JP2000161269A - ルーツポンプ及びポンプ装置 - Google Patents
ルーツポンプ及びポンプ装置Info
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- JP2000161269A JP2000161269A JP10337216A JP33721698A JP2000161269A JP 2000161269 A JP2000161269 A JP 2000161269A JP 10337216 A JP10337216 A JP 10337216A JP 33721698 A JP33721698 A JP 33721698A JP 2000161269 A JP2000161269 A JP 2000161269A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フットスペースの小型化を図り設置場所の容易
性を確保できるルーツポンプ及びポンプ装置を提供す
る。 【解決手段】各ロータ９〜１２が縦方向で順次作用して
いる。
性を確保できるルーツポンプ及びポンプ装置を提供す
る。 【解決手段】各ロータ９〜１２が縦方向で順次作用して
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ等の回転駆
動装置により駆動されるルーツポンプと、同回転駆動装
置及び同ルーツポンプを一体としたポンプ装置とに関す
る。
動装置により駆動されるルーツポンプと、同回転駆動装
置及び同ルーツポンプを一体としたポンプ装置とに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】市販の単段ポンプ装置では単段ルーツポ
ンプがモータと一体とされている。ここで、単段ルーツ
ポンプでは、ケーシング内に吸気口及び排気口を備えた
１個のポンプ室が構成されている。ポンプ室内には２個
で１組をなすロータが配置され、各ロータは互いに平行
な２本の軸上に装着されて互いに僅かな間隙を保持しつ
つ回転するようになっている。ケーシングでは、ポンプ
室の吸気口が開口されているとともに、排気口が開口さ
れている。また、単段ルーツポンプの各軸の一方には、
モータの駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸が連
結されている。そして、モータの駆動軸と連結された単
段ルーツポンプの一方の軸の先端には駆動ギアが固定さ
れ、この駆動ギアは単段ルーツポンプの他方の軸の先端
に固定された従動ギアと噛合されて回転を伝達するよう
になっている。
ンプがモータと一体とされている。ここで、単段ルーツ
ポンプでは、ケーシング内に吸気口及び排気口を備えた
１個のポンプ室が構成されている。ポンプ室内には２個
で１組をなすロータが配置され、各ロータは互いに平行
な２本の軸上に装着されて互いに僅かな間隙を保持しつ
つ回転するようになっている。ケーシングでは、ポンプ
室の吸気口が開口されているとともに、排気口が開口さ
れている。また、単段ルーツポンプの各軸の一方には、
モータの駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸が連
結されている。そして、モータの駆動軸と連結された単
段ルーツポンプの一方の軸の先端には駆動ギアが固定さ
れ、この駆動ギアは単段ルーツポンプの他方の軸の先端
に固定された従動ギアと噛合されて回転を伝達するよう
になっている。
【０００３】このような単段ポンプ装置を用いて例えば
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、単段ルー
ツポンプの吸気口をその室内に開口させるとともに、排
気口を大気等に開口させる。そして、モータにより単段
ルーツポンプを駆動する。これにより、単段ルーツポン
プのポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持し
つつ回転するため、単段ルーツポンプのポンプ室内にお
いてポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放
出してその室内を減圧室とすることが可能になる。
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、単段ルー
ツポンプの吸気口をその室内に開口させるとともに、排
気口を大気等に開口させる。そして、モータにより単段
ルーツポンプを駆動する。これにより、単段ルーツポン
プのポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持し
つつ回転するため、単段ルーツポンプのポンプ室内にお
いてポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放
出してその室内を減圧室とすることが可能になる。
【０００４】また、市販の多段ポンプ装置では多段ルー
ツポンプがモータと一体とされている。ここで、多段ル
ーツポンプでは、ケーシング内にそれぞれ吸気口及び排
気口を備えた複数個のポンプ室がそれぞれ平行に構成さ
れている。各ポンプ室内には２個で１組をなすロータが
配置され、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着さ
れて互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するようになっ
ている。ケーシングでは、最前段のポンプ室の吸気口が
開口されている。また、前段のポンプ室と後段のポンプ
室との間には比較的軸長の長い隔壁が形成されており、
前段のポンプ室の排気口はその隔壁内をほぼ１８０°周
回しつつ後段のポンプ室の吸気口と順次接続されてい
る。そして、最後段のポンプ室の排気口が開口されてい
る。また、多段ルーツポンプの各軸の一方には、モータ
の駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸が連結され
ている。そして、モータの駆動軸と連結された多段ルー
ツポンプの一方の軸の先端には駆動ギアが固定され、こ
の駆動ギアは多段ルーツポンプの他方の軸の先端に固定
された従動ギアと噛合されて回転を伝達するようになっ
ている。
ツポンプがモータと一体とされている。ここで、多段ル
ーツポンプでは、ケーシング内にそれぞれ吸気口及び排
気口を備えた複数個のポンプ室がそれぞれ平行に構成さ
れている。各ポンプ室内には２個で１組をなすロータが
配置され、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着さ
れて互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するようになっ
ている。ケーシングでは、最前段のポンプ室の吸気口が
開口されている。また、前段のポンプ室と後段のポンプ
室との間には比較的軸長の長い隔壁が形成されており、
前段のポンプ室の排気口はその隔壁内をほぼ１８０°周
回しつつ後段のポンプ室の吸気口と順次接続されてい
る。そして、最後段のポンプ室の排気口が開口されてい
る。また、多段ルーツポンプの各軸の一方には、モータ
の駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸が連結され
ている。そして、モータの駆動軸と連結された多段ルー
ツポンプの一方の軸の先端には駆動ギアが固定され、こ
の駆動ギアは多段ルーツポンプの他方の軸の先端に固定
された従動ギアと噛合されて回転を伝達するようになっ
ている。
【０００５】このような多段ポンプ装置を用いて例えば
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、多段ルー
ツポンプにおいて、最前段のポンプ室の吸気口をその室
内に開口させるとともに、最後段のポンプ室の排気口を
大気等に開口させる。そして、モータにより多段ルーツ
ポンプを駆動する。これにより、多段ルーツポンプの各
ポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持しつつ
回転するため、各ポンプ室内において順次ポンプ作用が
行われ、その室内の空気を大気等に放出してその室内を
減圧室とすることが可能になる。
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、多段ルー
ツポンプにおいて、最前段のポンプ室の吸気口をその室
内に開口させるとともに、最後段のポンプ室の排気口を
大気等に開口させる。そして、モータにより多段ルーツ
ポンプを駆動する。これにより、多段ルーツポンプの各
ポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持しつつ
回転するため、各ポンプ室内において順次ポンプ作用が
行われ、その室内の空気を大気等に放出してその室内を
減圧室とすることが可能になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、通常の上記単
段及び多段のポンプ装置では、駆動ギア及び従動ギアの
潤滑性を考慮し、複数の軸を横方向（水平方向）に配置
することにより各ロータを横方向で順次作用させてい
る。このため、これらのポンプ装置では、設置場所（フ
ットスペース）の大型化から、設置の困難性を招来して
しまう。
段及び多段のポンプ装置では、駆動ギア及び従動ギアの
潤滑性を考慮し、複数の軸を横方向（水平方向）に配置
することにより各ロータを横方向で順次作用させてい
る。このため、これらのポンプ装置では、設置場所（フ
ットスペース）の大型化から、設置の困難性を招来して
しまう。
【０００７】本発明は、上記従来の実状に鑑みてなされ
たものであって、フットスペースの減少を図ることによ
り設置の容易性を確保できるルーツポンプ及びポンプ装
置を提供することを解決課題としている。
たものであって、フットスペースの減少を図ることによ
り設置の容易性を確保できるルーツポンプ及びポンプ装
置を提供することを解決課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のルーツポンプ
は、吸気口及び排気口を備えた少なくとも１個のポンプ
室を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、
互いに平行な複数の軸上に装着されて互いに僅かな間隙
を保持しつつ回転するロータとを有するルーツポンプに
おいて、前記ロータは２個以上で１組をなし、各該ロー
タは縦方向で順次作用していることを特徴とする。
は、吸気口及び排気口を備えた少なくとも１個のポンプ
室を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、
互いに平行な複数の軸上に装着されて互いに僅かな間隙
を保持しつつ回転するロータとを有するルーツポンプに
おいて、前記ロータは２個以上で１組をなし、各該ロー
タは縦方向で順次作用していることを特徴とする。
【０００９】このルーツポンプでは、複数の軸を縦方向
（鉛直方向）に配置することにより各ロータを縦方向で
順次作用させている。このため、このルーツポンプは、
各ロータを横方向で順次作用させた従来のものに比較し
て、フットスペースの減少を図ることができる。また、
本発明のポンプ装置は、本発明のルーツポンプに、駆動
本体と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸と
を有する回転駆動装置が隣接して設けられ、該ルーツポ
ンプと該回転駆動装置との間には、該回転駆動装置の該
駆動軸に固定された駆動ギアと、該ルーツポンプの各該
軸に固定され、該駆動ギアにより従動する従動ギアとか
らなるタイミングギア列が設けられていることを特徴と
する。
（鉛直方向）に配置することにより各ロータを縦方向で
順次作用させている。このため、このルーツポンプは、
各ロータを横方向で順次作用させた従来のものに比較し
て、フットスペースの減少を図ることができる。また、
本発明のポンプ装置は、本発明のルーツポンプに、駆動
本体と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸と
を有する回転駆動装置が隣接して設けられ、該ルーツポ
ンプと該回転駆動装置との間には、該回転駆動装置の該
駆動軸に固定された駆動ギアと、該ルーツポンプの各該
軸に固定され、該駆動ギアにより従動する従動ギアとか
らなるタイミングギア列が設けられていることを特徴と
する。
【００１０】このポンプ装置は本発明のルーツポンプを
モータ等の回転駆動装置と一体としている。このポンプ
装置では、回転駆動装置の駆動軸から伝達される駆動力
は、駆動ギア及び従動ギアからなるタイミングギア列並
びに各軸で各ロータの回転に変換されることとなる。モ
ータ等の回転駆動装置とタイミングギア列とが近接され
ているため、ルーツポンプにおいて各軸のねじれの影響
を受けにくいことから、回転駆動装置の駆動力がそれぞ
れのポンプ室内において全てのロータの回転に変換され
やすく、ポンプ作用が滑らかに行われやすい。
モータ等の回転駆動装置と一体としている。このポンプ
装置では、回転駆動装置の駆動軸から伝達される駆動力
は、駆動ギア及び従動ギアからなるタイミングギア列並
びに各軸で各ロータの回転に変換されることとなる。モ
ータ等の回転駆動装置とタイミングギア列とが近接され
ているため、ルーツポンプにおいて各軸のねじれの影響
を受けにくいことから、回転駆動装置の駆動力がそれぞ
れのポンプ室内において全てのロータの回転に変換され
やすく、ポンプ作用が滑らかに行われやすい。
【００１１】こうして、ルーツポンプを回転駆動装置と
一体とした本発明のポンプ装置は、下端に位置して潤滑
油に少なくとも一部が浸漬可能な駆動ギア又は従動ギア
からなる下端ギアが金属製であり、該下端ギアより上方
に位置する従動ギア又は駆動ギアからなる上方ギアが異
材質で順次従動すべく構成されていることを特徴とす
る。
一体とした本発明のポンプ装置は、下端に位置して潤滑
油に少なくとも一部が浸漬可能な駆動ギア又は従動ギア
からなる下端ギアが金属製であり、該下端ギアより上方
に位置する従動ギア又は駆動ギアからなる上方ギアが異
材質で順次従動すべく構成されていることを特徴とす
る。
【００１２】このため、各ロータを縦方向で順次作用さ
せて上方ギアを潤滑油に浸漬しなくても、上方ギアの潤
滑性に不具合を生じない。そして、上方ギアは異材質で
順次従動すべく構成されている。例えば金属製の下端ギ
アと噛合する上方ギアとしては樹脂製のものが用いら
れ、この上方ギアと噛合する上方ギアとしては金属製の
ものが用いられ得る。このため、このポンプ装置では、
金属同士の噛み合わせでないため、作動時の騒音を小さ
くすることができる。また、樹脂同士の噛み合わせでな
いため、強度に懸念がなく、熱膨張によるロータ間の間
隙変化によるポンプ性能低下の懸念もない。
せて上方ギアを潤滑油に浸漬しなくても、上方ギアの潤
滑性に不具合を生じない。そして、上方ギアは異材質で
順次従動すべく構成されている。例えば金属製の下端ギ
アと噛合する上方ギアとしては樹脂製のものが用いら
れ、この上方ギアと噛合する上方ギアとしては金属製の
ものが用いられ得る。このため、このポンプ装置では、
金属同士の噛み合わせでないため、作動時の騒音を小さ
くすることができる。また、樹脂同士の噛み合わせでな
いため、強度に懸念がなく、熱膨張によるロータ間の間
隙変化によるポンプ性能低下の懸念もない。
【００１３】また、本発明のポンプ装置は、ポンプ室が
複数個である場合、最前段の該ポンプ室の吸気口はタイ
ミングギア列から最も遠い位置で開口され、最後段の該
ポンプ室の排気口は該タイミングギア列に最も近い位置
で開口されてなることを特徴とする。こうであれば、最
前段のポンプ室の吸気口が開口される室内等にタイミン
グギア列の潤滑油が飛散しにくく、その室内等について
環境を好適に維持しつつ減圧できる。
複数個である場合、最前段の該ポンプ室の吸気口はタイ
ミングギア列から最も遠い位置で開口され、最後段の該
ポンプ室の排気口は該タイミングギア列に最も近い位置
で開口されてなることを特徴とする。こうであれば、最
前段のポンプ室の吸気口が開口される室内等にタイミン
グギア列の潤滑油が飛散しにくく、その室内等について
環境を好適に維持しつつ減圧できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態１、２を図面を参照しつつ説明する。 （実施形態１）この多段ポンプ装置では、図１に示すよ
うに、多段ルーツポンプＰがモータＭと一体とされてい
る。ここで、多段ルーツポンプＰでは、第１〜６シリン
ダブロック１〜６が間にＯリングを介在させつつ順次積
層され、これらは第１シリンダブロック１側に設けた前
面プレート１ｃとともに図示しない通しボルトにより締
結されている。これら第１〜６シリンダブロック１〜６
及び前面プレート１ｃがケーシングの一部を構成してい
る。
態１、２を図面を参照しつつ説明する。 （実施形態１）この多段ポンプ装置では、図１に示すよ
うに、多段ルーツポンプＰがモータＭと一体とされてい
る。ここで、多段ルーツポンプＰでは、第１〜６シリン
ダブロック１〜６が間にＯリングを介在させつつ順次積
層され、これらは第１シリンダブロック１側に設けた前
面プレート１ｃとともに図示しない通しボルトにより締
結されている。これら第１〜６シリンダブロック１〜６
及び前面プレート１ｃがケーシングの一部を構成してい
る。
【００１５】第１〜５シリンダブロック１〜５にはそれ
ぞれ水平な２本の軸孔が上下で互いに平行をなして貫設
されており、各軸孔には第１軸７及び第２軸８が収容さ
れている。第１シリンダブロック１の各軸孔内には第
１、２軸７、８を軸支する軸受装置１ａ、１ｂが設けら
れ、これらは前面プレート１ｃにより覆われている。第
２シリンダブロック２には、図２にも示すように、１個
のポンプ室２ａが前方から凹設されており、ポンプ室２
ａ回りには上記Ｏリングを収容する溝が凹設されてい
る。ポンプ室２ａ内には、下方に位置する第１軸７に装
着された第１ロータ９と、上方に位置する第２軸８に装
着された第２ロータ１０とが配置されている。第１、２
ロータ９、１０はそれぞれ互いに僅かな間隙を保持しつ
つ回転するようになっている。第２シリンダブロック２
には、ポンプ室２ａと連通し、第１、２ロータ９、１０
の回転により空気を吸入する吸気口２ｂと、空気を排出
する排気口２ｃとが水平に貫設されている。
ぞれ水平な２本の軸孔が上下で互いに平行をなして貫設
されており、各軸孔には第１軸７及び第２軸８が収容さ
れている。第１シリンダブロック１の各軸孔内には第
１、２軸７、８を軸支する軸受装置１ａ、１ｂが設けら
れ、これらは前面プレート１ｃにより覆われている。第
２シリンダブロック２には、図２にも示すように、１個
のポンプ室２ａが前方から凹設されており、ポンプ室２
ａ回りには上記Ｏリングを収容する溝が凹設されてい
る。ポンプ室２ａ内には、下方に位置する第１軸７に装
着された第１ロータ９と、上方に位置する第２軸８に装
着された第２ロータ１０とが配置されている。第１、２
ロータ９、１０はそれぞれ互いに僅かな間隙を保持しつ
つ回転するようになっている。第２シリンダブロック２
には、ポンプ室２ａと連通し、第１、２ロータ９、１０
の回転により空気を吸入する吸気口２ｂと、空気を排出
する排気口２ｃとが水平に貫設されている。
【００１６】図１に示す第４シリンダブロック４にも、
図４に示すように、１個の同様のポンプ室４ａが前方か
ら凹設され、ポンプ室４ａ内には同様の第１、２ロータ
１１、１２が配置されている。また、第４シリンダブロ
ック４には、同様の吸気口４ｂ及び排気口４ｃが水平に
貫設されている。但し、第２シリンダブロック２による
前段のポンプ室２ａの軸長の方が第４シリンダブロック
４による後段のポンプ室４ａの軸長よりも長い。また、
これら各ポンプ室２ａ、４ａの軸長に合わせて第１、２
ロータ９〜１２の軸長も異なっている。
図４に示すように、１個の同様のポンプ室４ａが前方か
ら凹設され、ポンプ室４ａ内には同様の第１、２ロータ
１１、１２が配置されている。また、第４シリンダブロ
ック４には、同様の吸気口４ｂ及び排気口４ｃが水平に
貫設されている。但し、第２シリンダブロック２による
前段のポンプ室２ａの軸長の方が第４シリンダブロック
４による後段のポンプ室４ａの軸長よりも長い。また、
これら各ポンプ室２ａ、４ａの軸長に合わせて第１、２
ロータ９〜１２の軸長も異なっている。
【００１７】図１に示す第３シリンダブロック３には、
図３に示すように、エア通路３ａが水平に貫設されてい
る。図１に示す第５シリンダブロック５の各軸孔内に
は、第１、２軸７、８を軸支する軸受装置５ａ、５ｂが
設けられている。第６シリンダブロック６には、図１及
び図５に示すように、ギア室６ａが前方から凹設されて
おり、ギア室６ａ回りには上記Ｏリングを収容する溝が
凹設されている。ギア室６ａ内では、第１軸７に鋼製の
駆動ギア（下端ギア）１３が固定されている。また、第
２軸８にはナイロン製の従動ギア（上方ギア）１４が固
定されている。従動ギア１４は、駆動ギア１３と噛合
し、駆動ギア１３とともにタイミングギア列を構成して
いる。また、第６シリンダブロック６には図示しないボ
ルトによりモータＭの駆動本体２０が固定され、第１軸
７は駆動本体２０から突出して回転駆動するモータＭの
駆動軸と図示しない継手により連結されている。ギア室
６ａの下部には、駆動ギア１３の下部を浸漬する潤滑油
がギア室６ａの底面からｈの高さまで封入されている。
図３に示すように、エア通路３ａが水平に貫設されてい
る。図１に示す第５シリンダブロック５の各軸孔内に
は、第１、２軸７、８を軸支する軸受装置５ａ、５ｂが
設けられている。第６シリンダブロック６には、図１及
び図５に示すように、ギア室６ａが前方から凹設されて
おり、ギア室６ａ回りには上記Ｏリングを収容する溝が
凹設されている。ギア室６ａ内では、第１軸７に鋼製の
駆動ギア（下端ギア）１３が固定されている。また、第
２軸８にはナイロン製の従動ギア（上方ギア）１４が固
定されている。従動ギア１４は、駆動ギア１３と噛合
し、駆動ギア１３とともにタイミングギア列を構成して
いる。また、第６シリンダブロック６には図示しないボ
ルトによりモータＭの駆動本体２０が固定され、第１軸
７は駆動本体２０から突出して回転駆動するモータＭの
駆動軸と図示しない継手により連結されている。ギア室
６ａの下部には、駆動ギア１３の下部を浸漬する潤滑油
がギア室６ａの底面からｈの高さまで封入されている。
【００１８】第２〜４シリンダブロック２〜４の側面に
は、図２〜４及び図６に示すように、ガスケット１８、
１９を介して第１、２側面プレート１６、１７が図示し
ないボルトにより締結されている。これら第１、２側面
プレート１６、１７がケーシングの残部を構成してい
る。図２、図３及び図６に示すように、第２プレート１
７には第２シリンダブロック２の吸気口２ｂと連通する
吸気口１７ａが水平に貫設され、第１プレート１６には
第２シリンダブロック２の排気口２ｃ及び第３シリンダ
ブロック３のエア通路３ａと連通する連通溝１６ａが凹
設されている。また、図３、図４及び図６に示すよう
に、第２プレート１７には第３シリンダブロック３のエ
ア通路３ａ及び第４シリンダブロック４の吸気口４ｂと
連通する連通溝１７ｂが凹設され、第１プレート１６に
は第４シリンダブロック４の排気口４ｃと連通する排気
口１６ｂが水平に貫設されている。
は、図２〜４及び図６に示すように、ガスケット１８、
１９を介して第１、２側面プレート１６、１７が図示し
ないボルトにより締結されている。これら第１、２側面
プレート１６、１７がケーシングの残部を構成してい
る。図２、図３及び図６に示すように、第２プレート１
７には第２シリンダブロック２の吸気口２ｂと連通する
吸気口１７ａが水平に貫設され、第１プレート１６には
第２シリンダブロック２の排気口２ｃ及び第３シリンダ
ブロック３のエア通路３ａと連通する連通溝１６ａが凹
設されている。また、図３、図４及び図６に示すよう
に、第２プレート１７には第３シリンダブロック３のエ
ア通路３ａ及び第４シリンダブロック４の吸気口４ｂと
連通する連通溝１７ｂが凹設され、第１プレート１６に
は第４シリンダブロック４の排気口４ｃと連通する排気
口１６ｂが水平に貫設されている。
【００１９】以上のように構成された多段ポンプ装置を
用いて例えばある室内を真空引きして減圧室としたい場
合、多段ルーツポンプＰにおいて、図６に示すように、
ホース等を介して第２プレート１７の吸気口１７ａをそ
の室内に開口させるとともに、ホース等を介して第１プ
レート１６の排気口１６ｂを大気等に開口させる。そし
て、モータＭにより多段ルーツポンプＰを駆動する。こ
れにより、多段ルーツポンプＰの各ポンプ室２ａ、４ａ
内で第１、２ロータ９〜１２が互いに僅かな間隙を保持
しつつ回転するため、各ポンプ室２ａ、４ａ内において
順次ポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放
出してその室内を減圧室とすることが可能になる。
用いて例えばある室内を真空引きして減圧室としたい場
合、多段ルーツポンプＰにおいて、図６に示すように、
ホース等を介して第２プレート１７の吸気口１７ａをそ
の室内に開口させるとともに、ホース等を介して第１プ
レート１６の排気口１６ｂを大気等に開口させる。そし
て、モータＭにより多段ルーツポンプＰを駆動する。こ
れにより、多段ルーツポンプＰの各ポンプ室２ａ、４ａ
内で第１、２ロータ９〜１２が互いに僅かな間隙を保持
しつつ回転するため、各ポンプ室２ａ、４ａ内において
順次ポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放
出してその室内を減圧室とすることが可能になる。
【００２０】この間、この多段ポンプ装置では、モータ
Ｍの駆動軸から伝達される駆動力は、駆動ギア１３及び
従動ギア１４からなるタイミングギア列並びに第１、２
軸７、８で各ロータ９〜１２の回転に変換されることと
なる。モータＭとタイミングギア列とが近接されている
ため、多段ルーツポンプＰにおいて第１、２軸７、８の
ねじれの影響を受けにくいことから、モータＭの駆動力
がそれぞれのポンプ室２ａ、４ａ内において全てのロー
タ９〜１２の回転に変換されやすく、ポンプ作用が滑ら
かに行われやすい。
Ｍの駆動軸から伝達される駆動力は、駆動ギア１３及び
従動ギア１４からなるタイミングギア列並びに第１、２
軸７、８で各ロータ９〜１２の回転に変換されることと
なる。モータＭとタイミングギア列とが近接されている
ため、多段ルーツポンプＰにおいて第１、２軸７、８の
ねじれの影響を受けにくいことから、モータＭの駆動力
がそれぞれのポンプ室２ａ、４ａ内において全てのロー
タ９〜１２の回転に変換されやすく、ポンプ作用が滑ら
かに行われやすい。
【００２１】また、この多段ポンプ装置では、第１、２
軸７、８を縦方向に配置することにより各ロータ９〜１
２を縦方向で順次作用させているため、各ロータを横方
向で順次作用させた従来のものに比較して、フットスペ
ースの減少を図ることができ、設置の容易性を確保する
ことができる。さらに、この多段ポンプ装置では、タイ
ミングギア列における駆動ギア１３の下部が潤滑油に浸
漬し、駆動ギア１３で巻き上げられた潤滑油が従動ギア
１４に供給されることとなる。このため、各ロータ９〜
１２を縦方向で順次作用させ、ギア室６ａの底面からｈ
の高さまでしか潤滑油を封入せずに従動ギア１４を潤滑
油に浸漬しなくても、従動ギア１４の潤滑性に不具合を
生じない。そして、鋼製の駆動ギア１３と噛合する従動
ギア１４としてナイロン製のものを用い、これらが金属
同士の噛み合わせでないため、作動時の騒音を小さくす
ることができる。また、樹脂同士の噛み合わせでもない
ため、強度に懸念がなく、熱膨張によるロータ９〜１２
間の間隙変化によるポンプ性能低下の懸念もない。
軸７、８を縦方向に配置することにより各ロータ９〜１
２を縦方向で順次作用させているため、各ロータを横方
向で順次作用させた従来のものに比較して、フットスペ
ースの減少を図ることができ、設置の容易性を確保する
ことができる。さらに、この多段ポンプ装置では、タイ
ミングギア列における駆動ギア１３の下部が潤滑油に浸
漬し、駆動ギア１３で巻き上げられた潤滑油が従動ギア
１４に供給されることとなる。このため、各ロータ９〜
１２を縦方向で順次作用させ、ギア室６ａの底面からｈ
の高さまでしか潤滑油を封入せずに従動ギア１４を潤滑
油に浸漬しなくても、従動ギア１４の潤滑性に不具合を
生じない。そして、鋼製の駆動ギア１３と噛合する従動
ギア１４としてナイロン製のものを用い、これらが金属
同士の噛み合わせでないため、作動時の騒音を小さくす
ることができる。また、樹脂同士の噛み合わせでもない
ため、強度に懸念がなく、熱膨張によるロータ９〜１２
間の間隙変化によるポンプ性能低下の懸念もない。
【００２２】また、この多段ポンプ装置では、前段のポ
ンプ室２ａの吸気口２ｂがタイミングギア列から最も遠
い位置で開口され、後段のポンプ室４ａの排気口４ｃが
タイミングギア列に最も近い位置で開口されているた
め、前段のポンプ室２ａの吸気口２ｂが開口される室内
等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、その室
内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。 （実施形態２）この多段ポンプ装置では、図７に示すよ
うに、３個で１組をなすロータを採用している。この場
合、ギアシリンダブロック３０のギア室３０ａ内のタイ
ミングギア列は３個のギア３４〜３６からなる。すなわ
ち、第１軸３１に駆動ギア（下端ギア）３４が固定さ
れ、第２、３軸３２、３３に従動ギア（上方ギア）３
５、３６が固定され、これらのギア３４〜３６が順次斜
め縦方向に噛合する。従動ギア３５及び従動ギア３６が
鋼製であり、駆動ギア３４はナイロン製である。他の構
成は実施形態１と同様である。
ンプ室２ａの吸気口２ｂがタイミングギア列から最も遠
い位置で開口され、後段のポンプ室４ａの排気口４ｃが
タイミングギア列に最も近い位置で開口されているた
め、前段のポンプ室２ａの吸気口２ｂが開口される室内
等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、その室
内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。 （実施形態２）この多段ポンプ装置では、図７に示すよ
うに、３個で１組をなすロータを採用している。この場
合、ギアシリンダブロック３０のギア室３０ａ内のタイ
ミングギア列は３個のギア３４〜３６からなる。すなわ
ち、第１軸３１に駆動ギア（下端ギア）３４が固定さ
れ、第２、３軸３２、３３に従動ギア（上方ギア）３
５、３６が固定され、これらのギア３４〜３６が順次斜
め縦方向に噛合する。従動ギア３５及び従動ギア３６が
鋼製であり、駆動ギア３４はナイロン製である。他の構
成は実施形態１と同様である。
【００２３】この多段ポンプ装置においても実施形態１
と同様の作用効果を奏することができる。なお、本発明
は、ポンプ室が１個の単段ポンプ装置としたり、３個以
上の多段ポンプ装置としたりすることもできる。
と同様の作用効果を奏することができる。なお、本発明
は、ポンプ室が１個の単段ポンプ装置としたり、３個以
上の多段ポンプ装置としたりすることもできる。
【図１】実施形態１の多段ポンプ装置の縦断面図であ
る。
る。
【図２】実施形態１の多段ポンプ装置に係り、図１のＩ
Ｉ−ＩＩ矢視断面図である。
Ｉ−ＩＩ矢視断面図である。
【図３】実施形態１の多段ポンプ装置に係り、図１のＩ
ＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
ＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【図４】実施形態１の多段ポンプ装置に係り、図１のＩ
Ｖ−ＩＶ矢視断面図である。
Ｖ−ＩＶ矢視断面図である。
【図５】実施形態１の多段ポンプ装置に係り、図１のＶ
−Ｖ矢視断面図である。
−Ｖ矢視断面図である。
【図６】実施形態１の多段ポンプ装置の平面図である。
【図７】実施形態２の多段ポンプ装置に係り、図５と同
様の断面図である。
様の断面図である。
Ｐ…多段ルーツポンプ １７ａ、２ｂ、４ｂ…吸気口 ２ｃ、４ｃ、１６ｂ…排気口 ２ａ、４ａ…ポンプ室 ３ａ…エア通路 １〜６、１ｃ、１６、１７…ケーシング（１〜６…第１
〜６シリンダブロック、１ｃ…前面プレート、１６…第
１側面プレート、１７…第２側面プレート） ７、８…第１、２軸 ９〜１２…第１、２ロータ １６ａ、１７ｂ…連通溝 Ｍ…回転駆動装置（モータ） ２０…駆動本体 １３…駆動ギア（下端ギア） １４…従動ギア（上方ギア）
〜６シリンダブロック、１ｃ…前面プレート、１６…第
１側面プレート、１７…第２側面プレート） ７、８…第１、２軸 ９〜１２…第１、２ロータ １６ａ、１７ｂ…連通溝 Ｍ…回転駆動装置（モータ） ２０…駆動本体 １３…駆動ギア（下端ギア） １４…従動ギア（上方ギア）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星野 伸明 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 (72)発明者 内山 理 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA18 AB06 BB00 BB01 BB11 BB21 BB35 BB44 CC02 CC05 CC06 CC07 CC08 CC23 CC24 CC25 CC32 CC38 CC39
Claims (4)
- 【請求項１】吸気口及び排気口を備えた少なくとも１個
のポンプ室を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配
置され、互いに平行な複数の軸上に装着されて互いに僅
かな間隙を保持しつつ回転するロータとを有するルーツ
ポンプにおいて、 前記ロータは２個以上で１組をなし、各該ロータは縦方
向で順次作用していることを特徴とするルーツポンプ。 - 【請求項２】請求項１記載のルーツポンプには、駆動本
体と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸とを
有する回転駆動装置が隣接して設けられ、該ルーツポン
プと該回転駆動装置との間には、該回転駆動装置の該駆
動軸に固定された駆動ギアと、該ルーツポンプの各該軸
に固定され、該駆動ギアにより従動する従動ギアとから
なるタイミングギア列が設けられていることを特徴とす
るポンプ装置。 - 【請求項３】下端に位置して潤滑油に少なくとも一部が
浸漬可能な駆動ギア又は従動ギアからなる下端ギアは金
属製であり、該下端ギアより上方に位置する従動ギア又
は駆動ギアからなる上方ギアは異材質で順次従動すべく
構成されていることを特徴とする請求項２記載のポンプ
装置。 - 【請求項４】ポンプ室が複数個である場合、最前段の該
ポンプ室の吸気口はタイミングギア列から最も遠い位置
で開口され、最後段の該ポンプ室の排気口は該タイミン
グギア列に最も近い位置で開口されてなることを特徴と
する請求項２又は３記載のポンプ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10337216A JP2000161269A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | ルーツポンプ及びポンプ装置 |
| KR1019990031036A KR20000034894A (ko) | 1998-11-27 | 1999-07-29 | 루트펌프 및 펌프장치 |
| NL1013677A NL1013677C2 (nl) | 1998-11-27 | 1999-11-26 | Pompinrichting met een pomp van het Roots-type. |
| DE1999157024 DE19957024A1 (de) | 1998-11-27 | 1999-11-26 | Pumpeinrichtung mit einer Pumpe vom Roots-Typ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10337216A JP2000161269A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | ルーツポンプ及びポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000161269A true JP2000161269A (ja) | 2000-06-13 |
Family
ID=18306541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10337216A Pending JP2000161269A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | ルーツポンプ及びポンプ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000161269A (ja) |
| KR (1) | KR20000034894A (ja) |
| DE (1) | DE19957024A1 (ja) |
| NL (1) | NL1013677C2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309155A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ixetic Hueckeswagen Gmbh | ロータリ・ピストン機械 |
| CN101985935A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种三轴罗茨真空泵 |
| CN101985936A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种非对称爪型真空泵 |
| CN101985938A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵 |
| CN101985937A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种三轴爪型真空泵 |
| CN103994070A (zh) * | 2014-05-22 | 2014-08-20 | 威海智德真空科技有限公司 | 螺杆真空泵及压缩机的转子星系布局结构 |
| CN114607600A (zh) * | 2020-12-09 | 2022-06-10 | 东北大学 | 一种新型多级罗茨真空泵 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110594156B (zh) * | 2019-09-23 | 2021-05-25 | 兑通真空技术(上海)有限公司 | 一种三轴多级罗茨泵的驱动结构 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB504385A (en) * | 1937-09-29 | 1939-04-25 | Fletcher & Winterbottom Ltd | Improvements in or relating to rotary blowers or compressors |
| DE1243816B (de) * | 1959-11-04 | 1967-07-06 | Leybolds Nachfolger E | Mehrstufige Drehkolbenvakuumpumpe vom Rootstyp |
| GB8617612D0 (en) * | 1986-07-18 | 1986-08-28 | Peabody Holmes Ltd | Gas moving device |
| JP2537696B2 (ja) * | 1990-09-21 | 1996-09-25 | 株式会社荏原製作所 | 多段真空ポンプ |
| DE19503716C1 (de) * | 1995-02-04 | 1996-03-28 | K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr | Zweiwellige Drehkolbenpumpe zur gleichzeitigen Erzeugung von Unterdruck und von Überdruck |
-
1998
- 1998-11-27 JP JP10337216A patent/JP2000161269A/ja active Pending
-
1999
- 1999-07-29 KR KR1019990031036A patent/KR20000034894A/ko not_active Application Discontinuation
- 1999-11-26 DE DE1999157024 patent/DE19957024A1/de not_active Withdrawn
- 1999-11-26 NL NL1013677A patent/NL1013677C2/nl not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309155A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ixetic Hueckeswagen Gmbh | ロータリ・ピストン機械 |
| CN101985935A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种三轴罗茨真空泵 |
| CN101985936A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种非对称爪型真空泵 |
| CN101985938A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵 |
| CN101985937A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-03-16 | 东北大学 | 一种三轴爪型真空泵 |
| CN103994070A (zh) * | 2014-05-22 | 2014-08-20 | 威海智德真空科技有限公司 | 螺杆真空泵及压缩机的转子星系布局结构 |
| CN114607600A (zh) * | 2020-12-09 | 2022-06-10 | 东北大学 | 一种新型多级罗茨真空泵 |
| CN114607600B (zh) * | 2020-12-09 | 2023-03-21 | 东北大学 | 一种新型多级罗茨真空泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20000034894A (ko) | 2000-06-26 |
| DE19957024A1 (de) | 2000-06-29 |
| NL1013677C2 (nl) | 2001-01-30 |
| NL1013677A1 (nl) | 2000-05-30 |
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