CN101985936B - 一种非对称爪型真空泵 - Google Patents
一种非对称爪型真空泵 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101985936B CN101985936B CN2010105656108A CN201010565610A CN101985936B CN 101985936 B CN101985936 B CN 101985936B CN 2010105656108 A CN2010105656108 A CN 2010105656108A CN 201010565610 A CN201010565610 A CN 201010565610A CN 101985936 B CN101985936 B CN 101985936B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- claw
- vacuum pump
- main shaft
- claw type
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种非对称爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在主轴一侧的从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，相互啮合的两个爪型转子节圆半径不相等，因此接触点的两爪的转子线速度不同，产生表面滑移气流，能及时将转子表面的杂物刮去，使干泵保持良好的工作状态。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种非对称爪型真空泵。
背景技术
爪型干式真空泵是备受半导体,光学器件等高科技行业青睐的一种容积式干式真空泵。 但这种泵需要在大气、富含水蒸气、酒精、汽油或粉尘等特殊应用环境中进行工作，由于真空泵长期在处理大量含颗粒物的气体时, 不但会受到腐蚀, 而且在压缩过程中会产生固体颗粒物，附着在爪型转子上不断累积。而目前现有的对称爪式真空泵运行时两个对称爪型转子接触点始终不变，相当于两爪在作同步滚动，两爪型转子总在相同点啮合，造成两爪型转子接触点间隙减小，至一定程度时会使接触点部位局部磨损，造成电机发热卡死，使泵爪的使用寿命减少，同时造成工作效率极大的降低。
发明内容
针对现有的爪型干式真空泵所存在的问题，本发明提供一种非对称爪型真空泵，解决爪型干式真空泵使用寿命短，工作效率低的问题。
本发明的非对称爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在主轴一侧的从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，其特征在于相互啮合的两个爪型转子节圆半径不相等。
所述的两个爪型转子的节圆半径差值小于或等于转子中心距的20%。
所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。
所述的爪型转子级数为1级～6级。
所述的爪型转子级数为2级～6级时，相邻两级之间用隔板隔开。
本发明与现有技术相比较显著的特点和产生的有益效果是：两个相互啮合的爪型转子节圆半径不同，两爪型转子接触点的线速度不同，这种结构的转变能及时将转子表面粘附的杂物刮去，使爪型转子的磨损大大降低，进而使泵的使用寿命能得到大幅度的提高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的非对称爪型转子结构示意图；
图中：1电机、2联轴器、3主轴、4从动齿轮、5从动轴、6从动转子、7隔板、8主动转子、9主动齿轮、10右轴承、11齿轮箱、12右轴承座、13联轴器架、14左轴承座、15轴承端盖、16泵体、17左轴承。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明。
例1.由图1所示非对称爪型真空泵的构成是，电机1通过联轴器2与主轴3相连接，主动齿轮9和从动齿轮4通过键连接分别装配在主轴3和从动轴5上，在主轴3和从动轴5上装配有4级二爪的爪型转子，且相啮合的两个爪型转子的节圆半径差值为转子中心距的5%，各爪型转子通过键连接分别固定在对应的轴上，在主轴3和从动轴5两端的轴肩处均装配有轴承，右轴承10装配在右轴承座12上，右轴承座12内部的空腔与右轴承座12侧面的排气口相通，左轴承17装配在左轴承座14上，左轴承座14的顶部开有一进气口，进气口与左轴承座14内部的空腔相通；右轴承座12的右端面通过螺栓与齿轮箱11相连接，在主轴3和从动轴5延伸到齿轮箱11的轴肩部分装配有主动齿轮9和从动齿轮4，齿轮箱11与联轴器架13通过螺栓相连接，电机1通过螺栓固定在联轴器架13上，右轴承座12的左端面通过螺栓与泵体16相连接，泵体16内部的爪型转子组之间通过隔板7隔开，隔板7上设置有主轴3的轴孔和从动轴5的轴孔，在主轴3的轴孔下方开一气孔，在从动轴5的轴孔上方开一气孔，两个气孔沿隔板7上轴孔所在的直线上下对称分布。左轴承座14通过螺栓与泵体16相连接，轴承端盖15通过螺栓固定在左轴承座14上。
本发明的工作过程是：由电机1提供动力源，带动主轴3上的主动齿轮9旋转，进而带动从动齿轮4旋转。如此便实现了主动转子8和从动转子6的同步旋转。转子间无接触啮合，连同泵体内壁形成封闭的空间，从而实现周期性的吸气和排气。
泵内包含有四级转子，各级转子之间用隔板7隔开。转子与转子、转子与泵体内壁之间相互作用排出的气体通过隔板7上的气孔排出。在各级转子转动作用下，实现气体的输运过程。抽气时由于两爪型转子节圆半径不同，因此转速也不相同，这样使附着在爪上的粒子不断被刮掉，使泵爪的磨损大大降低，泵爪的使用寿命也得到大幅增加，减少了维修，降低了生产成本，提高了工作效率。
例2.其结构，连接和工作过程与实施例1相同，不同点在于主轴3和从动轴5上装配有6级四爪的爪型转子，且相啮合的两个爪型转子的节圆半径差值为转子中心距的15%，
Claims (4)
1.一种非对称爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在主轴一侧的从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，其特征在于相互啮合的两个爪型转子节圆半径不相等；两个爪型转子的节圆半径差值小于或等于转子中心距的20％。
2.如权利要求1所述的一种非对称爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。
3.如权利要求1所述的一种非对称爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为1级～6级。
4.如权利要求3所述的一种非对称爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为2级～6级时，相邻两级之间用隔板隔开。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010105656108A CN101985936B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种非对称爪型真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010105656108A CN101985936B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种非对称爪型真空泵 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101985936A CN101985936A (zh) | 2011-03-16 |
| CN101985936B true CN101985936B (zh) | 2012-06-27 |
Family
ID=43710321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010105656108A Active CN101985936B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种非对称爪型真空泵 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101985936B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106640638A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-05-10 | 西安航天动力研究所 | 一种空间用爪型干式真空泵 |
| CN108050061B (zh) * | 2018-01-09 | 2023-08-29 | 中国石油大学(华东) | 一种高效爪式转子 |
| FR3117176B1 (fr) * | 2020-12-04 | 2023-03-24 | Pfeiffer Vacuum | Pompe à vide |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB770475A (en) * | 1954-10-29 | 1957-03-20 | Frank Berry | Improvements in or relating to rotary devices of the rotary abutment type |
| EP0953771A1 (en) * | 1998-04-27 | 1999-11-03 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Single-stage and multi-stage roots pump |
| CN2646419Y (zh) * | 2003-09-30 | 2004-10-06 | 巴一 | 一种非对称爪型干式真空泵 |
| CN1862020A (zh) * | 2005-05-10 | 2006-11-15 | 北京朗禾科技有限公司 | 爪型干式真空泵 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000161269A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-13 | Toyota Autom Loom Works Ltd | ルーツポンプ及びポンプ装置 |
-
2010
- 2010-11-30 CN CN2010105656108A patent/CN101985936B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB770475A (en) * | 1954-10-29 | 1957-03-20 | Frank Berry | Improvements in or relating to rotary devices of the rotary abutment type |
| EP0953771A1 (en) * | 1998-04-27 | 1999-11-03 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Single-stage and multi-stage roots pump |
| CN2646419Y (zh) * | 2003-09-30 | 2004-10-06 | 巴一 | 一种非对称爪型干式真空泵 |
| CN1862020A (zh) * | 2005-05-10 | 2006-11-15 | 北京朗禾科技有限公司 | 爪型干式真空泵 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JP特开2000-161269A 2000.06.13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101985936A (zh) | 2011-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101985937B (zh) | 一种三轴爪型真空泵 | |
| CN201988551U (zh) | 一种平板玻璃清洗机 | |
| CN101985936B (zh) | 一种非对称爪型真空泵 | |
| CN101985939B (zh) | 一种具有轴端动密封结构的干式真空泵 | |
| CN101985935B (zh) | 一种三轴罗茨真空泵 | |
| CN101985938A (zh) | 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵 | |
| CN202228647U (zh) | 汽车传动箱 | |
| CN1862020A (zh) | 爪型干式真空泵 | |
| CN204126885U (zh) | 减噪油泵齿轮组件 | |
| CN213360419U (zh) | 一种车载粉粒物料输送用双螺杆空压机 | |
| CN100510410C (zh) | 一种用于回转式容积泵的转子 | |
| CN201802623U (zh) | 同步气道无脉冲爪形干式无油真空泵 | |
| CN201874823U (zh) | 三叶形水冷罗茨真空泵 | |
| CN113245300A (zh) | 一种板材除尘设备 | |
| CN202954967U (zh) | 一种消防泡沫输送齿轮泵 | |
| CN110961393A (zh) | 一种用于太阳能电池板的清扫机构 | |
| CN201206552Y (zh) | 自润滑真空压力复合气泵 | |
| CN103334924B (zh) | 一种叶片泵与齿轮泵组合的大排量泵 | |
| CN102121475A (zh) | 三叶形水冷罗茨真空泵 | |
| CN211009080U (zh) | 高速高压三叶罗茨风机 | |
| CN203601005U (zh) | 一种双液压马达四轮驱动的扒渣机 | |
| CN201730827U (zh) | 塑胶类齿轮泵装置 | |
| CN203761199U (zh) | 一种纯电动清扫车集成两档变速箱的驱动电机 | |
| CN202725252U (zh) | 一种锤式破碎机 | |
| CN203247199U (zh) | 改进型星型出灰机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C53 | Correction of patent for invention or patent application | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 110819 Heping Road, Heping District, Liaoning, Shenyang, Lane No. 11, No. 3 Applicant after: Northeastern University Co-applicant after: Shenyang Scientific Apparatus Co., Ltd. of Chinese Academy of Sciences Address before: 110819 Heping Road, Heping District, Liaoning, Shenyang, Lane No. 11, No. 3 Applicant before: Northeastern University Co-applicant before: Shenyang Scientific Instrument Research & Mfg. Center Co., Ltd., C.A.S |
|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |