JP2002122087A - 真空ポンプにおける軸封構造 - Google Patents

真空ポンプにおける軸封構造

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JP2002122087A
JP2002122087A JP2000316482A JP2000316482A JP2002122087A JP 2002122087 A JP2002122087 A JP 2002122087A JP 2000316482 A JP2000316482 A JP 2000316482A JP 2000316482 A JP2000316482 A JP 2000316482A JP 2002122087 A JP2002122087 A JP 2002122087A
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lip ring
vacuum pump
lip
pump
shaft
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JP2000316482A
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Shinya Yamamoto
真也 山本
Kenichi Morita
健一 森田
Masahiro Ida
昌宏 井田
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Toyota Industries Corp
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Toyota Industries Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】真空ポンプにおいて良好なシール性能を確保し
つつリップシールの長寿命化を達成できる軸封構造を提
供する。 【解決手段】ラジアルベアリング37,38とロータ2
7,32との間における回転軸19,20の周面にはリ
ップシール45,46,45A,46Aが配置されてい
る。リップシール45,45Aのゴム製のリップリング
452は、ギヤ収容室331側に配置されている。リッ
プシール46,46Aのフッ素樹脂製のリップリング4
63は、ポンプ室43側に配置されている。ゴム製のリ
ップリング452とフッ素樹脂製のリップリング463
との間の背圧室49,50は、通気通路51,52を介
してギヤ収容室331に連通している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける軸封構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特開平7−317912号公報及び特開
平7−317913号公報に開示される回転軸シール
は、主シールエレメントと副シールエレメントとからな
る。主シールエレメントは流体収納室側に配置されてお
り、副シールエレメントは空気側に配置されている。主
シールエレメントは、所定圧力の流体収納室から空気側
への流体洩れを防止する。副シールエレメントは、大気
圧以下から大気圧以上にわたる範囲で変動する空気側の
圧力の変動が主シールエレメントに影響を与えないよう
に働く。
【0003】主シールエレメントと副シールエレメント
との間には空隙部が設けてある。空気側が大気圧よりも
低圧の状態にあって空隙部の空気が空気側に洩れ、空隙
部が空気側の圧力と同じ圧力になるとすると、流体収納
室と空隙部との間の圧力バランスが崩れ、主シールエレ
メントが変形してしまう。しかし、空隙部は大気に開放
してあるため、空隙部は常に大気圧相当の圧力に維持さ
れる。従って、空隙部の圧力が空気側の圧力と同じにな
ってしまうことはなく、主シールエレメントの変形が回
避される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】回転軸の回転に基づい
てポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の
動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポ
ンプは、例えば特開平2−157490号公報、特開平
6−101674号公報に開示される。このような真空
ポンプの場合には、前記空気側はポンプ室内となり、前
記流体収納室は歯車を収容するハウジング内となる。こ
のような真空ポンプによって取り扱われる排ガスが例え
ばパーフルオロカーボン(PFC)等のように大気放出
を行えないガスの場合には、真空ポンプから吐出される
排ガスは排ガス処理装置に送られる。特開平7−317
912号公報あるいは特開平7−317913号公報の
装置では、このような排ガスが副シールエレメントと回
転軸との間から空隙部側へ洩れた場合、この洩れガスは
大気へ放出されてしまう。
【0005】本発明は、真空ポンプにおいて良好なシー
ル性能を確保しつつリップシールの長寿命化を達成で
き、しかも排ガスの外部への洩れのない軸封構造を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項1の発明
では、真空ポンプの本体の外部に連通しないように密封
された油存在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の
周面に摺接するように配置された軸シール用の第1のリ
ップリングと、前記第1のリップリングと前記ポンプ室
との間の前記回転軸の周面に摺接するように配置された
軸シール用の第2のリップリングと、前記第1のリップ
リングと前記第2のリップリングとの間に設けられた背
圧室と、前記油存在領域と前記背圧室とを連通する通気
通路とを備えた軸封構造を構成した。
【0007】油存在領域側に配置された第1のリップリ
ングは、油存在領域側の圧力をシールする。ポンプ室側
に配置された第2のリップリングは、負圧から正圧にわ
たって変動するポンプ室の圧力をシールする。背圧室
は、油存在領域の圧力と同じ圧力であり、第1のリップ
リングは油存在領域の圧力のみを考慮した緊迫力で済
む。万一、ポンプ室内の排ガスが第2のリップリングと
回転軸との間から背圧室側へ洩れた場合にも、この洩れ
ガスが真空ポンプの本体の外部の大気へ流出することは
ない。
【0008】請求項2の発明では、請求項1において、
前記通気通路は、前記油存在領域から前記背圧室への油
侵入を阻止する構造とした。油存在領域から通気通路を
経由する油侵入が回避される。
【0009】請求項3の発明では、請求項1及び請求項
2のいずれか1項において、前記第1のリップリングは
ゴム製であり、前記第2のリップリングは樹脂製とし
た。ゴム製のリップリングは油で潤滑されるため、ゴム
製のリップリングの早期摩耗が防止される。
【0010】請求項4の発明では、請求項3において、
前記樹脂はフッ素樹脂とした。フッ素樹脂は、樹脂製の
リップリングの材質として最適である。請求項5の発明
では、請求項1乃至請求項4のいずれか1項において、
前記第1のリップリングは、前記回転軸の周面に対して
摺接する部位にポンプ溝を有し、前記ポンプ溝は、前記
回転軸の回転方向に辿るにつれて前記第2のリップリン
グ側から前記第1のリップリング側へ移行してゆくよう
にした。
【0011】油がゴム製のリップリングと回転軸の周面
との間から樹脂製のリップリング側へ洩れようとして
も、ポンプ溝が洩れ油を油存在領域側へ送り返す。請求
項6の発明では、請求項1乃至請求項5のいずれか1項
において、前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に
支持するための軸受けを収容する領域とした。
【0012】軸受けを潤滑する油がゴム製のリップリン
グを潤滑する。請求項7の発明では、請求項1乃至請求
項6のいずれか1項において、前記真空ポンプは、複数
の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上
にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛
み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを1組
として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を
備えた真空ポンプとした。
【0013】このような真空ポンプは、本発明の適用対
象として好適である。請求項8の発明では、請求項7に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とした。
【0014】歯車機構を潤滑する油がゴム製のリップリ
ングを潤滑する。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第1の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明
する。
【0016】図1(a)に示すように、多段ルーツポン
プ11のロータハウジング12の前端にはフロントハウ
ジング13が接合されており、フロントハウジング13
には封鎖体36が接合されている。ロータハウジング1
2の後端にはリヤハウジング14が接合されている。ロ
ータハウジング12は、シリンダブロック15と複数の
室形成壁16とからなる。図2(b)に示すように、シ
リンダブロック15は、一対のブロック片17,18か
らなり、室形成壁16は一対の壁片161,162から
なる。図1(a)に示すように、フロントハウジング1
3と室形成壁16との間の空間、隣合う室形成壁16の
間の空間、及びリヤハウジング14と室形成壁16との
間の空間は、それぞれポンプ室39,40,41,4
2,43となっている。
【0017】フロントハウジング13とリヤハウジング
14とには一対の回転軸19,20がラジアルベアリン
グ21,37,22,38を介して回転可能に支持され
ている。両回転軸19,20は互いに平行に配置されて
いる。回転軸19,20は室形成壁16に通されてい
る。
【0018】回転軸19には複数のロータ23,24,
25,26,27が一体形成されており、回転軸20に
は同数のロータ28,29,30,31,32が一体形
成されている。ロータ23〜32は、回転軸19,20
の軸線191,201の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ23,24,25,26,27の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ2
8,29,30,31,32の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ23,28は互いに噛
合した状態でポンプ室39に収容されており、ロータ2
4,29は互いに噛合した状態でポンプ室40に収容さ
れている。ロータ25,30は互いに噛合した状態でポ
ンプ室41に収容されており、ロータ26,31は互い
に噛合した状態でポンプ室42に収容されている。ロー
タ27,32は互いに噛合した状態でポンプ室43に収
容されている。
【0019】リヤハウジング14にはギヤハウジング3
3が組み付けられている。回転軸19,20は、リヤハ
ウジング14を貫通してギヤハウジング33内に突出し
ており、各回転軸19,20の突出端部には歯車34,
35が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング33には電動モータMが組み付けられている。電
動モータMの駆動力は、軸継ぎ手44を介して回転軸1
9に伝えられ、回転軸19は、電動モータMによって図
2(a),(b),(c)の矢印R1の方向に回転され
る。回転軸19の回転は歯車34,35を介して回転軸
20に伝えられ、回転軸20は図2(a),(b),
(c)の矢印R2で示すように回転軸19とは逆方向に
回転する。即ち、回転軸19,20は、歯車34,35
を用いて同期して回転される。
【0020】図1及び図2(b)に示すように、室形成
壁16内には通路163が形成されている。図2(b)
に示すように、室形成壁16には通路163の入口16
4及び出口165が形成されている。隣合うポンプ室3
9,40,41,42,43は、通路163を介して連
通している。
【0021】図2(a)に示すように、ブロック片18
には導入口181がポンプ室39に連通するように形成
されている。図2(c)に示すように、ブロック片17
には排出口171がポンプ室43に連通するように形成
されている。導入口181からポンプ室39に導入され
たガスは、ロータ23,28の回転によって室形成壁1
6の入口164から通路163を経由して出口165か
ら隣のポンプ室40へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ
室40,41,42,43の順に移送される。ポンプ室
43へ移送されたガスは、排出口171から外部へ排出
される。ロータ23〜32は、ガスを移送するガス移送
体である。
【0022】図1(a)に示すように、ラジアルベアリ
ング37とロータ27との間における回転軸19の周面
にはリップシール45,46が配置されている。図1
(b)及び図3に示すように、リヤハウジング14には
シール収容室47が形成されており、シール収容室47
にはリップシール45,46が収容されている。リップ
シール45は、リング形状の姿勢保持金具451と、姿
勢保持金具451の一部を被覆するように姿勢保持金具
451に保持されたゴム製のリップリング452とを備
える。リップシール46は、一対のリング形状の姿勢保
持金具461,462と、一対の姿勢保持金具461,
462に挟持されたフッ素樹脂製のリップリング463
とを備える。フッ素樹脂製のリップリング463は、例
えばポリテトラフルオロエチレン製である。ゴム製のリ
ップリング452は、ラジアルベアリング37側に向け
て湾曲しており、フッ素樹脂製のリップリング463は
ポンプ室43側に向けて湾曲している。
【0023】ラジアルベアリング38とロータ32との
間における回転軸20の周面にもリップシール45,4
6と同様のリップシール45A,46Aが配置されてい
る。リップシール45A,46Aは、リヤハウジング1
4に形成されたシール収容室48に収容されている。
【0024】シール収容室47に収容されたリップシー
ル45のゴム製のリップリング452の内周側、及びリ
ップシール46のフッ素樹脂製のリップリング463の
内周側が回転軸19の周面に接触する。シール収容室4
8に収容されたリップシール45Aのゴム製のリップリ
ング452の内周側、及びリップシール46Aのフッ素
樹脂製のリップリング463の内周側が回転軸20の周
面に接触する。
【0025】ギヤハウジング33内のギヤ収容室331
には潤滑油Y(図3及び図4に図示)が貯留されてお
り、この潤滑油が歯車34,35及びラジアルベアリン
グ37,38を潤滑する。歯車機構を構成する歯車3
4,35及び軸受けであるラジアルベアリング37,3
8を収容するギヤハウジング33のギヤ収容室331
は、多段ルーツポンプ11の本体の外部に連通しないよ
うに密封された油存在領域である。リップシール45,
45Aのゴム製のリップリング452は、ギヤ収容室3
31側に配置されており、リップシール46,46Aの
フッ素樹脂製のリップリング463は、ポンプ室43側
に配置されている。ギヤ収容室331内の貯留油は、歯
車34,35の回転動作によってかき上げられる。歯車
34,35の回転動作によってかき上げられた潤滑油Y
は、ラジアルベアリング37,38及びリップシール4
5,45Aのゴム製のリップリング452を潤滑する。
【0026】図3に示すように、リップシール45とリ
ップシール46との間には背圧室49が設けられてお
り、リップシール45Aとリップシール46Aとの間に
は背圧室50が設けられている。背圧室49は、回転軸
19を包囲する環状の室であり、背圧室50は、回転軸
20を包囲する環状の室である。背圧室49の上方には
通気通路51が形成されており、背圧室50の上方には
通気通路52が形成されている。
【0027】図3及び図4に示すように、リヤハウジン
グ14のギヤ収容室331側の端面には環状溝53が回
転軸19,20及びラジアルベアリング37,38を包
囲するように凹設されている。環状溝53は、リヤハウ
ジング14の軽量化をもたらす。回転軸19,20の軸
線191,20の方向に見た場合、環状溝53は、リッ
プシール45,46,45A,46Aを包囲する。
【0028】通気通路51は、回転軸19,20よりも
上側、かつラジアルベアリング37の直上の環状溝53
の外周側壁面531に第1の開口511を有し、背圧室
49の上部に第2の開口512を有する。通気通路52
は、回転軸19,20よりも上側、かつラジアルベアリ
ング38の直上の環状溝53の上側壁面531に第1の
開口521を有し、背圧室50の上部に第2の開口52
2を有する。通気通路51は、環状溝53と背圧室49
とを繋ぎ、通気通路52は、環状溝53と背圧室50と
を繋ぐ。通気通路51,52は、開口511,521か
ら上方へ向かう傾斜部513,523と、ロータハウジ
ング12側へ水平に向かう水平部514,524と、下
方に向かって背圧室49,50に至る垂直部515,5
25とからなる。
【0029】第1の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 (1-1)多段ルーツポンプ11の運転開始前には、ポン
プ室39〜43内の圧力は大気圧相当であり、運転開始
直後にはポンプ室39〜43内の圧力は、圧縮によって
大気圧よりも高くなる。ガス排気が進むと、ポンプ室3
9〜43内の圧力は負圧状態に移行する。ポンプ室43
側に配置されたリップシール46,46Aのフッ素樹脂
製のリップリング463は、負圧から正圧にわたって変
動するポンプ室43の圧力をシールする。油存在領域で
あるギヤ収容室331側に配置されたリップシール4
5,45Aのゴム製のリップリング452は、ギヤ収容
室331の圧力をシールする。ギヤ収容室331の圧力
は、ロータ23〜32の動作によって圧力変動を来さな
い大気圧相当の圧力不変領域である。ポンプ室43の圧
力は、第2のリップリングであるフッ素樹脂製のリップ
リング463によってシールされるため、ポンプ室43
の圧力が第1のリップリングであるゴム製のリップリン
グ452に波及することはない。又、通気通路51,5
2を介してギヤ収容室331に連通している背圧室4
9,50は、ギヤ収容室331の圧力と同じ大気圧相当
の圧力不変領域である。そのため、回転軸19,20の
周面に対するゴム製のリップリング452の緊迫力は、
ギヤ収容室331の大気圧相当の圧力のみを考慮した低
い緊迫力で済み、ゴム製のリップリング452における
面圧は低くて済む。又、ゴム製のリップリング452
は、ギヤ収容室331内の潤滑油Yで潤滑される。その
結果、ゴム製のリップリング452の早期摩耗が防止さ
れ、リップシール45,45Aの寿命が長くなる。
【0030】(1-2)万一、リップシール46のフッ素
樹脂製のリップリング463と回転軸19との間からポ
ンプ室43内の排ガスが背圧室49側へ洩れたり、ある
いはリップシール46Aのフッ素樹脂製のリップリング
463と回転軸20との間からポンプ室43内の排ガス
が背圧室50側へ洩れた場合にも、この洩れガスは多段
ルーツポンプ11の本体の外部に連通しないように密封
されたギヤ収容室331内にとどまる。従って、ポンプ
室43から背圧室49,50側へ洩れた排ガスが多段ル
ーツポンプ11の本体の外部の大気へ流出することはな
い。
【0031】(1-3)通気通路51,52の開口51
1,521は、ラジアルベアリング37,38の直上の
外周側壁面531にある。開口511,521は、リヤ
ハウジング14の端面から内部に入り込み、かつ下方に
面を向ける外周側面531上にある。従って、歯車3
4,35の回転によってかき上げられた潤滑油Yが開口
511,521に入り込むのは難しい。潤滑油Yが開口
511,521に入り込んだとしても、開口511,5
21から上方に向かう傾斜部513,523の奥へ入り
込んでゆくことはできない。即ち、通気通路51,52
は、油存在領域であるギヤ収容室331から背圧室4
9,50への油侵入を阻止する構造となっており、ギヤ
収容室331内の潤滑油Yが通気通路51,52を経由
して背圧室49,50へ侵入することはない。
【0032】(1-4)フッ素樹脂は耐摩耗性に優れてお
り、フッ素樹脂製のリップリング463は油潤滑を必要
としない。ポンプ室39〜43でガス圧縮を受けて移送
されるガスの種類〔例えば、パーフルオロカーボン(P
FC)ガス等〕によっては、潤滑油Yに化学反応を起こ
させて潤滑油Yを劣化させる。そのため、多段ルーツポ
ンプ11におけるポンプ室39〜43内での潤滑油Yの
使用は行われない。潤滑油Yを存在させたくない無潤滑
領域のポンプ室43側にフッ素樹脂製のリップリング4
63を配置した構成は、リップシール46,46Aの長
寿命化の達成に最適である。
【0033】(1-5)ポンプ室39〜43内に潤滑油Y
を存在させたくないルーツポンプ11は、本発明の適用
対象として好適である。次に、図5及び図6の第2の実
施の形態を説明する。第1の実施の形態と同じ構成部に
は同じ符号が付してある。
【0034】回転軸19の周面に対して摺接するリップ
シール45のゴム製のリップリング452の摺接部には
螺旋溝453が形成されている。回転軸20の周面に対
して摺接するリップシール45Aのゴム製のリップリン
グ452の摺接部には螺旋溝454が形成されている。
リップシール45,45Aの組立前のゴム製のリップリ
ング452は、図6(b)に示すように平板なリングで
ある。螺旋溝453は図6(b)に示すように形成され
る。リップシール45Aの組立前のゴム製のリップリン
グ452は、図6(a)に示すように平板なリングであ
る。螺旋溝454は図6(a)に示すように形成され
る。
【0035】ポンプ溝である螺旋溝453は、回転軸1
9の回転方向〔図2(a),(b),(c)に矢印R1
で示す方向)に辿るにつれてリップシール46のフッ素
樹脂製のリップリング463側からリップシール45の
ゴム製のリップリング452側へ移行してゆく。ポンプ
溝である螺旋溝454は、回転軸20の回転方向〔図2
(a),(b),(c)に矢印R2で示す方向)に辿る
につれてリップシール46Aのフッ素樹脂製のリップリ
ング463側からリップシール45Aのゴム製のリップ
リング452側へ移行してゆく。ゴム製のリップリング
452を潤滑する潤滑油Yがゴム製のリップリング45
2と回転軸19,20の周面との間からフッ素樹脂製の
リップリング463側へ洩れてゆこうとしても、螺旋溝
453,454が回転軸19,20との間の相対回転に
よって潤滑油Yをラジアルベアリング37,38側へ送
り返す。従って、ギヤ収容室331内の潤滑油Yが回転
軸19,20の周面に沿って背圧室49,50へ侵入す
ることはない。
【0036】次に、図7の第3の実施の形態を説明す
る。第2の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。リップシール46,46Aのフッ素樹脂製のリ
ップリング463にも螺旋溝464,465が形成され
ている。回転軸19に摺接するフッ素樹脂製のリップリ
ング463の螺旋溝464は、回転軸19の回転方向
〔図2(a),(b),(c)に矢印R1で示す方向)
に辿るにつれてリップシール46のフッ素樹脂製のリッ
プリング463側からリップシール45のゴム製のリッ
プリング452側へ移行してゆく。回転軸20に摺接す
るフッ素樹脂製のリップリング463の螺旋溝465
は、回転軸20の回転方向〔図2(a),(b),
(c)に矢印R2で示す方向)に辿るにつれてリップシ
ール46Aのフッ素樹脂製のリップリング463側から
リップシール45Aのゴム製のリップリング452側へ
移行してゆく。万一、潤滑油Yが背圧室49,50に侵
入し、潤滑油Yがフッ素樹脂製のリップリング463と
回転軸19,20の周面との間からポンプ室43側へ洩
れてゆこうとしても、螺旋溝464,465が回転軸1
9,20との間の相対回転によって潤滑油Yをリップシ
ール45,45A側へ送り返す。従って、ギヤ収容室3
31内の潤滑油Yが回転軸19,20の周面に沿ってポ
ンプ室43へ侵入することはない。
【0037】次に、図8の第4の実施の形態を説明す
る。第3の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。リップシール46,46Aのフッ素樹脂製のリ
ップリング463は、リップシール45,45A側に向
けて湾曲されている。この実施の形態においても第1の
実施の形態と同じ効果が得られる。
【0038】次に、図9の第5の実施の形態を説明す
る。第1の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。回転軸19側のリップシール54は、リングケ
ース541と、リングケース541の内周側に配置され
た一対のリング形状の姿勢保持金具542,543と、
リングケース541を被覆するようにリングケース54
1に保持されたゴム製のリップリング544と、姿勢保
持金具542と姿勢保持金具543との間に保持された
フッ素樹脂製のリップリング545とからなる。第1の
リップリングであるゴム製のリップリング544は、姿
勢保持金具543よりもギヤ収容室331側にある。第
2のリップリングであるフッ素樹脂製のリップリング5
45は、姿勢保持金具543よりもポンプ室43側にあ
る。
【0039】姿勢保持金具543の内周側には背圧室5
5が設けられている。リップシール54の外周側には環
状の通気通路56がリップシール54を包囲するように
形成されている。リヤハウジング14及びリップシール
54には通気通路51,546が形成されてい。通気通
路51,546は通気通路56に連通している。通気通
路51,56,546は、ギヤ収容室331と背圧室5
5とを連通する。
【0040】回転軸20側にもリップシール54と同様
のリップシール54Aが配置されており、通気通路5
1,56,546と同様の通気通路52,56,546
が設けられている。
【0041】この実施の形態においても第1の実施の形
態と同じ効果が得られる。次に、図10の第6の実施の
形態を説明する。第1の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が付してある。
【0042】回転軸19,20の直下には通気通路5
7,58が設けられている。通気通路57,58の一方
の開口571,581は、ラジアルベアリング37,3
8の直下の環状溝53の内周側壁面532上にあり、通
気通路57,58の他方の開口572,582は、背圧
室49,50の最下部にある。万一、潤滑油Yが背圧室
49,50に侵入しても、背圧室49,50内の潤滑油
Yは通気通路57,58からギヤ収容室331へ抜け出
てゆく。
【0043】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 (1)第5の実施の形態において、通気通路51,52
を省略すること。 (2)ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。 (3)第1のリップリングと第2のリップリングとの双
方を樹脂製とすること。 (4)第1のリップリングと第2のリップリングとの双
方をゴム製とすること。
【0044】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、第1の
リップリングと第2のリップリングとの間に設けられた
背圧室と油存在領域とを通気通路で連通したので、真空
ポンプにおいて良好なシール性能を確保しつつリップシ
ールの長寿命化を達成でき、しかも排ガスの外部への洩
れを防止し得るという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態を示し、(a)は多段ルーツ
ポンプ11全体の平断面図。(b)は要部拡大平断面
図。
【図2】(a)は図1のA−A線断面図。(b)は図1
のB−B線断面図。(c)は図1のC−C線断面図。
【図3】要部拡大側断面図。
【図4】図1のD−D線断面図。
【図5】第2の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図6】(a)はリップシール45A側のゴム製のリッ
プリング452の展開図。(b)はリップシール45側
のゴム製のリップリング452の展開図。
【図7】第3の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図8】第4の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図9】第5の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図10】第6の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【符号の説明】
11…真空ポンプである多段ルーツポンプ。19,20
…回転軸。23,24,25,26,27,28,2
9,30,31,32…ガス移送体となるロータ。33
1…油存在領域となるギヤ収容室。34,35…歯車機
構を構成する歯車。37,38…軸受けとなるラジアル
ベアリング。43…ポンプ室。452,544…第1の
リップリングであるゴム製のリップリング。463,5
45…第2のリップリングである樹脂製のリップリン
グ。453,454…ポンプ溝である螺旋溝。49,5
0,55…背圧室。51,52,546,56,57,
58…通気通路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井田 昌宏 愛知県刈谷市豊田町2丁目1番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Fターム(参考) 3H003 AA05 AB07 AC04 AD03 BC01 CA01 CA02 CD01 3H029 AA06 AA09 AA18 AB06 BB16 BB44 CC16 CC17 CC20 CC38 CC39 3J006 AE15 AE17 AE49 CA01 CA04

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
    移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
    移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、 真空ポンプの本体の外部に連通しないように密封された
    油存在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の周面に
    摺接するように配置された軸シール用の第1のリップリ
    ングと、 前記第1のリップリングと前記ポンプ室との間の前記回
    転軸の周面に摺接するように配置された軸シール用の第
    2のリップリングと、 前記第1のリップリングと前記第2のリップリングとの
    間に設けられた背圧室と、 前記油存在領域と前記背圧室とを連通する通気通路とを
    備えた真空ポンプにおける軸封構造。
  2. 【請求項2】前記通気通路は、前記油存在領域から前記
    背圧室への油侵入を阻止する構造とした請求項1に記載
    の真空ポンプにおける軸封構造。
  3. 【請求項3】前記第1のリップリングはゴム製であり、
    前記第2のリップリングは樹脂製である請求項1及び請
    求項2のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封
    構造。
  4. 【請求項4】前記樹脂はフッ素樹脂である請求項3に記
    載の真空ポンプにおける軸封構造。
  5. 【請求項5】前記第1のリップリングは、前記回転軸の
    周面に対して摺接する部位にポンプ溝を有し、前記ポン
    プ溝は、前記回転軸の回転方向に辿るにつれて前記第2
    のリップリング側から前記第1のリップリング側へ移行
    してゆく請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の
    真空ポンプにおける軸封構造。
  6. 【請求項6】前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能
    に支持するための軸受けを収容する領域である請求項1
    乃至請求項5のいずれか1項に記載の真空ポンプにおけ
    る軸封構造。
  7. 【請求項7】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
    行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
    し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
    に噛み合った状態の複数のロータを1組として収容する
    複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えた真空ポン
    プである請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の
    真空ポンプにおける軸封構造。
  8. 【請求項8】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
    期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
    容する領域である請求項7に記載の真空ポンプにおける
    軸封構造。
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