CN214742071U - 一种真空泵复合传动轴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种真空泵复合传动轴，包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本实用新型可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理使用的真空泵中。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空泵，特别是涉及一种真空泵复合传动轴。
背景技术
现代工业的发展对于真空泵的需求越来越高，尤其是随着半导体行业和显示器制作行业的发展，对于工艺室的真空化处理的要求更高。
现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求；有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短，真空泵复合传动轴作为真空泵的关键部件，真空泵传动轴的定位精度低直接影响泵的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型针对现有的真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短，真空泵传动轴作为真空泵的关键部件，真空泵传动轴的定位精度低直接影响泵的使用寿命的技术问题，提供一种真空泵复合传动轴，该真空泵复合传动轴能够保证罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位准确，在装配时能够方便调节罗茨部分在轴向的定位，使其能够适应螺杆转子的啮合，这样在工作时，罗茨转子和螺杆转子不存在应力干扰，整体的真空泵的罗茨转子和螺杆转子运转平稳，这样就提高了真空泵的运转可靠性，大大提高了真空泵的寿命。
为此，本实用新型的技术方案是，一种真空泵复合传动轴，包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接。
优选地，罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。
优选地，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。
优选地，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。
优选地，相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面啮合。
本实用新型的有益效果是，由于罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙，这样的结构可以在装配时，方便地调节罗茨泵转子与螺杆泵转子在轴向的定位，从而达到高精度的要求，传统的连接往往会采取键的连接方式，这种键的连接方式在圆周的轴向无法进行角度的微调，需要提高加工精度，在装配时只能形成一种固定的角度，而加工精度又不能无限制提高，导致真空泵在运转时存在应力，降低了泵的寿命，而采取外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合锁紧，在装配时，可以调整到最佳的圆周角度匹配，然后固定锁紧，从而保证罗茨泵转子与螺杆泵转子在轴向的最佳定位角度，最大程度地消除装配的误差，消除运转的应力，提高了泵的运转可靠性，也提高了泵的寿命；另一方面也降低了机械加工的难度，大大降低了成本。
又由于相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面，其啮合运转也是更加平稳，降低了运转的噪声，提高了运转的平稳性，提高了泵的使用寿命，同时也能降低功耗，达到最佳的运转效果。
附图说明
图1是本实用新型罗茨泵转子啮合曲面为直型曲面三维结构示意图；
图2是图1的主视图；
图3是图2的D-D剖视图；
图4是图3和图8的Z处放大图；
图5是图1的侧视图；
图6是本实用新型罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面三维结构示意图；
图7是图1的主视图；
图8是图7的E-E剖视图。
图中符号说明：
1.真空泵复合传动轴；201.复合转子轴；202.螺杆泵转子；20201.螺杆泵转子叶轮；203.罗茨泵转子；20301.罗茨泵转子叶片；20302.罗茨泵转子啮合曲面；204.罗茨泵转子锁紧内套；205.内锥锁紧套；206.外锥锁紧套；207.锁紧间隙；208.罗茨泵转子内圈定位压紧环形部；209.内套压紧部。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型做进一步描述。
实施例1
图1-图5是本实用新型一种真空泵复合传动轴1的示意图，图1中可以看到，真空泵复合传动轴1包括复合转子轴201，复合转子轴201相邻固定设有螺杆泵转子202，螺杆泵转子202与复合转子轴201为一体结构，螺杆泵转子202上设有螺杆泵转子叶轮20201，螺杆泵转子202相邻固定设有罗茨泵转子203，罗茨泵转子203圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片20301，每相邻两个罗茨泵转子叶片20301之间设有罗茨泵转子啮合曲面20302，罗茨泵转子203与复合转子轴201为可拆卸连接。
使用时，将一对螺杆泵转子202通过螺杆泵转子叶轮20201相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮20201之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子203通过罗茨泵转子啮合曲面20302相互啮合连接。
该实施例中，罗茨泵转子啮合曲面20302为直型的，也就是说真空泵复合传动轴1沿轴线方向剖切时，罗茨泵转子啮合曲面20302的剖切线与真空泵复合传动轴1的轴线是平行的，在啮合运转时不会产生轴向的分力。
图4的放大图中可以看到，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有的外锥锁紧套206和内锥锁紧套205为三对；也可以根据轴向尺寸的大小选择更多对数或者更少对数的外锥锁紧套206和内锥锁紧套205。同时，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208与复合转子轴201外表面的接触部分的长度超过复合转子轴201长度的1/3，这样的结构保证了圆周方向定位的可靠性，还可以超过复合转子轴201长度的1/2，甚至更长，保证罗茨泵转子运转时的稳定性和精度，提高了可靠性。
本实施的图4的放大图中可以看到，罗茨泵转子203的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208，罗茨泵转子203套设在复合转子轴201上，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有外锥锁紧套206和内锥锁紧套205，外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合，外锥锁紧套206的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208压紧接触，罗茨泵转子203的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套204，罗茨泵转子锁紧内套204的前端设有内套压紧部209，内套压紧部209与内锥锁紧套205的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套204与罗茨泵转子203之间设有锁紧间隙207。
该实用新型又因为罗茨泵转子203的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208，罗茨泵转子203套设在复合转子轴201上，复合转子轴201上位于罗茨泵转子203的内部设有外锥锁紧套206和内锥锁紧套205，外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合，外锥锁紧套206的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部208压紧接触，罗茨泵转子203的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套204，罗茨泵转子锁紧内套204的前端设有内套压紧部209，内套压紧部209与内锥锁紧套205的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套204与罗茨泵转子203之间设有锁紧间隙207，这样的结构可以在装配时，方便地调节罗茨泵转子203与螺杆泵转子202在轴向的定位，从而达到高精度的要求，传统的连接往往会采取键的连接方式，这种键的连接方式在圆周的轴向无法进行角度的微调，需要提高加工精度，在装配时只能形成一种固定的角度，而加工精度又不能无限制提高，导致真空泵在运转时存在应力，降低了泵的寿命，而采取外锥锁紧套206的内锥表面和内锥锁紧套205的外锥表面相配合锁紧，在装配时，可以调整到最佳的圆周角度匹配，然后固定锁紧，从而导到罗茨泵转子203与螺杆泵转子202在轴向的最佳定位角度，最大程度地消除转配的误差，消除运转的应力，提高了泵的运转可靠性，也提高了泵的寿命；另一方面也降低了机械加工的难度，大大降低了成本。
实施例2
图6-图8是罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面的本实用新型三维结构示意图，图中可以看到，与实施例1不同的是，相邻两个罗茨泵转子叶片20301之间设有的罗茨泵转子啮合曲面20302为斜型曲面，罗茨泵转子啮合曲面20302为斜型曲面，其啮合运转也是更加平稳；这样的结构既能保证斜型罗茨泵转子啮合曲面20302啮合的运转平稳性，降低了运转的噪声，提高了运转的平稳性，提高了泵的使用寿命，同时也能降低功耗，达到最佳的运转效果。
本实施例的技术方案非常适合于半导体行业的工艺室的真空处理和显示器设备的工艺室的真空处理使用的真空泵中。
惟以上所述者，仅为本实用新型的具体实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，故其等同组件的置换，或依本实用新型专利保护范围所作的等同变化与修改，皆应仍属本实用新型权利要求书涵盖之范畴。
Claims (5)
1.一种真空泵复合传动轴，其特征是：包括复合转子轴，所述复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，所述螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，所述螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，所述螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，所述罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，所述罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵复合传动轴，其特征在于：所述罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，所述罗茨泵转子套设在复合转子轴上，所述复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，所述外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，所述外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，所述罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，所述罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，所述内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，所述罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。
3.根据权利要求2所述的一种真空泵复合传动轴，其特征在于：所述复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。
4.根据权利要求2所述的一种真空泵复合传动轴，其特征在于：所述罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。
5.根据权利要求1所述的一种真空泵复合传动轴，其特征在于：相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有的罗茨泵转子啮合曲面为斜型曲面啮合。
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