CN2667203Y - 多级罗茨式无油真空泵 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种多级罗茨式无油真空泵，该泵由主从动轴、主从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮构成，其中泵体采用两片分体结构，两片泵体中有各自的水冷夹层，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，两极泵腔之间有两片分体式的级间隔板分开，并通过级间气流通道相连，转子端面形成采用三叶形，本实用新型与已有技术比较有如下优点：工作时经过逐级压缩，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作，在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

Description

多级罗茨式无油真空泵
技术领域
本实用新型涉及一种真空泵技术领域，特别是用于多级罗茨真空泵。
背景技术
传统的罗茨真空泵一般采用单级结构，虽然抽速较大，但极限真空不高，不能直排大气，消耗功率也很大，转子一般采用两叶轮叶型，逆流气冷效果不佳，而且工作时多需要连前级泵，因此真空环境会不同程度受到油蒸汽的污染。
发明内容
为解决上述已知技术的不足之处，本实用新型提供一种多级罗茨式无油真空泵，该泵转子结构可根据需要制成两级或两级以上，转子端面形线采用三叶形线方案，以达到使该泵具有抽速高、耗电少、极限真空度高的目的。
本实用新型之结构设计是这样实现的：该泵由主、从动轴、主、从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮、齿轮箱构成(如图1、2所示)，其结构是，泵体两端装有侧盖，主从动齿轮和主、从动转子安装于主、从动轴上，主、从动轴两端装有端盖，齿轮箱通过螺栓固定于侧盖，其中泵体采用上、下两片分体结构，上、下泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有分体式的级间隔板分开，根据真空性能的需要，泵腔长度从高真空级开始，逐级缩短，泵腔内转子的长度根据泵腔长度确定，并通过级间气流通道相连，两片泵体中有各自的水冷夹层，该泵的冷却方式采用逆流气冷；转子端面形线采用三叶形，三叶成对称分布(如图3所示)，转子形状可通过调整b/R(转子中心与齿峰圆弧圆心间距离/分度圆半径)，这种形线使泵的容积利用系数增大，在抽速相同的情况下，减小了泵的体积；泵腔间的级间密封采用反螺旋密封结构，该密封属于动密封；该泵的传动方式可以通过联轴器直联传动，也可以通过皮带传动；既可以采取立式，也可以采用卧式；安装在轴上的转子可以是直齿形或是螺旋齿形的。
本实用新型与已有技术比较有如下优点：该泵工作时经过逐级压缩，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作，在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
附图说明
图1为本实用新型结构剖面图
图2为本实用新型结构断面图
图3为本实用新型转子端面形线示意图
图中1轴承左端盖  2泵体左侧盖  3一级泵腔  4一、二级泵腔间级间隔板  5二级泵腔  6二、三级泵腔间级间隔板  7反螺旋密封结构  8三级泵腔  9泵体右侧盖10轴承右端盖  11主从动齿轮  12齿轮箱  13上泵体  14从动轴  15从动转子  16主动转子  17主动轴  18气流通道  19下泵体  20水冷夹层
具体实施方式
本实用新型实施例为三级罗茨式无油真空泵，其结构(如附图1、2)所示，主从动齿轮11和从动转子15、主动转子16安装在从动轴14和主动轴17上，齿轮箱12通过螺栓固定于泵体右侧盖9，主、从动轴两端装有轴承端盖10和1，端盖内侧为泵体左侧盖2和泵体右侧盖9，上泵体13与下泵体19通过螺栓联接，形成三个密闭的泵腔3、5、8，两级泵腔之间有两片分体式的级间隔板4、6分开，并通过级间气流通道18相连，泵腔间的级间密封采用反螺旋密封结构7，其中上、下泵体13、19采用两片分体结构，两片泵体13、19中有各自的水冷夹层20；转子端面形线(如附图3)所示，采取三叶形，三叶成对称分布，每两叶间夹角120°，每个叶型由一段内圆弧AB、一段外圆弧CD、及两段摆线BC、DE构成，转子形状可通过调整参数b/R的值而改变。
真空泵工作时，气体先经过高真空级压缩，排出后通过气流通道18进入下一级，最后由低真空级排出，可实现直排大气；该泵的转子冷却采用逆流气冷方式，在气流通道18上加回流通道，工作时，排出的气体经冷却后有一部分从回流通道18返回本级泵腔，冷却转子，防止转子因过热膨胀，发生卡死；在级间的转子轴段上加工螺旋槽，当轴高速转动时，此结构相当于螺杆真空泵的作用，利用泵送效应抽气，实现密封效果。

Claims (8)

1.一种多级罗茨式无油真空泵，由主从动轴(14、17)、主从动转子(15)(16)、泵体左右端盖(2)(9)、上下泵体(13)(19)、主从动齿轮(11)、齿轮箱(12)组成，其特征在于，泵体采用两片分体结构，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔(3)(5)(8)，每两个泵腔之间有分体式的级间隔板(4)(6)分开，并通过级间气流通道(18)相连。
2.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔长度从高真空级开始，逐级缩短。
3.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于转子端面形线采用三叶形，三叶片成对称分布，转子形状可通过调整参数b/R的值而改变，每个叶型由一段内圆弧AB、一段外圆弧CD、及两段摆线BC、DE构成。
4.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于安装在轴上的转子为直齿形或螺旋齿形。
5.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于上、下泵体(13)(19)中有各自的水冷夹层(20)，转子冷却方式采用逆流气冷。
6.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵腔间的级间密封为反螺旋密封结构(7)。
7.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于该泵的传动方式为：a通过联轴器直联传动，b通过皮带传动。
8.按权利要求1所述的真空泵，其特征在于泵体采取：a立式，b卧式。
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