CN114412788B - 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵 - Google Patents
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 30
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 11
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims description 6
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000010977 unit operation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/20—Rotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/50—Bearings
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Abstract
本发明涉及一种节能型罗茨‑螺杆集成式无油真空泵，包括主动复合转子轴、从动复合转子轴与泵体组合；主动复合转子轴包括主动转子轴和主动罗茨转子体，主动转子轴中部加工有阶梯二段式的主动螺杆转子体；从动复合转子轴包括从动转子轴和从动罗茨转子体，从动转子轴中部加工有阶梯二段式的从动螺杆转子体；泵体组合包括依次相互密封连接的前泵体、中隔板、中泵体、后泵体和电机箱；中泵体下部开设螺杆级进气通道，螺杆级进气通道上方包含有螺杆级进气阀，通道后方包含有与螺杆级进气阀互锁的罗茨级排气阀，中泵体下部设置有螺杆级排气阀。本发明能够解决集成泵两级转子同时启动下的过载问题以及螺杆级转子设计中的过压缩问题。
Description
技术领域
本发明属于真空泵技术领域，尤其涉及一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵。
背景技术
干式真空泵具有结构紧凑、环保节能、稳定高效、维修方便等诸多优点，尤其是其工作过程中泵腔内无需其它任何介质作用的特性，完美地解决了真空室受油蒸汽污染的难题。近几年，伴随着半导体行业和大规模集成电路等微电子行业的崛起，干式真空泵逐步代替了传统的油封式真空泵和水环式真空泵，其中由罗茨泵和螺杆泵组成的罗茨-螺杆真空机组得到广泛应用。但罗茨增压泵的增加对于一些要求抽气量小、但极限压力属于中真空范围的应用场合，存在着结构复杂、占用空间大、成本高的缺点，还常常发生选不到合适型号的泵的问题；且机组操作较为繁琐；同时螺杆泵独立工作时，不能完全发挥机组有效抽速，造成抽气时间的增加。
针对以上问题，又开发了一种集成式无油真空泵，即罗茨-螺杆集成式无油真空泵。目前对于罗茨-螺杆集成式真空泵研究较少，且研究都是将两台泵的转子简单地集成到一对复合转子轴上，而没有解决集成泵工作运行过程中存在的一些问题，如罗茨-螺杆集成泵同时启动罗茨级与螺杆级时，因罗茨级排出的气体无法被螺杆级及时抽出，罗茨级排气口压力升高所导致的罗茨级进、出气口压差过大导致的罗茨级过载问题，罗茨级和螺杆级长时间在高压下运转导致的耗能激增问题。此外，为了提高极限真空度和容积效率，增大泵的有效抽速，在螺杆泵转子设计中希望增大螺杆转子的几何压缩比以降低排气功耗，但会给加工制造带来难度，并且还会带来过压缩问题。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明提供一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，能够解决集成泵两级转子同时启动下的过载问题以及螺杆级转子设计中的过压缩问题，从而在宽泛的工作压力范围内都能够取得最佳的节能运行效果；不仅具有结构简单、成本低廉、运行方便的特点，具有与干式罗茨-螺杆真空泵机组相似的抽气性能，同时泵本身无过载问题。
一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，包括主动复合转子轴、从动复合转子轴与泵体组合；所述主动复合转子轴包括主动转子轴和套装在主动前端轴上的主动罗茨转子体，主动前端轴同轴固定在主动转子轴的前端，所述主动转子轴中部加工有主动螺杆转子体，主动螺杆转子体为阶梯二段式，包括主动阶梯式螺杆转子第一段转子与主动阶梯式螺杆转子第二段转子，靠近主动罗茨转子体方向的主动阶梯式螺杆转子第一段转子为吸气段，主动阶梯式螺杆转子第二段转子为排气段；所述从动复合转子轴包括从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体，从动前端轴同轴固定在从动转子轴的前端，所述从动转子轴中部加工有从动螺杆转子体，从动螺杆转子体为阶梯二段式，包括从动阶梯式螺杆转子第一段转子与从动阶梯式螺杆转子第二段转子，靠近从动罗茨转子体方向的从动阶梯式螺杆转子第一段转子为吸气段，从动阶梯式螺杆转子第二段转子为排气段；泵体组合包括依次相互密封连接的前泵体、中隔板、中泵体、后泵体和电机箱；所述前泵体的内部加工有用于安放主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的8字形罗茨转子内腔，中泵体的内部加工有用于安放阶梯二段式的主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的8字形螺杆转子内腔；电机箱内部的电动机及其输出端的联轴器与主动复合转子轴和从动复合转子轴通过齿轮传动连接；
所述前泵体的上部、主动罗茨转子和从动罗茨转子中间处开设有进气口，前泵体的下部位于主动罗茨转子和从动罗茨转子中间处开设有罗茨级排气口和通向中隔板一侧的罗茨级排气流道，中隔板下方开设有排气通道，中泵体下部位于主动阶梯式螺杆转子第一段转子和从动阶梯式螺杆转子第一段转子中间、靠近中隔板一侧开设螺杆级进气通道，螺杆级进气通道通过中隔板下方的排气通道及前泵体的排气通道与罗茨级排气口连通；螺杆级进气通道上方包含有螺杆级进气阀，螺杆级进气阀与电磁传感器和电磁驱动器连接，当螺杆级进气阀打开时，螺杆级进气通道与中泵体内腔相通；中泵体下部、螺杆级进气通道后方包含有罗茨级排气阀，罗茨级排气阀与螺杆级进气阀互锁，当罗茨级排气阀打开时，螺杆级进气通道与位于中泵体下部的罗茨级排气通道相连通，罗茨级排气通道又绕过螺杆级排气阀经螺杆级排气通道后最终与后泵体的排气口连通；在中泵体下部主动螺杆转子体和从动螺杆转子体中间、吸气段与排气段的交界处，开设有螺杆级中间排气通道，并设置有螺杆级排气阀，当螺杆级排气阀打开时，中泵体内腔通过螺杆级中间排气通道与后泵体的排气口连通。
所述主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的吸气段的齿顶圆直径大于排气段的齿顶圆直径，吸气段的齿根圆直径小于排气段的齿根圆直径。
所述吸气段和排气段的端面型线均为具有自啮合属性的螺杆转子型线，且节圆直径相同。
所述主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的端面型线均为自啮合型线，且二者互相啮合。
所述主动罗茨转子体和从动罗茨转子体型线选用大圆弧转子型线。
所述中隔板和后泵体内部开设有主动轴承座孔和从动轴承座孔以及分别安放主动密封件、从动密封件的密封槽，前泵体内部构成8字形罗茨转子内腔的两个腔体、中泵体内部构成8字形螺杆转子内腔的两个腔体与中隔板和后泵体内的两个轴承座孔及两个密封槽的中心距均相同。
所述主动复合转子轴的主动前端轴上套装有前主动密封件和前主动轴承，固定于中隔板的主动轴承座孔之中；主动复合转子轴的后后端轴上套装后主动密封件和后主动轴承，固定于后泵体的主动轴承座孔之中；前主动轴承和后主动轴承将所述主动复合转子轴中部的主动螺杆转子体定位于中泵体的8字形螺杆转子内腔的主动侧；主动罗茨转子固定在主动转子轴穿过中隔板位于前泵体中的主动前端轴上；从动复合转子轴的从动前端轴上套装有前从动密封件和前从动轴承，固定于中隔板的从动轴承座孔之中；从动复合转子轴的后端轴上套装后从动密封件和后从动轴承，固定于后泵体的从动轴承座孔之中；前从动轴承和后从动轴承将所述从动转子轴中部的从动螺杆转子体定位于中泵体的8字形螺杆转子内腔的从动侧；从动罗茨转子固定在从动转子轴穿过中隔板位于前泵体中的从动前端轴上。
所述后主动轴承、后从动轴承采用固游式结构。
所述联轴器为梅花形弹性联轴器。
所述螺杆级中间排气通道内螺杆级排气阀左侧有颗粒物堆积室。
本发明的有益效果是：
1、对于其他的罗茨-螺杆集成式无油真空泵，本发明设置了罗茨级直排大气通道，解决了罗茨级与螺杆级同时启动的情况下，当罗茨级排出气体无法及时由螺杆级排出、罗茨级排气口压力升高时所造成的罗茨级进出口压差过大导致的罗茨级过载问题。
2、与罗茨级中间排气阀开闭关联的螺杆级进气阀会在罗茨级排气阀开启时关闭，防止螺杆级在较高的压力下运转出现负荷较大，做功增加的问题，节省了对气体做功。
3、在螺杆级转子中设置了螺杆级中间排气阀，解决了螺杆转子设计中希望增大螺杆转子的几何压缩比带来的过压缩问题，这样螺杆级转子可以采用较大的压缩比进一步的提高了集成泵节能的效果。
4、本申请中罗茨转子型线选用了大圆弧转子型线，可进一步提高泵的极限压力，对螺杆转子型线选用阶梯二段式，且第一段转子与第二段转子交界处下方设置有包括灰尘在内的颗粒物堆积室，可以有效防止泵吸入颗粒物时对转子造成损伤。
本发明提供的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵中抽气性能与普通罗茨-螺杆真空机组相近，且较其它的罗茨-螺杆集成式无油真空泵具有节能、转子压缩比大、极限真空度高、容积效率大即泵的抽速大的优点。
附图说明
图1为本发明的俯视剖视图；
图2为图1的A-A向视图；
图3为图1的B-B向视图；
图4为图2的C-C向视图；
其中，
1-主动复合转子轴，11-主动转子轴，12-主动罗茨转子体，13-主动阶梯式螺杆转子第一段转子，14-主动阶梯式螺杆转子第二段转子，2-从动复合转子轴，21-从动转子轴，22-从动罗茨转子体，23-从动阶梯式螺杆转子第一段转子，24-从动阶梯式螺杆转子第二段转子，3-泵体组合，41-前泵体，42-进气口，43-罗茨级排气口，44-罗茨级排气通道，45-前主动密封件，46-前从动密封件，51-中隔板，52-前主动轴承，53-前从动轴承，54-中隔板排气通道，61-中泵体，62-螺杆级进气通道，63-螺杆级进气阀，64-电磁传感器，65-罗茨级排气阀，66-罗茨级直排大气通道，67-颗粒物堆积室，68-螺杆级直排大气阀，69-螺杆级直排大气通道，70-电磁驱动器，71-后泵体，72-后主动密封件，73-后主动轴承，74-后从动密封件，75-后从动轴承，76-后泵体排气口，77-主动齿轮，78-从动齿轮，79-联轴器，81-电机箱，82-电动机。
具体实施方式
为了更好的解释本发明，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本发明的技术方案和效果作详细描述。
如图1-4所示，一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，是一种罗茨转子和螺杆转子串联的集成式干式真空泵，包括主动复合转子轴1、从动复合转子轴2与泵体组合3；所述主动复合转子轴1包括主动转子轴11和套装在主动前端轴上的主动罗茨转子体12，主动前端轴同轴固定在主动转子轴11的前端，所述主动转子轴11中部加工有主动螺杆转子体，主动螺杆转子体为阶梯二段式，即包括第一段转子和第二段转子，第一段转子的主动转子型线、从动转子型线导程相等，第二段转子的主动转子型线、从动转子型线导程相等且与第一段转子不同，且两段转子齿顶圆、齿根圆、节圆、型线方程都不相同，如图1-2所示，主动螺杆转子体包括主动阶梯式螺杆转子第一段转子13与主动阶梯式螺杆转子第二段转子14，靠近主动罗茨转子体12方向的主动阶梯式螺杆转子第一段转子13为吸气段，主动阶梯式螺杆转子第二段转子14为排气段，吸气段的齿顶圆直径大于排气段的齿顶圆直径，吸气段的齿根圆直径小于排气段的齿根圆直径；吸气段和排气段的端面型线均为具有自啮合属性的螺杆转子型线，且节圆直径相同。所述从动复合转子轴2包括从动转子轴21和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体22，从动前端轴同轴固定在从动转子轴21的前端，所述从动转子轴21中部加工有从动螺杆转子体，从动螺杆转子体为阶梯二段式，包括齿顶圆直径不等的吸气段和排气段，如图1-2所示，包括从动阶梯式螺杆转子第一段转子23与从动阶梯式螺杆转子第二段转子24，靠近从动罗茨转子体22方向的从动阶梯式螺杆转子第一段转子23为吸气段，从动阶梯式螺杆转子第二段转子24为排气段，吸气段的齿顶圆直径大于排气段的齿顶圆直径，吸气段的齿根圆直径小于排气段的齿根圆直径；吸气段和排气段的端面型线均为具有自啮合属性的螺杆转子型线，且节圆直径相同。主动螺杆转子体的吸气段与从动转子体的吸气段互相啮合，主动螺杆转子体的排气段与从动转子体的排气段互相啮合。主动螺杆转子体和从动螺杆转子体构成螺杆级转子，主动罗茨转子体12和从动罗茨转子体22构成罗茨级转子。
所述主动罗茨转子体12和从动罗茨转子体22的端面型线均为自啮合型线，且二者互相啮合，主动罗茨转子体11在主动前端轴上的安装角度由现场配装并使用销钉固定，从动罗茨转子体22在从动前端轴上的安装角度由现场配装并使用销钉固定。主动螺杆转子体和主动罗茨转子体12构成的主动复合转子与从动螺杆转子体和从动罗茨转子体构成的从动复合转子的安装位置全部满足无接触同步啮合原则。所述主动罗茨转子体12和从动罗茨转子体22型线选用大圆弧转子型线。
泵体组合3包括依次相互密封连接的前泵体41、中隔板51、中泵体61、后泵体71和电机箱81；所述前泵体41的内部加工有8字形罗茨转子内腔，用于安放主动罗茨转子体和从动罗茨转子体；中泵体61的内部加工有8字形螺杆转子内腔，用于安放阶梯二段式的主动螺杆转子体和从动螺杆转子体；中隔板51和后泵体71内部开设有主动轴承座孔和从动轴承座孔以及分别安放主动密封件、从动密封件的密封槽；前泵体41内部构成8字形罗茨转子内腔的两个腔体、中泵体61内部构成8字形螺杆转子内腔的两个腔体与中隔板51和后泵体71内的主动轴承座孔和从动轴承座孔及分别安放主动密封件、从动密封件的两个密封槽的中心距均相同。
所述主动复合转子轴1的主动前端轴上套装有前主动密封件45和前主动轴承52，前主动密封件45和前主动轴承52固定于中隔板51的主动轴承座孔之中；主动复合转子轴1的后端轴上套装后主动密封件72和后主动轴承73，后主动密封件72和后主动轴承73固定于后泵体71的主动轴承座孔之中；前主动轴承52和后主动轴承73将所述主动复合转子轴1中部的主动螺杆转子体定位于中泵体61的8字形螺杆转子内腔的主动侧。主动罗茨转子12固定在主动转子轴11穿过中隔板51位于前泵体41中的主动前端轴上。从动复合转子轴2的从动前端轴上套装前从动密封件46和前从动轴承53，固定于中隔板51的从动轴承座孔之中，从动复合转子轴的后端轴上套装后从动密封件74和后从动轴承75，固定于后泵体71的从动轴承座孔之中，前从动轴承53和后从动轴承75将所述从动转子轴中部的从动螺杆转子体定位于中泵体的8字形螺杆转子内腔的从动侧。从动罗茨转子22固定在从动转子轴21穿过中隔板51位于前泵体41中的从动前端轴上。
所述后主动轴承73、后从动轴承75采用游动式结构，则当主动复合转子轴1、从动复合转子轴2受热膨胀时，其伸长量将向后伸长。
所述电机相81内部的电动机82及其输出端的联轴器79与主动复合转子轴1和从动复合转子轴2通过齿轮传动连接，具体的：主动齿轮77固定在主动复合转子轴1的主动后端轴上，位于后泵体71中，主动后端轴同轴连接在主动转子轴11后端；从动齿轮78固定在从动复合转子轴2的从动后端轴上，位于后泵体71中，从动后端轴连接在从动转子轴21后端；电动机82固定于电机箱81内部，通过联轴器79与主动齿轮77连接。
所述联轴器为梅花形弹性联轴器，联轴器中间为一梅花形弹性元件，当主动复合转子轴1、从复合转子轴2受热膨胀伸长时，其伸长量将被梅花形弹性元件所补偿。
所述前泵体41的上部、主动罗茨转子12和从动罗茨转子22中间处开设有进气口42，前泵体41的下部位于主动罗茨转子12和从动罗茨转子22中间处开设有罗茨级排气口43和通向中隔板51一侧的罗茨级排气流道44，中隔板51下方开设有排气通道54，中泵体61下部位于主动阶梯式螺杆转子第一段转子13和从动阶梯式螺杆转子第一段转子23中间、靠近中隔板一侧开设螺杆级进气通道62，螺杆级进气通道62通过中隔板51下方的排气通道54及前泵体的排气通道44与罗茨级排气口43连通；螺杆级进气通道62上方包含有螺杆级进气阀63，螺杆级进气阀63与电磁传感器和电磁驱动器连接，当螺杆级进气阀63打开时，螺杆级进气通道62与中泵体61内腔相通；中泵体61下部、螺杆级进气通道62后方包含有罗茨级排气阀65，罗茨级排气阀65与螺杆级进气阀63互锁，当罗茨级排气阀65打开时，螺杆级进气通道62与位于中泵体61下部的罗茨级排气通道65相连通，罗茨级排气通道65又绕过螺杆级排气阀68经螺杆级排气通道69后最终与后泵体的排气口76连通。在中泵体61下部主动螺杆转子体和从动螺杆转子体中间、螺杆级转子吸气段与排气段的交界处，开设有螺杆级中间排气通道，并设置有螺杆级排气阀68，当螺杆级排气阀68打开时，中泵体内腔通过螺杆级中间排气通道与后泵体的排气口76连通；螺杆级中间排气通道内螺杆级排气阀68左侧有颗粒物堆积室67，可以收集进入泵体内的包括灰尘在内的颗粒物，防止颗粒物对泵造成损害。所述罗茨级排气阀65与螺杆级排气阀68依靠自身重力处于常闭状态，当总排气通道内气体压力低于阀板另一侧的气体压力时被气体推开；所述螺杆级进气阀63依靠自身重力处于常开状态，其动作由电磁传感器64和电磁驱动器70控制，当电磁传感器64感应到罗茨级排气阀65处于打开状态时，通过电磁驱动器70吸引螺杆级进气阀63头部的磁性材料，带动螺杆级进气阀63的阀板动作进入关闭状态，当电磁传感器64感应到罗茨级排气阀65处于关闭状态时，电磁驱动器70释放螺杆级进气阀头部的磁性材料，其阀板在重力作用下自动恢复打开状态。
所述电动机为内置式电动机，即电动机的转子直接安置于主动复合转子轴1后端轴之上，电动机的定子固定在电机箱内的底座上。电动机为闷盖式设计，被安装在电机箱内，接电装置伸出泵体，集成泵只需通过接电装置通电即可使用。
所述泵体组合采用风冷方式，能够利用电动机的转子转动带来的风进行散热。
本发明的工作过程是：由电动机82驱动主动齿轮77带动主动复合转子轴1转动，主动齿轮77带动从动齿轮78转动，进而驱动从动复合转子轴2与主动复合转子轴1同步反向旋转；主动螺杆转子体与从动螺杆转子体相互无接触啮合，主动罗茨转子体12和从动罗茨转子22相互无接触啮合，实现抽气功能；气体从进气口42吸入，被主动罗茨转子体12和从动罗茨转子22驱动后依次经罗茨级排气口43、排气流道44和中隔板排气通道54进入螺杆级进气通道62，之后的气体流向分三种情况：正常情况下，螺杆级进气通道62中的气体经螺杆级进气阀63进入螺杆级，进而被主动螺杆转子体与从动螺杆转子体抽除，最终经后泵体排气口76排出泵外。其次又有两种非正常情况，第一种：当螺杆级进气通道62压力过高，螺杆转子不能将进入的气体及时排出，螺杆级进气通道62中的气体会推开罗茨级排气阀65，罗茨级排气阀65的打开使得电磁传感器64和电磁驱动器70启动，此时螺杆级进气阀63关闭，螺杆级进气通道62中的气体不在进入螺杆级内部，而是依次经过罗茨级排气阀65、罗茨级直排大气通道66、螺杆级直排大气通道69、后泵体排气口76排出集成泵，这样可以防止螺杆级长期在高压条件下运转。当螺杆级进气通道62内的压力下降后，罗茨级排气阀65自动关闭，螺杆级进气阀63打开，气体全部由螺杆转子抽除，集成泵恢复到正常情况下运转。第二种：由于集成泵中螺杆级转子采用两段式等螺距转子，当螺杆级吸气端吸入的气体不能被螺杆级排气端及时排出，则螺杆转子吸气段吸入的气体会推开螺杆级直排大气阀门68，这样螺杆级进气通道62中的气体进入螺杆级之后一部分继续由螺杆级排气端排出，经后泵体排气口76后排出泵外；还有一部分依次经过螺杆级直排大气阀门68、螺杆级直排大气通道69、后泵体排气口76后排出泵外，当螺杆级内部气体压力下降后，螺杆级直排大气阀门68自动关闭，气体全部由螺杆转子排气段抽除，集成泵回到正常情况下工作。
Claims (10)
1.一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：包括主动复合转子轴、从动复合转子轴与泵体组合；所述主动复合转子轴包括主动转子轴和套装在主动前端轴上的主动罗茨转子体，主动前端轴同轴固定在主动转子轴的前端，所述主动转子轴中部加工有主动螺杆转子体，主动螺杆转子体为阶梯二段式，包括主动阶梯式螺杆转子第一段转子与主动阶梯式螺杆转子第二段转子，靠近主动罗茨转子体方向的主动阶梯式螺杆转子第一段转子为吸气段，主动阶梯式螺杆转子第二段转子为排气段；所述从动复合转子轴包括从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体，从动前端轴同轴固定在从动转子轴的前端，所述从动转子轴中部加工有从动螺杆转子体，从动螺杆转子体为阶梯二段式，包括从动阶梯式螺杆转子第一段转子与从动阶梯式螺杆转子第二段转子，靠近从动罗茨转子体方向的从动阶梯式螺杆转子第一段转子为吸气段，从动阶梯式螺杆转子第二段转子为排气段；泵体组合包括依次相互密封连接的前泵体、中隔板、中泵体、后泵体和电机箱；所述前泵体的内部加工有用于安放主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的8字形罗茨转子内腔，中泵体的内部加工有用于安放阶梯二段式的主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的8字形螺杆转子内腔；电机箱内部的电动机及其输出端的联轴器与主动复合转子轴和从动复合转子轴通过齿轮传动连接；
所述前泵体的上部、主动罗茨转子和从动罗茨转子中间处开设有进气口，前泵体的下部位于主动罗茨转子和从动罗茨转子中间处开设有罗茨级排气口和通向中隔板一侧的罗茨级排气流道，中隔板下方开设有排气通道，中泵体下部位于主动阶梯式螺杆转子第一段转子和从动阶梯式螺杆转子第一段转子中间、靠近中隔板一侧开设螺杆级进气通道，螺杆级进气通道通过中隔板下方的排气通道及前泵体的排气通道与罗茨级排气口连通；螺杆级进气通道上方包含有螺杆级进气阀，螺杆级进气阀与电磁传感器和电磁驱动器连接，当螺杆级进气阀打开时，螺杆级进气通道与中泵体内腔相通；中泵体下部、螺杆级进气通道后方包含有罗茨级排气阀，罗茨级排气阀与螺杆级进气阀互锁，当罗茨级排气阀打开时，螺杆级进气通道与位于中泵体下部的罗茨级排气通道相连通，罗茨级排气通道又绕过螺杆级排气阀经螺杆级排气通道后最终与后泵体的排气口连通；在中泵体下部主动螺杆转子体和从动螺杆转子体中间、吸气段与排气段的交界处，开设有螺杆级中间排气通道，并设置有螺杆级排气阀，当螺杆级排气阀打开时，中泵体内腔通过螺杆级中间排气通道与后泵体的排气口连通。
2.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的吸气段的齿顶圆直径大于排气段的齿顶圆直径，吸气段的齿根圆直径小于排气段的齿根圆直径。
3.根据权利要求2所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述吸气段和排气段的端面型线均为具有自啮合属性的螺杆转子型线，且节圆直径相同。
4.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的端面型线均为自啮合型线，且二者互相啮合。
5.根据权利要求4所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子体和从动罗茨转子体型线选用大圆弧转子型线。
6.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述中隔板和后泵体内部开设有主动轴承座孔和从动轴承座孔以及分别安放主动密封件、从动密封件的密封槽，前泵体内部构成8字形罗茨转子内腔的两个腔体、中泵体内部构成8字形螺杆转子内腔的两个腔体与中隔板和后泵体内的两个轴承座孔及两个密封槽的中心距均相同。
7.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述主动复合转子轴的主动前端轴上套装有前主动密封件和前主动轴承，固定于中隔板的主动轴承座孔之中；主动复合转子轴的后后端轴上套装后主动密封件和后主动轴承，固定于后泵体的主动轴承座孔之中；前主动轴承和后主动轴承将所述主动复合转子轴中部的主动螺杆转子体定位于中泵体的8字形螺杆转子内腔的主动侧；主动罗茨转子固定在主动转子轴穿过中隔板位于前泵体中的主动前端轴上；从动复合转子轴的从动前端轴上套装有前从动密封件和前从动轴承，固定于中隔板的从动轴承座孔之中；从动复合转子轴的后端轴上套装后从动密封件和后从动轴承，固定于后泵体的从动轴承座孔之中；前从动轴承和后从动轴承将所述从动转子轴中部的从动螺杆转子体定位于中泵体的8字形螺杆转子内腔的从动侧；从动罗茨转子固定在从动转子轴穿过中隔板位于前泵体中的从动前端轴上。
8.根据权利要求7所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述后主动轴承、后从动轴承采用固游式结构。
9.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述联轴器为梅花形弹性联轴器。
10.根据权利要求1所述的一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵，其特征在于：所述螺杆级中间排气通道内螺杆级排气阀左侧有颗粒物堆积室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210204228.7A CN114412788B (zh) | 2022-03-02 | 2022-03-02 | 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210204228.7A CN114412788B (zh) | 2022-03-02 | 2022-03-02 | 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114412788A CN114412788A (zh) | 2022-04-29 |
| CN114412788B true CN114412788B (zh) | 2024-03-22 |
Family
ID=81263417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210204228.7A Active CN114412788B (zh) | 2022-03-02 | 2022-03-02 | 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114412788B (zh) |
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2022
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114412788A (zh) | 2022-04-29 |
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| PB01 | Publication | ||
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