JP2002130170A - 真空ポンプにおける流路構造 - Google Patents
真空ポンプにおける流路構造Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/06—Silencing
- F04C29/065—Noise dampening volumes, e.g. muffler chambers
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】真空ポンプのガス流路の一部となるベローズが
内部圧力の変化によって弾性変形する際の荷重が付帯設
備に波及しないようにする。 【解決手段】多段ルーツポンプ１１の本体は、カバー４
７内に内蔵されている。接続フランジ３９、マフラ４
０、ガイド管４１及び吐出管４２は、吐出配管機構６４
を構成する。吐出管４２にはベローズ４２１が組み込ま
れている。接続フランジ５８及び吸入管５９は、吸入配
管機構６５を構成する。吸入管５９にはベローズ５９１
が組み込まれている。吐出管４２及び吸入管５９は、カ
バー４７に結合されており、ベローズ４２１，５９１
は、カバー４７内に内蔵されている。
内部圧力の変化によって弾性変形する際の荷重が付帯設
備に波及しないようにする。 【解決手段】多段ルーツポンプ１１の本体は、カバー４
７内に内蔵されている。接続フランジ３９、マフラ４
０、ガイド管４１及び吐出管４２は、吐出配管機構６４
を構成する。吐出管４２にはベローズ４２１が組み込ま
れている。接続フランジ５８及び吸入管５９は、吸入配
管機構６５を構成する。吸入管５９にはベローズ５９１
が組み込まれている。吐出管４２及び吸入管５９は、カ
バー４７に結合されており、ベローズ４２１，５９１
は、カバー４７内に内蔵されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける流路構造に関するものである。
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける流路構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空ポンプの本体にガスを吸入するため
の吸入配管、真空ポンプの本体からガスを吐出するため
の吐出配管は、真空ポンプの本体の振動を伝える。この
振動は、吸入配管あるいは吐出配管の接続先の付帯設備
に伝わり、付帯設備が振動して騒音が大きくなる。真空
ポンプの本体の振動がそのまま吸入配管あるいは吐出配
管を伝って前記付帯設備に波及しないようにするため、
吸入配管上あるいは吐出配管上にベローズを介在する対
策が考えられる。吸入配管上あるいは吐出配管上に介在
されたベローズは、前記振動の伝達を吸収する。そのた
め、付帯設備の振動が抑制され、騒音が抑制される。
の吸入配管、真空ポンプの本体からガスを吐出するため
の吐出配管は、真空ポンプの本体の振動を伝える。この
振動は、吸入配管あるいは吐出配管の接続先の付帯設備
に伝わり、付帯設備が振動して騒音が大きくなる。真空
ポンプの本体の振動がそのまま吸入配管あるいは吐出配
管を伝って前記付帯設備に波及しないようにするため、
吸入配管上あるいは吐出配管上にベローズを介在する対
策が考えられる。吸入配管上あるいは吐出配管上に介在
されたベローズは、前記振動の伝達を吸収する。そのた
め、付帯設備の振動が抑制され、騒音が抑制される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】吸入配管内の圧力は大
気圧から零気圧に近い負圧まで変化する。吐出配管側で
は吐出脈動を抑制するために吐出配管の途中に逆止弁を
介在することが行われる。この場合、真空ポンプの本体
から逆止弁までの吐出配管内の圧力は、大気圧以上の正
圧から零気圧に近い負圧まで変化する。又、逆止弁から
下流の吐出配管内の圧力は、大気圧以上の正圧から大気
圧まで変化する。真空ポンプの運転開始前では真空ポン
プのポンプ室内は、大気圧雰囲気になっており、大気圧
以上の正圧は、真空ポンプの運転開始直後の大気圧雰囲
気の圧縮によって生じる。このような圧力変化のある吸
入配管あるいは吐出配管の一部としてベローズを用いる
と、ベローズが内部圧力の変化によって伸長あるいは縮
小するように弾性変形する。この弾性変形による荷重が
前記付帯設備に波及し、前記付帯設備が損傷するおそれ
がある。
気圧から零気圧に近い負圧まで変化する。吐出配管側で
は吐出脈動を抑制するために吐出配管の途中に逆止弁を
介在することが行われる。この場合、真空ポンプの本体
から逆止弁までの吐出配管内の圧力は、大気圧以上の正
圧から零気圧に近い負圧まで変化する。又、逆止弁から
下流の吐出配管内の圧力は、大気圧以上の正圧から大気
圧まで変化する。真空ポンプの運転開始前では真空ポン
プのポンプ室内は、大気圧雰囲気になっており、大気圧
以上の正圧は、真空ポンプの運転開始直後の大気圧雰囲
気の圧縮によって生じる。このような圧力変化のある吸
入配管あるいは吐出配管の一部としてベローズを用いる
と、ベローズが内部圧力の変化によって伸長あるいは縮
小するように弾性変形する。この弾性変形による荷重が
前記付帯設備に波及し、前記付帯設備が損傷するおそれ
がある。
【０００４】本発明は、真空ポンプのガス流路の一部と
なるベローズが内部圧力の変化によって弾性変形する際
の荷重が前記付帯設備に波及しないようにし得る流路構
造を提供することを目的とする。
なるベローズが内部圧力の変化によって弾性変形する際
の荷重が前記付帯設備に波及しないようにし得る流路構
造を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、前記ガスのガス流路を形成すると共に、前記ポン
プ室に連通するように前記真空ポンプの本体のハウジン
グに接続された配管機構と、前記配管機構の少なくとも
一部となるベローズと、前記真空ポンプの本体を内蔵す
ると共に、前記配管機構を結合するためのカバーとを備
えた流路構造を構成し、前記カバー内に前記ベローズを
内蔵すると共に、前記カバーに前記配管機構を結合し
た。
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、前記ガスのガス流路を形成すると共に、前記ポン
プ室に連通するように前記真空ポンプの本体のハウジン
グに接続された配管機構と、前記配管機構の少なくとも
一部となるベローズと、前記真空ポンプの本体を内蔵す
ると共に、前記配管機構を結合するためのカバーとを備
えた流路構造を構成し、前記カバー内に前記ベローズを
内蔵すると共に、前記カバーに前記配管機構を結合し
た。
【０００６】カバー内のベローズの弾性変形に伴う荷重
は、カバーで受け止められる。従って、ベローズの弾性
変形に伴う荷重が付帯設備に波及することはない。請求
項２の発明では、請求項１において、前記ベローズは、
前記回転軸に対して斜めとなるように配置した。
は、カバーで受け止められる。従って、ベローズの弾性
変形に伴う荷重が付帯設備に波及することはない。請求
項２の発明では、請求項１において、前記ベローズは、
前記回転軸に対して斜めとなるように配置した。
【０００７】ベローズを回転軸に対して斜めとなるよう
に配置した構成は、ベローズの全長を稼ぐ上で有利であ
る。請求項３の発明では、請求項１において、前記配管
機構は、前記真空ポンプの本体のハウジングの外壁面に
沿って直線状態に配設した。
に配置した構成は、ベローズの全長を稼ぐ上で有利であ
る。請求項３の発明では、請求項１において、前記配管
機構は、前記真空ポンプの本体のハウジングの外壁面に
沿って直線状態に配設した。
【０００８】直線状態の配管機構は、装置のコンパクト
化に有利である。請求項４の発明では、請求項３におい
て、前記配管機構は、前記回転軸に対して略平行とし
た。
化に有利である。請求項４の発明では、請求項３におい
て、前記配管機構は、前記回転軸に対して略平行とし
た。
【０００９】真空ポンプの振動は回転軸と直交する方向
に専ら生じる。回転軸に略平行な配管機構のベローズの
伸縮方向は回転軸の軸線方向であるが、このベローズの
配置は真空ポンプの振動吸収に最も有効である。
に専ら生じる。回転軸に略平行な配管機構のベローズの
伸縮方向は回転軸の軸線方向であるが、このベローズの
配置は真空ポンプの振動吸収に最も有効である。
【００１０】請求項５の発明では、請求項１乃至請求項
４のいずれか１項において、前記配管機構は、前記カバ
ーを貫通しており、前記配管機構を通す貫通孔を介した
前記カバーの内外の連通を遮断するためのシール手段が
前記配管機構と前記カバーとに接合するように配設され
ているようにした。
４のいずれか１項において、前記配管機構は、前記カバ
ーを貫通しており、前記配管機構を通す貫通孔を介した
前記カバーの内外の連通を遮断するためのシール手段が
前記配管機構と前記カバーとに接合するように配設され
ているようにした。
【００１１】貫通孔がカバーの内外を連通する箇所にな
ることはなく、カバー内の密封性の確保が可能である。
ることはなく、カバー内の密封性の確保が可能である。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図６に基づいて説明
する。
体化した第１の実施の形態を図１〜図６に基づいて説明
する。
【００１３】図４に示すように、多段ルーツポンプ１１
のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング
１３が接合されており、フロントハウジング１３には封
鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後
端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハ
ウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１
６とからなる。図５（ｂ）に示すように、シリンダブロ
ック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、隔
壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図４に示
すように、フロントハウジング１３と隔壁１６との間の
空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及びリヤハウジング
１４と隔壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室６
６，６７，６８，６９，７０となっている。
のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング
１３が接合されており、フロントハウジング１３には封
鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後
端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハ
ウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１
６とからなる。図５（ｂ）に示すように、シリンダブロ
ック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、隔
壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図４に示
すように、フロントハウジング１３と隔壁１６との間の
空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及びリヤハウジング
１４と隔壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室６
６，６７，６８，６９，７０となっている。
【００１４】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには回転軸１９がラジアルベアリング２１，３７
を介して回転可能に支持されている。フロントハウジン
グ１３とリヤハウジング１４とには回転軸２０がラジア
ルベアリング２２，３８を介して回転可能に支持されて
いる。両回転軸１９，２０は互いに平行に水平方向に配
置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に通されて
いる。
１４とには回転軸１９がラジアルベアリング２１，３７
を介して回転可能に支持されている。フロントハウジン
グ１３とリヤハウジング１４とには回転軸２０がラジア
ルベアリング２２，３８を介して回転可能に支持されて
いる。両回転軸１９，２０は互いに平行に水平方向に配
置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に通されて
いる。
【００１５】回転軸１９には複数のロータ２３，２４，
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室６６に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室６７に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室６８に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室６９に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室７０に収
容されている。
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室６６に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室６７に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室６８に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室６９に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室７０に収
容されている。
【００１６】リヤハウジング１４にはギヤハウジング３
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電
動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１
９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図
５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ１の
方向に回転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を介
して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は
図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ２
で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電
動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１
９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図
５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ１の
方向に回転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を介
して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は
図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ２
で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。
【００１７】図４及び図５（ｂ）に示すように、隔壁１
６内には通路１６３が形成されている。図５（ｂ）に示
すように、隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出
口１６５が形成されている。隣合うポンプ室６６，６
７，６８，６９，７０は、通路１６３を介して連通して
いる。
６内には通路１６３が形成されている。図５（ｂ）に示
すように、隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出
口１６５が形成されている。隣合うポンプ室６６，６
７，６８，６９，７０は、通路１６３を介して連通して
いる。
【００１８】図５（ａ）に示すように、ブロック片１７
には導入口１７１がポンプ室６６に連通するように形成
されている。図６（ｂ）に示すように、ブロック片１８
には排出口１８１がポンプ室７０に連通するように形成
されている。導入口１７１からポンプ室６６に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の
入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣
のポンプ室６７へ移送される。以下、同様にガスは、ポ
ンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室６
７，６８，６９，７０の順に移送される。ポンプ室７０
へ移送されたガスは、排出口１８１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
には導入口１７１がポンプ室６６に連通するように形成
されている。図６（ｂ）に示すように、ブロック片１８
には排出口１８１がポンプ室７０に連通するように形成
されている。導入口１７１からポンプ室６６に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の
入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣
のポンプ室６７へ移送される。以下、同様にガスは、ポ
ンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室６
７，６８，６９，７０の順に移送される。ポンプ室７０
へ移送されたガスは、排出口１８１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
【００１９】ロータハウジング１２、フロントハウジン
グ１３、リヤハウジング１４及びギヤハウジング３３
は、多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングを構成す
る。図１及び図２に示すように、多段ルーツポンプ１１
の本体は、カバー４７内に内蔵されている。カバー４７
は、装置設置場所の固定部に止着されている。
グ１３、リヤハウジング１４及びギヤハウジング３３
は、多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングを構成す
る。図１及び図２に示すように、多段ルーツポンプ１１
の本体は、カバー４７内に内蔵されている。カバー４７
は、装置設置場所の固定部に止着されている。
【００２０】図６（ｂ）に示すように、排出口１８１に
は接続フランジ３９が接続されている。図３（ａ）に示
すように、接続フランジ３９にはマフラ４０が接続され
ており、マフラ４０には円筒形状のガイド管４１が接続
されている。ガイド管４１には吐出管４２が接続されて
いる。フロントハウジング１３の前方のカバー４７の壁
４７３の上部には貫通孔４７１が設けられており、貫通
孔４７１には吐出管４２が通されている。吐出管４２
は、カバー４７を貫通して図示しない排ガス処理装置に
接続されている。吐出管４２にはベローズ４２１が直列
に組み込まれている。ベローズ４２１は、多段ルーツポ
ンプ１１の本体を構成するハウジングから離してある。
吐出管４２の外周には取り付けフランジ４２２が形成さ
れている。取り付けフランジ４２２は、ねじ５７の締め
付けによってカバー４７に固定されており、ベローズ４
２１は、カバー４７内に内蔵されている。
は接続フランジ３９が接続されている。図３（ａ）に示
すように、接続フランジ３９にはマフラ４０が接続され
ており、マフラ４０には円筒形状のガイド管４１が接続
されている。ガイド管４１には吐出管４２が接続されて
いる。フロントハウジング１３の前方のカバー４７の壁
４７３の上部には貫通孔４７１が設けられており、貫通
孔４７１には吐出管４２が通されている。吐出管４２
は、カバー４７を貫通して図示しない排ガス処理装置に
接続されている。吐出管４２にはベローズ４２１が直列
に組み込まれている。ベローズ４２１は、多段ルーツポ
ンプ１１の本体を構成するハウジングから離してある。
吐出管４２の外周には取り付けフランジ４２２が形成さ
れている。取り付けフランジ４２２は、ねじ５７の締め
付けによってカバー４７に固定されており、ベローズ４
２１は、カバー４７内に内蔵されている。
【００２１】接続フランジ３９、マフラ４０、ガイド管
４１及び吐出管４２は、回転軸１９，２０と略平行とな
るようにロータハウジング１２の外壁面に沿って直線状
態に配設されている。直線状態に配設された接続フラン
ジ３９、マフラ４０、ガイド管４１及び吐出管４２は、
多段ルーツポンプ１１から吐出される排ガスを前記排ガ
ス処理装置へ送る吐出配管機構６４を構成する。吐出配
管機構６４は、ポンプ室７０に連通するように多段ルー
ツポンプ１１の本体のハウジングを構成するロータハウ
ジング１２に接続されている。
４１及び吐出管４２は、回転軸１９，２０と略平行とな
るようにロータハウジング１２の外壁面に沿って直線状
態に配設されている。直線状態に配設された接続フラン
ジ３９、マフラ４０、ガイド管４１及び吐出管４２は、
多段ルーツポンプ１１から吐出される排ガスを前記排ガ
ス処理装置へ送る吐出配管機構６４を構成する。吐出配
管機構６４は、ポンプ室７０に連通するように多段ルー
ツポンプ１１の本体のハウジングを構成するロータハウ
ジング１２に接続されている。
【００２２】ガイド管４１の管内には弁体４３及び復帰
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は弁孔４１
１を開閉する。ガイド管４１、弁体４３及び復帰ばね４
４は、逆流防止手段を構成する。最小容積のポンプ室７
０から排出口１８１を経由して接続フランジ３９へ吐出
された排ガスは、マフラ４０を経由して弁孔４１１に至
る。マフラ４０内の圧力によって弁体４３の閉鎖端壁４
５に掛かる荷重がガイド管４１内の圧力と復帰ばね４４
のばね力とによって閉鎖端壁４５に掛かる荷重を上回る
場合には、弁体４３が弁孔４１１を開く。弁孔４１１を
通過した排ガスは、弁体４３の周壁４６の周囲、及び流
通孔４６１を通って吐出管４２側へ流れる。
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は弁孔４１
１を開閉する。ガイド管４１、弁体４３及び復帰ばね４
４は、逆流防止手段を構成する。最小容積のポンプ室７
０から排出口１８１を経由して接続フランジ３９へ吐出
された排ガスは、マフラ４０を経由して弁孔４１１に至
る。マフラ４０内の圧力によって弁体４３の閉鎖端壁４
５に掛かる荷重がガイド管４１内の圧力と復帰ばね４４
のばね力とによって閉鎖端壁４５に掛かる荷重を上回る
場合には、弁体４３が弁孔４１１を開く。弁孔４１１を
通過した排ガスは、弁体４３の周壁４６の周囲、及び流
通孔４６１を通って吐出管４２側へ流れる。
【００２３】図５（ａ）に示すように、導入口１７１に
は接続フランジ５８が接続されている。図３（ｂ）に示
すように、接続フランジ５８には吸入管５９が接続され
ている。カバー４７の壁４７３の下部には貫通孔４７２
が設けられており、貫通孔４７２には吸入管５９が通さ
れている。吸入管５９は、カバー４７を貫通して図示し
ない吸引対象装置に接続されている。吸入管５９にはベ
ローズ５９１が直列に組み込まれている。ベローズ５９
１は、多段ルーツポンプ１１の本体を構成するハウジン
グから離してある。吸入管５９の外周には取り付けフラ
ンジ５９２が形成されている。取り付けフランジ５９２
は、ねじ６０の締め付けによってカバー４７に固定され
ており、ベローズ５９１は、カバー４７内に内蔵されて
いる。
は接続フランジ５８が接続されている。図３（ｂ）に示
すように、接続フランジ５８には吸入管５９が接続され
ている。カバー４７の壁４７３の下部には貫通孔４７２
が設けられており、貫通孔４７２には吸入管５９が通さ
れている。吸入管５９は、カバー４７を貫通して図示し
ない吸引対象装置に接続されている。吸入管５９にはベ
ローズ５９１が直列に組み込まれている。ベローズ５９
１は、多段ルーツポンプ１１の本体を構成するハウジン
グから離してある。吸入管５９の外周には取り付けフラ
ンジ５９２が形成されている。取り付けフランジ５９２
は、ねじ６０の締め付けによってカバー４７に固定され
ており、ベローズ５９１は、カバー４７内に内蔵されて
いる。
【００２４】接続フランジ５８及び吸入管５９は、回転
軸１９，２０と略平行となるようにロータハウジング１
２の外壁面に沿って直線状態に配設されている。直線状
態に配設された接続フランジ５８及び吸入管５９は、前
記吸引対象装置から吸入される排ガスを多段ルーツポン
プ１１へ送る吸入配管機構６５を構成する。吸入配管機
構６５は、ポンプ室６６に連通するように多段ルーツポ
ンプ１１の本体のハウジングを構成するロータハウジン
グ１２に接続されている。
軸１９，２０と略平行となるようにロータハウジング１
２の外壁面に沿って直線状態に配設されている。直線状
態に配設された接続フランジ５８及び吸入管５９は、前
記吸引対象装置から吸入される排ガスを多段ルーツポン
プ１１へ送る吸入配管機構６５を構成する。吸入配管機
構６５は、ポンプ室６６に連通するように多段ルーツポ
ンプ１１の本体のハウジングを構成するロータハウジン
グ１２に接続されている。
【００２５】図１及び図２に示すように、多段ルーツポ
ンプ１１はカバー４７内に収容されている。図１に示す
ように、多段ルーツポンプ１１の下面には足１１１が形
成されている。足１１１は、ゴム製のクッション６１を
介してカバー４７の底壁に結合されている。
ンプ１１はカバー４７内に収容されている。図１に示す
ように、多段ルーツポンプ１１の下面には足１１１が形
成されている。足１１１は、ゴム製のクッション６１を
介してカバー４７の底壁に結合されている。
【００２６】図２に示すように、カバー４７内には制御
器４８及び電動モータＭを制御するインバータ４９が装
着されている。リヤハウジング１４の下面には冷却器５
０が設置されている。制御器４８の上面には冷却器５１
が設置されており、インバータ４９の上面には冷却器５
２が設置されている。主供給管５３には図示しない冷却
液供給源から冷却液が送られる。主供給管５３へ送られ
た冷却液は、冷却器５１及び冷却器５２をこの順に通過
する。電磁三方弁５５が消磁状態にある場合には、冷却
器５２を通過した冷却液は、主供給管５３を経由して冷
却液供給源に還流する。電磁三方弁５５が励磁状態にあ
る場合には、冷却器５１を通過した冷却液は、副供給管
５４を経由して冷却器５０側へ流れる。リヤハウジング
１４の表面に取り付けられた温度検出器５６は、リヤハ
ウジング１４の表面の温度を検出する。制御器４８は、
温度検出器５６から得られた温度検出情報に基づいて電
磁三方弁５５の励消磁を制御する。即ち、制御器４８
は、リヤハウジング１４の表面の温度が所定の温度とな
るように電磁三方弁５５の励消磁を制御する。
器４８及び電動モータＭを制御するインバータ４９が装
着されている。リヤハウジング１４の下面には冷却器５
０が設置されている。制御器４８の上面には冷却器５１
が設置されており、インバータ４９の上面には冷却器５
２が設置されている。主供給管５３には図示しない冷却
液供給源から冷却液が送られる。主供給管５３へ送られ
た冷却液は、冷却器５１及び冷却器５２をこの順に通過
する。電磁三方弁５５が消磁状態にある場合には、冷却
器５２を通過した冷却液は、主供給管５３を経由して冷
却液供給源に還流する。電磁三方弁５５が励磁状態にあ
る場合には、冷却器５１を通過した冷却液は、副供給管
５４を経由して冷却器５０側へ流れる。リヤハウジング
１４の表面に取り付けられた温度検出器５６は、リヤハ
ウジング１４の表面の温度を検出する。制御器４８は、
温度検出器５６から得られた温度検出情報に基づいて電
磁三方弁５５の励消磁を制御する。即ち、制御器４８
は、リヤハウジング１４の表面の温度が所定の温度とな
るように電磁三方弁５５の励消磁を制御する。
【００２７】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）ロータ２３〜３２の回転に伴う多段ルーツポン
プ１１の本体の振動は、吸入配管機構６５及び吐出配管
機構６４を伝う。吸入配管機構６５を伝う多段ルーツポ
ンプ１１の本体の振動は、ベローズ５９１によって吸収
される。吐出配管機構６４を伝う多段ルーツポンプ１１
の本体の振動は、ベローズ４２１によって吸収される。
吸入配管機構６５内の圧力は大気圧から零気圧に近い負
圧まで変化する。多段ルーツポンプ１１の本体から弁体
４３までの吐出配管機構６４内の圧力は、大気圧以上の
正圧から零気圧に近い負圧まで変化する。又、弁体４３
から下流の吐出配管機構６４の圧力は、大気圧以上の正
圧から大気圧まで変化する。多段ルーツポンプ１１の運
転開始前では、ポンプ室６６〜７０内は、大気圧雰囲気
になっており、大気圧以上の正圧は、多段ルーツポンプ
１１の運転開始直後の大気圧雰囲気の圧縮によって生じ
る。ベローズ４２１，５９１は、前記した圧力変化によ
って伸長あるいは縮小するように弾性変形する。ベロー
ズ４２１，５９１はカバー４７内に内蔵されており、カ
バー４７内のベローズ４２１，５９１の弾性変形に伴う
荷重は、カバー４７で受け止められる。従って、ベロー
ズ４２１，５９１の弾性変形に伴う荷重が付帯設備に波
及することはない。
る。 （１-1）ロータ２３〜３２の回転に伴う多段ルーツポン
プ１１の本体の振動は、吸入配管機構６５及び吐出配管
機構６４を伝う。吸入配管機構６５を伝う多段ルーツポ
ンプ１１の本体の振動は、ベローズ５９１によって吸収
される。吐出配管機構６４を伝う多段ルーツポンプ１１
の本体の振動は、ベローズ４２１によって吸収される。
吸入配管機構６５内の圧力は大気圧から零気圧に近い負
圧まで変化する。多段ルーツポンプ１１の本体から弁体
４３までの吐出配管機構６４内の圧力は、大気圧以上の
正圧から零気圧に近い負圧まで変化する。又、弁体４３
から下流の吐出配管機構６４の圧力は、大気圧以上の正
圧から大気圧まで変化する。多段ルーツポンプ１１の運
転開始前では、ポンプ室６６〜７０内は、大気圧雰囲気
になっており、大気圧以上の正圧は、多段ルーツポンプ
１１の運転開始直後の大気圧雰囲気の圧縮によって生じ
る。ベローズ４２１，５９１は、前記した圧力変化によ
って伸長あるいは縮小するように弾性変形する。ベロー
ズ４２１，５９１はカバー４７内に内蔵されており、カ
バー４７内のベローズ４２１，５９１の弾性変形に伴う
荷重は、カバー４７で受け止められる。従って、ベロー
ズ４２１，５９１の弾性変形に伴う荷重が付帯設備に波
及することはない。
【００２８】（１-2）吐出配管機構６４及び吸入配管機
構６５は、多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングを
構成するロータハウジング１２の外壁面に沿って直線状
態に配設されている。ロータハウジング１２の外壁面に
吐出配管機構６４及び吸入配管機構６５を直線状態に沿
わせた構成は、多段ルーツポンプ１１の本体の周辺の付
属品のための専有スペースを最も小さくする。従って、
コンパクトなカバー４７の採用が可能であり、カバー４
７を含めた多段ルーツポンプ１１の装置全体がコンパク
トになる。
構６５は、多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングを
構成するロータハウジング１２の外壁面に沿って直線状
態に配設されている。ロータハウジング１２の外壁面に
吐出配管機構６４及び吸入配管機構６５を直線状態に沿
わせた構成は、多段ルーツポンプ１１の本体の周辺の付
属品のための専有スペースを最も小さくする。従って、
コンパクトなカバー４７の採用が可能であり、カバー４
７を含めた多段ルーツポンプ１１の装置全体がコンパク
トになる。
【００２９】（１-3）多段ルーツポンプ１１の振動は、
回転軸１９，２０と直交する方向に専ら生じる。回転軸
１９，２０に略平行な吐出配管機構６４のベローズ４２
１の伸縮方向、及び回転軸１９，２０に略平行な吸入配
管機構６５のベローズ５９１の伸縮方向は、回転軸１
９，２０の軸線１９１，２０１の方向である。ベローズ
４２１，５９１の伸縮方向と直交する方向への振動は、
ベローズ４２１，５９１の伸縮方向への振動よりも吸収
し易い。従って、回転軸１９，２０に対して略平行にベ
ローズ４２１，５９１を配設した構成は、多段ルーツポ
ンプ１１の振動吸収に最も有効である。
回転軸１９，２０と直交する方向に専ら生じる。回転軸
１９，２０に略平行な吐出配管機構６４のベローズ４２
１の伸縮方向、及び回転軸１９，２０に略平行な吸入配
管機構６５のベローズ５９１の伸縮方向は、回転軸１
９，２０の軸線１９１，２０１の方向である。ベローズ
４２１，５９１の伸縮方向と直交する方向への振動は、
ベローズ４２１，５９１の伸縮方向への振動よりも吸収
し易い。従って、回転軸１９，２０に対して略平行にベ
ローズ４２１，５９１を配設した構成は、多段ルーツポ
ンプ１１の振動吸収に最も有効である。
【００３０】次に、図７の第２の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。取り付けフランジ４２２と壁４７３との間には
シール部材６２が介在されており、取り付けフランジ５
９２と壁４７３との間にはシール部材６３が介在されて
いる。シール部材６２は、取り付けフランジ４２２と壁
４７３とに接合しており、シール部材６２は、貫通孔４
７１を介したカバー４７の内外の連通を遮断するための
シール手段となる。シール部材６３は、取り付けフラン
ジ５９２と壁４７３とに接合しており、シール部材６３
は、貫通孔４７２を介したカバー４７の内外の連通を遮
断するためのシール手段となる。カバー４７には隙間は
なく、カバー４７は、その内部を完全に密封している。
従って、多段ルーツポンプ１１の本体、吸入配管機構６
５あるいは吐出配管機構６４から排ガスが万一洩れた場
合にも、この洩れガスをカバー４７内に封じ込めておく
ことができる。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。取り付けフランジ４２２と壁４７３との間には
シール部材６２が介在されており、取り付けフランジ５
９２と壁４７３との間にはシール部材６３が介在されて
いる。シール部材６２は、取り付けフランジ４２２と壁
４７３とに接合しており、シール部材６２は、貫通孔４
７１を介したカバー４７の内外の連通を遮断するための
シール手段となる。シール部材６３は、取り付けフラン
ジ５９２と壁４７３とに接合しており、シール部材６３
は、貫通孔４７２を介したカバー４７の内外の連通を遮
断するためのシール手段となる。カバー４７には隙間は
なく、カバー４７は、その内部を完全に密封している。
従って、多段ルーツポンプ１１の本体、吸入配管機構６
５あるいは吐出配管機構６４から排ガスが万一洩れた場
合にも、この洩れガスをカバー４７内に封じ込めておく
ことができる。
【００３１】次に、図８の第３の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。吐出配管機構６４Ａを構成する吐出管４２Ａの
一部であるベローズ４２１は、回転軸１９１，２０１
（図示略）に対して斜めになるように配置されている。
吸入配管機構６５Ａを構成する吐出管５９Ａの一部であ
るベローズ５９１は、回転軸１９１，２０１（図示略）
に対して斜めになるように配置されている。ベローズ４
２１，５９１を回転軸１９１，２０１に対して斜めとな
るように配置した構成は、多段ルーツポンプ１１の本体
の軸方向における長さを延ばすことなくベローズ４２
１，５９１の全長を稼ぐ上で有利である。ベローズ４２
１，５９１のは、その長さが長いほど多段ルーツポンプ
１１の本体の振動を吸収する上で有利である。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。吐出配管機構６４Ａを構成する吐出管４２Ａの
一部であるベローズ４２１は、回転軸１９１，２０１
（図示略）に対して斜めになるように配置されている。
吸入配管機構６５Ａを構成する吐出管５９Ａの一部であ
るベローズ５９１は、回転軸１９１，２０１（図示略）
に対して斜めになるように配置されている。ベローズ４
２１，５９１を回転軸１９１，２０１に対して斜めとな
るように配置した構成は、多段ルーツポンプ１１の本体
の軸方向における長さを延ばすことなくベローズ４２
１，５９１の全長を稼ぐ上で有利である。ベローズ４２
１，５９１のは、その長さが長いほど多段ルーツポンプ
１１の本体の振動を吸収する上で有利である。
【００３２】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 （１）ベローズをカバーに直接結合すること。 （２）吐出配管機構側において、マフラ４０をベローズ
とすること。この場合、マフラ４０及びガイド管４１を
多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングから離してお
く必要がある。 （３）カバー４７内のガス流路形成用配管機構をカバー
４７の貫通孔に連通するようにカバー４７の内面に結合
し、カバー４７外のガス流路形成用配管機構を前記貫通
孔に連通するようにカバー４７の外面に結合すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
である。 （１）ベローズをカバーに直接結合すること。 （２）吐出配管機構側において、マフラ４０をベローズ
とすること。この場合、マフラ４０及びガイド管４１を
多段ルーツポンプ１１の本体のハウジングから離してお
く必要がある。 （３）カバー４７内のガス流路形成用配管機構をカバー
４７の貫通孔に連通するようにカバー４７の内面に結合
し、カバー４７外のガス流路形成用配管機構を前記貫通
孔に連通するようにカバー４７の外面に結合すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
【００３３】前記した実施の形態から把握できる請求項
記載以外の発明について以下に記載する。 （１）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記配管機構は、吐出側のガス流路を構成する吐出配管
機構である真空ポンプにおける流路構造。 （２）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記配管機構は、吸入側のガス流路を構成する吸入配管
機構である真空ポンプにおける流路構造。 （３）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置する
と共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転
軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状
態の複数のロータを１組として収容する複数のポンプ
室、又は単一のポンプ室を備えた真空ポンプとした真空
ポンプにおける流路構造。
記載以外の発明について以下に記載する。 （１）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記配管機構は、吐出側のガス流路を構成する吐出配管
機構である真空ポンプにおける流路構造。 （２）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記配管機構は、吸入側のガス流路を構成する吸入配管
機構である真空ポンプにおける流路構造。 （３）請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置する
と共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転
軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状
態の複数のロータを１組として収容する複数のポンプ
室、又は単一のポンプ室を備えた真空ポンプとした真空
ポンプにおける流路構造。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、配管機
構の少なくとも一部となるベローズをカバー内に内蔵す
ると共に、前記カバーに前記配管機構を結合したので、
真空ポンプのガス流路の一部となるベローズが内部圧力
の変化によって弾性変形する際の荷重が前記付帯設備に
波及しないようにし得るという優れた効果を奏する。
構の少なくとも一部となるベローズをカバー内に内蔵す
ると共に、前記カバーに前記配管機構を結合したので、
真空ポンプのガス流路の一部となるベローズが内部圧力
の変化によって弾性変形する際の荷重が前記付帯設備に
波及しないようにし得るという優れた効果を奏する。
【図１】第１の実施の形態を示すカバー内の多段ルーツ
ポンプ１１の側面図。
ポンプ１１の側面図。
【図２】カバー内の多段ルーツポンプ１１の平面図。
【図３】（ａ）は吐出配管機構側の要部側断面図。
（ｂ）は吸入配管機構側の要部側断面図。
（ｂ）は吸入配管機構側の要部側断面図。
【図４】平断面図。
【図５】（ａ）は図４のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図４
のＢ−Ｂ線断面図。
のＢ−Ｂ線断面図。
【図６】（ａ）は図４のＣ−Ｃ線断面図。（ｂ）は図４
のＤ−Ｄ線断面図。
のＤ−Ｄ線断面図。
【図７】第２の実施の形態を示し、（ａ）は吐出配管機
構側の要部側断面図。（ｂ）は吸入配管機構側の要部側
断面図。
構側の要部側断面図。（ｂ）は吸入配管機構側の要部側
断面図。
【図８】第３の実施の形態を示し、（ａ）は吐出配管機
構側の要部側断面図。（ｂ）は吸入配管機構側の要部側
断面図。
構側の要部側断面図。（ｂ）は吸入配管機構側の要部側
断面図。
【符号の説明】 １１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１２…真空
ポンプの本体のハウジングを構成するロータハウジン
グ。１３…真空ポンプの本体のハウジングを構成するフ
ロントハウジング。１４…真空ポンプの本体のハウジン
グを構成するリヤハウジング。１９，２０…回転軸。２
３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３
１，３２…ガス移送体であるロータ。３３…真空ポンプ
の本体のハウジングを構成するギヤハウジング。３９…
吐出配管機構を構成する接続フランジ。４０…吐出配管
機構を構成するマフラ。４１…吐出配管機構を構成する
ガイド管。４２，４２Ａ…吐出配管機構を構成する吐出
管。４２１，５９１…ベローズ。４７…カバー。４７
１，４７２…貫通孔。５９，５９Ａ…吸入配管機構を構
成する吸入管。６２，６３…シール手段であるシール部
材。６４，６４Ａ…吐出配管機構。６５，６５Ａ…吸入
配管機構。
ポンプの本体のハウジングを構成するロータハウジン
グ。１３…真空ポンプの本体のハウジングを構成するフ
ロントハウジング。１４…真空ポンプの本体のハウジン
グを構成するリヤハウジング。１９，２０…回転軸。２
３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３
１，３２…ガス移送体であるロータ。３３…真空ポンプ
の本体のハウジングを構成するギヤハウジング。３９…
吐出配管機構を構成する接続フランジ。４０…吐出配管
機構を構成するマフラ。４１…吐出配管機構を構成する
ガイド管。４２，４２Ａ…吐出配管機構を構成する吐出
管。４２１，５９１…ベローズ。４７…カバー。４７
１，４７２…貫通孔。５９，５９Ａ…吸入配管機構を構
成する吸入管。６２，６３…シール手段であるシール部
材。６４，６４Ａ…吐出配管機構。６５，６５Ａ…吸入
配管機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口 真広 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 (72)発明者 正路 仁 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA17 AB06 BB16 BB44 BB47 CC19 CC24 3H076 AA21 BB28 BB38 BB40 BB41 CC55 CC92
Claims (5)
- 【請求項１】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、 前記ガスのガス流路を形成すると共に、前記ポンプ室に
連通するように前記真空ポンプの本体のハウジングに接
続された配管機構と、 前記配管機構の少なくとも一部となるベローズと、 前記真空ポンプの本体を内蔵すると共に、前記配管機構
を結合するためのカバーとを備え、 前記カバー内に前記ベローズを内蔵すると共に、前記カ
バーに前記配管機構を結合した真空ポンプにおける流路
構造。 - 【請求項２】前記ベローズは、前記回転軸に対して斜め
となるように配置されている請求項１に記載の真空ポン
プにおける流路構造。 - 【請求項３】前記配管機構は、前記真空ポンプの本体の
ハウジングの外壁面に沿って直線状態に配設されている
請求項１に記載の真空ポンプにおける流路構造。 - 【請求項４】前記配管機構は、前記回転軸に対して略平
行である請求項３に記載の真空ポンプにおける流路構
造。 - 【請求項５】前記配管機構は、前記カバーを貫通してお
り、前記配管機構を通す貫通孔を介した前記カバーの内
外の連通を遮断するためのシール手段が前記配管機構と
前記カバーとに接合するように配設されている請求項１
乃至請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
る流路構造。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000322577A JP2002130170A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 真空ポンプにおける流路構造 |
| EP20010124365 EP1201927B1 (en) | 2000-10-23 | 2001-10-23 | Vacuum pump |
| DE2001605249 DE60105249T2 (de) | 2000-10-23 | 2001-10-23 | Vakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000322577A JP2002130170A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 真空ポンプにおける流路構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002130170A true JP2002130170A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18800431
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000322577A Pending JP2002130170A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 真空ポンプにおける流路構造 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1201927B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002130170A (ja) |
| DE (1) | DE60105249T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7364414B2 (en) | 2002-09-06 | 2008-04-29 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Fluid pump system |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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