DE19957024A1 - Pumpeinrichtung mit einer Pumpe vom Roots-Typ - Google Patents

Abstract

Pumpeinrichtung zum Pumpen eines Gases aus einem gegebenen Bereich, umfassend eine Roots-Pumpe, die geeignet ist, in dem gegebenen Bereich installiert zu werden, und die eine Mehrzahl von Stützwellen aufweist, auf denen sich eine Mehrzahl von Rotoren abstützen, welche in mindestens einem Pumpraum zusammenwirken, um eine Pumpwirkung auf ein in den Pumpraum eingeführtes Gas anzuwenden und um das gepumpte Gas aus dem Pumpraum auszustoßen, wobei die Mehrzahl von Stützwellen ihre Drehachse zueinander parallel in einer Mehrzahl von horizontalen Ebenen haben, die vertikal voneinander beabstandet sind, so daß die in dem Pumpraum zusammenwirkenden Rotoren in einer vertikal zu den horizontalen Ebenen verlaufenden Ebene angeordnet sind und sich in Abhängigkeit von der Rotation der Mehrzahl von Stützwellen drehen, um einen Platzbedarf beim Installieren der Roots-Pumpe in dem gegebenen gepumpten Bereich zu reduzieren.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Bereich der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Pumpeinrichtung mit einer Pumpe vom Roots-Typ, welche von einer Drehantriebs­ quelle, wie etwa Motoren verschiedener Art, einschließ­ lich Elektromotoren, angetrieben wird. Die erfindungs­ gemäße Pumpeinrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie, zu einer Einheit vereinigt, eine Drehantriebs­ quelle und eine von der Drehantriebsquelle angetriebene Roots-Pumpe umfaßt.

2. Beschreibung des Standes der Technik

Eine herkömmliche Pumpeinrichtung vom Roots-Typ umfaßt eine einstufige Roots-Pumpe, die so gestaltet und ange­ ordnet ist, daß sie von einem mit ihr zu einer Einheit zusammengefügten Motor angetrieben wird. Die herkömm­ liche einstufige Roots-Pumpe weist einen einzelnen Pumpraum auf, der in einem Gehäuse gebildet ist, an dem eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung vorge­ sehen ist. Die einstufige Roots-Pumpe weist ferner ein Paar ineinandergreifender Rotoren auf, die so angeord­ net sind, daß sie in dem Pumpraum drehbar sind, unter Einhaltung eines kleinen Spaltes hierzwischen. Jeder der ineinandergreifenden Rotoren weist eine Stützwelle auf, die an dem Gehäuse drehbar gelagert ist, wobei die beiden Stützwellen so gehalten werden, daß sie zueinan­ der parallel sind. Eine der beiden parallelen Stützwel­ len der Rotoren ist an ihrem einen Ende mit einer Ab­ triebswelle des Antriebsmotors verbunden und hat an ih­ rem entgegengesetzten Ende ein Steuerzahnrad, welches in ein anderes Steuerzahnrad eingreift, das an einem Ende der anderen der Stützwellen angebracht ist.

Bei der Pumpeinrichtung mit der einstufigen Roots-Pumpe werden beim Einschalten des Antriebsmotors, der mit ei­ ner der Stützwellen des Paares von parallelen Stützwel­ len der Roots-Pumpe verbunden ist, die Stützwellen zu einer Drehbewegung angetrieben, so daß sich das Rotor­ paar in dem Pumpraum dreht. Dadurch wird ein zu pumpen­ des Fluid, z. B. Luft, über eine Einlaßöffnung in den Pumpraum gesaugt und über eine Auslaßöffnung aus dem Pumpraum hinausgepumpt. Die Pumpeinrichtung kann also zum Beispiel zum Abpumpen von Luft aus einer gegebenen geschlossenen Kammer oder einem gegebenen geschlossenen Raum verwendet werden, um diesen in einen Vakuumzu­ stand zu versetzen.

Eine mehrstufige Pumpeinrichtung umfaßt eine mehrstu­ fige Pumpe vom Roots-Typ mit einem integrierten An­ triebsmotor. Die mehrstufige Roots-Pumpe weist eine Mehrzahl von miteinander in Verbindung stehenden Pump­ räumen auf, welche in einem Gehäuse zueinander parallel ausgebildet sind, und jeder der Mehrzahl von Pumpräumen weist eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung auf. Mehrere Paare von Rotoren sind an einem Paar von axial verlaufenden Stützwellen angeordnet und so vorge­ sehen, daß sie in jedem der Mehrzahl von Pumpräumen drehbar sind, unter Einhaltung eines kleinen Spaltes hierzwischen. In dem Gehäuse ist eine Gaseinlaßöffnung vorgesehen, um ein Gas von außerhalb der Pumpe in den Pumpraum der ersten Stufe einzuführen. Ferner ist eine Trennwand großer axialer Dicke angeordnet, derart, daß sie sich zwischen den zwei benachbarten Räumen der frü­ heren und der späteren Stufe erstreckt, wobei die Gas­ auslaßöffnung des Pumpraums der früheren Stufe so ange­ ordnet ist, daß sie mit der Gaseinlaßöffnung über einen sich kreisförmig über einen Winkel von ca. 180 Grad in der Trennwand erstreckenden Gasdurchlaß in Fließverbin­ dung steht. Die Gasauslaßöffnung des Pumpraums der End­ stufe ist in dem Gehäuse ausgebildet.

Eine Stützwelle des axial verlaufenden Stützwellenpaa­ res ist an einem ihrer Enden mit einer Antriebswelle des Antriebsmotors verbunden, und an ihrem anderen Ende ist ein Antriebszahnrad fest angebracht, derart, daß es mit einem getriebenen Zahnrad, welches an einem ent­ sprechenden Ende der anderen Stützwelle des Paares von Stützwellen fest angebracht ist, in Eingriff kommen kann, um eine Drehantriebskraft von dem treibenden auf das getriebene Zahnrad zu übertragen.

Wenn die mehrstufige Pumpeinrichtung mit der mehrstufi­ gen Roots-Pumpe dazu benutzt wird, Luft aus einem ge­ schlossenen Raum zu pumpen, um einen Vakuumzustand in dem geschlossenen Raum herzustellen, dann wird die Gaseinlaßöffnung des Pumpraums der ersten Stufe so ge­ richtet, daß sie sich zu dem geschlossenen Raum hin öffnet, um so die Luft von dem geschlossenen Raum in den Pumpraum der ersten Stufe einzuführen, und die Gas­ auslaßöffnung des Pumpraums der letzten Stufe wird so gerichtet, daß sie sich gegen die Atmosphäre hin öff­ net. Die Mehrzahl von Rotorpaaren werden von dem mit dem Gehäuse der mehrstufigen Roots-Pumpe zu einer Ein­ heit verbundenen Antriebsmotor über das Paar von paral­ lelen Stützwellen angetrieben. Die in den Pumpraum der ersten Stufe gesaugte Luft wird infolge der Rotation der Mehrzahl von Rotorpaaren nacheinander durch jeden der mehrstufigen Pumpräume gepumpt und wird über die Gasauslaßöffnung des Pumpraums der letzten Stufe zur Atmosphäre hin entlassen. Somit wird in dem geschlosse­ nen Raum nach und nach der Vakuumzustand erzeugt.

Nun sind jedoch bei den herkömmlichen einstufigen und mehrstufigen Pumpeinrichtungen die zwei parallelen Stützwellen so angeordnet, daß sie in einer im wesent­ lichen horizontalen Ebene liegen, um die Schmierung des treibenden und des getriebenen Zahnrades, die an den Enden der beiden Stützwellen fest angeordnet sind, si­ cherzustellen. Im einzelnen drehen sich das treibende und das getriebene Zahnrad um ihre Drehachsen, die im wesentlichen in der gleichen horizontalen Ebene liegen, so daß beide Zahnräder gleichermaßen Schmierung durch ein in einem Getrieberaum gespeichertes Öl erhalten können. Deshalb wird der Gesamtplatzbedarf zur Instal­ lation der Pumpeinrichtung (d. h. der Grundflächenbedarf zum Anordnen der Pumpeinrichtung) groß, wodurch der Vielseitigkeit in der Installation der herkömmlichen Pumpeinrichtung an verschiedenen Plätzen enge Grenzen gesetzt sind.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Demnach liegt eine Aufgabe der Erfindung darin, das obenerwähnte Problem zu lösen, welches bei der herkömm­ lichen Pumpeinrichtung, welche eine mit einem Motor zu einer Einheit zusammengefaßte einstufige oder mehrstu­ fige Pumpe umfaßt, anzutreffen ist.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung liegt in der Bereit­ stellung einer Pumpeinrichtung, welche eine Pumpe vom Roots-Typ umfaßt und geeignet ist, auf kleinem Montage­ raum installiert zu werden, d. h. mit Eignung, den Platzbedarf am Einsatzort zu reduzieren.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung liegt in der Bereit­ stellung einer Pumpe vom Roots-Typ, die so gestaltet ist, daß ein Motor zum Antreiben von Rotoren der Roots- Pumpe zu einer Drehbewegung mit ihr zu einer Einheit zusammengebaut ist und der Platzbedarf zur Installation der Roots-Pumpe weitestgehend reduziert werden kann.

Erfindungsgemäß wird eine Roots-Pumpe bereitgestellt, welche umfaßt:
ein Gehäuse mit mindestens einem darin gebildeten Pump­ raum, welches eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaß- Öffnung aufweist;
eine Mehrzahl von Stützwellen, welche durch das Gehäuse drehbar gehalten werden und so angeordnet sind, daß sie im wesentlichen parallel zueinander sind; und
eine Mehrzahl von Rotoren, von denen jeder an einer der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um gemeinsam zu rotieren, wobei die Mehrzahl von Rotoren in dem Pumpraum angeordnet sind und zusammenwirken, um während der Rotation der Mehrzahl von Rotoren eine Pumpwirkung auf ein über die Gaseinlaßöffnung eingeführtes Gas an­ zuwenden, so daß das Gas über die Gasauslaßöffnung des Gehäuses ausgestoßen wird;
wobei jede der Mehrzahl von Stützwellen eine Drehachse hat, die in einer von einer Mehrzahl von horizontalen Ebenen liegt, welche so angeordnet sind, daß sie in der vertikalen Richtung voneinander beabstandet sind, so daß sich die Mehrzahl von Rotoren zusammenwirkend dre­ hen in einer Ebene, welche in bezug auf die Mehrzahl von horizontalen Ebenen, in denen die Drehachsen der Stützwellen liegen, senkrecht steht.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist die oben definierte Roots-Pumpe eine Mehrzahl von Pumpräumen 1 bis N auf (N = eine ganze Zahl gleich oder größer als 2), die in dem Gehäuse gebildet sind und in einer Richtung parallel zu den Rotationsachsen der Mehrzahl von Stützwellen voneinander getrennt sind, wobei die Mehrzahl von Rotoren eine Mehrzahl von Gruppen von Ro­ toren 1 bis N bilden, wobei jede der ersten bis Nten Rotorgruppe zwei oder mehr Rotoren umfaßt, welche in jedem der Pumpräume 1 bis N drehbar angeordnet sind, so daß sie in der Ebene senkrecht zu der Mehrzahl von ho­ rizontalen Ebenen zusammenwirkend drehbar sind.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Pumpeinrichtung bereitgestellt, welche eine Pumpe vom Roots-Typ beinhaltet, wobei die Pumpeinrich­ tung umfaßt:
ein Gehäuse mit mindestens einem darin gebildeten Pump­ raum, welches eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaß­ öffnung aufweist;
eine Mehrzahl von Stützwellen, welche durch das Gehäuse drehbar gehalten werden und so angeordnet sind, daß sie im wesentlichen parallel zueinander sind; und
eine Mehrzahl von Rotoren, von denen jeder an einer der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um gemeinsam zu rotieren, wobei die Mehrzahl von Rotoren in dem Pumpraum angeordnet sind und zusammenwirken, um während der Rotation der Mehrzahl von Rotoren eine Pumpwirkung auf ein über die Gaseinlaßöffnung eingeführtes Gas an­ zuwenden, so daß das Gas über die Gasauslaßöffnung des Gehäuses ausgestoßen wird;
wobei jede der Mehrzahl von Stützwellen eine Drehachse hat, die in einer von einer Mehrzahl von horizontalen Ebenen liegt, welche so angeordnet sind, daß sie in der vertikalen Richtung voneinander beabstandet sind, so daß sich die Mehrzahl von Rotoren zusammenwirkend dre­ hen in einer Ebene senkrecht zu der Mehrzahl von hori­ zontalen Ebenen, in welchen die Drehachsen der Stütz­ wellen liegen, und
wobei die Pumpeinrichtung ferner umfaßt:
eine Drehantriebsquelle mit einem Körper und einer durch den Körper drehbar gehaltenen Antriebswelle mit einem weitergeführten Bereich, der sich über den Körper hinaus erstreckt, wobei die Drehantriebsquelle benach­ bart zu der Roots-Pumpe angeordnet ist; und
einen zwischen der Drehantriebsquelle und der Roots- Pumpe angeordneten Steuergetriebezug, wobei der Steuer­ getriebezug ein Antriebszahnrad umfaßt, welches entwe­ der an der Antriebswelle der Drehantriebsquelle ange­ ordnet ist oder an einer bestimmten aus der Mehrzahl von Stützwellen der Roots-Pumpe, und mindestens ein ge­ triebenes Zahnrad, welches an mindestens einer verblei­ benden aus der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um von dem Antriebszahnrad zu einer Drehbewegung ge­ trieben zu werden.

Der weitergeführte Bereich der Antriebswelle der Dreh­ antriebsquelle kann eine der Mehrzahl von Stützwellen der Roots-Pumpe bilden.

Bevorzugt ist eines von den treibenden und getriebenen Zahnrädern des Steuergetriebezuges an einer tiefsten Stelle angeordnet, so daß mindestens ein Teil desselben in ein Schmieröl tauchen kann, welches in einem Ölspei­ cherbereich des Gehäuses gespeichert ist, und ist aus einem metallischen Werkstoff hergestellt, während die übrigen Zahnräder des Steuergetriebezugs an vertikal höherliegenden Stellen angeordnet sind, bezogen auf das obenerwähnte, an der tiefsten Stelle angeordnete Steu­ erzahnrad, und aus einem Material hergestellt sind, welches von dem metallischen Werkstoff verschieden ist. Die aus dem von dem metallischen Werkstoff verschiede­ nen Material hergestellten Zahnräder können aus Kunst­ stoff sein.

Weiter bevorzugt ist dann, wenn das Gehäuse der Roots- Pumpe der Pumpeinrichtung eine Mehrzahl von Pumpräumen definiert, so daß jeder Pumpraum eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung aufweist, die Gaseinlaßöff­ nung des Pumpraums der Anfangsstufe in einer von dem Steuergetriebezug axial weit entfernten Position ange­ ordnet, während die Gasauslaßöffnung des Pumpraums der Endstufe in einer dem Steuergetriebezug axial nächsten Position angeordnet ist.

Die Drehantriebsquelle der Pumpeinrichtung kann ein elektrischer Antriebsmotor sein, der eine horizontal verlaufende Antriebswelle aufweist, auf die eine Drehantriebskraft ausgeübt wird.

Da bei der beschriebenen Pumpe vom Roots-Typ gemäß der vorliegenden Erfindung die Mehrzahl von Stützwellen, auf denen sich die Rotoren abstützen, in der Weise an­ geordnet sind, daß jede der Stützwellen in einer der Mehrzahl von horizontalen Ebenen liegt, die voneinander in der vertikalen Richtung beabstandet sind, sind die in jedem Pumpraum zusammenwirkenden Rotoren vertikal angeordnet in einer zu den horizontalen Ebenen senk­ rechten Ebene. Daher kann der Platzbedarf der erfin­ dungsgemäßen Roots-Pumpe, der zur Installation der Pumpe in einem gegebenen Montageraum erforderlich ist, kleiner sein als der zur Installation der herkömmlichen Roots-Pumpe erforderliche, bei der die in dem Pumpraum zusammenwirkenden Rotoren seitlich angeordnet sind in einer Ebene, die senkrecht zu der gemeinsamen einzelnen Ebene verläuft, in welcher die die Rotoren tragenden Stützwellen liegen.

Bei der beschriebenen Pumpeinrichtung, welche die oben beschriebene Roots-Pumpe und die mit der Roots-Pumpe zu einer Einheit zusammengefügte Drehantriebsquelle um­ faßt, ist der Steuergetriebezug, der eine Drehantriebs­ kraft von der Drehantriebsquelle auf die die Rotoren tragenden Stützwellen überträgt, in einer der Drehan­ triebsquelle benachbarten Lage angeordnet. Dementspre­ chend wird während der Rotation der Rotoren, um eine Pumptätigkeit in den jeweiligen Pumpräumen durchzufüh­ ren, eine an der jeweiligen Stützwelle infolge einer Pumplast auftretende Torsion den Eingriff des Steuerge­ triebezuges nicht abträglich beeinflussen, wodurch die ruhige Rotation der treibenden und getriebenen Zahn­ räder des Steuergetriebezugs sichergestellt werden kann. Dementsprechend kann auch die Pumptätigkeit der Rotoren der Roots-Pumpe ruhig vonstatten gehen.

Weil außerdem von den treibenden und getriebenen Zahn­ rädern des Steuergetriebezugs eines - welches in Metall ausgeführt ist - an einer tiefsten Stelle angeordnet ist, so daß mindestens ein Teil desselben in ein in ei­ nem Ölspeicherbereich des Gehäuses gespeichertes Schmieröl tauchen kann, können die übrigen Zahnräder des Steuergetriebezuges, welche aus einem von dem me­ tallischen Werkstoff verschiedenen Material gefertigt sind, durch das von dem metallischen Steuerzahnrad mit­ getragene Schmieröl während der Rotation des Steuerge­ triebezuges geschmiert werden. Wenn die übrigen Zahn­ räder des Steuergetriebezugs aus einem Kunststoffmate­ rial hergestellt sind, kommt das an der tiefsten Stelle und in Metall ausgeführte Zahnrad während der Pumptä­ tigkeit der Roots-Pumpe mit den Kunststoffzahnrädern zum Eingriff, und dementsprechend kann die Geräuschent­ wicklung gemindert werden. Weil außerdem der Pumpraum der Anfangsstufe mit einer Gaseinlaßöffnung versehen ist, die von dem Steuergetriebezug weit entfernt ist, erfährt der Pumpraum der Anfangsstufe keine Kontamina­ tion durch das von den Zahnrädern des Steuergetriebe­ zugs verspritzte Schmieröl.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN

Die im vorstehenden genannten und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausfüh­ rungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte zeich­ nerische Darstellung; in der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 einen im Querschnitt ausgeführten Längsschnitt ei­ ner mehrstufigen Pumpeinrichtung gemäß einer er­ sten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 einen Querschnitt entlang der Linie II-II von Fig. 1;

Fig. 3 einen Querschnitt entlang der Linie III-III von Fig. 1;

Fig. 4 einen Querschnitt entlang der Linie IV-IV von Fig. 1;

Fig. 5 einen Querschnitt entlang der Linie V-V von Fig. 1;

Fig. 6 eine Draufsicht auf die mehrstufige Pumpeinrich­ tung gemäß der ersten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung; und

Fig. 7 einen Querschnitt ähnlich Fig. 5, der eine mehr­ stufige Pumpeinrichtung gemäß einer zweiten Aus­ führungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Die Beschreibung der ersten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung erfolgt nachstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 6.

Nach Fig. 1 umfaßt eine mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Er­ findung eine mehrstufige Roots-Pumpe P und eine Drehan­ triebsquelle, die von einem Motor M gebildet ist, so etwa von einem Elektromotor. Der Motor M ist mit der mehrstufigen Roots-Pumpe P so verbunden, daß sich eine einstückige Pumpeinrichtung ergibt. Die mehrstufige Roots-Pumpe P weist einen zusammengesetzten Zylinder auf, welcher einen ersten bis sechsten Zylinderblock 1 bis 6 umfaßt, die axial und abgedichtet zusammengesetzt sind, derart, daß ein O-Ring 21 zwischen jeweils zwei benachbarten Zylinderblöcken angeordnet ist. Die sechs Zylinderblöcke 1 bis 6 und eine mit einem vorderen Ende des ersten Zylinderblocks 1 verbundene Frontplatte 1c sind mit Hilfe einer geeigneten Anzahl langer Schrau­ benbolzen (nicht gezeigt) miteinander verspannt und bilden Teil eines Gehäuses der Roots-Pumpe P. Der erste bis fünfte Zylinderblock 1 bis 5 des zusammengesetzten Zylinders sind mit zwei horizontalen, durchgehenden Bohrungen versehen, die axial zueinander parallel ver­ laufen und vertikal voneinander beabstandet sind. In den beiden Durchgangsbohrungen sind eine erste Stütz­ welle 7 und eine zweite Stützwelle 8 aufgenommen. Die erste und die zweite Stützwelle 7 und 8 weisen jewei­ lige Enden auf, die in Lagervorrichtungen 1a und 1b ge­ halten sind, welche in dem ersten Zylinderblock 1 un­ tergebracht sind. Ein äußeres Ende des ersten Zylinder­ blocks 1 ist von einer Frontplatte 1c abgeschlossen, um zu verhindern, daß die Lagervorrichtungen 1a und 1b der äußeren Umgebung der Pumpeinrichtung ausgesetzt sind. Jede der ersten und zweiten Stützwelle 7 und 8 ist um eine Drehachse drehbar, die mittig durch die vertikal voneinander beabstandeten Durchgangsbohrungen verläuft. Im einzelnen, wie am besten aus Fig. 4 zu ersehen, liegt die Drehachse der ersten Stützwelle 7 in einer horizontalen Ebene "P1", die vertikal beabstandet von einer horizontalen Ebene "P2" liegt, in welcher die Drehachse der zweiten Stützwelle 8 liegt.

Gemäß der Fig. 2 weist der zweite Zylinderblock 2 ei­ nen in ihm von einer vorderen, dem ersten Zylinder­ block 1 zuliegenden Endfläche ausgesparten Pumpraum 2a auf und eine ringförmige Nut, die den Pumpraum 2a um­ gibt und den O-Ring 21 aufnimmt. Der Pumpraum 2a des zweiten Zylinderblocks 2 hat eine im wesentlichen el­ liptische Gestalt und ist dazu eingerichtet, einen er­ sten Rotor 9 aufzunehmen, welcher sich auf der unteren, ersten Stützwelle 7 abstützt, und einen zweiten Rotor 10, welcher sich auf der oberen, zweiten Stützwelle 8 abstützt. Die beiden Rotoren 9 und 10 haben eine vorbe­ stimmte äußere Gestalt und rotieren in dem Pumpraum 2a in gegenläufigen Richtungen, wie durch die Pfeile in Fig. 2 gezeigt, unter Einhaltung eines kleinen Spaltes hierzwischen. Der zweite Zylinderblock 2 ist ferner mit einer Gaseinlaßöffnung 2b versehen, die mit dem Pump­ raum 2a in Verbindung steht, um ein Gas, z. B. Luft, in Abhängigkeit der Rotation der Rotoren 9 und 10 anzusau­ gen. Der zweite Zylinderblock 2 weist ferner eine Gas­ auslaßöffnung 2c zum Ausstoßen des Gases auf. Die Gas­ einlaß- und die Gasauslaßöffnung 2b und 2c sind im all­ gemeinen horizontal angeordnet, so daß im wesentlichen koaxiale Bohrungen in einander gegenüberliegenden Sei­ tenwandbereichen des zweiten Zylinderblocks 2 entste­ hen.

Wie in Fig. 4 gezeigt, weist der vierte Zylinder­ block 4 einen Pumpraum 4a ähnlich dem Pumpraum 2a des zweiten Zylinderblocks 2 auf. Der Pumpraum 4a ist in dem vierten Zylinderblock 4 von einer dem dritten Zy­ linderblock 3 zuliegenden Endfläche ausgespart und nimmt einen ersten Rotor 11 und einen zweiten Rotor 12 auf, die an der ersten bzw. zweiten Stützwelle 7 und 8 angeordnet sind, um sich gemeinsam zu drehen. Die Roto­ ren 11 und 12 arbeiten zusammen, um eine Pumptätigkeit innerhalb des Pumpraums 4a zu vollziehen. Der vierte Zylinderblock 4 ist außerdem mit einer Gaseinlaßöff­ nung 4b und einer Gasauslaßöffnung 4c versehen, die als koaxiale horizontale Bohrungen in einander gegenüber­ liegenden Seitenwänden des vierten Zylinderblocks 4 ausgeführt sind. Hierbei ist, wie in der Fig. 1 deut­ lich zu erkennen, die axiale Länge des die frühere Stufe bildenden Pumpraums 2a des zweiten Zylinderblocks 2 so gestaltet, daß sie größer ist als die des die spä­ tere Stufe bildenden Pumpraums 4a des vierten Zylinder­ blocks 4. Dementsprechend ist die axiale Länge jedes der Rotoren 9 und 10, die in dem Pumpraum 2a der frühe­ ren Stufe aufgenommen sind, größer als die jedes der Rotoren 11 und 12, die in dem Pumpraum 4a der späteren Stufe aufgenommen sind.

Wie in Fig. 3 gezeigt, weist der dritte Zylinderblock 3 (siehe Fig. 1) einen Gasdurchlaß 3a auf, der horizontal durch ihn hindurchgebohrt ist, orthogonal zur Rota­ tionsachse jeder der Stützwellen 7 und 8.

Wie Fig. 1 zeigt, weist der fünfte Zylinderblock 5 zwei zylindrische Aussparungen auf, die in seiner dem vier­ ten Zylinderblock 4 zuliegenden Endfläche ausgebildet sind und sich um die zwei durchgehenden Bohrungen er­ strecken, in denen die erste und die zweite Stützwelle 7 und 8 verlaufen. In den zwei zylindrischen Ausspa­ rungen sind Lager 5b und 5a aufgenommen, worin die er­ ste und die zweite Stützwelle 7 und 8 drehbar gestützt sind.

Wie in den Fig. 1 und 5 gezeigt, weist der sechste Zylinderblock 6 einen in ihm von einer dem fünften Zy­ linderblock 5 zuliegenden Endfläche ausgesparten Ge­ trieberaum 6a auf. Der Getrieberaum 6a ist durch den O-Ring 21 abgedichtet, der in einer ringförmigen Aus­ sparung aufgenommen ist, die so gestaltet ist, daß sie den Getrieberaum 6a umschließt. Ein unterer Bereich des Getrieberaums 6a bildet einen Ölspeicherbereich 6b zum Speichern eines Schmieröls 22. In dem Getrieberaum 6a ist ein in Stahl ausgeführtes Antriebszahnrad 13 (ein unteres Zahnrad) fest an der ersten Stützwelle 7 ange­ bracht, und ein in Kunststoff ausgeführtes getriebenes Zahnrad 14 (ein oberes Zahnrad) ist fest an der zweiten Stützwelle 8 angebracht, um mit dem Antriebszahnrad 13 in Eingriff zu treten. Das treibende und das getriebene Zahnrad 13 und 14 bilden einen Steuergetriebezug zum Übertragen einer Drehantriebskraft des Antriebsmotors M.

Der sechste Zylinderblock 6 hat eine äußere ebene End­ fläche, mit der ein Körper 20 des Antriebsmotors M mit­ tels mehrerer Schraubenbolzen (nicht gezeigt) verbunden ist, und eine sich von dem Körper 20 auswärts erstreckende Abtriebswelle des Antriebsmotors M ist mit der ersten Stützwelle 7 durch eine geeignete Verbindungs­ vorrichtung (nicht gezeigt) gekoppelt. Wenn sich die Abtriebswelle des Antriebsmotors M dreht, wird das un­ tere Antriebszahnrad 13 an der ersten Stützwelle 7 zu einer Drehbewegung angetrieben. Das untere Antriebs­ zahnrad 13, von dem ein Teil in das Schmieröl 22 in dem Ölspeicherbereich 6b des Getrieberaums 6a eintaucht, spritzt somit das Schmieröl auf das obere, getriebene Zahnrad 14. Die Menge an Schmieröl 22, die in den Öl­ speicherbereich 6b gefüllt und darin gespeichert wird, wird so vorbestimmt, daß sie eine Höhe "h" erreicht, wie in Fig. 5 gezeigt, so daß ein Teil des treibenden Zahnrades 13 ständig in das Schmieröl 22 getaucht ist.

Wie in den Fig. 2 bis 4 und in Fig. 6 gezeigt, sind eine erste und eine zweite Seitenplatte 16 und 17 mit den einander gegenüberliegenden Seiten des zweiten bis vierten Zylinderblocks 2 bis 4 über Dichtungen 18 und 19 unter Verwendung von Schraubenbolzen (nicht gezeigt) verbunden. Die erste und die zweite Seitenplatte 16 und 17 wirken mit dem zweiten bis vierten Zylinderblock 2 bis 4 zusammen, um das Gehäuse der gesamten Pumpein­ richtung gemäß der ersten Ausführungsform zu bilden.

Wie in den Fig. 2, 3 und 6 deutlich gezeigt, ist die zweite Seitenplatte 17 mit einer Gaseinlaßöffnung 17a versehen, welche mit der Gaseinlaßöffnung 2b des zwei­ ten Zylinderblocks 2 in Fließverbindung steht, während die erste Seitenplatte 16 einen Verbindungskanal 16a aufweist, der mit der Gasauslaßöffnung 2c des zweiten Zylinderblocks 2 und mit dem Gasdurchlaß 3a des dritten Zylinderblocks 3 in Fließverbindung steht.

Die Gaseinlaßöffnung 17a der zweiten Seitenplatte 17 ist horizontal in die zweite Seitenplatte 17 gebohrt, und der Verbindungskanal 16a der ersten Seitenplatte 16 verläuft axial ausgespart in der ersten Seitenplatte 16.

Wie die Fig. 3, 4 und 6 zeigen, ist die zweite Sei­ tenplatte 17 ferner mit einem Verbindungskanal 17b ver­ sehen, der mit dem Gasdurchlaß 3a des dritten Zylinder­ blocks 3 und mit einer Gaseinlaßöffnung 4b des vierten Zylinderblocks 6 in Fließverbindung steht, und die er­ ste Seitenplatte weist ferner eine Gasauslaßöffnung 16b auf, die mit einer Gasauslaßöffnung 4c des vierten Zy­ linderblocks 4 in Fließverbindung steht. Die Verbin­ dungskanäle 17b der zweiten Seitenplatte 17 sind in der zweiten Seitenplatte 17 axial ausgespart, und die Gas­ auslaßöffnung 16b der ersten Seitenplatte 16 verläuft horizontal gebohrt in der ersten Seitenplatte 16.

Es ist zu erwähnen, daß die geradlinigen Pfeile G1 bis G5, wie in Fig. 6 dargestellt, den Fluß des Gases in der Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform zeigen.

Die beschriebene mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann dazu verwendet werden, ein Gas, z. B. Luft, aus einem gegebenen geschlossenen Raum abzupumpen. In diesem Fall, wie Fig. 6 zeigt, wird die mehrstufige Pumpein­ richtung so installiert, daß die Gaseinlaßöffnung 17a der zweiten Seitenplatte 17 der mehrstufigen Roots- Pumpe P so gerichtet ist, daß sie über ein geeignetes Rohrelement nach dem geschlossenen Raum hin offen ist. Weiter ist die Gasauslaßöffnung 16b der ersten Seiten­ platte 16 der mehrstufigen Roots-Pumpe P so gerichtet, daß sie über ein geeignetes Rohr zur Atmosphäre hin of­ fen ist. Anschließend wird die Drehantriebsquelle, d. h. der Motor M, in Betrieb gesetzt, um die mehrstufige Roots-Pumpe P anzutreiben. Damit drehen sich die ersten und zweiten Rotoren 9; 10 und 11; 12 in dem Pumpraum 2a und 4a der ersten und zweiten Stufe der mehrstufigen Roots-Pumpe P, und zwar unter Einhaltung eines kleinen Spaltes hierzwischen, um eine Pumptätigkeit innerhalb des jeweiligen ersten und zweiten Pumpraums 2a und 4a durchzuführen. In der Folge wird die Luft aus dem ge­ schlossenen Raum heraus zur Atmosphäre hin gepumpt, um so ein in dem geschlossenen Raum herrschendes Druck­ niveau zu senken. Auf diese Weise wird ein gewünschter Vakuumzustand in dem geschlossenen Raum erzeugt.

Während des Pumpbetriebs der mehrstufigen Pumpeinrich­ tung wird die durch den Motor M ausgeübte Drehantriebs­ kraft auf die Rotoren 9 bis 12 über das treibende und das getriebene Zahnrad 13 und 14 des Steuergetriebezugs und die erste und zweite Stützwelle 7 und 8 übertragen. Hierbei wird, weil der Steuergetriebezug (das Antriebs­ zahnrad und das getriebene Zahnrad 13 und 14) benach­ bart zu der Abtriebswelle des Antriebsmotors M angeord­ net sind, die Übertragung der Drehantriebskraft von dem Antriebsmotor M auf den Steuergetriebezug sicher voll­ zogen, ohne daß sich eine abträgliche Beeinflussung durch eine Torsion der ersten und der zweiten Stütz­ welle 7 und 8 ergibt, verursacht durch eine Pumplast während des Pumpens des Gases. Folglich führen die er­ ste und die zweite Stützwelle 7 und 8 und alle Rotoren 9 bis 12 eine ruhige Rotationsbewegung aus, um so kon­ stant einen ruhigen Pumpbetrieb der mehrstufigen Roots- Pumpe P sicherzustellen.

Da des weiteren die mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform, welche die mehrstufige Roots-Pumpe P umfaßt, eine Anordnung aufweist, wobei die erste und die zweite Stützwelle 7 und 8 in separa­ ten horizontalen Ebenen "P1" und "P2" liegen, die ver­ tikal voneinander beabstandet sind, können die zusam­ menwirkenden Rotoren 9 und 10 vertikal aneinander an­ grenzend in dem entsprechenden Pumpraum 2a der ersten Stufe angeordnet werden, und die zusammenwirkenden Ro­ toren 11 und 12 können ebenfalls vertikal aneinander angrenzend in dem entsprechenden Pumpraum 4a der zwei­ ten Stufe angeordnet werden. Wenn also die mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform an ei­ nem gegebenen Ort installiert wird, kann eine deutliche Reduzierung des Platzbedarfs der mehrstufigen Roots- Pumpe P gegenüber dem Platzbedarf der herkömmlichen Roots-Pumpe erreicht werden, bei der die zusammenwir­ kenden Rotoren seitlich nebeneinander angeordnet sind, bedingt durch eine Anordnung, bei der die die Rotoren tragenden Stützwellen in einer einzelnen gemeinsamen horizontalen Ebene liegen. Die mehrstufige Pumpeinrich­ tung hat daher erweiterte Vielseitigkeit, weil sie in verschiedenen kleinen Montageräumen installiert werden kann.

Hinzu kommt, daß bei der mehrstufigen Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform nur ein unterer Teil des Antriebszahnrades 13 des Steuergetriebezuges in das Schmieröl 22 in dem Ölspeicherbereich 6b des Getriebe­ raums 6a taucht, so daß das Schmieröl infolge der Rota­ tion des treibenden Zahnrades 13 auf das getriebene Zahnrad 14 des Steuergetriebezuges gespritzt wird, der­ art, daß das getriebene Zahnrad 14 mit dem hochge­ schleuderten Schmieröl versorgt wird. Aus diesem Grund kann die Menge an Schmieröl, die in dem Ölspeicherbe­ reich 6b gespeichert wird und alle treibenden und ge­ triebenen Zahnräder 13 und 14 des Steuergetriebezuges schmiert, klein gehalten werden und erreicht nur die Höhe "h" ab Boden des Getrieberaums 6a. Im einzelnen ist es nicht erforderlich, den Getrieberaum 6a mit ei­ ner großen Menge an Schmieröl 22 zu befüllen, in dem sowohl das treibende wie auch das getriebene Zahnrad 13 und 14 gleichzeitig eingetaucht sind. Außerdem kann der Eingriff des getriebenen Zahnrades 14, das aus einem Kunststoffmaterial - typisch Nylon - hergestellt ist, mit dem in Metall ausgeführten Antriebszahnrad 13 die Geräuschentwicklung während der Rotation dieser beiden Zahnräder 13 und 14 ausreichend reduzieren. Dementspre­ chend kann sichergestellt werden, daß der Pumpbetrieb der mehrstufigen Pumpeinrichtung sehr leise vonstatten geht.

Der Eingriff des aus Metall hergestellten Antriebszahn­ rades 13 mit dem aus Kunststoff gefertigten getriebenen Zahnrad 14 des Steuergetriebezugs kann mechanisch steif sein, verglichen mit dem Eingriff, der sich ergibt, wenn ausschließlich in Kunststoff ausgeführte Zahnräder zum Eingriff kommen. Darüber hinaus kann der Eingriff zwischen dem Antriebszahnrad 13 aus Metall und dem ge­ triebenen Zahnrad 14 aus Kunststoff widerstandsfähiger gegen Wärmedehnung gemacht werden als der Eingriff von zwei Kunststoffzahnrädern, wodurch eine Veränderung in einem Spalt zwischen den zwei zusammenwirkenden Rotoren 9; 10 und 11; 12 in den entsprechenden Pumpräumen, die durch eine Wärmedehnung der ineinandergreifenden Räder 13 und 14 entstehen könnte, sicher verhindert werden kann. Dementsprechend kann die mehrstufige Pumpein­ richtung gemäß der ersten Ausführungsform eine gleich­ bleibende Pumpleistung aufrechterhalten, selbst wenn sie über einen langen Zeitraum hinweg im Dauerbetrieb läuft.

Ferner ist in der Ausführung der mehrstufigen Pumpein­ richtung gemäß der ersten Ausführungsform die Gasein­ laßöffnung 2b des Pumpraums 2a der früheren Stufe an einer Stelle angeordnet, die von dem Steuergetriebezug in dem Getrieberaum 6a entfernt liegt, und die Gasaus­ laßöffnung 4c des Pumpraums 4a der späteren Stufe ist in zu dem Steuergetriebezug benachbarter Lage angeord­ net. Wenn also die mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform dazu verwendet wird, Luft aus einem gegebenen Raum zu pumpen, dann wird selbst in dem Fall, daß Schmieröl - infolge des während der Rota­ tion des unteren Steuerzahnrades 14 auftretenden Sprit­ zens des Schmieröls - aus dem Ölspeicherbereich 6b des Getrieberaums 6a aus der Pumpeinrichtung nach außen sickert, das Lecköl die Gaseinlaßöffnung 2b des Pump­ raums 2a der vorderen Stufe, die nach dem gegebenen Raum hin öffnet, nicht erreichen. Aus diesem Grund kann das Gas (die Luft) in dem gegebenen Raum von der mehr­ stufigen Pumpeinrichtung gemäß der ersten Ausführungs­ form ohne Kontamination durch das Schmieröl gepumpt werden, so daß ein sauberes Milieu für den gegebenen gepumpten Raum gewährleistet werden kann.

Eine mehrstufige Pumpeinrichtung mit einer mehrstufigen Pumpe vom Roots-Typ gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt schematisch Fig. 7.

Nach Fig. 7 ist die mehrstufige Pumpeinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform so gestaltet und angeord­ net, daß drei Rotoren miteinander zusammenwirken, um ein Gas in jedem der Mehrstufen-Pumpräume zu pumpen. Ein Zylinderblock 30 der mehrstufigen Roots-Pumpe weist einen in ihm gebildeten Getrieberaum 30a auf, der im wesentlichen dem Getrieberaum 6a des sechsten Zylin­ derblocks 6 der ersten Ausführungsform entspricht und in dem ein Steuergetriebezug aufgenommen ist, bestehend aus drei Steuerzahnrädern 34 bis 36. Die drei Steuer­ zahnräder 34 bis 36 sind an drei Stützwellen 31 bis 33 angeordnet, auf denen sich Rotoren (nicht gezeigt) ab­ stützen, und werden miteinander zum Eingriff gebracht, um eine Drehantriebskraft eines (nicht gezeigten) Mo­ tors von einer ersten Stützwelle 31, an der das An­ triebszahnrad 34 angeordnet ist, auf die anderen bei­ den, getriebenen Stützwellen 32 und 33 zu übertragen, an denen die getriebenen Steuerzahnräder 35 und 36 an­ geordnet sind.

Die Antriebsstützwelle 31 hat eine Drehachse, die in einer horizontalen Ebene "P1" liegt, und die getriebe­ nen Stützwellen 32 und 33 haben ihre eigenen Drehach­ sen, die in weiteren horizontalen Ebenen "P2" bzw. "P3" liegen. Die horizontalen Ebenen "P1", "P2" und "P3" sind vertikal voneinander beabstandet, so daß die drei Steuerzahnräder 34 bis 36, die an diesen drei Stütz­ wellen 31 bis 33 befestigt sind, im wesentlichen ver­ tikal angeordnet sind. Im einzelnen sind die drei Stützwellen 31 bis 33 so angeordnet, daß sie weder zu­ einander parallel in einer einzelnen gemeinsamen hori­ zontalen Ebene liegen, noch daß sie in einem Abstand der Reihe nach in seitlicher Richtung angeordnet sind. Demnach können die an diesen drei Stützwellen 31 bis 33 innerhalb jedes Pumpraums angeordneten Rotoren vertikal angeordnet in einer einzelnen Ebene, die vertikal zu den drei horizontalen Ebenen "P1", "P2" und "P3" verläuft, und dementsprechend kann der Gesamtplatz­ bedarf der mehrstufigen Pumpeinrichtung der zweiten Ausführungsform, der zum Aufstellen der Pumpeinrichtung in einer gewünschten Montageposition erforderlich ist, klein gehalten werden. Folglich kann eine große Viel­ seitigkeit in der Verwendung der mehrstufigen Pump­ einrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform erlangt werden.

Bevorzugt ist das Antriebszahnrad 34 aus Kunststoff hergestellt, z. B. Nylon, und die übrigen zwei getrie­ benen Zahnräder 35 und 36 sind aus Stahl gefertigt. Das getriebene Steuerzahnrad 35 taucht in das Schmieröl 22 ein, um das treibende Steuerzahnrad 34 und das andere getriebene Steuerzahnrad 36 während der Rotation dieser drei Steuerzahnräder 34 bis 36 in dem Getrieberaum 30a zu schmieren.

Es versteht sich, daß die andere Ausgestaltung und An­ ordnung der mehrstufigen Pumpeinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform im wesentlichen derjenigen der mehrstufigen Pumpeinrichtung der im vorstehenden be­ schriebenen ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gleichwertig ist. Dementsprechend kann die mehrstufige Pumpeinrichtung der zweiten Ausführungsform die gleichen vorteilhaften Wirkungen zeigen, wie sie vermittels der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erhalten werden.

Die erste und die zweite Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung können modifiziert und auf eine weitere, andere Ausführungsform angewendet werden, bei der eine Pumpeinrichtung lediglich einen einstufigen Pumpraum aufweist. Für den Fachmann werden also zahlreiche und verschiedene Möglichkeiten der Modifikation und Ände­ rung der vorliegenden Erfindung erkennbar sein, ohne den Bereich der Erfindung, wie er in den beigefügten Ansprüchen dargelegt ist, zu verlassen.

Claims (11)

1. Pumpe vom Roots-Typ, umfassend:
ein Gehäuse mit mindestens einem darin gebildeten Pumpraum, welches eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung aufweist;
eine Mehrzahl von Stützwellen, welche durch das Gehäuse drehbar gehalten werden und so angeordnet sind, daß sie im wesentlichen parallel zueinander sind; und
eine Mehrzahl von Rotoren, von denen jeder an ei­ ner der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um gemeinsam zu rotieren, wobei die Mehrzahl von Rotoren in dem Pumpraum angeordnet sind und zusam­ menwirken, um während der Rotation der Mehrzahl von Rotoren eine Pumpwirkung auf ein über die Gas­ einlaßöffnung eingeführtes Gas anzuwenden, so daß das Gas über die Gasauslaßöffnung des Gehäuses ausgestoßen wird;
wobei jede der Mehrzahl von Stützwellen eine Dreh­ achse hat, die in einer von einer Mehrzahl von ho­ rizontalen Ebenen liegt, welche so angeordnet sind, daß sie in der vertikalen Richtung voneinan­ der beabstandet sind, so daß sich die Mehrzahl von Rotoren zusammenwirkend drehen in einer Ebene, die in bezug auf die Mehrzahl von horizontalen Ebenen, in welchen die Drehachsen der Stützwellen liegen, senkrecht steht.

2. Pumpe vom Roots-Typ nach Anspruch 1, wobei die Roots-Pumpe eine Mehrzahl von Pumpräumen 1 bis N aufweist (N = eine ganze Zahl gleich oder größer als 2), die in dem Gehäuse gebildet sind und in einer Richtung parallel zu den Drehachsen der Mehrzahl von Stützwellen voneinander getrennt sind, und wobei die Mehrzahl von Rotoren eine Mehrzahl von Gruppen von Rotoren 1 bis N bilden, wobei jede der ersten bis Nten Rotorgruppe zwei oder mehr Rotoren umfaßt, welche in jedem der Pumpräume 1 bis N drehbar angeordnet sind, so daß sie in einer Ebene senkrecht zu der Mehrzahl von horizontalen Ebenen zusammenwirkend drehbar sind.

3. Pumpe vom Roots-Typ nach Anspruch 1, wobei die Mehrzahl von Stützwellen eine Antriebsstützwelle umfassen, welche eine Drehantriebskraft von einer Drehantriebsquelle erhält, wobei die übrigen Stützwellen aus der Mehrzahl von Stützwellen von der Antriebsstützwelle über einen Steuergetriebe­ zug zu einer Drehbewegung angetrieben werden.

4. Pumpe vom Roots-Typ nach Anspruch 1, wobei das Ge­ häuse mindestens einen Zylinderblock umfaßt, der eine vertikal-längliche elliptische Ausnehmung aufweist, welche den Pumpraum bildet, wobei der Zylinderblock mit der Gaseinlaß- und der Gasaus­ laßöffnung versehen ist, derart, daß dieselben seitlich koaxial miteinander angeordnet sind.

5. Pumpe vom Roots-Typ nach Anspruch 4, wobei das Ge­ häuse ferner zwei Seitenplatten umfaßt, welche mit einander gegenüberliegenden Seitenflächen des Zy­ linderblocks verbunden sind, wobei eine der Sei­ tenplatten mit einer Gaseinlaßöffnung versehen ist, die in Fließverbindung mit der Gaseinlaßöff­ nung des Zylinderblocks steht, und die andere der Seitenplatten mit einer Gasauslaßöffnung versehen ist, die in Fließverbindung mit der Gasauslaßöff­ nung des Zylinderblocks steht, wobei die Gasein­ laßöffnung der einen der Seitenplatten zu einem gegebenen Bereich hin gerichtet ist, aus dem das Gas abgepumpt wird, und die Gasauslaßöffnung der anderen der Seitenplatten zum Äußeren des gegebe­ nen Bereichs gerichtet ist.

6. Pumpeinrichtung mit einer Pumpe vom Roots-Typ, um­ fassend:
ein Gehäuse mit mindestens einem darin gebildeten Pumpraum, welches eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung aufweist;
eine Mehrzahl von Stützwellen, welche durch das Gehäuse drehbar gehalten werden und so angeordnet sind, daß sie im wesentlichen parallel zueinander sind; und
eine Mehrzahl von Rotoren, von denen jeder an ei­ ner der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um gemeinsam zu rotieren, wobei die Mehrzahl von Rotoren in dem Pumpraum angeordnet sind und zusam­ menwirken, um während der Rotation der Mehrzahl von Rotoren eine Pumpwirkung auf ein über die Gas­ einlaßöffnung eingeführtes Gas anzuwenden, so daß das Gas über die Gasauslaßöffnung des Gehäuses ausgestoßen wird;
wobei jede der Mehrzahl von Stützwellen eine Dreh­ achse hat, die in einer von einer Mehrzahl von ho­ rizontalen Ebenen liegt, welche so angeordnet sind, daß sie in der vertikalen Richtung voneinan­ der beabstandet sind, so daß sich die Mehrzahl von Rotoren zusammenwirkend drehen in einer Ebene, die in bezug auf die Mehrzahl von horizontalen Ebenen, in welchen die Drehachsen der Stützwellen liegen, senkrecht steht, und
wobei die Pumpeinrichtung ferner umfaßt:
eine Drehantriebsquelle mit einem Körper und einer durch den Körper drehbar gehaltenen Antriebswelle mit einem weitergeführten Bereich, der sich über den Körper hinaus erstreckt, wobei die Drehan­ triebsquelle benachbart zu der Roots-Pumpe ange­ ordnet ist; und
einen zwischen der Drehantriebsquelle und der Roots-Pumpe angeordneten Steuergetriebezug, wobei der Steuergetriebezug ein Antriebszahnrad umfaßt, welches entweder an der Antriebswelle der Drehan­ triebsquelle angeordnet ist oder an einer bestimm­ ten aus der Mehrzahl von Stützwellen der Roots- Pumpe, und mindestens ein getriebenes Zahnrad, welches an mindestens einer verbleibenden aus der Mehrzahl von Stützwellen angeordnet ist, um von dem Antriebszahnrad zu einer Drehbewegung ange­ trieben zu werden.

7. Pumpeinrichtung nach Anspruch 6, wobei der weiter­ geführte Bereich der Antriebswelle der Drehan­ triebsquelle eine der Mehrzahl von Stützwellen der Roots-Pumpe bildet.

8. Pumpeinrichtung nach Anspruch 6, wobei eines von den treibenden und getriebenen Zahnrädern des Steuergetriebezugs an einer tiefsten Stelle ange­ ordnet ist, so daß mindestens ein Teil desselben in ein Schmieröl tauchen kann, welches in einem Ölspeicherbereich des Gehäuses gespeichert ist, und aus einem metallischen Werkstoff hergestellt ist, und die übrigen Zahnräder des Steuergetriebe­ zugs an vertikal höherliegenden Stellen angeordnet sind, bezogen auf das an der tiefsten Stelle ange­ ordnete Steuerzahnrad, und aus einem Material her­ gestellt sind, welches von dem metallischen Werks­ stoff verschieden ist.

9. Pumpeinrichtung nach Anspruch 8, wobei die aus dem von dem metallischen Werkstoff verschiedenen Mate­ rial hergestellten Steuerzahnräder Kunststoff­ zahnräder sind.

10. Pumpeinrichtung nach Anspruch 6, wobei in dem Falle, daß das Gehäuse der Roots-Pumpe eine Mehr­ zahl von Anfangs- bis Endstufen-Pumpräumen defi­ niert, so daß jeder Pumpraum eine Gaseinlaßöffnung und eine Gasauslaßöffnung aufweist, die Gaseinlaß- Öffnung des Pumpraums der Anfangsstufe in einer von dem Steuergetriebezug axial weit entfernten Position angeordnet ist und die Gasauslaßöffnung des Pumpraums der Endstufe in einer dem Steuerge­ triebezug axial nächsten Position angeordnet ist.

11. Pumpeinrichtung nach Anspruch 6, wobei die Drehan­ triebsquelle der Pumpeinrichtung einen elektri­ schen Antriebsmotor umfaßt, welcher eine horizon­ tal verlaufende Antriebswelle aufweist, auf die eine Drehantriebskraft ausgeübt wird.