JP2000161277A - ポンプ装置 - Google Patents

ポンプ装置

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JP2000161277A
JP2000161277A JP10338172A JP33817298A JP2000161277A JP 2000161277 A JP2000161277 A JP 2000161277A JP 10338172 A JP10338172 A JP 10338172A JP 33817298 A JP33817298 A JP 33817298A JP 2000161277 A JP2000161277 A JP 2000161277A
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driving
winding
rotating body
shaft
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JP10338172A
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Inventor
Kunifumi Goto
邦文 後藤
Satoshi Furuhashi
敏 古橋
Kiyoshi Kamitsuji
清 上辻
Osamu Uchiyama
理 内山
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Toyota Industries Corp
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Toyoda Automatic Loom Works Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/005Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造コスト及び維持コストの低廉化を実現し、
設置場所の小型化を図ることができ、かつ静粛性に優れ
たポンプ装置を提供する。 【解決手段】モータMの駆動軸及びポンプPの第1軸7
に固定された駆動ホイール21と、ポンプPの第2軸8
に固定された従動ホイール22と、駆動ホイール21及
び従動ホイール22に巻き掛けられ、駆動ホイール21
の回転を従動ホイール22に伝動するタイミングベルト
24と、を有する巻き掛け伝動列を採用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ等の回転駆
動装置により多軸圧送型ポンプを駆動し、ポンプ作用を
行うポンプ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】市販のポンプ装置では2軸圧送型ポンプ
はモータと一体とされている。ここで、2軸圧送型ポン
プでは、ケーシング内に吸気口及び排気口を備えた少な
くとも1個のポンプ室が構成されている。一又は複数の
ポンプ室内には2個で1組をなすロータが配置され、各
ロータは互いに平行な2本の軸上に装着されて互いに僅
かな間隙を保持しつつ回転するようになっている。単段
の2軸圧送型ポンプのケーシングでは、ポンプ室の吸気
口が開口されているとともに、排気口が開口されてい
る。多段の2軸圧送型ポンプのケーシングでは、最前段
のポンプ室の吸気口が開口され、前段のポンプ室と後段
のポンプ室との間には比較的軸長の長い隔壁が形成され
ており、前段のポンプ室の排気口はその隔壁内をほぼ1
80°周回しつつ後段のポンプ室の吸気口と順次接続さ
れ、最後段のポンプ室の排気口が開口されている。ま
た、2軸圧送型ポンプの各軸の一方には、モータの駆動
本体から突出して回転駆動する駆動軸が連結されてい
る。そして、モータの駆動軸と連結された2軸圧送型ポ
ンプの一方の軸の先端には駆動ギアが固定され、この駆
動ギアは2軸圧送型ポンプの他方の軸の先端に固定され
た従動ギアと噛合されて回転を伝動するようになってい
る。
【0003】このようなポンプ装置を用いて例えばある
室内を真空引きして減圧室としたい場合、2軸圧送型ポ
ンプの吸気口をその室内に開口させるとともに、排気口
を大気等に開口させる。そして、モータにより2軸圧送
型ポンプを駆動する。これにより、2軸圧送型ポンプの
ポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持しつつ
回転するため、2軸圧送型ポンプのポンプ室内において
ポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放出し
てその室内を減圧室とすることが可能になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のポ
ンプ装置では、モータの駆動軸と連結された2軸圧送型
ポンプの一方の軸の先端に駆動ギアが固定され、この駆
動ギアが2軸圧送型ポンプの他方の軸の先端に固定され
た従動ギアと噛合されていることにより、駆動軸の回転
をルールポンプの各軸に伝達している。このため、この
種のポンプ装置では、駆動ギア及び従動ギアを潤滑油に
より潤滑することが不可欠であり、その潤滑油による汚
染を防止するため、駆動ギア及び従動ギアを収納するギ
ア室内の密閉性を高く保つ必要があることから、製造コ
ストの高騰化を招来してしまう。また、かかる潤滑油は
摩擦熱により減少したり、劣化等したりしやすいため、
潤滑油の追加、交換等のメインテナンスも欠かすことが
できず、維持コストの高騰化も招来してしまう。さら
に、駆動ギア及び従動ギアとしてはこれらが直接噛合し
て回転を伝達することから比較的肉厚なものを採用せざ
るを得ず、そのためにギア室にある程度の軸長を要して
全長も大きくなり、設置場所(フットスペース)の大型
化の問題もある。また、駆動ギアと従動ギアとの噛合で
は騒音を生じやすく、静粛性の問題もある。
【0005】本発明は、上記従来の実状に鑑みてなされ
たものであって、製造コスト及び維持コストの低廉化を
実現し、設置場所の減少を図ることができ、かつ静粛性
に優れたポンプ装置を提供することを解決課題としてい
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のポンプ装置は、
吸気口及び排気口を備えた少なくとも1個のポンプ室を
構成するケーシングと、該ポンプ室内に配置され、互い
に平行な複数の軸上に装着されて互いに僅かな間隙を保
持しつつ回転するロータとを有する多軸圧送型ポンプ
と、該多軸圧送型ポンプに隣接して設けられ、駆動本体
と、該駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸とを有
する回転駆動装置と、該回転駆動装置の該駆動軸に固定
された駆動回転体と、該多軸圧送型ポンプの各該軸に固
定された従動回転体と、該駆動回転体及び該従動回転体
に巻き掛けられ、該駆動回転体の回転を該従動回転体に
伝動する巻き掛け媒介節と、を有する巻き掛け伝動列
と、を備えたことを特徴とする。
【0007】本発明のポンプ装置では、駆動回転体の回
転を巻き掛け媒介節により従動回転体に伝達することに
より、駆動軸の回転を多軸圧送型ポンプの各軸に伝達し
ている。このため、本発明のポンプ装置では、潤滑油に
よる潤滑が不可欠な従来のような駆動ギア及び従動ギア
を採用しないことから、潤滑油による汚染の心配を必ず
しも必要としない。このため、駆動回転体、従動回転体
及び巻き掛け媒介節を有する巻き掛け伝動列を収納する
伝動室について、Oリングを省略できる等、その伝動室
内の密閉性をさほど高く保つ必要がない。また、潤滑油
の追加、交換等のメインテナンスも必ずしも必要としな
い。さらに、巻き掛け媒介節を介して回転を伝達するこ
とから、駆動回転体及び従動回転体としては比較的肉薄
なものを採用することができ、そのために伝動室の短軸
化から全長の短軸化を実現できる。また、巻き掛け伝動
節を介していることから、駆動力を与える駆動回転体と
駆動力を受ける従動回転体とが直接噛合せず、比較的騒
音も生じにくい。
【0008】したがって、本発明のポンプ装置は、製造
コスト及び維持コストの低廉化を実現し、設置場所の減
少を図ることができ、かつ静粛性に優れたものとなる。
本発明のポンプ装置では、駆動回転体を多軸圧送型ポン
プの各軸の一つに固定することが好ましい。これによ
り、部品点数を削減できるため、ポンプ装置の製造コス
トをより低廉化できる。
【0009】また、本発明のポンプ装置では、巻き掛け
伝動列として、ピッチ伝動可能なものを採用することが
好ましい。ピッチ伝動可能な巻き掛け伝動列としては、
駆動回転体及び従動回転体としての歯付きホイールと、
巻き掛け媒介節としての歯付き伝動ベルト(タイミング
ベルト)とを採用したり、駆動回転体及び従動回転体と
してのスプロケットと、巻き掛け媒介節としてのチェー
ンとを採用したりすることができる。これにより、例え
ば駆動回転体及び従動回転体としてのプーリ及び巻き掛
け媒介節としての平ベルトを採用した場合と比較して、
滑りがなく、ポンプ作用を滑らかに行うことができる。
【0010】さらに、本発明のポンプ装置では、駆動回
転体及び従動回転体をプラスチック製とし、巻き掛け媒
介節をゴム製とすることが好ましい。これにより、金属
の摺動を伴わないことから、潤滑油を不要にできるとと
もに、より一層騒音を小さくすることができる。また、
本発明のポンプ装置では、巻き掛け伝動列を多軸圧送型
ポンプと回転駆動装置との間に設けることが好ましい。
このポンプ装置では、回転駆動装置の駆動軸の回転が巻
き掛け伝動列を介して多軸圧送型ポンプの各軸に伝達さ
れることから、多軸圧送型ポンプの各軸にねじれの影響
が生じにくく、ポンプ室内で確実にロータが回転してポ
ンプ作用を滑らかに行うことができる。
【0011】さらに、本発明のポンプ装置において、ポ
ンプ室が複数個である場合、最前段のポンプ室の吸気口
は巻き掛け伝動列から最も遠い位置で開口され、最後段
のポンプ室の排気口は巻き掛け伝動列に最も近い位置で
開口されてなることが好ましい。こうであれば、最前段
のポンプ室の吸気口が開口される室内等に巻き掛け伝動
列による異物が飛散しにくい。また、僅かな潤滑油を用
いても、最前段のポンプ室の吸気口が開口される室内等
にその潤滑油が飛散しにくい。このため、その室内等の
環境を好適に維持することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態を図面を参照しつつ説明する。この多段ポンプ装置で
は、図1に示すように、多段多軸圧送型ポンプとしての
多段ルーツポンプPが回転駆動装置としてのモータMと
一体とされている。ここで、多段ルーツポンプPでは、
第1〜6シリンダブロック1〜6が間にOリングを介在
させつつ順次積層され、これらは第1シリンダブロック
1側に設けた前面プレート1cとともに図示しない通し
ボルトにより締結されている。これら第1〜6シリンダ
ブロック1〜6及び前面プレート1cがケーシングの一
部を構成している。
【0013】第1〜5シリンダブロック1〜5にはそれ
ぞれ水平な2本の軸孔が上下で互いに平行をなして貫設
されており、各軸孔には第1軸7及び第2軸8が収容さ
れている。第1シリンダブロック1の各軸孔内には第
1、2軸7、8を軸支する軸受装置1a、1bが設けら
れ、これらは前面プレート1cにより覆われている。第
2シリンダブロック2には、図2にも示すように、1個
のポンプ室2aが後方から凹設されており、ポンプ室2
a回りには上記Oリングを収容する溝が凹設されてい
る。ポンプ室2a内には、下方に位置する第1軸7に装
着された第1ロータ9と、上方に位置する第2軸8に装
着された第2ロータ10とが配置されている。第1、2
ロータ9、10はそれぞれ互いに僅かな間隙を保持しつ
つ回転するようになっている。第2シリンダブロック2
には、ポンプ室2aと連通し、第1、2ロータ9、10
の回転により空気を吸入する吸気口2bと、空気を排出
する排気口2cとが水平に貫設されている。
【0014】図1に示す第4シリンダブロック4にも、
図4に示すように、1個の同様のポンプ室4aが後方か
ら凹設され、ポンプ室4a内には同様の第1、2ロータ
11、12が配置されている。また、第4シリンダブロ
ック4には、同様の吸気口4b及び排気口4cが水平に
貫設されている。但し、第2シリンダブロック2による
前段のポンプ室2aの軸長の方が第4シリンダブロック
4による後段のポンプ室4aの軸長よりも長い。また、
これら各ポンプ室2a、4aの軸長に合わせて第1、2
ロータ9〜12の軸長も異なっている。
【0015】図1に示す第3シリンダブロック3には、
図3に示すように、エア通路3aが水平に貫設されてい
る。図1に示す第5シリンダブロック5の各軸孔内に
は、第1、2軸7、8を軸支する軸受装置5a、5bが
設けられている。第6シリンダブロック6には、図1及
び図5に示すように、伝動室6aが後方から凹設されて
いる。伝動室6a内では、第1軸7に駆動回転体である
プラスチック製の駆動ホイール21が固定され、第2軸
8には従動回転体であるプラスチック製の従動ホイール
22が固定されている。駆動ホイール21及び従動ホイ
ール22は、第1、2軸7、8との間に図示しないネジ
を有しており、これらネジにより軸方向の位置が調整可
能になっている。また、第5シリンダブロック5と第6
シリンダブロック6との間には第3軸20が第1、2軸
7、8と平行に設けられ、第5、6シリンダーブロック
5、6内において、その両端を図示しない軸受装置によ
り軸支されている。この第3軸20には、プラスチック
製のアイドルホイール23が固定されている。これら駆
動ホイール21、従動ホイール22及びアイドルホイー
ル23はそれぞれ同一ピッチの歯付きホイールである。
駆動ホイール21及びアイドルホイール23には巻き掛
け媒介節であるゴム製のタイミングベルト24が外側か
ら巻き掛けられ、そのタイミングベルト24の外側に従
動ホイール22が設けられている。このタイミングベル
ト24は駆動ホイール21等と同一ピッチの歯が表裏に
設けられている。こうして、駆動ホイール21とアイド
ルホイール23とはタイミングベルト24により同一方
向に回転可能になされ、従動ホイール22はこれら駆動
ホイール21及びアイドルホイール23とは反対方向に
回転可能になされている。これら駆動ホイール21、従
動ホイール22、アイドルホイール23及びタイミング
ベルト24が巻き掛け伝動列を構成している。
【0016】また、図1に示すように、第6シリンダブ
ロック6には図示しないボルトによりモータMの駆動本
体30が固定され、第1軸7は駆動本体30から突出し
て回転駆動するモータMの駆動軸と図示しない継手によ
り連結されている。そして、図6に示すように、第2〜
4シリンダブロック2〜4の側面には、図2〜4も示す
ように、ガスケット18、19を介して第1、2プレー
ト16、17が図示しないボルトにより締結されてい
る。これら第1、2プレート16、17がケーシングの
残部を構成している。
【0017】図2、図3及び図6に示すように、第2プ
レート17には第2シリンダブロック2の吸気口2bと
連通する吸気口17aが水平に貫設され、第1プレート
16には第2シリンダブロック2の排気口2c及び第3
シリンダブロック3のエア通路3aと連通する連通溝1
6aが凹設されている。また、図3、図4及び図6に示
すように、第2プレート17には第3シリンダブロック
3のエア通路3a及び第4シリンダブロック4の吸気口
4bと連通する連通溝17bが凹設され、第1プレート
16には第4シリンダブロック4の排気口4cと連通す
る排気口16bが水平に貫設されている。
【0018】以上のように構成された多段ポンプ装置を
用いて例えばある室内を真空引きして減圧室としたい場
合、多段ルーツポンプPにおいて、図6に示すように、
ホース等を介して第2プレート17の吸気口17aをそ
の室内に開口させるとともに、ホース等を介して第1プ
レート16の排気口16bを大気等に開口させる。そし
て、モータMにより多段ルーツポンプPを駆動する。こ
れにより、多段ルーツポンプPの各ポンプ室2a、4a
内で第1、2ロータ9〜12が互いに僅かな間隙を保持
しつつ回転するため、各ポンプ室2a、4a内において
順次ポンプ作用が行われ、その室内の空気を大気等に放
出してその室内を減圧室とすることが可能になる。
【0019】この間、この多段ポンプ装置では、プラス
チック製の駆動ホイール21及び従動ホイール22とゴ
ム製のタイミングベルト24とを採用し、駆動ホイール
21の回転をタイミングベルト24により従動ホイール
22に伝達することにより、モータMの駆動軸の回転を
多段ルーツポンプPの第1、2軸7、8に伝達してい
る。このため、この多段ポンプ装置では、潤滑油を不要
にして伝動室6aについてのOリングを省略できる等、
その伝動室6a内の密閉性をさほど高く保つ必要をなく
している。また、潤滑油の追加、交換等のメインテナン
スも不要としている。さらに、タイミングベルト24を
介して回転を伝達することから、駆動ホイール21及び
従動ホイール22としては比較的肉薄なものを採用する
ことができ、そのために伝動室6aの短軸化から全長の
短軸化を実現している。また、タイミングベルト24を
介していることから、駆動力を与える駆動ホイール21
と駆動力を受ける従動ホイール22とが直接噛合せず、
金属の摺動も伴わないことから、騒音も生じにくい。し
たがって、この多段ポンプ装置は、製造コスト及び維持
コストの低廉化を実現し、設置場所の減少を図ることが
でき、かつ静粛性に優れたものとなっている。
【0020】また、この多段ポンプ装置では、駆動ホイ
ール21を多段ルーツポンプPの第1軸7に固定してい
るため、部品点数を削減し、多段ポンプ装置の製造コス
トをさらに低廉化している。また、この多段ポンプ装置
では、駆動ホイール21、従動ホイール22及びタイミ
ングベルト24がピッチ伝動可能であるため、滑りがな
く、ポンプ作用を滑らかに行うことができる。
【0021】さらに、この多段ポンプ装置では、伝動室
6aを多段ルーツポンプPとモータMとの間に設け、モ
ータMの駆動軸の回転が駆動ホイール21、従動ホイー
ル22及びタイミングベルト24を介して多段ルーツポ
ンプPの第1、2軸7、8に伝達されることから、多段
ルーツポンプPの第1、2軸7、8にねじれの影響が生
じにくく、ポンプ室2a、4a内で確実にロータ9〜1
2が回転してポンプ作用を滑らかに行うことができる。
【0022】また、この多段ポンプ装置では、前段のポ
ンプ室2aの吸気口2b、17aが伝動室6aから最も
遠い位置で開口され、後段のポンプ室4aの排気口4
c、16bが伝動室6aに最も近い位置で開口されてい
るため、前段のポンプ室2aの吸気口2b、17aが開
口される室内に駆動ホイール21等の摩耗粉等による異
物が飛散しにくく、その室内の環境を好適に維持するこ
とができる。
【0023】なお、本発明は、ポンプ室が1個の単段ポ
ンプ装置としたり、3個以上の多段ポンプ装置としたり
することもできる。また、多軸圧送型ポンプとしては、
ルーツポンプに代えて、スクリュー型ポンプ等を使用す
ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の多段ポンプ装置の縦断面図である。
【図2】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図1のII
−II矢視断面図である。
【図3】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図1のII
I−III矢視断面図である。
【図4】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図1のIV
−IV矢視断面図である。
【図5】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図1のV−
V矢視断面図である。
【図6】実施形態の多段ポンプ装置の平面図である。
【符号の説明】
P…多段ルーツポンプ(多段多軸圧送型ポンプ) 17a、2b、4b…吸気口 2c、4c、16b…排気口 2a、4a…ポンプ室 1〜6、1c、16、17…ケーシング(1〜6…第1
〜6シリンダブロック、1c…前面プレート、16…第
1プレート、17…第2プレート) 7、8…第1、2軸 9〜12…第1、2ロータ M…回転駆動装置(モータ) 30…駆動本体 21…駆動回転体(駆動ホイール) 22…従動回転体(従動ホイール) 23…アイドルホイール 24…巻き掛け媒介節(タイミングベルト)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上辻 清 愛知県刈谷市豊田町2丁目1番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 (72)発明者 内山 理 愛知県刈谷市豊田町2丁目1番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Fターム(参考) 3H029 AA03 AA06 AA09 AA18 AB01 AB06 BB00 BB01 BB11 BB21 BB31 BB36 BB41 CC02 CC08 CC16 CC39

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】吸気口及び排気口を備えた少なくとも1個
    のポンプ室を構成するケーシングと、該ポンプ室内に配
    置され、互いに平行な複数の軸上に装着されて互いに僅
    かな間隙を保持しつつ回転するロータとを有する多軸圧
    送型ポンプと、 該多軸圧送型ポンプに隣接して設けられ、駆動本体と、
    該駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸とを有する
    回転駆動装置と、 該回転駆動装置の該駆動軸に固定された駆動回転体と、
    該多軸圧送型ポンプの各該軸に固定された従動回転体
    と、該駆動回転体及び該従動回転体に巻き掛けられ、該
    駆動回転体の回転を該従動回転体に伝動する巻き掛け媒
    介節と、を有する巻き掛け伝動列と、を備えたことを特
    徴とするポンプ装置。
  2. 【請求項2】駆動回転体は多軸圧送型ポンプの各軸の一
    つに固定されていることを特徴とする請求項1記載のポ
    ンプ装置。
  3. 【請求項3】巻き掛け伝動列はピッチ伝動可能なもので
    あることを特徴とする請求項1又は2記載のポンプ装
    置。
  4. 【請求項4】駆動回転体及び従動回転体はプラスチック
    製であり、巻き掛け媒介節はゴム製であることを特徴と
    する請求項3記載のポンプ装置。
  5. 【請求項5】巻き掛け伝動列は多軸圧送型ポンプと回転
    駆動装置との間に設けられていることを特徴とする請求
    項1、2、3又は4記載のポンプ装置。
  6. 【請求項6】ポンプ室が複数個である場合、最前段の該
    ポンプ室の吸気口は巻き掛け伝導列から最も遠い位置で
    開口され、最後段の該ポンプ室の排気口は該巻き掛け伝
    導列に最も近い位置で開口されてなることを特徴とする
    請求項1、2、3、4又は5記載のポンプ装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019526738A (ja) * 2016-08-30 2019-09-19 レイボルド ゲーエムベーハー ドライ圧縮真空ポンプ
JP2021528596A (ja) * 2018-07-03 2021-10-21 レイボルド ゲーエムベーハー 二軸又は多軸の真空ポンプ
US20230143219A1 (en) * 2020-05-11 2023-05-11 Ateliers Busch Sa Dry vacuum pump
CN118417871A (zh) * 2024-07-04 2024-08-02 连云港恒顺工业科技有限公司 一种罗茨真空泵的组装装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170398A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Sanden Corp 動力伝達装置
DE202009003981U1 (de) * 2009-03-24 2010-08-19 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Antrieb für eine Vakuumpumpe
DE202017003046U1 (de) * 2017-06-09 2018-09-14 Leybold Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1906657A1 (de) * 1969-02-11 1970-08-20 Licentia Gmbh Zyklon
DE3706588C2 (de) * 1987-02-26 1993-12-02 Mannesmann Ag Antriebseinrichtung für Rotationskolbenverdichter
JPH02104998A (ja) * 1988-10-14 1990-04-17 Unozawagumi Tekkosho:Kk 多段真空ポンプ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019526738A (ja) * 2016-08-30 2019-09-19 レイボルド ゲーエムベーハー ドライ圧縮真空ポンプ
JP2021528596A (ja) * 2018-07-03 2021-10-21 レイボルド ゲーエムベーハー 二軸又は多軸の真空ポンプ
US20230143219A1 (en) * 2020-05-11 2023-05-11 Ateliers Busch Sa Dry vacuum pump
US12066023B2 (en) * 2020-05-11 2024-08-20 Ateliers Busch Sa Dry vacuum pump
CN118417871A (zh) * 2024-07-04 2024-08-02 连云港恒顺工业科技有限公司 一种罗茨真空泵的组装装置

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Publication number Publication date
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