CN2646419Y - 一种非对称爪型干式真空泵 - Google Patents

Abstract

一种尤其适用于半导体加工行业使用的非对称爪型真空泵，它在具有泵壳，主、从动轴，主、从动齿轮结构的真空泵基础上，沿主、从动轴轴身延长方向分别设有主、从动转子，其形态相同大小不等，转子上的爪数2～6只，爪间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成，由此构成的转子对间还设有具有吸、排口的隔板，相邻转子对沿轴断面的圆周方向以30～90°夹角设置，此泵相对现有技术具有容积利用系数大，真空度高，结构简单，耗能少，噪声小，成本低的优点。

Description

一种非对称爪型干式真空泵

技术领域

本实用新型涉及一种真空泵，尤其是关于高真空、高洁度的非对称爪型干式真空泵。

背景技术

目前，真空设备中的干式真空泵系由泵体、轴和设在轴上的爪型转子构成，现有爪型转子之一般为圆弧+摆线+圆弧的六段式的爪型转子，如专利93106586.0和专利01232818.9所公开的爪型干式真空泵，此泵虽比在前泵类取得较为明显进步，但在实用中仍然感到集成度低、能耗多、噪声大、真空排气性能差，洁度满足不了半导体行业苛刻工艺要求。

发明内容

针对上述不足之处，本实用新型提供一种结构简单，集成度高，能耗噪音低、真空排气性能好，特别适用于半导体加工行业，具有容积利用系数大，真空轴速高的非对称爪型干式真空泵。

本实用新型为解决其技术问题所采取的技术方案是在泵壳内，横向设有主动轴、从动轴、主动齿轮和与其啮合的从动轴齿轮的爪泵基础上，沿主动轴、从动轴轴身延长方向分别设有将空气吸入，携带压缩并排出的相互啮合的主动转子、从动转子和由其构成的转子对间设有用于间隔共与泵壳组成空气容积的空心隔板，此板侧壁各有吸气口和排气口，两种转子形态相同但大小不等，转子上的爪数2～6只，爪与爪之间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成，相邻转子沿轴断面的圆周方向，以30～90°夹角设置，其设置转子对数依需求真空程度大小增减，本实用新型其总体结构上可为立式，转子水平设置，沿其竖轴运转，也可卧式，转子垂直设置，沿其平轴运转。由于上级隔板上开设进气口，下级隔板上开设出气口，此泵运转时气体经进气口进入泵腔内，再经转动的转子携带和压缩后从出气口排入下一级隔板中直至最后一级排出泵体外，从而实现抽速大的发明目的。

本实用新型的有益效果是气容体积大、集成度高、真空排气性能好、结构简单、能耗及噪音低，特别适用于半导体、化工、冶金等行业。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1是本实用新型第一个实施例断面剖视结构示意图。

图2是本实用新型第二个实施例断面剖视结构示意图。

图3是本实用新型卧式应用实例断面剖视结构示意图。

图4是本实用新型立式应用实例断面剖视结构示意图。

图中1主动转子，2从动转子，3泵壳，4主动轴，5从动轴，6吸气口，

7排气口，8三爪型主动转子，9三爪型从动转子，10隔板，11从动轴齿轮

12主动轴齿轮

具体实施方式

本实用新型在泵壳(3)中横向设有主动轴(4)、从动轴(5)，主动轴齿轮(12)和与其啮合的从动轴齿轮(11)，在此基础上，沿主动轴(4)，从动轴(5)之轴身延长方向分别设有相互啮合的主动转子(4或8)，从动转子(2或9)和由其构成的转子对间设有用于隔断的空心隔板(10)，隔板侧壁各设有吸气口(6)和排气口(7)，两种转子形态相同，但大小不等，优选方案是主动转子大于从动转子1.3至1.7倍，转子上的爪数2～6只，优先方案是2～3只，爪与爪之间夹角相等，爪形线由圆弧，摆线、直线以及它们的包络线连接而成，相邻转子对沿轴断面的圆周方以30～90°夹角设置，设在轴上的转子对数可依需求的真空程度大小增减。

图1所示实施例中之转子(1，2)为两爪型，叶形相同大小不等。

图2所示实施例中之转子(8，9)为三爪型，叶形相同大小不等。

图3所示实施例其总体结构为卧式，各转子相对其轴竖直设置，并沿水平方向的轴旋转。

图4所示实施例其总体结构为立式，各转子相对其轴竖直设置，并沿水平方向的轴旋转。

Claims (1)

1.一种非对称爪型干式真空泵，泵壳内横向设有主动轴、从动轴，主动轴齿轮和与其啮和的从动轴齿轮，其特征是沿主动轴、从动轴轴身延长方向分别设有相互啮合的主动转子、从动转子和由其构成的转子对间设有用于隔断的空心隔板，此板侧壁各设有吸气口和排气口；两种转子形态相同，大小不等，转子上的爪数2～6只，爪与爪之间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成；相邻转子对沿轴断面的圆周方向以30～90°夹角设置，轴上转子对的数量依真空程度大小增减。

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