TWI701387B - 真空泵 - Google Patents

真空泵 Download PDF

Info

Publication number
TWI701387B
TWI701387B TW107113179A TW107113179A TWI701387B TW I701387 B TWI701387 B TW I701387B TW 107113179 A TW107113179 A TW 107113179A TW 107113179 A TW107113179 A TW 107113179A TW I701387 B TWI701387 B TW I701387B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
expansion chamber
wall portion
vacuum pump
muffler
side wall
Prior art date
Application number
TW107113179A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201901035A (zh
Inventor
鈴木敏生
田中智成
橋本建治
Original Assignee
日商愛發科股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商愛發科股份有限公司 filed Critical 日商愛發科股份有限公司
Publication of TW201901035A publication Critical patent/TW201901035A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI701387B publication Critical patent/TWI701387B/zh

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/0027—Pulsation and noise damping means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/06—Silencing
    • F04C29/065—Noise dampening volumes, e.g. muffler chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/0027—Pulsation and noise damping means
    • F04B39/0055—Pulsation and noise damping means with a special shape of fluid passage, e.g. bends, throttles, diameter changes, pipes
    • F04B39/0061—Pulsation and noise damping means with a special shape of fluid passage, e.g. bends, throttles, diameter changes, pipes using muffler volumes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/06—Silencing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2210/00—Fluid
    • F04C2210/22—Fluid gaseous, i.e. compressible
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2210/00—Working fluid
    • F05B2210/10—Kind or type
    • F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2260/00—Function
    • F05B2260/96—Preventing, counteracting or reducing vibration or noise
    • F05B2260/962—Preventing, counteracting or reducing vibration or noise by means creating "anti-noise"

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressor (AREA)

Abstract

本發明的一實施形態之真空泵係具備有泵本體與消音器。上述泵本體係具有：殼體，具有吸氣口與排氣口；以及轉子，可旋轉地配置在上述殼體的內部，將氣體由上述吸氣口往上述排氣口移送。上述消音器係具有框體、第一通路部以及第二通路部。上述框體係含有：開口端部，氣密地連接於上述殼體的外壁面；底壁部，與上述開口端部對向；以及周壁部；藉由上述殼體的外壁面與上述底壁部以及上述周壁部的各自的內壁面而劃設膨脹室。上述第一通路部係設置於上述框體，將由上述排氣口所排出的氣體往上述膨脹室導入。上述第二通路部設置於上述框體，將上述膨脹室內的氣體往上述框體的外部排出。

Description

真空泵
本發明係有關於一種具有吸音器的容積移送型的真空泵。
就容積移送型的乾式真空泵而言，例如已知有二軸型的螺桿泵(screw pump)。該種螺桿泵係構成為具有：的殼體(housing)，係具有吸入口與排出口；以及一對螺桿轉子(screw rotor)，係收容於殼體；藉由使該一對的螺桿轉子旋轉而將氣體由吸入口往排出口移送。
另外，於該種真空泵中，已知有一種於排出口具有消音器(消聲器(silencer))的真空泵。例如於專利文獻1揭示有一種真空泵裝置，在第一增壓泵(booster pump)至第三增壓泵的各自的排氣口連接具有共通的消聲室(muffler)的排氣歧管。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2010-138725號公報。
近年，謀求將具有消音器的以往的真空泵小型化。然而，為了獲得消音功能有必要在排氣氣體通過的空間部確保預定以上的剖面積，故若僅是單純地將消音器小型化，則無法獲得所期望的消音功效。
有鑑於以上事情，本發明的目的係提供一種可確保消音功效並且實現小型化的真空泵。
為了達成上述目的，本發明的一實施形態之真空泵係具有泵本體與消音器。
上述泵本體係具備有殼體以及轉子。上述殼體係具有吸氣口以及排氣口。上述轉子可旋轉地配置在上述殼體的內部，將氣體由上述吸氣口往上述排氣口移送。
上述消音器係具有框體、第一通路部以及第二通路部。上述框體係具有：開口端部，氣密地連接於上述殼體的外壁面；底壁部，與上述開口端部對向；以及周壁部；藉由上述殼體的外壁面與上述底壁部以及上述周壁部的各自的內壁面而劃設膨脹室。
上述第一通路部係設置於上述框體，將由上述排氣口 所排出的氣體往上述膨脹室導入。上述第二通路部設置於上述框體，將上述膨脹室內的氣體往上述框體的外部排出。
上述真空泵中的消音器係使由排氣口排出的氣體通過第一通路部、膨脹室以及第二通路部排出，藉此將泵排氣音減低至預定的層級(level)以下。
上述消音器中，框體係具有開口端部，經由該開口端部而連接於泵本體的外壁面，故可確保膨脹室的容積並且將消音器往泵本體緊湊(compact)地裝設。藉此，可確保消音功效並且謀求真空泵的小型化。
上述消音器亦可進一步具有：閥構件，可將上述排氣口開閉；以及閥室，設置在上述排氣口與上述膨脹室之間，將上述閥構件予以收容。
藉此，可防止氣體由消音器側往泵本體內部的逆流。
上述周壁部亦可具有：第一側壁部，將上述膨脹室與上述閥室劃設；以及第二側壁部，於一軸方向與上述第一側壁部對向。該情形中，上述第一通路部係由將上述第一側壁部貫通且由上述第一側壁部向上述膨脹室的內部於上述一軸方向延伸的第一管構件所構成；上述第二通路部係由將上述第二側壁部貫通且由上述第二側壁部向上述膨脹室的內部於上述一軸方向延伸的第二管構件所構成。
藉此，可確保膨脹室的容積並且形成流路剖面的急擴大部與急縮小部，故可以提高低頻區域的消音功效。
該情形中，上述第一管構件以及上述第二管構件係各自的軸心配置在相互偏移(offset)的位置且具有在與上述一軸方向正交的軸方向相互對向的區域。
藉此可謀求消音功效的更進一步提升。
上述消音器亦可配置在上述泵本體的底部，上述框體亦可進一步具有包含排水口的排水部。
藉此，可使膨脹室內的凝結水、結露水等的液體的排出變得容易。
上述排水部亦可進一步具有設置在上述底壁部且向上述排水口傾斜的排水路。
上述真空泵亦可進一步具有複數個腳部。上述複數個腳部設置於上述泵本體的底部，將上述泵本體予以支撐。該情形中，上述消音器亦可配置在上述複數個腳部之間。
藉此，可謀求真空泵的緊湊化。
如以上所述，依據本發明，則可確保消音功效並且實現真空泵的小型化。
10:本體
11:第一螺桿轉子
11s、12s:齒
12:第二螺桿轉子
20:殼體
20w:外壁面
20w1:肋
20w2:凹部
201:第一殼體部
202:第二殼體部
21:轉子室
22:吸氣口
23:排氣口
24、25:軸承
30:驅動部
31:馬達機殼
32:軸部
33:馬達轉子
34:馬達定子
35:同步齒輪
41:吸氣管
42:排氣管
50:消音器
51:框體
510:輔助壁部
511:開口端部
511a、511b:環狀溝
511h:螺栓插通孔
512:底壁部
513:周壁部
52:膨脹室
53:閥室
54:閥構件
54a:閥密封件
55:閥彈簧
56:引導片
57:連結通路
58:閥座
61:第一通路部
610、620:管構件
62:第二通路部
70:排水部
71:排水口
72:排液蓋
73:引導通路
75、76:腳部
100、200、300:真空泵
201:第一殼體部
202:第二殼體部
350:消音器
B1:螺栓
M:馬達
W1:第一側壁部
W2:第二側壁部
S1:密封環
圖1為本發明的第一實施形態之真空泵的仰視立體圖。
圖2為上述真空泵的仰視圖。
圖3為圖2中的A-A線方向剖視圖。
圖4為圖3中的B-B線方向剖視圖。
圖5為上述真空泵中的消音器的立體圖。
圖6為上述消音器的俯視圖。
圖7為上述消音器的後視圖。
圖8為圖7中的C-C線方向剖視圖。
圖9為本發明的第二實施形態之真空泵的要部剖視圖。
圖10為概略性地顯示本發明的第三實施形態之真空泵的構成的剖視圖。
以下，一邊參照圖式一邊說明本發明的實施形態。
<第一實施形態>
圖1為本發明的一實施形態之真空泵的仰視立體圖，圖2為上述真空泵的仰視圖，圖3為圖2中的A-A線方向剖視圖，圖4為圖3中的B-B線方向剖視圖。
另外，各圖中的X軸、Y軸以及Z軸係顯示相互正 交的3軸方向，Z軸係相當於高度方向。
本實施形態的真空泵100係以螺桿泵所構成，具有泵本體10與消音器50。
[泵本體]
泵本體10係具有第一螺桿轉子11、第二螺桿轉子12、殼體20以及驅動部30。
如圖3以及圖4所示，第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12係個別具有於Y軸方向平行的軸心，於X軸方向相互鄰接且配置於殼體20內的轉子室21。第一螺桿轉子11係具有螺旋狀的齒11s，第二螺桿轉子12係具有與齒11s咬合的螺旋狀的齒12s。第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12係皆由具有不等導程(lead)部以及等導程部的兩個導程部的一條螺絲所構成。
齒11s、12s係除了扭轉方向為互相相反的方向以外，分別具有幾乎相同的形狀。齒11s、12s係以一方的齒位於另一方的齒之間(溝)的方式分開微小的間隙而相互咬合。齒11s的外周面係對於轉子室21的內壁面以及第二螺桿轉子12之軸部的外周面(齒12s間之溝的底部)分開微小的間隙而對向。另一方面，齒12s的外周面係對於轉子室21的內壁面以及第一螺桿轉子11的軸部的外周面(齒 11s間之溝的底部)分開微小的間隙而對向。
殼體20係由金屬材料所構成，具有：第一殼體部201，具有轉子室21以及吸氣口22；以及第二殼體部202，具有排氣口23。第二殼體部202係在第一殼體部201與驅動部30之馬達(motor)機殼31之間經由密封環而結合。
吸氣口22以及排氣口23係經由轉子室21而相互連通。吸氣口22係設置於第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12的吸入端側，排氣口23則設置於第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12的排出端側。於吸氣口22連接有連結至真空室(vacuum chamber)(省略圖示)的吸氣管41，於排氣口23係連接有後述的消音器50。第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12係經由於這些吸入端側以及排出端設置的軸承24、25可旋轉自如地配置在轉子室21內。
吸氣口22以及排氣口23的位置不限於上述例子，亦可適當變更。例如，吸氣口22亦可向著第二殼體部202形成，排氣口23亦可設於第一殼體部201。殼體20亦不限於由第一殼體部201以及第二殼體部202組合構成的情形，可為由單一殼體零件構成，亦可為由三個以上的殼體零件組合而構成。
如圖3所示，驅動部30係具有使第一螺桿轉子11以 及第二螺桿轉子12旋轉的馬達M。馬達M係由在第一螺桿轉子11的排出端側的軸部32所裝設的馬達轉子33以及在馬達轉子33的周圍分開間隔而對向的馬達定子(motor stator)34所構成。馬達機殼31係氣密地連接於第二殼體部202且將馬達定子34保持於內部。
於軸部32裝設有與在第二螺桿轉子12的排出端側軸部所裝設的同步齒輪(省略圖示)咬合的同步齒輪35，由馬達M所產生之對第一螺桿轉子11的旋轉驅動力係經由同步齒輪35而對第二螺桿轉子12傳達。馬達M係以將從吸氣口22吸入的上述真空室內的氣體向排氣口23移送的方式使第一螺桿轉子11以及第二螺桿轉子12旋轉。
[消音器]
消音器50係配置於泵本體10的底部。消音器50係用以將被泵本體10所吸引而從排氣口23排出的氣體之排氣音減低。以下，針對消音器50的詳細進行說明。
圖5為消音器50的立體圖，圖6為消音器50的俯視圖，圖7為消音器50的後視圖，圖8為圖7中的C-C線方向剖視圖。
消音器50係具有框體51、第一通路部61以及第二通路部62。
框體51係由在Y軸方向具有長邊方向的概略直方體形狀的金屬製的箱體所構成。框體51係具有開口端部511、底壁部512以及周壁部513。
開口端部511係由與在框體51的上端部所形成的XY平面平行的凸緣(flange)部所構成，並具有：環狀溝511a，裝設有密封環S1(可參考圖3)；以及複數個螺栓(bolt)插通孔511h。環狀溝511a係形成於開口端部511的上表面，螺栓插通孔511h係設置於開口端部511的四個角落。
底壁部512係於Z軸方向與開口端部511對向而構成框體51的底部。周壁部513係設置於開口端部511與底壁部512之間，由底壁部512的周緣部立起而形成。周壁部513係由包含於Y軸方向相互對向的第一側壁部W1以及第二側壁部W2的四個側壁部所構成。
框體51係氣密地連接於泵本體10之底部的外壁面20w，藉此於外壁面20w、底壁部512以及周壁部513各自的內壁面之間劃設膨脹室52。與框體51之開口端部511接觸的外壁面20w係由平面構成(可參考圖3、圖4)，經由密封環S1以及複數個螺栓B1(可參考圖2)而與框體51連接。於面對膨脹室52的外壁面20w係分別設置有：複數個肋(rib)20w1(可參考圖3)；以及包含一對傾斜面的凹 部20w2；一對前述傾斜面係朝向第一螺桿轉子11及第二螺桿轉子12的軸間傾斜。
框體51係進一步具有將閥室53劃設的輔助壁部510。輔助壁部510係具有上表面開放的有底的概略部分圓筒形狀，且連設於第一側壁部W1。輔助壁部510的上表面係由與開口端部511的上表面屬於相同平面的平坦面所構成，且具有環狀溝511b，於環狀溝511b裝設有彈接至排氣口23的周圍之密封環(省略圖示)。輔助壁部510係藉由使框體部51連接於泵本體10的外壁面20w而氣密地連接於排氣口23的周圍。
閥室53係挾著第一側壁部W1而於框體51的長邊方向(Y軸方向)與膨脹室52鄰接。閥室53係設置於排氣口23與膨脹室52之間，將構成為用以開閉排氣口23的止回閥的閥構件51予以收容。閥構件54係藉由一端扣止在閥室53的底部的閥彈簧55之彈簧力而被往閉塞排氣口23的方向賦勢，經由閥密封件54a而置放於排氣口23的周緣部，藉此防止由閥室53往排氣口23的氣體之逆流。 閥彈簧55的彈簧力並未特別限定，典型而言設定為當排氣口23的內壓超過大氣壓時閥構件54可開閥的大小。
於閥室53進一步設有將閥構件54的上下方向(Z軸方向)的移動予以引導(guide)的引導機構。如圖5以及圖6 所示，本實施形態中的引導機構係由以可滑動的方式配置於閥構件54的周圍的複數個(本例中為四個)引導片56所構成。各引導片56係以由閥室53的內壁面起朝向閥構件54的周面突出的方式固定於閥室53。
第一通路部61係構成為：貫通第一側壁部W1，使由排氣口23排出的氣體可由閥室53往膨脹室52導入。本實施形態中，第一通路部61係由自第一側壁部W1起向膨脹室52的內部於Y軸方向延伸的管(pipe)構件610(第一管構件)所構成。管構件610的一端係固定於第一側壁部W1，另一端係以對於第二側壁部W2分開間隔而對向的方式設置於框體51。
另一方面，第二通路部62係構成為：貫通第二側壁部W2，可將膨脹室52內的氣體往框體51的外部排出。 本實施形態中，第二通路部62係由自第二側壁部W2起向膨脹室52的內部於Y軸方向延伸的管構件620(第二管構件)所構成。管構件620的一端係固定於第二側壁部W2，另一端係以對於第一側壁部W1分開間隔而對向的方式設置於框體51。
管構件610、620係個別由具有預定的長度以及內徑的金屬製的圓管所構成。典型而言，各管構件610、620係具有較膨脹室52充分小的流路剖面積。藉此，由於在 通過消音器50的氣體的通路形成有流路剖面的急擴大部與急縮小部，故成為可提高低頻區域的排氣音的消音功效。而且，各管構件610、620的長度係可因應欲使其衰減的頻帶域(frequency band)而適切調整。
管構件610、620的佈局(layout)並不被特別限定。本實施形態中，兩個的管構件610、620係配置在各自的軸心相互偏移的位置且具有於X軸方向相互對向的區域(可參考圖6)。藉此，由於可確保膨脹室52內的容積而可獲得氣體的充分的膨脹作用，並且亦可確保各通路部61、62的充分長度，故可謀求消音功效的更進一步提升。
於第二側壁部W2的外表面裝設有與管構件620的內部(第二通路部62)連通的排氣管42。亦可於排氣管42連接有將由消音器50排出的氣體無害化的處理單元(省略圖示)等。
如圖8所示，框體51係進一步具有排水部70。排水部70係用以將於膨脹室52內所生成的液體(例如排氣氣體的凝結水或結露水)往消音器50的外部排出，且具有排水口71、排液(drain)蓋72以及引導通路73。
本實施形態中，排水口71係由將膨脹室52與框體51的外部之間連通的貫通孔(螺絲孔)所構成，並設置於側 壁部W2的底部。排液蓋72係以可由側壁部W2的外側將排水口71閉塞的方式裝設，典型而言係由排液螺栓所構成。引導通路73係設置在底壁部512的內壁面，由對於XY平面朝向前述排水口傾斜的傾斜面所構成(可參考圖8)。如圖6所示，引導通路73係由自第一側壁部W1側向第二側壁部W2側使溝寬度逐漸變狹窄的凹溝所形成，藉此而可效率佳地將排水導向排水口71。
框體51係進一步具有支撐泵本體10的複數個腳部75。複數個腳部75係由構成開口端部511的凸緣部的下表面沿著周壁部513而向底壁部512的四個角落的外表面個別突出的概略圓筒形狀的四個柱狀體所構成。這些腳部75的前端部係位於相同平面上，典型而言係設置於作業台或地面上，藉此將真空泵100水平地支撐。
框體51係由鋁合金等的金屬材料的鑄造物所構成。 構成第一通路部61以及第二通路部62的二條管構件610、620係藉由鑄入(cast-in)法而與框體51一體地鑄造。 底壁部512、周壁部513的厚度並無特別限定，例如形成為5mm以上10mm以下。閥構件54以及閥彈簧55係在框體51的鑄造後組入輔助壁部510內的閥室53。
[真空泵的動作]
本實施形態的真空泵100中，消音器50係將來自泵 本體10的排氣口23的排出氣體經由第一通路部61、膨脹室52以及第二通路部62而往消音器50的外部排出。 此時，消音器50內的排出氣體係通過：由閥室53起至第一通路部61的流路剖面之急縮小部、由第一通路部61起至膨脹室52的流路剖面之急擴大部以及由膨脹室52起至第二通路部62的流路剖面之再度急縮小部。藉此，可將排氣音減低至預定的層級以下。
尤其，於本實施形態中，由於消音器50的框體51係具有開口端部511且經由該開口端部511而連接於泵本體10的底部的外壁面20w，故可確保膨脹室52的容積並且將消音器50緊湊地裝設於泵本體10。具體而言，由於可將消音器50的上壁部與泵本體10的外壁面20w共用，故可將消音器50的高度減低達至上述上壁部的厚度分量。 如上所述，依據本實施形態，可確保消音功效並且謀求真空泵100的小型化。
另外，由於消音器50的框體51係構成泵本體10的外壁面的一部分，故可以提高第一殼體部201的強度。更且，由於框體51的開口端部511與泵本體10的外壁面20w皆構成為平面，故可使氣密性的確保變得容易，並且可以成為不需要額外的構件而僅藉由複數個螺栓B1容易地組裝。
更且，由於消音器50係配置於泵本體10的底部，故可以最大限度地確保膨脹室52的容積，並且可以將在膨脹室52內生成的凝結水等容易地往外部排出。於本實施形態中，由於以閥構件54將排氣口23從下方閉塞的方式構成，故可以使在泵室21中生成的排氣氣體之凝結水不於排氣口23、閥室53滯留地導向膨脹室52(排水部70)。
更且，由於可將支撐真空泵100的腳部75與框體51一體地設置，故可謀求泵本體10的構成的簡單化，並且由於不需要將支撐泵本體10的腳部另外組裝而亦可謀求削減組裝工數。
而且，由於消音器50的第一通路部61以及第二通路部62係由在膨脹室52內突出的管構件610、620個別構成，故可以效率佳地將膨脹室52中的氣體的能量衰減，而獲得所期望的消音功效。另外，由於可藉由鑄入法容易地製作如上所述的消音器50的複雜的內部構造，故設計自由度高，如此可使因應於規格的設計之最佳化變得容易。
<第二實施形態>
圖9為顯示本發明的第二實施形態之真空泵200的構成的要部剖視圖。以下，針對與第一實施形態不同的構成為主進行說明，對於與第一實施形態同樣的構成則賦予同 樣的符號且省略或簡略化其說明。
本實施形態的真空泵200係在泵本體10的底部設有將泵本體10支撐的複數個腳部76且於這些複數個腳部76之間設有消音器50之點與第一實施形態不同。
複數個腳部76係由自泵本體10的殼體20的底部的四個角落起往鉛直下方突出的概略圓柱形狀的柱體所構成。消音器50係與第一實施形態同樣地具有：框體51，於內部具有膨脹室52；以及第一通路部61與第二通路部62，係分別設置於框體51；前述消音器50係經由框體51的開口端部511而氣密地連接於泵本體10的底部的外壁面20w。
本實施形態的真空泵200亦可獲得與第一實施形態同樣的作用功效。依據本實施形態，由於可將複數個腳部76之間的區域有效利用，故可提供實現消音器50的設置區域之省空間化、謀求裝置構成的緊湊化並且具有所期望的消音功效之真空泵200。
複數個腳部76並不限於由圓柱形狀的柱體所構成的例子，亦可為由在泵本體10或收容泵本體的保護機殼等所設置的角材等所構成。另外，複數個腳部76的至少一部分亦可含有移動用的車輪。
<第三實施形態>
圖10為顯示本發明的第三實施形態之真空泵300的構成的概略剖視圖。以下，針對與第一實施形態不同的構成為主進行說明，對於與第一實施形態同樣的構成則賦予同樣的符號且省略或簡略化其說明。
本實施形態的真空泵300係消音器350的構成與第一實施形態不同。本實施形態中的消音器350係具有將在泵本體10的第二殼體部202所設置的排氣口23往閥室54連結的連結通路57。閥彈簧55係將閥構件54向形成於連結通路57與閥室53之間的環狀的閥座58賦勢。閥構件54係以藉由置放於閥座58以及從閥座58離開而將連結於連結通路57的排氣口23予以開閉的方式構成。
如以上所述地構成的本實施形態的真空泵300亦可獲得與上述第一實施形態同樣的作用功效。依據本實施形態，由於閥構件54係藉由閥彈簧55而於重力方向被賦勢，故可使閥構件54穩定地置放於閥座58，而謀求閥構件54的密封性、耐久性的提升。
以上，雖已對於本發明的實施形態進行說明，但本發明並非只被限定在上述實施形態，而可施加種種變更，自不待言。
例如，於以上實施形態中，雖舉泵本體10為由螺桿泵所構成的場合為例進行說明，但不限於此，泵本體亦可由多段魯式泵(roots pump)或渦旋泵(scroll pump)等其他乾式泵所構成。
另外，雖舉框體51為由鑄造物所構成的場合為例進行說明，但不限於此，亦可為由板金等所構成。更且，亦可於消音器50、350的膨脹室52填充有海綿(sponge)或玻璃棉(glass wool)等的吸音材，藉此可連高頻帶域的排氣音亦更有效率地減低。
另外，於以上實施形態中，雖舉消音器50、350配置在泵本體10的底部的場合為例進行說明，但不限於此，消音器亦可配置在泵本體的上表面或側部。消音器的排水部的位置、數量亦不限於上述例子。例如，於圖10所示的真空泵300中，排水部亦可不僅設置在膨脹室52且亦追加地設置在連結通路57。
10:本體
11:第一螺桿轉子
11s:齒
20:殼體
20w:外壁面
20w1:肋
201:第一殼體部
202:第二殼體部
21:轉子室
22:吸氣口
23:排氣口
24、25:軸承
30:驅動部
31:馬達機殼
32:軸部
33:馬達轉子
34:馬達定子
35:同步齒輪
41:吸氣管
42:排氣管
50:消音器
52:膨脹室
61:第一通路部
610、620:管構件
62:第二通路部
72:排液蓋
100:真空泵
M:馬達
W1:第一側壁部
W2:第二側壁部
S1:密封環

Claims (8)

  1. 一種真空泵，具備有：泵本體，具有：殼體，具有吸氣口與排氣口；以及一對螺桿轉子，分別具有與一軸方向平行的軸心且可旋轉地配置在前述殼體的內部，將氣體由前述吸氣口往前述排氣口移送；以及消音器，具有：框體，具有：開口端部，氣密地連接於前述殼體的外壁面；底壁部，與前述開口端部對向；以及周壁部；藉由前述殼體的外壁面與前述底壁部以及前述周壁部的各自的內壁面而劃設膨脹室；第一通路部，設置於前述框體，將由前述排氣口所排出的氣體往前述膨脹室導入；以及第二通路部，設置於前述框體，將前述膨脹室內的氣體往前述框體的外部排出；前述消音器係進一步具有：閥構件，可將前述排氣口開閉；以及閥室，設置在前述排氣口與前述膨脹室之間，將前述閥構件予以收容；前述周壁部係具有：第一側壁部，將前述膨脹室與前述閥室劃設；以及第二側壁部，於一軸方向與前述第一側壁 部對向；前述第一通路部係由將前述第一側壁部貫通且由前述第一側壁部向前述膨脹室的內部於前述一軸方向延伸的第一管構件所構成；前述第二通路部係由將前述第二側壁部貫通且由前述第二側壁部向前述膨脹室的內部於前述一軸方向延伸的第二管構件所構成。
  2. 如請求項1所記載之真空泵，其中前述第一管構件以及前述第二管構件係各自的軸心配置在相互偏移的位置且具有在與前述一軸方向正交的軸方向相互對向的區域。
  3. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述消音器係配置於前述泵本體的底部；前述框體係進一步具有包含排水口的排水部。
  4. 如請求項3所記載之真空泵，其中前述排水部係進一步具有設置在前述底壁部且向前述排水口傾斜的引導通路。
  5. 如請求項3所記載之真空泵，其中進一步具有：複數個腳部，設置於前述泵本體的底部，將前述泵本體予以支撐；前述消音器係配置在前述複數個腳部之間。
  6. 如請求項4所記載之真空泵，其中進一步具有：複數個腳部，設置於前述泵本體的底部，將前述泵本體予以支撐； 前述消音器係配置在前述複數個腳部之間。
  7. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述殼體的外壁面係具有：複數個肋，係設置在與前述膨脹室對向之區域。
  8. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述殼體的外壁面係具有：包含一對傾斜面的凹部，一對前述傾斜面係設置於與前述膨脹室對向的區域且朝向一對前述螺桿轉子的軸間傾斜。
TW107113179A 2017-05-30 2018-04-18 真空泵 TWI701387B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-106353 2017-05-30
JP2017106353 2017-05-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201901035A TW201901035A (zh) 2019-01-01
TWI701387B true TWI701387B (zh) 2020-08-11

Family

ID=64454714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107113179A TWI701387B (zh) 2017-05-30 2018-04-18 真空泵

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10982663B2 (zh)
JP (1) JP6473283B1 (zh)
KR (1) KR102301459B1 (zh)
CN (1) CN110678650B (zh)
DE (1) DE112018002764T5 (zh)
TW (1) TWI701387B (zh)
WO (1) WO2018220943A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7027202B2 (ja) * 2018-03-15 2022-03-01 株式会社マキタ エアコンプレッサ
EP3880970B1 (en) * 2018-11-15 2023-02-15 Flowserve Management Company Apparatus and method for evacuating very large volumes
US11492020B2 (en) 2020-05-05 2022-11-08 Flowserve Management Company Method of intelligently managing pressure within an evacuated transportation system
CN117345587B (zh) * 2023-10-26 2024-05-24 南通柯瑞特机械制造有限公司 一种真空泵用喘振消声装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08135586A (ja) * 1994-11-14 1996-05-28 Orion Mach Co Ltd 真空ポンプの消音器
JP2013113232A (ja) * 2011-11-29 2013-06-10 Nissin Kogyo Co Ltd 負圧ポンプ
TW201433702A (zh) * 2012-12-22 2014-09-01 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh 用於泵送輕質氣體之泵系統以及此泵系統之用途
TW201443343A (zh) * 2009-05-20 2014-11-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 乾式真空泵浦
TW201608135A (zh) * 2014-06-27 2016-03-01 亞特里爾斯布契股份有限公司 真空幫浦系統中的抽泵方法及真空幫浦系統
TW201629352A (zh) * 2014-12-23 2016-08-16 愛德華有限公司 旋轉螺桿真空幫浦

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5935692U (ja) * 1982-08-30 1984-03-06 オリオン機械株式会社 無給油式回転真空ポンプ
US4676065A (en) * 1985-03-04 1987-06-30 Hale Fire Pump Company Portable engine-pump assembly
JPS6383425A (ja) * 1986-09-26 1988-04-14 Nippon Denso Co Ltd 気体ポンプの防振支持装置
JPH0663448B2 (ja) * 1988-07-15 1994-08-22 日本石油化学株式会社 消音器
JPH0447183A (ja) * 1990-06-14 1992-02-17 Kubota Corp 真空ポンプ用気水分離装置
US5208429A (en) * 1991-07-26 1993-05-04 Carrier Corporation Combination muffler and check valve for a screw compressor
JP3379254B2 (ja) * 1994-12-26 2003-02-24 日産自動車株式会社 排気消音装置
JP2003343469A (ja) * 2002-03-20 2003-12-03 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
JP2004211556A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
JP2004263686A (ja) * 2003-01-06 2004-09-24 Toyota Industries Corp 往復動型ポンプ及び真空ポンプ
JP4581354B2 (ja) 2003-08-26 2010-11-17 パナソニック株式会社 密閉型圧縮機
JP4684916B2 (ja) * 2006-02-28 2011-05-18 本田技研工業株式会社 車両の排気装置
BRPI0705357A2 (pt) * 2007-12-26 2009-08-25 Whirlpool Sa sistema para atenuação de pulsação na descarga de gás em um compressor de refrigeração
JP2010138725A (ja) 2008-12-09 2010-06-24 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置
JP2010159740A (ja) * 2008-12-11 2010-07-22 Toyota Industries Corp 回転式真空ポンプ
CN111271280B (zh) * 2010-03-31 2022-03-15 纳博特斯克汽车零部件有限公司 真空泵
EP2635814B8 (en) * 2010-09-23 2020-06-17 Ingersoll-Rand Company Modular discharge silencer for vehicle-mounted compressor
JP2015007382A (ja) * 2013-06-25 2015-01-15 株式会社ユタカ技研 排気消音器
FR3008145B1 (fr) * 2013-07-04 2015-08-07 Pfeiffer Vacuum Sas Pompe a vide primaire seche
BR102016029873A2 (pt) * 2016-12-19 2018-07-17 Whirlpool S.A. compressor hermético

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08135586A (ja) * 1994-11-14 1996-05-28 Orion Mach Co Ltd 真空ポンプの消音器
TW201443343A (zh) * 2009-05-20 2014-11-16 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 乾式真空泵浦
JP2013113232A (ja) * 2011-11-29 2013-06-10 Nissin Kogyo Co Ltd 負圧ポンプ
TW201433702A (zh) * 2012-12-22 2014-09-01 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh 用於泵送輕質氣體之泵系統以及此泵系統之用途
TW201608135A (zh) * 2014-06-27 2016-03-01 亞特里爾斯布契股份有限公司 真空幫浦系統中的抽泵方法及真空幫浦系統
TW201629352A (zh) * 2014-12-23 2016-08-16 愛德華有限公司 旋轉螺桿真空幫浦

Also Published As

Publication number Publication date
DE112018002764T5 (de) 2020-03-05
US10982663B2 (en) 2021-04-20
JP6473283B1 (ja) 2019-02-20
KR20200015915A (ko) 2020-02-13
CN110678650B (zh) 2021-08-06
KR102301459B1 (ko) 2021-09-13
US20200109705A1 (en) 2020-04-09
WO2018220943A1 (ja) 2018-12-06
CN110678650A (zh) 2020-01-10
JPWO2018220943A1 (ja) 2019-06-27
TW201901035A (zh) 2019-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI701387B (zh) 真空泵
JP5452908B2 (ja) 無給油式スクリュー圧縮機
KR101804422B1 (ko) 드라이진공펌프장치, 배기유닛, 및 소음장치
JP2005155540A (ja) 多段ドライ真空ポンプ
JP2006083844A (ja) 多気筒回転圧縮機
US9777601B2 (en) Muffler and muffling device including the same
RU2589978C2 (ru) Холодильный компрессор
JPS6137835Y2 (zh)
JP5524691B2 (ja) 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置
JP5632252B2 (ja) 負圧ポンプ
KR101928804B1 (ko) 2축 회전펌프
JP2007218195A (ja) 多段ルーツ式コンプレッサ
JP5393577B2 (ja) ドライ真空ポンプ装置、及び排気ユニット
EP2476906B1 (en) Air compressor
JP3928816B2 (ja) 圧縮機
JPH055216Y2 (zh)
JP6653732B2 (ja) 真空ポンプユニット
JPH022479B2 (zh)
JPH0310395Y2 (zh)
JP2011226367A (ja) ドライ真空ポンプ装置
JP2010031726A (ja) スクロール流体機械
JP2011214522A (ja) 圧縮装置
WO2015029755A1 (ja) スクリュ圧縮機
JPS6143292A (ja) 回転式圧縮機
JP2007023983A (ja) 密閉型回転圧縮機