JPH10103268A - バキュームポンプ - Google Patents
バキュームポンプInfo
- Publication number
- JPH10103268A JPH10103268A JP8275484A JP27548496A JPH10103268A JP H10103268 A JPH10103268 A JP H10103268A JP 8275484 A JP8275484 A JP 8275484A JP 27548496 A JP27548496 A JP 27548496A JP H10103268 A JPH10103268 A JP H10103268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- casing
- lubricating oil
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バキュームポンプにおいてポンプ室のシール
性を向上させるとともに、潤滑油の供給量を減らす。 【解決手段】 バキュームポンプは軸受20を備えたカ
ップ状のケーシング10と、この開口側を閉塞するプレ
ート12を有する。円筒状のロータ30はケーシング1
0の円筒内壁に偏心して設けられる。ロータ30は側面
35、37の外縁部35a,37aにおいてそれぞれケ
ーシング10とプレート12に閉塞され、内側に潤滑油
貯留室60を形成する。ロータ30には径方向に摺動自
在なベーン34、36が収納される。ベーン34、36
には端面の長手方向に凹部52が設けられる。
性を向上させるとともに、潤滑油の供給量を減らす。 【解決手段】 バキュームポンプは軸受20を備えたカ
ップ状のケーシング10と、この開口側を閉塞するプレ
ート12を有する。円筒状のロータ30はケーシング1
0の円筒内壁に偏心して設けられる。ロータ30は側面
35、37の外縁部35a,37aにおいてそれぞれケ
ーシング10とプレート12に閉塞され、内側に潤滑油
貯留室60を形成する。ロータ30には径方向に摺動自
在なベーン34、36が収納される。ベーン34、36
には端面の長手方向に凹部52が設けられる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばディーゼル
車用の負圧発生装置であるバキュームポンプに関する。
車用の負圧発生装置であるバキュームポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】バキュームポンプは、例えばロータがケ
ーシング内で回転することにより、吸入口側に負圧が発
生するように構成される。従来このようなバキュームポ
ンプにおいて、潤滑油を供給することによりベーンやロ
ータ、あるいはギアシャフトを支持する転がり軸受など
を潤滑させる。
ーシング内で回転することにより、吸入口側に負圧が発
生するように構成される。従来このようなバキュームポ
ンプにおいて、潤滑油を供給することによりベーンやロ
ータ、あるいはギアシャフトを支持する転がり軸受など
を潤滑させる。
【0003】ケーシングとロータ、ロータとベーンとの
間には摺動を円滑にするために、ある程度のクリアラン
スが設けられる。このクリアランスが大きいと流体洩れ
を起こしポンプの性能が下がるため、クリアランスは極
力小さく形成される。一方ケーシング内には潤滑油が供
給され、ケーシングに油膜が形成されることによりクリ
アランスからの流体洩れを防いでいる。このクリアラン
スが大きいと、十分な油膜が形成されず、このためポン
プ内部から流体が洩れ、圧送の効率が低下し、また摺動
による摩耗劣化が発生する。
間には摺動を円滑にするために、ある程度のクリアラン
スが設けられる。このクリアランスが大きいと流体洩れ
を起こしポンプの性能が下がるため、クリアランスは極
力小さく形成される。一方ケーシング内には潤滑油が供
給され、ケーシングに油膜が形成されることによりクリ
アランスからの流体洩れを防いでいる。このクリアラン
スが大きいと、十分な油膜が形成されず、このためポン
プ内部から流体が洩れ、圧送の効率が低下し、また摺動
による摩耗劣化が発生する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】クリアランスを極力小
さくするためにはロータなどの加工精度が要求される。
また潤滑油は転がり軸受の隙間からギアシャフト側へも
排出されるが、転がり軸受より潤滑油が逃げるために給
油量が多く必要になる。
さくするためにはロータなどの加工精度が要求される。
また潤滑油は転がり軸受の隙間からギアシャフト側へも
排出されるが、転がり軸受より潤滑油が逃げるために給
油量が多く必要になる。
【0005】本発明は、この様な問題を解決するもので
あり、ポンプ室内の潤滑性及びシール性を向上させると
共に、潤滑油の供給量を減らすことができるバキューム
ポンプを提供することを目的としている。
あり、ポンプ室内の潤滑性及びシール性を向上させると
共に、潤滑油の供給量を減らすことができるバキューム
ポンプを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によるバキューム
ポンプは、円筒内壁と吸入口と吐出口と潤滑油の給油口
とを有するケーシングと、シャフトを介して円筒内壁に
対して偏心して回転する円筒形のロータと、このロータ
に設けた径方向のスリット溝内を、円筒内壁に摺接しな
がら進退動するベーンとを備え、円筒内壁とロータの外
周面と、ベーンとによってポンプ室が形成され、ロータ
の回転によって吸入口に負圧を発生させるバキュームポ
ンプであって、給油口から円筒内壁及びシャフトの軸受
部へ連通する油孔をケーシングに設け、ロータの内部に
形成された潤滑油貯留室内における圧力が、ポンプ室内
に発生する圧力の最大値より高く保たれることを特徴と
する。
ポンプは、円筒内壁と吸入口と吐出口と潤滑油の給油口
とを有するケーシングと、シャフトを介して円筒内壁に
対して偏心して回転する円筒形のロータと、このロータ
に設けた径方向のスリット溝内を、円筒内壁に摺接しな
がら進退動するベーンとを備え、円筒内壁とロータの外
周面と、ベーンとによってポンプ室が形成され、ロータ
の回転によって吸入口に負圧を発生させるバキュームポ
ンプであって、給油口から円筒内壁及びシャフトの軸受
部へ連通する油孔をケーシングに設け、ロータの内部に
形成された潤滑油貯留室内における圧力が、ポンプ室内
に発生する圧力の最大値より高く保たれることを特徴と
する。
【0007】バキュームポンプにおいて、好ましくは、
軸受部がケーシングに一体的に形成されたすべり軸受で
ある。
軸受部がケーシングに一体的に形成されたすべり軸受で
ある。
【0008】バキュームポンプにおいて、好ましくはベ
ーンが板状であって、このベーンの両端面の中央に長手
方向に沿って延びる凹部を設け、この凹部がスリット溝
においてロータ中心側へのみ開口している。
ーンが板状であって、このベーンの両端面の中央に長手
方向に沿って延びる凹部を設け、この凹部がスリット溝
においてロータ中心側へのみ開口している。
【0009】バキュームポンプにおいて、好ましくは、
シャフトの一端がケーシングに設けられた転がり軸受に
よって支持され、転がり軸受の近傍外側にオイルシール
が設けられる。
シャフトの一端がケーシングに設けられた転がり軸受に
よって支持され、転がり軸受の近傍外側にオイルシール
が設けられる。
【0010】バキュームポンプにおいて、好ましくは、
潤滑油貯留室の圧力が、1平方cm当たり約0.5kg
f以上である。
潤滑油貯留室の圧力が、1平方cm当たり約0.5kg
f以上である。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるバキュームポ
ンプの実施形態について添付図面を参照して説明する。
ンプの実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0012】図1から図3を参照して第1実施形態であ
るバキュームポンプの構成を説明する。バキュームポン
プはカップ状のケーシング10を備えている。このケー
シング10には空気を吸い込む吸入口14と、潤滑油が
供給される給油口16と、空気と潤滑油を排出する吐出
口18とが設けられている。
るバキュームポンプの構成を説明する。バキュームポン
プはカップ状のケーシング10を備えている。このケー
シング10には空気を吸い込む吸入口14と、潤滑油が
供給される給油口16と、空気と潤滑油を排出する吐出
口18とが設けられている。
【0013】ケーシング10の開口側は、円盤状のプレ
ート12によって閉塞される。プレート12はボルト1
9によってケーシング10に取り付けられる。ケーシン
グ10側のプレート12の側面12aには液状ガスケッ
トが塗布され、ケーシング10とプレート12との気密
性を高めている。開口部には、液状ガスケットのポンプ
室内への流入を防止するために輪形の溝13が設けられ
る。
ート12によって閉塞される。プレート12はボルト1
9によってケーシング10に取り付けられる。ケーシン
グ10側のプレート12の側面12aには液状ガスケッ
トが塗布され、ケーシング10とプレート12との気密
性を高めている。開口部には、液状ガスケットのポンプ
室内への流入を防止するために輪形の溝13が設けられ
る。
【0014】ケーシング10の内部には、円筒内壁であ
るケーシング内周面10bの径より小さい径を有する円
筒状のロータ30が偏心して設けられる。ロータ30は
平行する2つの側面35,37を有する。側面35,3
7が内側で陥没した形状を有している。側面35、37
において、輪状の外縁部35a,37aがそれぞれケー
シング側面10a、プレート側面12aに接しており、
ロータ30の軸方向の動きが規制される。ロータ30の
内部にはケーシング側面10aとプレート側面12aと
によって潤滑油貯留室60が区画形成される。
るケーシング内周面10bの径より小さい径を有する円
筒状のロータ30が偏心して設けられる。ロータ30は
平行する2つの側面35,37を有する。側面35,3
7が内側で陥没した形状を有している。側面35、37
において、輪状の外縁部35a,37aがそれぞれケー
シング側面10a、プレート側面12aに接しており、
ロータ30の軸方向の動きが規制される。ロータ30の
内部にはケーシング側面10aとプレート側面12aと
によって潤滑油貯留室60が区画形成される。
【0015】プレート12と反対側に位置するケーシン
グ10の壁部には、軸受20が一体的に形成される。軸
受20にはシャフト24に嵌合する軸受穴22が設けら
れ、この軸受穴22によりシャフト24が回転自在に支
持される。シャフト24はポンプを駆動するためのギア
23が一体的に形成される。シャフト24は軸受穴22
側からケーシング10に収納されたロータ30の中央へ
圧入される。即ちシャフト24のラジアル軸受はケーシ
ング10による片持ち構造であり、スラスト軸受はロー
タ30及びケーシング側面10a、プレート側面12a
が兼ねる。
グ10の壁部には、軸受20が一体的に形成される。軸
受20にはシャフト24に嵌合する軸受穴22が設けら
れ、この軸受穴22によりシャフト24が回転自在に支
持される。シャフト24はポンプを駆動するためのギア
23が一体的に形成される。シャフト24は軸受穴22
側からケーシング10に収納されたロータ30の中央へ
圧入される。即ちシャフト24のラジアル軸受はケーシ
ング10による片持ち構造であり、スラスト軸受はロー
タ30及びケーシング側面10a、プレート側面12a
が兼ねる。
【0016】ロータ30には径方向に摺動可能な板状の
2枚のベーン34、36が保持される。ロータ30の外
周面、ベーン34、36、ケーシング10、プレート側
面12aにより3つのポンプ室40が形成される。ケー
シングに設けられた吸入口14と、給油口16、及び吐
出口18はそれぞれいずれかのポンプ室40に通じてい
る。給油口16は油穴42を介して圧力調節室60に通
じ、油穴44を介してシャフト24側に通じている。
2枚のベーン34、36が保持される。ロータ30の外
周面、ベーン34、36、ケーシング10、プレート側
面12aにより3つのポンプ室40が形成される。ケー
シングに設けられた吸入口14と、給油口16、及び吐
出口18はそれぞれいずれかのポンプ室40に通じてい
る。給油口16は油穴42を介して圧力調節室60に通
じ、油穴44を介してシャフト24側に通じている。
【0017】図4にベーン34の拡大図を示す。ベーン
34は板状に形成され、ケーシング内周面10bと摺接
する先端面50が丸み付け処理加工されている。側面5
8はロータ30の径方向溝46内に係合する。端面51
はプレート側面12a(及びケーシング側面10a)と
摺接し、潤滑油が保持可能な凹部52が設けられる。凹
部52は端面51の外周に平行に設けられる。先端面5
0側の曲面部54は円弧状であり、反対側の開口部56
で開口している。即ち凹部52は潤滑油貯留室60に連
通している。なお、ベーン36はベーン34と同様の構
成である。
34は板状に形成され、ケーシング内周面10bと摺接
する先端面50が丸み付け処理加工されている。側面5
8はロータ30の径方向溝46内に係合する。端面51
はプレート側面12a(及びケーシング側面10a)と
摺接し、潤滑油が保持可能な凹部52が設けられる。凹
部52は端面51の外周に平行に設けられる。先端面5
0側の曲面部54は円弧状であり、反対側の開口部56
で開口している。即ち凹部52は潤滑油貯留室60に連
通している。なお、ベーン36はベーン34と同様の構
成である。
【0018】図5には、バキュームポンプの軸受におけ
る第2実施形態を示す。図5において、軸受は転がり軸
受80である。他の部分は第1実施形態と実質的に同一
であり、ここでは詳述しない。ギアシャフト82は転が
り軸受80の内輪84に圧入保持され、外輪86はケー
シング94内にすきまばめされる。内輪84と外輪86
との間隙にボール88が回転自在に保持される。転がり
軸受80はC形止め輪90により軸方向に位置決めされ
る。C形止め輪90のさらに外側には、転がり軸受80
からの潤滑油洩れを防止するためにオイルシール92が
設けられ、ギアシャフト82とオイルシールリップ94
との間で回転密封される。
る第2実施形態を示す。図5において、軸受は転がり軸
受80である。他の部分は第1実施形態と実質的に同一
であり、ここでは詳述しない。ギアシャフト82は転が
り軸受80の内輪84に圧入保持され、外輪86はケー
シング94内にすきまばめされる。内輪84と外輪86
との間隙にボール88が回転自在に保持される。転がり
軸受80はC形止め輪90により軸方向に位置決めされ
る。C形止め輪90のさらに外側には、転がり軸受80
からの潤滑油洩れを防止するためにオイルシール92が
設けられ、ギアシャフト82とオイルシールリップ94
との間で回転密封される。
【0019】次にバキュームポンプの作用について説明
する。シャフト24と一体形成されたギア23が回転す
るとシャフト24を介してロータ30にA方向(図2)
の回転が与えられる。ロータ30の回転による遠心力に
よってベーン34、36が飛び出し、ベーン先端50が
ケーシング内周面10bに摺接するように径方向に移動
する。ポンプ室40はロータ30の回転により吸入口1
4から空気を吸い込み、吐出口18へ排出することによ
り吸入口14側に負圧を発生させる。吐出口18付近の
圧力は最大時1平方cm当たり約0. 4kgfである。
する。シャフト24と一体形成されたギア23が回転す
るとシャフト24を介してロータ30にA方向(図2)
の回転が与えられる。ロータ30の回転による遠心力に
よってベーン34、36が飛び出し、ベーン先端50が
ケーシング内周面10bに摺接するように径方向に移動
する。ポンプ室40はロータ30の回転により吸入口1
4から空気を吸い込み、吐出口18へ排出することによ
り吸入口14側に負圧を発生させる。吐出口18付近の
圧力は最大時1平方cm当たり約0. 4kgfである。
【0020】潤滑油は外部から給油口16に圧送され
る。給油口16から一方は油穴44を介して軸受部20
に、他方は油穴42を介してロータ30の潤滑油貯留室
60へ圧送される。潤滑油貯留室60の油圧及び油量
は、供給油圧と油穴42によって制御される。シャフト
24の軸受20はケーシング10による直軸受であるた
め、シャフト24と軸受穴22とのクリアランスを小さ
く定めることができ、油穴44から軸受穴22への潤滑
油の供給量を減らすことができる。従って油圧が制御し
やすく、ロータの潤滑油貯留室60内の圧力を一定値以
上に加圧することができる。
る。給油口16から一方は油穴44を介して軸受部20
に、他方は油穴42を介してロータ30の潤滑油貯留室
60へ圧送される。潤滑油貯留室60の油圧及び油量
は、供給油圧と油穴42によって制御される。シャフト
24の軸受20はケーシング10による直軸受であるた
め、シャフト24と軸受穴22とのクリアランスを小さ
く定めることができ、油穴44から軸受穴22への潤滑
油の供給量を減らすことができる。従って油圧が制御し
やすく、ロータの潤滑油貯留室60内の圧力を一定値以
上に加圧することができる。
【0021】潤滑油貯留室60の潤滑油の圧力はポンプ
室40の圧力より高く保たれているため、潤滑油はロー
タ側面35,37側からポンプ室40側へ流出する。即
ち潤滑油貯留室60からベーンの凹部52に潤滑油が供
給されると、凹部52で一時的に保持される。ベーン3
4、36がロータの回転に伴い径方向に摺動すると、潤
滑油はベーン34、36、ロータ30などの周囲に拡散
し油膜を形成する。その後潤滑油は空気とともに吐出口
18から排出される。
室40の圧力より高く保たれているため、潤滑油はロー
タ側面35,37側からポンプ室40側へ流出する。即
ち潤滑油貯留室60からベーンの凹部52に潤滑油が供
給されると、凹部52で一時的に保持される。ベーン3
4、36がロータの回転に伴い径方向に摺動すると、潤
滑油はベーン34、36、ロータ30などの周囲に拡散
し油膜を形成する。その後潤滑油は空気とともに吐出口
18から排出される。
【0022】ロータ側面35,37と、ベーン34、3
6との摺動面は加圧潤滑されるので、ロータ30とケー
シング10、あるいはロータ30とベーン34、36と
のクリアランスに十分な油膜を形成し、ポンプ室40を
シールすることができる。従ってこれらの加工精度が下
げることができ、製造工程が簡素化する。ベーン34、
36は潤滑油貯留室60が高圧なため強制的にロータ3
0から飛び出し、ロータ30の低回転時においてもベー
ン34、36が必ずケーシング内周面10bに摺接す
る。
6との摺動面は加圧潤滑されるので、ロータ30とケー
シング10、あるいはロータ30とベーン34、36と
のクリアランスに十分な油膜を形成し、ポンプ室40を
シールすることができる。従ってこれらの加工精度が下
げることができ、製造工程が簡素化する。ベーン34、
36は潤滑油貯留室60が高圧なため強制的にロータ3
0から飛び出し、ロータ30の低回転時においてもベー
ン34、36が必ずケーシング内周面10bに摺接す
る。
【0023】十分な油膜の形成によってケーシング1
0、ロータ30、ベーン34、36などの摺動部の摩耗
低下が防止され、バキュームポンプの信頼性が向上す
る。さらに潤滑油の必要量は少なくなるので、ポンプ室
40内において潤滑油の占める容積が少なくなる分バキ
ュームポンプの効率が高まり、またオイルによる駆動抵
抗が小さくなるので、駆動トルクが小さくてすむ効率の
良いバキュームポンプが得られる。
0、ロータ30、ベーン34、36などの摺動部の摩耗
低下が防止され、バキュームポンプの信頼性が向上す
る。さらに潤滑油の必要量は少なくなるので、ポンプ室
40内において潤滑油の占める容積が少なくなる分バキ
ュームポンプの効率が高まり、またオイルによる駆動抵
抗が小さくなるので、駆動トルクが小さくてすむ効率の
良いバキュームポンプが得られる。
【0024】
【発明の効果】本発明によると、ポンプ室内のシール性
を向上させると共に、潤滑油の供給量を減らすことがで
きるバキュームポンプを提供することができる。
を向上させると共に、潤滑油の供給量を減らすことがで
きるバキュームポンプを提供することができる。
【図1】本発明による第1実施形態であるバキュームポ
ンプの横断面図であって、図2のII−II線における
図である。
ンプの横断面図であって、図2のII−II線における
図である。
【図2】図1に示すバキュームポンプのI−I線におけ
る縦断面図である。
る縦断面図である。
【図3】図1に示すバキュームポンプの分解斜視図であ
る。
る。
【図4】図1に示すバキュームポンプのベーンを示す斜
視図である。
視図である。
【図5】本発明による第2実施形態であるバキュームポ
ンプの軸受を示す部分拡大横断面図である。
ンプの軸受を示す部分拡大横断面図である。
10 ケーシング 12 プレート 14 吸入口 16 給油口 18 吐出口 24 シャフト 34、36 ベーン 40 ポンプ室 52 凹部
Claims (5)
- 【請求項1】 円筒内壁と吸入口と吐出口と潤滑油の給
油口とを有するケーシングと、シャフトを介して前記円
筒内壁に対して偏心して回転する円筒形のロータと、こ
のロータに設けた径方向のスリット溝内を前記円筒内壁
に摺接しながら進退動するベーンとを備え、前記円筒内
壁と前記ロータの外周面と、前記ベーンとによってポン
プ室が形成され、前記ロータの回転によって前記吸入口
に負圧を発生させるバキュームポンプであって、 前記給油口から前記円筒内壁及び前記シャフトの軸受部
へ連通する油孔を前記ケーシングに設け、前記ロータの
内部に形成された潤滑油貯留室内における圧力が、前記
ポンプ室内に発生する圧力の最大値より高く保たれるこ
とを特徴とするバキュームポンプ。 - 【請求項2】 前記軸受部が前記ケーシングに一体的に
形成されたすべり軸受であることを特徴とする請求項1
に記載のバキュームポンプ。 - 【請求項3】 前記ベーンが板状であって、このベーン
の両端面の中央に長手方向に沿って延びる凹部を設け、
この凹部がロータ中心側へのみ開口していることを特徴
とする請求項1および請求項2に記載のバキュームポン
プ。 - 【請求項4】 前記シャフトの一端がケーシングに設け
られた転がり軸受によって支持され、前記転がり軸受の
近傍外側にオイルシールが設けられることを特徴とする
請求項1に記載のバキュームポンプ。 - 【請求項5】 前記潤滑油貯留室の圧力が、1平方cm
当たり0.5kgf以上であることを特徴とする請求項
1および請求項4に記載のバキュームポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8275484A JPH10103268A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | バキュームポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8275484A JPH10103268A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | バキュームポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10103268A true JPH10103268A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17556173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8275484A Pending JPH10103268A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | バキュームポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10103268A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005256684A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Toyota Motor Corp | 気体用ベーンポンプおよびその運転方法 |
JP2013096345A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Hitachi Koki Co Ltd | 空気圧縮機 |
US11149730B2 (en) | 2018-07-11 | 2021-10-19 | Taiho Kogyo Co., Ltd. | Vane pump driven by an engine of an automobile |
-
1996
- 1996-09-26 JP JP8275484A patent/JPH10103268A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005256684A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Toyota Motor Corp | 気体用ベーンポンプおよびその運転方法 |
JP4733356B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2011-07-27 | トヨタ自動車株式会社 | 気体用ベーンポンプおよびその運転方法 |
JP2013096345A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Hitachi Koki Co Ltd | 空気圧縮機 |
US11149730B2 (en) | 2018-07-11 | 2021-10-19 | Taiho Kogyo Co., Ltd. | Vane pump driven by an engine of an automobile |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3622216B2 (ja) | 揺動型ロータリー圧縮機 | |
JPH031516B2 (ja) | ||
KR19990072320A (ko) | 베인-타입유체기계 | |
US7789641B2 (en) | Rotary blade compressor with eccentric axial biasing | |
JPS59108891A (ja) | 回転圧縮機 | |
JPH10103268A (ja) | バキュームポンプ | |
JPH09310687A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
CN212690341U (zh) | 一种无油螺杆压缩机密封结构 | |
KR0163121B1 (ko) | 스크롤형 유체기계 | |
JP2000345984A (ja) | 圧縮機 | |
JPH0849681A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
JPH1068393A (ja) | バキュームポンプ | |
JP4151996B2 (ja) | スクロール型圧縮機 | |
JPS6332997B2 (ja) | ||
JP2002310076A (ja) | スクロール圧縮機 | |
US4657493A (en) | Rotary-sleeve supporting apparatus in rotary compressor | |
JP2770732B2 (ja) | 無潤滑真空ポンプ | |
JPS647264Y2 (ja) | ||
JP7439647B2 (ja) | スクロール型圧縮機 | |
KR0118462B1 (ko) | 로타리 압축기 | |
JPS6347670Y2 (ja) | ||
JPH0893666A (ja) | スクロール型流体機械 | |
JPS6329182Y2 (ja) | ||
JPS6332998B2 (ja) | ||
JPS6244154Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |