CN113137369A - 罗茨螺杆复合真空泵 - Google Patents

罗茨螺杆复合真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN113137369A
CN113137369A CN202110606282.XA CN202110606282A CN113137369A CN 113137369 A CN113137369 A CN 113137369A CN 202110606282 A CN202110606282 A CN 202110606282A CN 113137369 A CN113137369 A CN 113137369A
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotor
pump
roots
composite
cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110606282.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN113137369B (zh
Inventor
李坤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Weipengsheng Shandong Vacuum Technology Co ltd
Original Assignee
Weipengsheng Shandong Vacuum Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Weipengsheng Shandong Vacuum Technology Co ltd filed Critical Weipengsheng Shandong Vacuum Technology Co ltd
Priority to CN202110606282.XA priority Critical patent/CN113137369B/zh
Priority claimed from CN202110606282.XA external-priority patent/CN113137369B/zh
Publication of CN113137369A publication Critical patent/CN113137369A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113137369B publication Critical patent/CN113137369B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/02—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/005—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/0078—Fixing rotors on shafts, e.g. by clamping together hub and shaft
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/20—Rotors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/30—Casings or housings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

本发明提供一种罗茨螺杆复合真空泵，其设有泵体，泵体的内部设有前置内腔体和复合转子内腔体，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向设有罗茨泵转子叶片，罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面。其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本发明可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理中。

Description

罗茨螺杆复合真空泵
技术领域
本发明涉及一种真空泵，特别是涉及一种罗茨螺杆复合真空泵。
背景技术
现代工业的发展对于真空泵的需求越来越高，尤其是随着半导体行业和显示器制作行业的发展，对于工艺室的真空化处理的要求更高。
现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求；有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短。
发明内容
本发明针对现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求，有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题，提供一种罗茨螺杆复合真空泵，该真空泵在轴向的尺寸较短，罗茨转子和螺杆转子的工作部分能够无缝连通，工作效率高，长期工作功耗较低，同时罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位准确，在装配时能够方便调节罗茨部分在轴向的定位，使其能够适应螺杆转子的啮合，这样在工作时，罗茨转子和螺杆转子不存在应力干扰，整体的真空泵的罗茨转子和螺杆转子运转平稳，这样就提高了真空泵的运转可靠性，大大提高了真空泵的寿命。
为此，本发明的技术方案是，一种罗茨螺杆复合真空泵，设有泵体，泵体一侧设有前端盖，前端盖的外侧固定设有电机，泵体另一侧设有后端盖，后端盖和泵体之间设有端面密封圈，后端盖的外侧固定设有后盖板；
泵体的内部一侧设有前置内腔体，泵体的内部另一侧设有复合转子内腔体，前置内腔体和复合转子内腔体之间设有泵体支撑隔板，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子的一端贯穿通过泵体支撑隔板进入到前置内腔体中，复合转子的另一端贯穿通过后端盖；
复合转子包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；一对螺杆泵转子通过螺杆泵转子叶轮相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子通过罗茨泵转子啮合曲面相互啮合连接；
其中一个复合转子的复合转子轴与电机的输出端连接，前置内腔体中设有一对互相啮合的同步齿轮，同步齿轮分别固定在复合转子轴上；复合转子轴的一端固定设有轴承，轴承的外圈固定在泵体支撑隔板的内部，复合转子轴的另一端也设有轴承，轴承位于后端盖的内部；
泵体的上表面外侧设有吸入口，吸入口与复合转子内腔体连通，吸入口的位置与罗茨泵转子相对应，泵体的下表面外侧设有排出口，排出口位于靠近螺杆泵转子一侧，排出口与复合转子内腔体连通；
复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，气体流量初级压力腔与吸入口连通，罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通；
复合转子内腔体的底部位于螺杆泵转子与罗茨泵转子的连接处对应设有气体流量压缩腔；吸入口、气体流量初级压力腔、气体流量二级压力腔、气体流量三级压力腔、气体流量压力释放补偿腔、气体流量压缩腔、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成的气体流量通道以及排出口形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道。
优选地，泵体支撑隔板上位于泵体支撑隔板内部的轴承的内侧设有氮气进入孔，氮气进入孔贯通穿过泵体，泵体上设有氮气固定接头；位于后端盖上位于后端盖内部的轴承的内侧又设有氮气进入孔，氮气进入孔贯通穿过后端盖，后端盖上又设有氮气固定接头；
氮气固定接头与氮气进入孔相连通，位于泵体支撑隔板内部的轴承和位于后端盖内部的轴承靠近复合转子内腔体的内侧均设有一对唇形密封圈，一对唇形密封圈之间设有唇形密封圈浮动压环，唇形密封圈浮动压环中间位置设有压力调节孔，压力调节孔与氮气进入孔连通，靠近复合转子内腔体一侧的唇形密封圈的内侧设有环形密封圈，环形密封圈固定在复合转子轴上。
优选地，罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。
优选地，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。
优选地，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。
优选地，前端盖和泵体之间设有端面密封圈。
优选地，后盖板和后端盖之间设有端面密封圈。
优选地，泵体的外壁上设有冷却水腔。
优选地，泵体上的中间位置对应复合转子内腔体的位置又设有氮气进入孔，氮气进入孔与复合转子内腔体相连通，泵体的外壁上设有氮气固定接头，氮气固定接头与氮气进入孔相连通。
本发明的有益效果是，由于螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，这样的结构可以更高效率地完成真空的发生；由于复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，气体流量初级压力腔与吸入口连通，罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通，这样的结构在抽真空时，吸入口的空气经过气体流量初级压力腔和气体流量二级压力腔后进入到气体流量三级压力腔中，因为气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通，其连通后的体积大于气体流量二级压力腔的体积，使吸入的空气得到迅速地释放，罗茨泵转子叶片的不断旋转，不断往复地吸入压缩的空气，然后经过气体流量三级压力腔不断地释放，从而实现空气的不断吸入和压缩传输，形成压缩气流排出。
又因为复合转子内腔体的底部位于螺杆泵转子与罗茨泵转子的连接处对应设有气体流量压缩腔，吸入口、气体流量初级压力腔、气体流量二级压力腔、气体流量三级压力腔、气体流量压力释放补偿腔、气体流量压缩腔、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成的气体流量通道以及排出口形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道，这样的设计，将气体流量三级压力腔中不断压缩释放的空气进一步经过互啮合连接的螺杆泵转子叶轮通道输送到排出口，形成空气的往复的压缩和传输，达到抽真空的目的；因为气体流量压力释放补偿腔的存在，去掉了传统的真空泵设置的隔板结构，大大简化了轴向的结构布局，降低了泵的功耗，也降低了制造成本。
该发明又因为罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙，这样的结构可以在装配时，方便地调节罗茨泵转子与螺杆泵转子在轴向的定位，从而达到高精度的要求，传统的连接往往会采取键的连接方式，这种键的连接方式在圆周的轴向无法进行角度的微调，需要提高加工精度，在装配时只能形成一种固定的角度，而加工精度又不能无限制提高，导致真空泵在运转时存在应力，降低了泵的寿命，而采取外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合锁紧，在装配时，可以调整到最佳的圆周角度匹配，然后固定锁紧，从而实现罗茨泵转子与螺杆泵转子在轴向的最佳定位角度，最大程度地消除装配的误差，消除运转的应力，提高了泵的运转可靠性，也提高了泵的寿命；另一方面也降低了机械加工的难度，大大降低了成本。
同时，由于氮气固定接头与氮气进入孔相连通，位于泵体支撑隔板内部的轴承和位于后端盖内部的轴承靠近复合转子内腔体的内侧均设有一对唇形密封圈，一对唇形密封圈之间设有唇形密封圈浮动压环，唇形密封圈浮动压环中间位置设有压力调节孔，压力调节孔与氮气进入孔连通，靠近复合转子内腔体一侧的唇形密封圈的内侧设有环形密封圈，环形密封圈固定在复合转子轴上，这样的结构，考虑到复合转子内腔体的非常高的密封要求，采取了唇形密封圈和环形密封圈结合的密封结构，而在其外侧则采取唇形密封圈的密封形式；同时，一对唇形密封圈之间设有唇形密封圈浮动压环，可以自动适应不同的密封压力，当复合转子内腔体和前置内腔体的压力有差异时，唇形密封圈浮动压环在氮气的压力下在轴向形成滑动，从而平衡复合转子内腔体和前置内腔体的压力，达到最佳的密封效果；另一方面，由于氮气固定接头与氮气进入孔相连通，进而压力调节孔与氮气进入孔连通，该泵体还具有在泵体内部的自清洁功能，运转过程中不断地通入氮气，带走唇形密封圈和环形密封圈脱落的微小颗粒，在运转时间歇启动泵体上的中间位置对应复合转子内腔体的位置设有的氮气进入孔，氮气进入孔中的氮气进入到复合转子内腔体中，将复合转子内腔体中的微小杂质或者浮动的颗粒吹向外侧，随着压缩气体一起排出，这样多处设置氮气进入孔，并根据需要控制进入氮气，实现了泵体内部的自清洁，又进一步提高了真空泵的寿命，提高了泵体内部的清洁度，提高了泵的运转的可靠性。
附图说明
图1是本发明的主视图；
图2是图1的A-A剖视图；
图3是图1的B-B剖视图；
图4是图1的俯视图；
图5是图4的W-W剖视图；
图6是图5的K处放大图；
图7是图1的C-C旋转剖视图；
图8是复合转子的三维结构示意图；
图9是图8的主视图；
图10是图9的D-D剖视图；
图11是图10的Z处放大图；
图12是图8的侧视图。
图中符号说明：
1.电机；2.复合转子；201.复合转子轴；202.螺杆泵转子；20201.螺杆泵转子叶轮；203.罗茨泵转子；20301.罗茨泵转子叶片；20302.罗茨泵转子啮合曲面；204.罗茨泵转子锁紧内套；205.内锥锁紧套；206.外锥锁紧套；207.锁紧间隙；208.罗茨泵转子内圈定位压紧环形部；209.内套压紧部；3.同步齿轮；4.端面密封圈；5.前端盖；6.后端盖；7.气体流量压缩腔；8.冷却水腔；9.吸入口；10.排出口；11.轴承座；12.泵体；13.氮气固定接头；14.唇形密封圈；15.环形密封圈；16.氮气进入孔；17.压力调节孔；18.唇形密封圈浮动压环；19.轴承；20.后盖板；21.泵体环形密封圈；22.气体流量二级压力腔；23.气体流量三级压力腔；24.气体流量压力释放补偿腔；25.气体流量初级压力腔；26.前置内腔体；27.复合转子内腔体；28.泵体支撑隔板。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步描述。
图1-图12是本发明一种罗茨螺杆复合真空泵的实施例，图中可以看到，其设有泵体12，泵体12一侧设有前端盖5，前端盖5的外侧固定设有电机1，泵体12另一侧设有后端盖6，后端盖6和泵体12之间设有端面密封圈4，后端盖6的外侧固定设有后盖板20。
图2和图3中可以看到，泵体12的内部一侧设有前置内腔体26，泵体12的内部另一侧设有复合转子内腔体27，前置内腔体26和复合转子内腔体27之间设有泵体支撑隔板28，复合转子内腔体27中设有一对互相啮合的复合转子2，复合转子2的一端贯穿通过泵体支撑隔板28进入到前置内腔体26中，复合转子2的另一端贯穿通过后端盖6。
图8中可以看到，复合转子2包括复合转子轴201，复合转子轴201相邻固定设有螺杆泵转子202，螺杆泵转子202与复合转子轴201为一体结构，螺杆泵转子202上设有螺杆泵转子叶轮20201，螺杆泵转子202相邻固定设有罗茨泵转子203，罗茨泵转子203圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片20301，每相邻两个罗茨泵转子叶片20301之间设有罗茨泵转子啮合曲面20302，罗茨泵转子203与复合转子轴201为可拆卸连接；一对螺杆泵转子202通过螺杆泵转子叶轮20201相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子203通过罗茨泵转子啮合曲面20302相互啮合连接。
其中一个复合转子2的复合转子轴201与电机1的输出端连接，在图3中能够清楚看到，前置内腔体26中设有一对互相啮合的同步齿轮3，同步齿轮3分别固定在复合转子轴201上；复合转子轴201的一端固定设有轴承19，轴承19的外圈固定在泵体支撑隔板28的内部，复合转子轴201的另一端也设有轴承19，轴承19位于后端盖6的内部。
图7中主要表示了罗茨泵转子叶片20301和复合转子内腔体27的内壁形成的各种压缩气室，图中可以看到，复合转子内腔体27中互相啮合的罗茨泵转子叶片20301位于吸入口9一侧为气体流量初级压力腔25，气体流量初级压力腔25与吸入口9连通，罗茨泵转子叶片20301位于复合转子内腔体27的侧壁为气体流量二级压力腔22，互相啮合的罗茨泵转子叶片20301位于底部为气体流量三级压力腔23，复合转子内腔体27位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔24，气体流量三级压力腔23与气体流量压力释放补偿腔24连通。
复合转子内腔体27的底部位于螺杆泵转子202与罗茨泵转子203的连接处对应设有气体流量压缩腔7；泵体12的上表面外侧设有吸入口9，吸入口9与复合转子内腔体27连通，吸入口9的位置与罗茨泵转子203相对应，泵体12的下表面外侧设有排出口10，排出口10位于靠近螺杆泵转子202一侧，排出口10与复合转子内腔体27连通，吸入口9、气体流量初级压力腔25、气体流量二级压力腔22、气体流量三级压力腔23、气体流量压力释放补偿腔24、气体流量压缩腔7、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201之间形成的气体流量通道以及排出口10形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道；
图5中还可以看到，本实施例的技术方案中，泵体支撑隔板28上位于泵体支撑隔板28内部的轴承19的内侧设有氮气进入孔16，氮气进入孔16贯通穿过泵体12，泵体12上设有氮气固定接头13；位于后端盖6上位于后端盖6内部的轴承19的内侧又设有氮气进入孔16，氮气进入孔16贯通穿过后端盖6，后端盖6上又设有氮气固定接头13；氮气固定接头13与氮气进入孔16相连通，位于泵体支撑隔板28内部的轴承19和位于后端盖6内部的轴承19靠近复合转子内腔体27的内侧均设有一对唇形密封圈14，一对唇形密封圈14之间设有唇形密封圈浮动压环18，唇形密封圈浮动压环18中间位置设有压力调节孔17，压力调节孔17与氮气进入孔16连通，靠近复合转子内腔体27一侧的唇形密封圈14的内侧设有环形密封圈15，环形密封圈15固定在复合转子轴201上。
图11的放大图中可以看到，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有的外锥锁紧套206和内锥锁紧套205为三对；也可以根据轴向尺寸的大小选择更多对数或者更少对数的外锥锁紧套206和内锥锁紧套205。同时，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208与复合转子轴201外表面的接触部分的长度超过复合转子轴201长度的1/3，这样的结构保证了圆周方向定位的可靠性，还可以超过复合转子轴201长度的1/2，甚至更长，保证罗茨泵转子运转时的稳定性和精度，提高了可靠性。
前端盖5和泵体12之间设有端面密封圈4，后盖板20和后端盖6之间设有端面密封圈4，端面密封圈4的主要作用是防尘效果。
由于螺杆泵转子202相邻固定设有罗茨泵转子203，这样的结构可以更高效率地完成真空的发生；由于复合转子内腔体27中互相啮合的罗茨泵转子叶片20301位于吸入口9一侧为气体流量初级压力腔25，气体流量初级压力腔25与吸入口9连通，罗茨泵转子叶片20301位于复合转子内腔体27的侧壁为气体流量二级压力腔22，互相啮合的罗茨泵转子叶片20301位于底部为气体流量三级压力腔23，复合转子内腔体27位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔24，气体流量三级压力腔23与气体流量压力释放补偿腔24连通，这样的结构在抽真空时，吸入口9的空气经过气体流量初级压力腔25和气体流量二级压力腔22后进入到气体流量三级压力腔23中，因为气体流量三级压力腔23与气体流量压力释放补偿腔24连通，其连通后的体积大于气体流量二级压力腔22的体积，使吸入的空气得到迅速地释放，罗茨泵转子叶片20301的不断旋转，不断往复地吸入压缩的空气，然后经过气体流量三级压力腔23不断地释放，从而实现空气的不断吸入和压缩传输，形成压缩气流排出。
又因为复合转子内腔体27的底部位于螺杆泵转子202与罗茨泵转子203的连接处对应设有气体流量压缩腔7，吸入口9、气体流量初级压力腔25、气体流量二级压力腔22、气体流量三级压力腔23、气体流量压力释放补偿腔24、气体流量压缩腔7、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201之间形成的气体流量通道以及排出口10形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道，这样的设计，将气体流量三级压力腔23中不断压缩释放的空气进一步经过互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201通道输送到排出口10，形成空气的往复的压缩和传输，达到抽真空的目的；因为气体流量压力释放补偿腔24的存在，去掉了传统的真空泵设置的隔板结构，大大简化了轴向的结构布局，降低了泵的功耗，也降低了制造成本。
本实施的图6的放大图中可以看到，罗茨泵转子203的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208，罗茨泵转子203套设在复合转子轴201上，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有外锥锁紧套206和内锥锁紧套205，外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合，外锥锁紧套206的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208压紧接触，罗茨泵转子203的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套204，罗茨泵转子锁紧内套204的前端设有内套压紧部209，内套压紧部209与内锥锁紧套205的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套204与罗茨泵转子203之间设有锁紧间隙207。
该发明又因为罗茨泵转子203的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208，罗茨泵转子203套设在复合转子轴201上，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有外锥锁紧套206和内锥锁紧套205，外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合，外锥锁紧套206的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208压紧接触，罗茨泵转子203的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套204，罗茨泵转子锁紧内套204的前端设有内套压紧部209，内套压紧部209与内锥锁紧套205的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套204与罗茨泵转子203之间设有锁紧间隙207，这样的结构可以在装配时，方便地调节罗茨泵转子203与螺杆泵转子202在轴向的定位，从而达到高精度的要求，传统的连接往往会采取键的连接方式，这种键的连接方式在圆周的轴向无法进行角度的微调，需要提高加工精度，在装配时只能形成一种固定的角度，而加工精度又不能无限制提高，导致真空泵在运转时存在应力，降低了泵的寿命，而采取外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合锁紧，在装配时，可以调整到最佳的圆周角度匹配，然后固定锁紧，从而实现罗茨泵转子203与螺杆泵转子202在轴向的最佳定位角度，最大程度地消除装配的误差，消除运转的应力，提高了泵的运转可靠性，也提高了泵的寿命；另一方面也降低了机械加工的难度，大大降低了成本。
图2中可以看到，前置内腔体26中设有的一对互相啮合的同步齿轮3为斜齿轮，这样的机构因为采用了斜齿齿形的同步齿轮3，其运转更加平稳，同步齿轮3采用斜齿轮还有一个优点，就是能将齿轮的润滑油向远离泵体支撑隔板28的一侧传递，避免润滑油液进入到复合转子内腔体27中，避免污染复合转子内腔体27，这样也提高了泵的长期运转的可靠性，提高了寿命。
同时，由于氮气固定接头13与氮气进入孔16相连通，位于泵体支撑隔板28内部的轴承19和位于后端盖6内部的轴承19靠近复合转子内腔体27的内侧均设有一对唇形密封圈14，一对唇形密封圈14之间设有唇形密封圈浮动压环18，唇形密封圈浮动压环18中间位置设有压力调节孔17，压力调节孔17与氮气进入孔16连通，靠近复合转子内腔体27一侧的唇形密封圈14的内侧设有环形密封圈15，环形密封圈15固定在复合转子轴201上，这样的结构，考虑到复合转子内腔体27的非常高的密封要求，采取了唇形密封圈14和环形密封圈15结合的密封结构，而在其外侧则采取唇形密封圈14的密封形式；同时，一对唇形密封圈14之间设有唇形密封圈浮动压环18，可以自动适应不同的密封压力，当复合转子内腔体27和前置内腔体26的压力有差异时，唇形密封圈浮动压环18在氮气的压力下在轴向形成滑动，从而平衡复合转子内腔体27和前置内腔体26的压力，达到最佳的密封效果；另一方面，由于氮气固定接头13与氮气进入孔16相连通，进而压力调节孔17与氮气进入孔16连通，该泵体还具有在泵体内部的自清洁功能，运转过程中不断地通入氮气，带走唇形密封圈14和环形密封圈15脱落的微小颗粒，在运转时间歇启动泵体12上的中间位置对应复合转子内腔体27的位置设有的氮气进入孔16，氮气进入孔16中的氮气进入到复合转子内腔体27中，将复合转子内腔体27中的微小杂质或者浮动的颗粒吹向外侧，随着压缩气体一起排出，这样多处设置氮气进入孔16，并根据需要控制进入氮气，实现了泵体12内部的自清洁，又进一步提高了真空泵的寿命，提高了泵体内部的清洁度，提高了泵的运转的可靠性。
同时，该实施例的泵体12的外壁上设有冷却水腔8，形成有效的冷却，保证泵的长期的运转。
本实施例的罗茨螺杆复合真空泵工作时，电机1启动，带动同步齿轮3啮合转动，进而带动螺杆泵转子202和罗茨泵转子203的转动，相互啮合的罗茨泵转子203上的罗茨泵转子啮合曲面20302相互啮合，将空气由外部的吸入口9吸到气体流量初级压力腔25，然后该部分的气体转到气体流量二级压力腔22，继而继续旋转，该部分气体又转到气体流量三级压力腔23中，因为气体流量三级压力腔23和气体流量压力释放补偿腔24形成了一个体积更大的腔室，此时被压缩的气体释放到气体流量三级压力腔23和气体流量压力释放补偿腔24中，因为复合转子内腔体27的底部位于螺杆泵转子202与罗茨泵转子203的连接处对应设有气体流量压缩腔7，这部分气体随着相互啮合的螺杆泵转子叶轮20201之间的通道进而经过气体流量压缩腔7连续送到螺杆泵转子202的末端，通过排出口10排出。该实施例的气体经过吸入口9、气体流量初级压力腔25、气体流量二级压力腔22、气体流量三级压力腔23、气体流量压力释放补偿腔24、气体流量压缩腔7、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201之间形成的气体流量通道以及排出口10形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道，泵体的不断工作，使气体经过该通道持续排出，达到抽真空的目的。
同时气体流量压力释放补偿腔24的设置，还可以将吸附的杂质和粉尘颗粒进入到气体流量压力释放补偿腔24时瞬间形成释放效果，再经过螺杆泵转子202的啮合通道传输出去，不会累积到气体流量压力释放补偿腔24中，这样的结构进一步提高了细小粉尘颗粒排出的效果，又提高了零部件的寿命，也保证了运转的稳定性。
本实施例的技术方案非常适合于半导体行业的工艺室的真空处理和显示器设备的工艺室的真空处理，也适合于其他领域的真空处理工艺中。
惟以上所述者，仅为本发明的具体实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，故其等同组件的置换，或依本发明专利保护范围所作的等同变化与修改，皆应仍属本发明权利要求书涵盖之范畴。

Claims (9)

1.一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征是：设有泵体，所述泵体一侧设有前端盖，所述前端盖的外侧固定设有电机，所述泵体另一侧设有后端盖，所述后端盖和泵体之间设有端面密封圈，所述后端盖的外侧固定设有后盖板；
所述泵体的内部一侧设有前置内腔体，所述泵体的内部另一侧设有复合转子内腔体，所述前置内腔体和复合转子内腔体之间设有泵体支撑隔板，所述复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，所述复合转子的一端贯穿通过泵体支撑隔板进入到前置内腔体中，所述复合转子的另一端贯穿通过后端盖；
所述复合转子包括复合转子轴，所述复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，所述螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，所述螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，所述螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，所述罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，所述罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；一对螺杆泵转子通过螺杆泵转子叶轮相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子通过罗茨泵转子啮合曲面相互啮合连接；
其中一个复合转子的复合转子轴与电机的输出端连接，所述前置内腔体中设有一对互相啮合的同步齿轮，所述同步齿轮分别固定在复合转子轴上；所述复合转子轴的一端固定设有轴承，所述轴承的外圈固定在泵体支撑隔板的内部，所述复合转子轴的另一端也设有轴承，所述轴承位于后端盖的内部；
所述泵体的上表面外侧设有吸入口，所述吸入口与复合转子内腔体连通，所述吸入口的位置与罗茨泵转子相对应，所述泵体的下表面外侧设有排出口，所述排出口位于靠近螺杆泵转子一侧，所述排出口与复合转子内腔体连通；
所述复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，所述气体流量初级压力腔与吸入口连通，所述罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，所述复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，所述气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通；
所述复合转子内腔体的底部位于螺杆泵转子与罗茨泵转子的连接处对应设有气体流量压缩腔；所述吸入口、气体流量初级压力腔、气体流量二级压力腔、气体流量三级压力腔、气体流量压力释放补偿腔、气体流量压缩腔、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成的气体流量通道以及排出口形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道。
2.根据权利要求1所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述泵体支撑隔板上位于泵体支撑隔板内部的轴承的内侧设有氮气进入孔，所述氮气进入孔贯通穿过泵体，所述泵体上设有氮气固定接头；位于后端盖上位于后端盖内部的轴承的内侧又设有氮气进入孔，所述氮气进入孔贯通穿过后端盖，所述后端盖上又设有氮气固定接头；
所述氮气固定接头与氮气进入孔相连通，位于泵体支撑隔板内部的轴承和位于后端盖内部的轴承靠近复合转子内腔体的内侧均设有一对唇形密封圈，一对唇形密封圈之间设有唇形密封圈浮动压环，所述唇形密封圈浮动压环中间位置设有压力调节孔，所述压力调节孔与氮气进入孔连通，靠近复合转子内腔体一侧的唇形密封圈的内侧设有环形密封圈，所述环形密封圈固定在复合转子轴上。
3.根据权利要求1所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，所述罗茨泵转子套设在复合转子轴上，所述复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，所述外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，所述外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，所述罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，所述罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，所述内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，所述罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。
4.根据权利要求3所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。
5.根据权利要求3所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述前端盖和泵体之间设有端面密封圈。
7.根据权利要求1-5任一所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述后盖板和后端盖之间设有端面密封圈。
8.根据权利要求1-5任一所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述泵体的外壁上设有冷却水腔。
9.根据权利要求1-5任一所述的一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征在于：所述泵体上的中间位置对应复合转子内腔体的位置又设有氮气进入孔，所述氮气进入孔与复合转子内腔体相连通，所述泵体的外壁上设有氮气固定接头，所述氮气固定接头与氮气进入孔相连通。
CN202110606282.XA 2021-05-27 罗茨螺杆复合真空泵 Active CN113137369B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110606282.XA CN113137369B (zh) 2021-05-27 罗茨螺杆复合真空泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110606282.XA CN113137369B (zh) 2021-05-27 罗茨螺杆复合真空泵

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113137369A true CN113137369A (zh) 2021-07-20
CN113137369B CN113137369B (zh) 2024-05-31

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114412788A (zh) * 2022-03-02 2022-04-29 南通诺博特机器人制造有限公司 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1755120A (zh) * 2004-10-01 2006-04-05 LOTVacuum株式会社 具有罗茨转子和螺旋转子的组合干式真空泵
KR20080044470A (ko) * 2006-11-16 2008-05-21 (주)엘오티베큠 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프
CN101985938A (zh) * 2010-11-30 2011-03-16 东北大学 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵
CN103486034A (zh) * 2013-10-17 2014-01-01 山东伯仲真空设备股份有限公司 多级罗茨泵
CN108119352A (zh) * 2017-12-22 2018-06-05 东北大学 一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法
CN109340116A (zh) * 2018-10-08 2019-02-15 江苏亚太工业泵科技发展有限公司 排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵
CN210738814U (zh) * 2019-09-09 2020-06-12 浙江飞越机电有限公司 罗茨螺杆复合真空泵
CN215058164U (zh) * 2021-05-27 2021-12-07 威鹏晟(山东)真空技术有限公司 一种罗茨螺杆复合真空泵

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1755120A (zh) * 2004-10-01 2006-04-05 LOTVacuum株式会社 具有罗茨转子和螺旋转子的组合干式真空泵
KR20080044470A (ko) * 2006-11-16 2008-05-21 (주)엘오티베큠 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프
CN101985938A (zh) * 2010-11-30 2011-03-16 东北大学 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵
CN103486034A (zh) * 2013-10-17 2014-01-01 山东伯仲真空设备股份有限公司 多级罗茨泵
CN108119352A (zh) * 2017-12-22 2018-06-05 东北大学 一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法
CN109340116A (zh) * 2018-10-08 2019-02-15 江苏亚太工业泵科技发展有限公司 排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵
CN210738814U (zh) * 2019-09-09 2020-06-12 浙江飞越机电有限公司 罗茨螺杆复合真空泵
CN215058164U (zh) * 2021-05-27 2021-12-07 威鹏晟(山东)真空技术有限公司 一种罗茨螺杆复合真空泵

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114412788A (zh) * 2022-03-02 2022-04-29 南通诺博特机器人制造有限公司 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵
CN114412788B (zh) * 2022-03-02 2024-03-22 南通诺博特机器人制造有限公司 一种节能型罗茨-螺杆集成式无油真空泵

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100843328B1 (ko) 진공 배기 장치의 작동방법
CN201396281Y (zh) 多级三叶罗茨真空泵
CN100590317C (zh) 一种单级透平真空机及应用其抽取真空的方法
CN113107850B (zh) 斜式罗茨螺杆复合真空泵
CN215058164U (zh) 一种罗茨螺杆复合真空泵
CN113137369B (zh) 罗茨螺杆复合真空泵
CN113137369A (zh) 罗茨螺杆复合真空泵
CN102926995B (zh) 双转子爪式强流泵
CN114607600B (zh) 一种新型多级罗茨真空泵
CN214092308U (zh) 两级螺杆压缩机
TWI720701B (zh) 螺旋壓縮機
CN212079675U (zh) 往复立式无油真空泵进排气机构
CN114593055A (zh) 多级干式真空泵
CN207500153U (zh) 一种真空泵
CN112283108A (zh) 一种永磁同步电机直驱的外转子旋片式真空泵
CN113153746A (zh) 内置排气增压器式复合螺杆真空泵
CN209761720U (zh) 一种大排量容积回转式压缩机
CN106894997B (zh) 一种齿环结构气体压缩或膨胀装置
CN214742071U (zh) 一种真空泵复合传动轴
CN209976776U (zh) 爪型真空泵
CN219587769U (zh) 一种压缩机
CN216714708U (zh) 内置排气增压器式复合螺杆真空泵
CN107762896A (zh) 一种真空泵
WO2023112424A1 (ja) 給液式スクリュー圧縮機
CN217999870U (zh) 一种三腔室转子空气压缩装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant