JP2001329984A - 真空ポンプにおける軸封構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】真空ポンプにおいて良好なシール性能を確保し
つつリップシールの長寿命化を達成できる軸封構造を提
供する。 【解決手段】ラジアルベアリング３７，３８とロータ２
７，３２との間における回転軸１９，２０の周面にはリ
ップシール４４，４４Ａが配置されている。リップシー
ル４４，４４Ａのゴム製のリップリング４８は、リング
ケース４５よりもギヤ収容室３３１側に配置されてい
る。リップシール４４，４４Ａのフッ素樹脂製のリップ
リング４９は、リングケース４５よりもポンプ室４３側
に配置されている。ギヤ収容室３３１内の潤滑油は、リ
ップシール４４，４４Ａのゴム製のリップリング４８を
潤滑する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける軸封構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特開平７−３１７９１２号公報及び特開
平７−３１７９１３号公報に開示される回転軸シール
は、主シールエレメントと副シールエレメントとからな
る。主シールエレメントは流体収納室側に配置されてお
り、副シールエレメントは空気側に配置されている。主
シールエレメントは、所定圧力の流体収納室から空気側
への流体洩れを防止する。副シールエレメントは、大気
圧以下から大気圧以上にわたる範囲で変動する空気側の
圧力の変動が主シールエレメントに影響を与えないよう
に働く。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】主シールエレメントは
合成樹脂製であり、副シールエレメントは合成樹脂製又
はゴム製である。ゴム製の副シールエレメントは、合成
樹脂製の副シールエレメントに比べてシール性能が高い
が、ゴム製の副シールエレメントは、回転軸との摺接に
よる摩耗を防止するために油潤滑を必要とする。しか
し、空気側にゴム製のシールエレメントを配置した構成
は油潤滑を困難にし、回転軸シールの寿命が短くなる。

【０００４】本発明は、真空ポンプにおいて良好なシー
ル性能を確保しつつリップシールの長寿命化を達成でき
る軸封構造を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、油存在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の
周面上に配置されたゴム製のリップリングと、前記油存
在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の周面上に配
置された樹脂製のリップリングとを備えた軸封構造を構
成し、前記ゴム製のリップリングを前記油存在領域側に
配置すると共に、前記樹脂製のリップリングを前記ポン
プ室側に配置した。

【０００６】ポンプ室側に配置された樹脂製のリップリ
ングは、負圧から正圧にわたって変動するポンプ室の圧
力をシールする。油存在領域側に配置されたゴム製のリ
ップリングは、油存在領域側の圧力をシールする。ポン
プ室の圧力は樹脂製のリップリングによってシールされ
るため、ゴム製のリップリングは油存在領域の圧力のみ
を考慮した緊迫力で済む。又、ゴム製のリップリングは
油で潤滑されるため、ゴム製のリップリングの早期摩耗
が防止される。

【０００７】請求項２の発明では、請求項１において、
前記樹脂はフッ素樹脂とした。フッ素樹脂は、樹脂製の
リップリングの材質として最適である。請求項３の発明
では、請求項１及び請求項２のいずれか１項において、
前記樹脂製のリップリングは、前記回転軸の周面に対し
て摺接する部位にポンプ溝を有し、前記ポンプ溝は、前
記回転軸の回転方向に辿るにつれて前記樹脂製のリップ
リング側から前記ゴム製のリップリング側へ移行してゆ
くようにした。

【０００８】油がゴム製のリップリングと回転軸の周面
との間から樹脂製のリップリング側へ洩れた場合にも、
ポンプ溝が洩れ油をゴム製のリップリング側へ送り返
す。請求項４の発明では、請求項１乃至請求項３のいず
れか１項において、前記油存在領域は、前記回転軸を回
転可能に支持するための軸受けを収容する領域とした。

【０００９】軸受けを潤滑する油がゴム製のリップリン
グを潤滑する。請求項５の発明では、請求項１乃至請求
項４のいずれか１項において、前記真空ポンプは、複数
の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上
にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛
み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組
として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を
備えた真空ポンプとした。

【００１０】このような真空ポンプは、本発明の適用対
象として好適である。請求項６の発明では、請求項５に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とした。

【００１１】歯車機構を潤滑する油がゴム製のリップリ
ングを潤滑する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明
する。

【００１３】図１（ａ）に示すように、多段ルーツポン
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１
２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロ
ータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の
隔壁１６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シリン
ダブロック１５は、一対のブロック片１７，１８からな
り、隔壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図
１（ａ）に示すように、フロントハウジング１３と隔壁
１６との間の空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及びリ
ヤハウジング１４と隔壁１６との間の空間は、それぞれ
ポンプ室３９，４０，４１，４２，４３となっている。

【００１４】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，３７，２２，３８を介して回転可能に支持され
ている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されて
いる。回転軸１９，２０は隔壁１６に通されている。

【００１５】回転軸１９には複数のロータ２３，２４，
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４１に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室４２に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室４３に収
容されている。

【００１６】リヤハウジング１４にはギヤハウジング３
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電
動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１
９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図
２（ａ），（ｂ），（ｃ）の矢印Ｒ１の方向に回転され
る。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介して回転軸
２０に伝えられ、回転軸２０は図２（ａ），（ｂ），
（ｃ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に
回転する。即ち、回転軸１９，２０は、歯車３４，３５
を用いて同期して回転される。

【００１７】図１及び図２（ｂ）に示すように、隔壁１
６内には通路１６３が形成されている。図２（ｂ）に示
すように、隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出
口１６５が形成されている。隣合うポンプ室３９，４
０，４１，４２，４３は、通路１６３を介して連通して
いる。

【００１８】図２（ａ）に示すように、ブロック片１８
には導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成
されている。図２（ｃ）に示すように、ブロック片１７
には排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成
されている。導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の
入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣
のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガスは、ポ
ンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室４
０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３
へ移送されたガスは、排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。

【００１９】図１（ａ）に示すように、ラジアルベアリ
ング３７とロータ２７との間における回転軸１９の周面
にはリップシール４４が配置されている。図１（ｂ）に
示すように、リヤハウジング１４にはシール収容室５０
が形成されており、リップシール４４がシール収容室５
０に収容されている。リップシール４４は、リングケー
ス４５と、リングケース４５の内周側に配置されたリン
グ形状の保持金具４６と、リングケース４５の内周側に
配置されたリング形状の姿勢保持金具４７と、リングケ
ース４５を被覆するようにリングケース４５に保持され
たゴム製のリップリング４８と、保持金具４６に保持さ
れたフッ素樹脂製のリップリング４９とからなる。フッ
素樹脂製のリップリング４９は、例えばポリテトラフル
オロエチレン製である。姿勢保持金具４７はゴム製のリ
ップリング４８とフッ素樹脂製のリップリング４９との
間に配置されている。

【００２０】リング形状の姿勢保持金具４７は、ポンプ
室４３側に最大径を有し、ギヤ収容室３３１側に最小径
を有する。回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方
向における姿勢保持金具４７の中間部は、回転軸１９，
２０の周面に対して略平行となっている。ゴム製のリッ
プリング４８及びフッ素樹脂製のリップリング４９は、
回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向において
姿勢保持金具４７に沿う形状にしてある。リップシール
４４は、シール収容室５０から離脱不能にサークリップ
５１によって位置規制されている。

【００２１】ラジアルベアリング３８とロータ３２との
間における回転軸２０の周面にもリップシール４４と同
様のリップシール４４Ａが配置されている。リップシー
ル４４Ａは、リヤハウジング１４に形成されたシール収
容室５２に収容されている。リップシール４４Ａは、シ
ール収容室５２から離脱不能にサークリップ５３によっ
て位置規制されている。

【００２２】図３はリップシール４４，４４Ａに回転軸
１９，２０を通していない状態を示す。図１（ａ），
（ｂ）に示すようにシール収容室５０，５２にリップシ
ール４４，４４Ａを組み付けてリップシール４４，４４
Ａに回転軸１９，２０を通した状態では、ゴム製のリッ
プリング４８の内周側及びフッ素樹脂製のリップリング
４９の内周側が回転軸１９，２０の周面に接触する。回
転軸１９の周面に対して摺接するリップシール４４のフ
ッ素樹脂製のリップリング４９の摺接部には螺旋溝４９
１が形成されている。回転軸２０の周面に対して摺接す
るリップシール４４Ａのフッ素樹脂製のリップリング４
９の摺接部には螺旋溝４９２が形成されている。リップ
シール４４の組立前のフッ素樹脂製のリップリング４９
は、図４（ｂ）に示すように平板なリングである。螺旋
溝４９１は図４（ｂ）に示すように形成される。リップ
シール４４Ａの組立前のフッ素樹脂製のリップリング４
９は、図４（ａ）に示すように平板なリングである。螺
旋溝４９２は図４（ａ）に示すように形成される。

【００２３】ギヤハウジング３３内のギヤ収容室３３１
には潤滑油（図示略）が貯留されており、この潤滑油が
歯車３４，３５及びラジアルベアリング３７，３８を潤
滑する。歯車機構を構成する歯車３４，３５及び軸受け
であるラジアルベアリング３７，３８を収容するギヤハ
ウジング３３は、油存在領域である。リップシール４
４，４４Ａのゴム製のリップリング４８は、リングケー
ス４５よりもギヤ収容室３３１側に配置されている。リ
ップシール４４，４４Ａのフッ素樹脂製のリップリング
４９は、リングケース４５よりもポンプ室４３側に配置
されている。ギヤ収容室３３１内の潤滑油は、リップシ
ール４４，４４Ａのゴム製のリップリング４８を潤滑す
る。

【００２４】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）多段ルーツポンプ１１の運転開始前には、ポン
プ室３９〜４３内の圧力は大気圧相当であり、運転開始
直後にはポンプ室３９〜４３内の圧力は、圧縮によって
大気圧よりも高くなる。ガス排気が進むと、ポンプ室３
９〜４３内の圧力は負圧状態に移行する。ポンプ室４３
側に配置されたフッ素樹脂製のリップリング４９は、負
圧から正圧にわたって変動するポンプ室４３の圧力をシ
ールする。油存在領域であるギヤ収容室３３１側に配置
されたゴム製のリップリング４８は、ギヤ収容室３３１
の圧力をシールする。ギヤ収容室３３１の圧力は、ロー
タ２３〜３２の動作によって圧力変動を来さない大気圧
相当の圧力不変領域である。ポンプ室４３の圧力は、フ
ッ素樹脂製のリップリング４９によってシールされるた
め、ポンプ室４３の圧力がゴム製のリップリング４８に
波及することはない。そのため、回転軸１９，２０の周
面に対するゴム製のリップリング４８の緊迫力は、ギヤ
収容室３３１の大気圧相当の圧力のみを考慮した低い緊
迫力で済み、ゴム製のリップリング４８における面圧は
低くて済む。又、ゴム製のリップリング４８は、ギヤ収
容室３３１内の潤滑油で潤滑される。その結果、ゴム製
のリップリング４８の早期摩耗が防止され、リップシー
ル４４，４４Ａの寿命が長くなる。

【００２５】（１-2）フッ素樹脂は耐摩耗性に優れてお
り、フッ素樹脂製のリップリング４９は油潤滑を必要と
しない。ポンプ室３９〜４３でガス圧縮を受けて移送さ
れるガスの種類〔例えば、パーフルオロカーボン（ＰＦ
Ｃ）ガス等〕によっては、潤滑油に化学反応を起こさせ
て潤滑油を劣化させる。そのため、多段ルーツポンプ１
１におけるポンプ室３９〜４３内での潤滑油の使用は行
われない。潤滑油を存在させたくない無潤滑領域のポン
プ室４３側にフッ素樹脂製のリップリング４９を配置し
た構成は、リップシール４４，４４Ａの長寿命化の達成
に最適である。

【００２６】（１-3）ポンプ溝である螺旋溝４９１は、
回転軸１９の回転方向〔図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に
矢印Ｒ１で示す方向）に辿るにつれてリップシール４４
のフッ素樹脂製のリップリング４９側からゴム製のリッ
プリング４８側へ移行してゆく。ポンプ溝である螺旋溝
４９２は、回転軸２０の回転方向〔図２（ａ），
（ｂ），（ｃ）に矢印Ｒ２で示す方向）に辿るにつれて
リップシール４４Ａのフッ素樹脂製のリップリング４９
側からゴム製のリップリング４８側へ移行してゆく。ゴ
ム製のリップリング４８を潤滑する潤滑油がゴム製のリ
ップリング４８と回転軸１９，２０の周面との間からフ
ッ素樹脂製のリップリング４９側へ洩れた場合にも、螺
旋溝４９１，４９２が回転軸１９，２０との間の相対回
転によって洩れ油をゴム製のリップリング４８側へ送り
返す。従って、ギヤ収容室３３１内の潤滑油がポンプ室
４３へ侵入することはない。

【００２７】（１-4）ポンプ室３９〜４３内に潤滑油を
存在させたくないルーツポンプ１１は、本発明の適用対
象として好適である。次に、図５の第２の実施の形態を
説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号
が付してある。

【００２８】回転軸１９，２０の周面に対して摺接する
リップシール４４，４４Ａのゴム製のリップリング４８
の摺接部には固体潤滑層５４が設けられている。本実施
の形態では、固体潤滑層５４は、二硫化モリブデンとグ
ラファイトとポリアミドイミド系の熱硬化性樹脂との混
合物である。二硫化モリブデン及びグラファイトは固体
潤滑剤として優れており、ポリアミイミド系の熱硬化性
樹脂は接着剤として機能する。リップシール４４，４４
Ａの組立前にゴム製のリップリング４８の摺接部にこれ
らの混合物を塗布してから乾燥すれば、固体潤滑層５４
が摺接部に付着する。前記混合物の塗布は、スプレー塗
装、パッド印刷等によって行える。

【００２９】固体潤滑剤としては、四フッ化エチレンな
どのポリマー、二硫化モリブデン、グラファイト、二硫
化タングステン、酸化鉛、窒化ホウ素や、鉛、金、イン
ジュウム、錫等の軟質金属等を単独、あるいは複数を組
み合わせた物が使用可能である。接着剤としてはポリイ
ミド系、ポリイミド系の熱硬化性樹脂が使用可能であ
る。鉛、金、インジュウム、錫等の軟質金属はメッキ法
により形成してもよい。

【００３０】多段ルーツポンプ１１を組み付けた後には
ギヤハウジング３３に潤滑油が入れられているが、多段
ルーツポンプ１１の組み付け後の多段ルーツポンプ１１
の初動時には潤滑油がシール収容室５０，４２へ充分に
供給されない。そのため、ゴム製のリップリング４８の
摺接部と回転軸１９，２０との間では潤滑油による潤滑
が不足している。固体潤滑層５４がない場合には、ゴム
製のリップリング４８はフッ素樹脂製のリップリング４
９に比して摩耗しやすい。固体潤滑層５４は、多段ルー
ツポンプ１１の初動時の潤滑油不足による摩耗を引き受
ける。従って、多段ルーツポンプ１１の初動時のシール
収容室５０，５２における潤滑油不足によるゴム製のリ
ップリング４８の異常摩耗が防止される。このようなゴ
ム製のリップリング４８の異常摩耗の防止は、リップシ
ール４４，４４Ａの長寿命化をもたらす。

【００３１】次に、図６の第３の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。リング形状の姿勢保持金具４７Ｂは、回転軸１
９，２０の軸線１９１，２０１の方向における中間部に
最大径となる屈曲部４７１を有する。ゴム製のリップリ
ング４８は、図６において屈曲部４７１よりも左側で姿
勢保持金具４７Ｂに沿う形状にしてある。フッ素樹脂製
のリップリング４９Ｂは、図６において屈曲部４７１よ
りも右側で姿勢保持金具４７Ｂ及びリング形状の保持金
具４６Ｂに沿う形状にしてある。即ち、ゴム製のリップ
リング４８とフッ素樹脂製のリップリング４９Ｂとは、
回転軸１９，２０の半径方向へ回転軸１９，２０の周面
へ近づくにつれて離れてゆく。回転軸１９，２０に対す
るフッ素樹脂製のリップリング４９Ｂの摺接部には螺旋
溝４９１Ｂ，４９２Ｂが形成されている。

【００３２】多段ルーツポンプ１１の運転開始直後のポ
ンプ室４３における大気圧を越えた圧力は、フッ素樹脂
製のリップリング４９Ｂによってシールされる。ポンプ
室４３内の大気圧を越えた圧力に対するフッ素樹脂製の
リップリング４９Ｂのシール性は、第１の実施の形態に
おけるフッ素樹脂製のリップリング４９よりも優れてい
る。螺旋溝４９１Ｂ，４９２Ｂは、第１の実施の形態に
おける螺旋溝４９１，４９２と同じ作用をもたらす。

【００３３】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 （１）第１〜第３の実施の形態における螺旋溝を省略す
ること。 （２）回転軸に対するフッ素樹脂製のリップリングの摺
接部に固体潤滑層を設けること。 （３）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。

【００３４】

【発明の効果】以上詳述したように本発明では、ゴム製
のリップリングを油存在領域側に配置すると共に、樹脂
製のリップリングをポンプ室側に配置したので、真空ポ
ンプにおいて良好なシール性能を確保しつつリップシー
ルの長寿命化を達成し得るという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は多段ルーツ
ポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）は要部拡大平断面
図。

【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。

【図３】要部拡大平断面図。

【図４】（ａ）はリップシール４４Ａ側のフッ素樹脂製
のリップリング４９の展開図。（ｂ）はリップシール４
４側のフッ素樹脂製のリップリング４９の展開図。

【図５】第２の実施の形態を示す要部拡大平断面図。

【図６】第３の実施の形態を示す要部拡大平断面図。

【符号の説明】

１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１９，２０
…回転軸。２３，２４，２５，２６，２７，２８，２
９，３０，３１，３２…ガス移送体となるロータ。３３
１…油存在領域となるギヤ収容室。３４，３５…歯車機
構を構成する歯車。３７，３８…軸受けとなるラジアル
ベアリング。４３…ポンプ室。４４，４４Ａ…リップシ
ール。４８…ゴム製のリップリング。４９…樹脂製のリ
ップリング。４９１，４９２…ポンプ溝である螺旋溝。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｊ 15/32 ３１１ Ｆ１６Ｊ 15/32 ３１１Ｍ (72)発明者 川口 真広 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H003 AA05 AC00 AD03 BC01 3H029 AA06 AA09 AA16 AB06 BB01 BB44 CC03 CC05 CC16 CC17 CC20 CC39 3J006 AE05 CA01 CA04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
   移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
   移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、 油存在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の周面上
   に配置されたゴム製のリップリングと、 前記油存在領域と前記ポンプ室との間の前記回転軸の周
   面上に配置された樹脂製のリップリングとを備え、 前記ゴム製のリップリングを前記油存在領域側に配置す
   ると共に、前記樹脂製のリップリングを前記ポンプ室側
   に配置した真空ポンプにおける軸封構造。
2. 【請求項２】前記樹脂はフッ素樹脂である請求項１に記
   載の真空ポンプにおける軸封構造。
3. 【請求項３】前記樹脂製のリップリングは、前記回転軸
   の周面に対して摺接する部位にポンプ溝を有し、前記ポ
   ンプ溝は、前記回転軸の回転方向に辿るにつれて前記樹
   脂製のリップリング側から前記ゴム製のリップリング側
   へ移行してゆく請求項１及び請求項２のいずれか１項に
   記載の真空ポンプにおける軸封構造。
4. 【請求項４】前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能
   に支持するための軸受けを収容する領域である請求項１
   乃至請求項３のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
   る軸封構造。
5. 【請求項５】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
   行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
   し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
   に噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する
   複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えた真空ポン
   プである請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の
   真空ポンプにおける軸封構造。
6. 【請求項６】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
   期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
   容する領域である請求項５に記載の真空ポンプにおける
   軸封構造。