JP6473283B1 - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
上記ポンプ本体は、ハウジングと、ロータとを有する。上記ハウジングは、吸気口と、排気口とを有する。上記ロータは、上記ハウジングの内部に回転可能に配置され、上記吸気口から上記排気口へ気体を移送する。
上記消音器は、筐体と、第1の通路部と、第2の通路部とを有する。上記筐体は、上記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、上記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、上記ハウジングの外壁面と上記底壁部及び上記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する。上記第1の通路部は、上記筐体に設けられ、上記排気口から排出された気体を上記膨張室へ導入する。上記第2の通路部は、上記筐体に設けられ、上記膨張室内の気体を上記筐体の外部へ排出する。
上記消音器において、筐体は、開口端部を有し、その開口端部を介してポンプ本体の外壁面に接続されるため、膨張室の容積を確保しつつ、消音器をポンプ本体へコンパクトに装着することができる。これにより消音効果を確保しつつ真空ポンプの小型化を図ることができる。
これにより消音器側からポンプ本体内部へのガスの逆流を防止することができる。
これにより、膨張室の容積を確保しつつ、流路断面の急拡大部と急縮小部とを形成できるため、低周波領域の消音効果を高めることができる。
これにより消音効果の更なる向上を図ることができる。
これにより膨張室内の凝縮水や結露水等の液体の排出が容易となる。
これにより、真空ポンプのコンパクト化を図ることができる。
図1は本発明の一実施形態に係る真空ポンプの底面斜視図、図2はその底面図、図3は、図2におけるA−A線方向断面図、図4は、図3におけるB−B線方向断面図である。
なお各図においてX軸、Y軸及びZ軸は相互に直交する3軸方向を示しており、Z軸は高さ方向に相当する。
ポンプ本体10は、第1のスクリューロータ11と、第2のスクリューロータ12と、ハウジング20と、駆動部30とを有する。
消音器50は、ポンプ本体10の底部に配置される。消音器50は、ポンプ本体10により吸引され排気口23から排出される気体の排気音を低減させるためのものである。以下、消音器50の詳細について説明する。
本実施形態の真空ポンプ100において、消音器50は、ポンプ本体10の排気口23からの排出ガスを第1の通路部61、膨張室52及び第2の通路部62を介して消音器50の外部へ排出する。この際、消音器50内の排出ガスは、弁室53から第1の通路部61へ至る流路断面の急縮小部、第1の通路部61から膨張室52へ至る流路断面の急拡大部、そして、膨張室52から第2の通路部62へ至る流路断面の再度の急縮小部を通過する。これにより、排気音を所定レベル以下に低減することができる。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る真空ポンプ200の構成を示す要部断面図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る真空ポンプ300の構成を示す概略断面図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
11…第1のスクリューロータ
12…第2のスクリューロータ
20…ハウジング
20w…外壁面
21…ロータ室
22…吸気口
23…排気口
30…駆動部
50,350…消音器
51…筐体
52…膨張室
53…弁室
54…弁部材
61…第1の通路部
62…第2の通路部
70…排水部
75,76…脚部
100,200,300…真空ポンプ
511…開口端部
512…底壁部
513…周壁部
610,620…パイプ部材
W1…第1の側壁部
W2…第2の側壁部
Claims (7)
- 吸気口と排気口とを有するハウジングと、一軸方向に平行な軸心をそれぞれ有し前記ハウジングの内部に回転可能に配置され前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する一対のスクリューロータとを有するポンプ本体と、
前記ハウジングの外壁面に気密に接続される開口端部と、前記開口端部に対向する底壁部と、周壁部とを有し、前記ハウジングの外壁面と前記底壁部及び前記周壁部各々の内壁面とにより膨張室を区画する筐体と、前記筐体に設けられ前記排気口から排出された気体を前記膨張室へ導入する第1の通路部と、前記筐体に設けられ前記膨張室内の気体を前記筐体の外部へ排出する第2の通路部と、を有する消音器と
を具備し、
前記消音器は、前記排気口を開閉可能な弁部材と、前記排気口と前記膨張室との間に設けられ前記弁部材を収容する弁室とをさらに有し、
前記周壁部は、前記膨張室と前記弁室とを区画する第1の側壁部と、前記第1の側壁部と前記一軸方向に対向する第2の側壁部とを有し、
前記第1の通路部は、前記第1の側壁部を貫通し、前記第1の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第1のパイプ部材で構成され、
前記第2の通路部は、前記第2の側壁部を貫通し、前記第2の側壁部から前記膨張室の内部に向かって前記一軸方向に延びる第2のパイプ部材で構成される
真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプであって、
前記第1及び第2のパイプ部材は、各々の軸心が相互にオフセットした位置に配置され、前記一軸方向に直交する軸方向に相互に対向する領域を有する
真空ポンプ。 - 請求項1又は2に記載の真空ポンプであって、
前記消音器は、前記ポンプ本体の底部に配置され、
前記筐体は、排水口を含む排水部をさらに有する
真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプであって、
前記排水部は、前記底壁部に設けられ前記排水口に向かって傾斜するガイド通路をさらに有する
真空ポンプ。 - 請求項3又は4に記載の真空ポンプであって、
前記ポンプ本体の底部に設けられ、前記ポンプ本体を支持する複数の脚部をさらに具備し、
前記消音器は、前記複数の脚部の間に配置される
真空ポンプ。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の真空ポンプであって、
前記ハウジングの外壁面は、前記膨張室に対向する領域に設けられた複数のリブを有する
真空ポンプ。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の真空ポンプであって、
前記ハウジングの外壁面は、前記膨張室に対向する領域に設けられ前記一対のスクリューロータの軸間に向かって傾斜する一対の傾斜面を含む凹部を有する
真空ポンプ。
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