JP5393577B2 - ドライ真空ポンプ装置、及び排気ユニット - Google Patents
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Description
また、サイレンサは共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサとを備え、排気流路に上流側から下流側にこの順に直列に配し、サイレンサは、サイレンサケーシングと蓋体を具備し、サイレンサケーシングに排気流路と共鳴型サイレンサの共鳴室と膨張型サイレンサの膨張室を形成し、該排気流路と共鳴室と膨張室の開口を前記蓋体で覆った構造としたので、小型化できる共鳴型サイレンサでガス流の低周波数の騒音を消音させ、残る高周波数領域の騒音をサイレンサの長さが消音周波数に反比例する膨張型サイレンサで消音させることができ、共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサの両者が小型となり、サイレンサの全体を小型化できると共に、騒音の広い周波数帯域での消音(低減)が可能となるのである。
また、逆止弁と過圧縮防止逆止弁とサイレンサとを一体構造とした排気ユニットとしたことにより、逆止弁、過圧縮防止逆止弁、サイレンサをドライ真空ンプ装置に取り付けるための配管等の部品が不必要となり、ドライ真空ンプ装置の排気部を構成するための部品点数が少なくなり、コストも安価となる。
11a 回転軸
11b 回転軸
12 ロータ
12a〜12e ロータ
13a〜13e ロータ室
14 ロータケーシング
15a〜15e 気体流路
17 吸込口
18 吐出口
19 圧力逃し孔
20 軸受
21 軸受
22 モータ
22a モータロータ
22b モータステータ
23 軸受ケーシング
24 モータケーシング
26 サイドケーシング
29 タイミングギア
30 サイドケーシング
40 軸受ケース
41 軸受ケース
50 排気ユニット
51 排気部逆止弁
52 中間部逆止弁
53 サイレンサ
53−1 共鳴型サイレンサ
53−2 膨張型サイレンサ
54 気体流路
55 気体流路
56 排気流路
60 サイレンサケーシング
61 気体流路
62 共鳴室
63 第1膨張室
64 第2膨張室
65 共鳴口
66 第1絞り口
67 第2絞り口
68 第3絞り口
69 蓋体
Claims (3)
- 最終段に気体を吐出す最終段吐出口、中段に過圧縮気体を吐出す中段中抜吐出口を具備する多段容積型ドライ真空ポンプとを備え、半導体製造設備に用いられるドライ真空ポンプ装置であって、
前記多段容積型ドライ真空ポンプの最終段吐出口に逆止弁を接続すると共に、前記中段中抜吐出口に過圧縮防止逆止弁を接続し、前記逆止弁と前記過圧縮防止逆止弁の吐出口を排気流路に接続し、該排気流路にサイレンサを設け、
前記逆止弁と前記過圧縮防止逆止弁と前記サイレンサとを一体構造とし、
前記サイレンサは共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサとを備え、前記排気流路に上流側から下流側にこの順に直列に配し、
前記サイレンサは、サイレンサケーシングと蓋体を具備し、前記サイレンサケーシングに前記排気流路と前記共鳴型サイレンサの共鳴室と前記膨張型サイレンサの膨張室を形成し、該排気流路と共鳴室と膨張室の開口を前記蓋体で覆った構造であり、
前記サイレンサより下流側の前記排気流路を排気口に接続したことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載のドライ真空ポンプ装置において、
前記多段容積型ドライ真空ポンプは多段ルーツ型ドライ真空ポンプであり、前記サイレンサは共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサの組み合せた構成であることを特徴とするドライ真空ポンプ装置。 - 半導体製造設備に用いられる容積型ドライ真空ポンプに接続される排気ユニットであって、
排気流路にサイレンサを設け、
前記サイレンサは、共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサを備え、前記排気流路に前記共鳴型サイレンサと前記膨張型サイレンサを上流側から下流側へこの順に配置し、
前記サイレンサの構造は、サイレンサケーシングと蓋体を備え、前記サイレンサケーシングに前記排気流路となる排気流路凹部と前記共鳴型サイレンサの共鳴室となる共鳴室凹部と前記膨張型サイレンサの膨張室となる膨張室凹部を設け、前記排気流路凹部と前記共鳴室凹部と前記膨張室凹の開口を前記蓋体で覆った構造であることを特徴とする排気ユニット。
Priority Applications (7)
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TW100113114A TWI518245B (zh) | 2010-04-19 | 2011-04-15 | 乾真空泵裝置、排氣單元,以及消音器 |
EP18198549.0A EP3447297B1 (en) | 2010-04-19 | 2011-04-18 | Dry vacuum pump apparatus |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=45041988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0716070Y2 (ja) * | 1990-03-19 | 1995-04-12 | オリオン機械株式会社 | 多段式ベーンポンプ |
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2010
- 2010-04-19 JP JP2010096541A patent/JP5393577B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
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