密閉が良好に保たれる。さらに、メンテナンス時においては、工具挿入孔開閉手段によって工具挿入孔を開放するのみで、メンテナンス用工具のハウジング内への挿入が可能となる。
【００１４】
請求項４の発明は請求項１〜３のいずれかにおいて、前記ハウジング内において、駆動源が備える出力軸とポンプ機構の回転軸との間の両軸を含む動力伝達経路上には、ポンプ機構側の雰囲気と駆動源側の雰囲気との間を遮断する軸封装置が配設されている。そして、前記回転部材としての駆動源の出力軸に係合部が設けられている。従って、例えば、ポンプ機構が、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合において、メンテナンス時に駆動源側の雰囲気を大気に開放したとしても、作業者の安全性を十分に確保することができる。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの流体ポンプ装置を適用するのに好適な態様を限定するものである。すなわち、前記ポンプ機構が取り扱う流体は、半導体加工装置で発生した気体反応生成物である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の流体ポンプ装置を真空ポンプ装置において具体化した第１及び第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態においては第１実施形態との相違点についてのみ説明し、同一又は相当部材には同じ番号を付して説明を省略する。
【００１７】
○第１実施形態
図１に示すように、本実施形態の真空ポンプ装置は、半導体製造プロセスに用いられ、図示しない半導体加工装置内から気体反応生成物（例えば、塩化アンモニウム。以下、ガスとする）を排気するためのものである。
【００１８】
前記真空ポンプ装置においては、ロータハウジング１２の前（図面の左方）端にはフロントハウジング１３が接合されており、ロータハウジング１２の後（図面の右方）端にはリヤハウジング１４が接合されている。これらロータハウジング１２、フロントハウジング１３及びリヤハウジング１４は、多段ルーツ式のポンプ機構Ｐを収容するポンプハウジングＨ１をなしている。
【００１９】
前記ロータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１６とからなっている。フロントハウジング１３と隔壁１６との間の空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及び隔壁１６とリヤハウジング１４との間の空間は、それぞれポンプ室１８となっている。隔壁１６には、隣合うポンプ室１８を連通する通路１７が形成されている。
【００２０】
前記フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには、回転軸１９及び回転軸２０が、それぞれベアリング２１，２２を介して回転可能に支持されている。回転軸１９，２０は、ベアリング２２によって軸線方向に位置決めされている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に挿通されている。回転軸１９には、複数（本実施形態においては５つ）のロータ２３が、一体形成されている。回転軸２０には、同数のロータ２８が、一体形成されている。複数のロータ２３，２８は、回転軸１９，２０の軸線方向に見て同形同大の形状をなしてはいるが、厚みはリヤハウジング１４側のものほど小さくなってゆくようにしてある。
【００２１】
前記各ポンプ室１８内には、対応するロータ２３，２８が僅かの隙間を保って互いに噛合した状態で収容されている。各ポンプ室１８の容積の大きさは、フロントハウジング１３に最も近いポンプ室１８が最も大きく、リヤハウジング１４に近いポンプ室１８ほど小さくなってゆくようにしてある。
【００２２】
前記ポンプハウジングＨ１のリヤハウジング１４には、歯車装置３９及び軸継ぎ手４０を収容するギヤハウジングＨ２が接合されている。ギヤハウジングＨ２には、駆動源としての電動モータＭを収容するモータハウジングＨ３が接合されている。前記ポンプハウジングＨ１とギヤハウジングＨ２とモータハウジングＨ３とによって、真空ポンプ装置のハウジングが構成されている。真空ポンプ装置のハウジングＨ１〜Ｈ３は、当該ハウジングＨ１〜Ｈ３から漏れたガスの大気への放出を防止するために、カバー５１に内蔵されている。なお、図示しないが、カバー５１内に漏れたガスは、排ガス処理装置に回収され無毒化処理される。
【００２３】
前記電動モータＭは、モータハウジングＨ３にベアリング４６，４７を介して回転可能に支持された出力軸４１と、当該出力軸４１に設けられたロータ４８と、モータハウジングＨ３の内周面に取着されたステータ４９とからなっている。出力軸４１は、ポンプ機構Ｐの回転軸１９と同一軸線上に配置されている。出力軸４１の前端部は、モータハウジングＨ３及びギヤハウジングＨ２を貫通して、当該ギヤハウジングＨ２内で軸継ぎ手４０に連結されている。
【００２４】
前記モータハウジングＨ３には、出力軸４１を封止する軸封装置としてのリップシール５０が配設されている。また、ポンプハウジングＨ１のリヤハウジング１４には、回転軸１９，２０の後端部を封止する軸封装置としてのリップシール５５，５６が配設されている。従って、同じハウジングＨ１〜Ｈ３内であっても、ポンプハウジングＨ１内の雰囲気（ポンプ機構Ｐ側の雰囲気）とモータハウジングＨ３内の雰囲気（電動モータＭ側の雰囲気）との間は、リップシール５０，５５，５６によって遮断されることとなる。
【００２５】
前記電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手４０を介して回転軸１９に伝えられるとともに、軸継ぎ手４０から歯車装置３９を介して回転軸２０に伝えられる。回転軸２０（ロータ２８）は、歯車装置３９の介在によって、回転軸１９（ロータ２３）とは異なる方向に回転される。そして、フロントハウジング１３に最も近いポンプ室１８に導入された、カバー５１外の半導体加工装置からのガスは、当該ポンプ室１８内のロータ２３，２８の回転によって、隔壁１６の通路１７を経由して隣のポンプ室１８へと移送される。以下、同様にガスは、ポンプ室１８の容積が小さくなってゆく順に移送される。リヤハウジング１４に最も近いポンプ室１８へ移送されたガスは、カバー５１外の図示しない排ガス処理装置に向けて排出される。
【００２６】
さて、従来技術においても述べたように、内部に反応生成物の固化物が存在した状態で真空ポンプ装置の運転を停止すると、当該真空ポンプ装置の起動トルクが過大となり、電動モータＭによっては再起動が不可能となる問題を生じることがある。つまり、真空ポンプ装置の運転中においては、温度影響によって回転軸１９，２０が軸線方向に膨張し、当該回転軸１９，２０に一体のロータ２３，２８と、それに対向する例えば隔壁１６との間の軸線方向のクリアランスが増大する。回転軸１９，２０はベアリング２２によって軸線方向に位置決めされているため、真空ポンプの運転停止（温度低下）によって前記クリアランスは減少されることとなる。従って、隔壁１６とロータ２３，２８との間の前記クリアランスに固化物が入り込んだ場合、真空ポンプ装置の運転停止によって、ロータ２３，２８が固化物を挟み込むようにして隔壁１６に圧接し、そして固着してしまうのである。
【００２７】
そこで、本実施形態においては、真空ポンプ装置の最起動前のメンテナンス（ロータ２３，２８の固着解除作業）のために、次のような構成を備えている。
図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、前記電動モータＭにおいて、回転部材としての出力軸４１の後端部（軸継ぎ手４０とは反対側の端部）の端面には、係合部としての六角穴４１ａが形成されている。モータハウジングＨ３の後端面において、出力軸４１の六角穴４１ａと対向する位置には、工具挿入孔４３が貫設されている。この工具挿入孔４３は、真空ポンプ装置の運転中においては、工具挿入孔開閉手段としてのシールボルト４５により閉塞されており（図２（ａ）参照）、真空ポンプ装置の停止中においてメンテナンス時には、シールボルト４５がモータハウジングＨ３から取り外されることで開放される（図２（ｂ）参照）。
【００２８】
前記カバー５１の後端面において工具挿入孔４３と対向する位置には、透孔５１ａが貫設されている。この透孔５１ａは、真空ポンプ装置の運転中においては、透孔開閉手段としてのグロメット５２により閉塞されており（図２（ａ）参照）、真空ポンプ装置の停止中においてメンテナンス時には、グロメット５２がカバー５１から取り外されることで開放される（図２（ｂ）参照）。
【００２９】
そして、図２（ｂ）に示すように、真空ポンプ装置の停止中においてそのメンテナンス時には、先ず、グロメット５２をカバー５１から取り外し、透孔５１ａから図示しないボルト回しをカバー５１内に挿入して、シールボルト４５をモータハウジングＨ３から取り外す。
【００３０】
この状態では、電動モータＭの出力軸４１の六角穴４１ａがカバー５１外に露見される。従って、カバー５１外で準備されたメンテナンス用工具としての六角レンチＫＧを、透孔５１ａ及び工具挿入孔４３を介して出力軸４１の六角穴４１ａに挿入係合し、当該六角レンチＫＧをそのレバー作用に基づく大トルク（電動モータＭでは期待できないトルク）によって回転させることで、この大トルクが出力軸４１から軸継ぎ手４０を介して回転軸１９に、また、軸継ぎ手４０及び歯車装置３９を介して回転軸２０に伝達される。よって、ロータ２３，２８と例えば隔壁１６との固化物を介した固着が強制解除されることとなる。このようにロータ２３，２８の固着が解除された後には、六角レンチＫＧを六角穴４１ａから外し、工具挿入孔４３をシールボルト４５により閉塞し、さらには透孔５１ａをグロメット５２により閉塞した後、真空ポンプ装置を最起動させればよい。
【００３１】
なお、前記メンテナンス時における六角レンチＫＧの回転方向は、電動モータＭによる出力軸４１の回転方向と同じであっても逆であってもよい。
上記構成の本実施形態においては次のような効果を奏する。
【００３２】
（１）前述したように、六角レンチＫＧを用いたポンプ機構Ｐの回転軸１９，２０の回転言い換えれば簡単なメンテナンスにより、ロータ２３，２８の固着を解除することができる。従って、従来のようなオーバーホール等の面倒なく、真空ポンプ装置の再起動が可能となり、作業者を苦渋作業から解放することができる。
【００３３】
（２）モータハウジングＨ３には、六角レンチＫＧのモータハウジングＨ３内への挿入を許容する工具挿入孔４３が形成されている。このような簡単な孔構造によって、六角レンチＫＧを電動モータＭの出力軸４１に係合させることが可能となる。また、工具挿入孔４３は、モータハウジングＨ３に対するシールボルト４５の着脱によって開閉可能である。従って、真空ポンプ装置の運転中においては、工具挿入孔４３をシールボルト４５によって閉塞しておけば、ハウジングＨ１〜Ｈ３内の密閉が良好に保たれる。さらに、メンテナンス時においては、シールボルト４５をモータハウジングＨ３から取り外すのみの簡単な作業によって工具挿入孔４３が開放され、六角レンチＫＧのモータハウジングＨ３内への挿入が可能となる。
【００３４】
（３）カバー５１には、六角レンチＫＧのモータハウジングＨ３（工具挿入孔４３）への接近を許容する透孔５１ａが形成されている。このような簡単な孔構造によって、六角レンチＫＧをカバー５１内へ挿入すること、ひいては電動モータＭの出力軸４１に係合させることが可能となる。また、透孔５１ａは、カバー５１に対するグロメット５２の着脱によって開閉可能である。従って、真空ポンプ装置の運転中においては、透孔５１ａをグロメット５２によって閉塞しておけば、カバー５１内の密閉が良好に保たれる。さらに、メンテナンス時においては、グロメット５２をカバー５１から取り外すのみの簡単な作業によって透孔５１ａが開放され、六角レンチＫＧのカバー５１内への挿入が可能となる。
【００３５】
（４）ハウジングＨ１〜Ｈ３の内空間は、リップシール５０，５５，５６によって、ポンプハウジングＨ１内の雰囲気とモータハウジングＨ３内の雰囲気との間が遮断されている。従って、本実施形態のように、ポンプ機構Ｐが、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱い、しかも、メンテナンス時においてはモータハウジングＨ３の内空間を大気に開放する構成であっても、作業者の安全性を十分に確保することができる。
【００３６】
○第２実施形態
図３（ａ）及び図３（ｂ）においては第２実施形態を示す。本実施形態においては、モータハウジングＨ３の内空間を大気に開放しなくとも、真空ポンプ装置のメンテナンス（ロータ２３，２８の固着解除作業）を行い得る点が上記第１実施形態と異なる。
【００３７】
すなわち、前記モータハウジングＨ３の後端面において出力軸４１の六角穴４１ａと対向する位置には、円孔６１が貫設されている。円孔６１には、許容手段としての円柱状をなす中間部材６２が、自身の軸線方向へスライド移動可能でかつ自身の軸線を中心として回動可能に挿入配置されている。中間部材６２において、その前端部には、電動モータＭの出力軸４１の六角穴４１ａと係合可能な六角突部６２ａが突設されているとともに、ハウジングＨ１〜Ｈ３外でかつカバー５１内に配置される後端縁には、フランジ部６２ｂが形成されている。中間部材６２の後端面には、六角レンチＫＧと係合可能な六角穴６２ｃが形成されている。
【００３８】
前記円孔６１の内周面と中間部材６２の外周面との間には、モータハウジングＨ３の内外を遮断するシール部材（オーリング）６３が介在されている。モータハウジングＨ３の後端外面と中間部材６２のフランジ部６２ｂとの間には、中間部材６２を出力軸４１から離間する方向に付勢する付勢バネ６４が介装されている。従って、通常状態にて中間部材６２は、付勢バネ６４の付勢力によって、六角突部６２ａが出力軸４１から離間された状態つまり出力軸４１の六角穴４１ａとの係合が解除された状態となっている。
【００３９】
そして、真空ポンプ装置のメンテナンス時には、グロメット５２をカバー５１から外して六角レンチＫＧをカバー５１内に挿入し、六角レンチＫＧを中間部材６２の六角穴６２ｃに挿入係合する。この状態で、中間部材６２を、六角レンチＫＧを介してモータハウジングＨ３の内方へ付勢バネ６４に抗して押し込むことで、当該中間部材６２が出力軸４１の後端部に接近してその六角突部６２ａが出力軸４１の六角穴４１ａに挿入係合される。従って、六角レンチＫＧと出力軸４１とが中間部材６２を介して一体回転可能に連結され、この状態で六角レンチＫＧを回転させることにより、ロータ２３，２８の固着が解除されることとなる。
【００４０】
本実施形態においては上記第１実施形態の（１）、（３）及び（４）と同様な効果を奏する。その他にも、モータハウジングＨ３の内空間を大気に開放しなくとも、真空ポンプ装置のメンテナンス（ロータ２３，２８の固着解除作業）を行い得る。従って、本実施形態のように、ポンプ機構Ｐが、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合には、メンテナンス作業時における作業者の安全性がさらに向上されることとなる。
【００４１】
つまり、ポンプハウジングＨ１内の雰囲気とモータハウジングＨ３内の雰囲気との間がリップシール５０，５５，５６によって遮断されているとは言っても、ポンプハウジングＨ１内のガスがモータハウジングＨ３内に侵入することを１００％防止できる訳ではない。従って、本実施形態の構成は、作業者の安全性を十二分に配慮したものであると言える。
【００４２】
なお、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で例えば以下の態様でも実施できる。・上記第１及び第２実施形態においては、係合部としての六角穴４１ａが、回転部材としての電動モータＭの出力軸４１に設けられていた。つまり、メンテナンス時においては、ポンプ機構Ｐの回転軸１９，２０の回転を、電動モータＭの出力軸４１を介して行う構成であった。
【００４３】
これを変更し、回転軸１９又は回転軸２０の前端面に六角穴を形成するとともに、フロントハウジング１３において当該六角穴に対向する位置に、六角レンチＫＧのポンプハウジングＨ１内への挿入を許容する工具挿入孔を形成するか、或いは第２実施形態と同様な中間部材構成６１〜６４を設けること。つまり、メンテナンス時においては、六角レンチＫＧによって回転軸１９，２０を直接回転させるようにすること。特に、後者の態様（中間部材構成）の場合、メンテナンス時においてもポンプハウジングＨ１の内空間が大気に開放されないため、ポンプ機構Ｐが、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合において、作業者の安全面で特に有利となる。
【００４４】
・上記第１及び第２実施形態においては、係合部としての六角穴４１ａが、回転部材としての電動モータＭの出力軸４１に設けられていた。つまり、メンテナンス時においては、電動モータＭの出力軸４１を介してポンプ機構Ｐの回転軸１９，２０を回転させる構成であった。
【００４５】
これを変更し、歯車装置３９の歯車を回転部材として把握するとともに、当該歯車のギヤ歯を係合部として把握する。また、ギヤハウジング３８において歯車のギヤ歯に対向する位置に工具挿入孔を形成する。そして、メンテナンス時においては、メンテナンス用工具のギヤ歯を、工具挿入孔を介して歯車装置３９の歯車に噛み合わせることで、当該歯車装置３９を介して回転軸１９，２０を回転させること。この場合、メンテナンス時においてもポンプハウジングＨ１の内空間が大気に開放されないため、ポンプ機構Ｐが、半導体加工装置で発生した気体反応生成物（有害なガス）を取り扱う場合において、作業者の安全面で特に有利となる。
【００４６】
・工具挿入孔開閉手段はシールボルト４５に限定されるものではなく、例えば、ハウジングＨ１〜Ｈ３の外面において、工具挿入孔４３を覆うようにして接合固定された、取り外し可能なパネルであってもよい。また、透孔開閉手段はグロメット５２に限定されるものではなく、例えば、カバー５１の外面において、透孔５１ａを覆うようにして接合固定された、取り外し可能なパネルであってもよい。
【００４７】
・上記各実施形態においてメンテナンス用工具は、手動工具であった。しかし、これに限定されるものではなく、電動工具であってもよい。
・本発明は、真空ポンプ装置の長期間の停止に起因した、ロータ２３，２８とハウジングＨ１〜Ｈ３との錆付きによる固着を解除するのにも有効である。
【００４８】
・流体ポンプ装置としては上記実施形態の真空ポンプ装置以外にも、油圧ポンプ装置やウオーターポンプ装置等が挙げられる。
【００４９】
【発明の効果】
上記構成の本発明によれば、メンテナンスが容易となり、作業者を苦渋作業から解放することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 真空ポンプ装置の縦断面図。
【図２】 （ａ）図１の要部拡大図、（ｂ）メンテナンス作業を示す図。
【図３】 （ａ）別例を示す要部拡大断面図、（ｂ）メンテナンス作業を示す図。
【符号の説明】
１９，２０…ポンプ機構の回転軸、４１…回転部材としての電動モータの出力軸、４１ａ…係合部としての六角穴、４３…許容手段としての工具挿入孔、４５…工具挿入孔開閉手段としてのシールボルト、５０…軸封装置としてのリップシール、５１…カバー、５１ａ…透孔、５２…透孔開閉手段としてのグロメット、５５，５６…軸封装置としてのリップシール、６２…許容手段としての中間部材、Ｈ１…ハウジングを構成するポンプハウジング、Ｈ２…同じくギヤハウジング、Ｈ３…同じくモータハウジング、ＫＧ…メンテナンス用工具としての六角レンチ、Ｍ…電動モータ、Ｐ…ポンプ機構。

Claims (5)

1. ハウジング内に、回転軸の回転によって動作するポンプ機構と、当該ポンプ機構の回転軸を回転駆動する駆動源とが収容されてなる流体ポンプ装置において、
   前記回転軸又は当該回転軸と作動連結された回転部材には、メンテナンス用工具との係合部が設けられ、前記ハウジングにおいて係合部と対向する位置には、ハウジング外で準備されたメンテナンス用工具を係合部に係合させることを許容する許容手段が設けられており、前記メンテナンス用工具を係合部と係合させた状態で回転させることにより、回転軸が回転されるようにし、
   前記許容手段はハウジングに回動可能に設けられた中間部材からなり、当該中間部材は、係合部に対して接離可能であるとともに係合部及びメンテナンス用工具のそれぞれに係合可能に構成されており、メンテナンス用工具を介して中間部材をハウジングの内方へ押し込むことで、メンテナンス用工具と、係合部が設けられた回転軸又は回転部材とが、中間部材を介して一体回転可能に連結されることを特徴とする流体ポンプ装置。
2. ハウジング内に、回転軸の回転によって動作するポンプ機構と、当該ポンプ機構の回転軸を回転駆動する駆動源とが収容されてなる流体ポンプ装置において、
   前記回転軸又は当該回転軸と作動連結された回転部材には、メンテナンス用工具との係合部が設けられ、前記ハウジングにおいて係合部と対向する位置には、ハウジング外で準備されたメンテナンス用工具を係合部に係合させることを許容する許容手段が設けられており、前記メンテナンス用工具を係合部と係合させた状態で回転させることにより、回転軸が回転されるようにし、
   前記ハウジングはカバーに内蔵されており、当該カバーにおいて許容手段と対向する位置には、メンテナンス用工具がカバー外から許容手段へ到達することを許容する透孔が形成されており、前記カバーには、透孔を開閉可能な透孔開閉手段が設けられている流体ポンプ装置。
3. 前記許容手段は、メンテナンス用工具のハウジング内への挿入を許容する工具挿入孔であり、前記ハウジングには、工具挿入孔を開閉可能な工具挿入孔開閉手段が設けられている請求項２に記載の流体ポンプ装置。
4. 前記ハウジング内において、駆動源が備える出力軸とポンプ機構の回転軸との間の両軸を含む動力伝達経路上には、ポンプ機構側の雰囲気と駆動源側の雰囲気との間を遮断する軸封装置が配設されており、前記回転部材としての駆動源の出力軸に係合部が設けられている請求項１〜３のいずれかに記載の流体ポンプ装置。
5. 前記ポンプ機構が取り扱う流体は、半導体加工装置で発生した気体反応生成物である請求項１〜４のいずれかに記載の流体ポンプ装置。

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