JP2000170679A - 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置 - Google Patents
多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置Info
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- JP2000170679A JP2000170679A JP10345011A JP34501198A JP2000170679A JP 2000170679 A JP2000170679 A JP 2000170679A JP 10345011 A JP10345011 A JP 10345011A JP 34501198 A JP34501198 A JP 34501198A JP 2000170679 A JP2000170679 A JP 2000170679A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/08—Rotary-piston machines or pumps of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】減圧性能の向上と製造コストの低廉化とを両立
した多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置を提供する。 【解決手段】前段のポンプ室２ａ、４ａの排気口２ｃ、
４ｃは軸９、１０の軸線を含む仮想面に対して反対側ま
で延在する連通孔３ａ、５ａにより後段のポンプ室４
ａ、６ａの吸気口４ｂ、６ｂと順次接続され、連通孔３
ａ、５ａは各軸９、１０間において各軸９、１０と接触
することなく第３、５シリンダブロック３、５に貫設さ
れている。
した多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置を提供する。 【解決手段】前段のポンプ室２ａ、４ａの排気口２ｃ、
４ｃは軸９、１０の軸線を含む仮想面に対して反対側ま
で延在する連通孔３ａ、５ａにより後段のポンプ室４
ａ、６ａの吸気口４ｂ、６ｂと順次接続され、連通孔３
ａ、５ａは各軸９、１０間において各軸９、１０と接触
することなく第３、５シリンダブロック３、５に貫設さ
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ等の回転駆
動装置により駆動され、各段のポンプ室で順次ポンプ作
用を行う多段ルーツポンプと、同回転駆動装置及び多段
ルーツポンプを一体とした多段ポンプ装置とに関する。
動装置により駆動され、各段のポンプ室で順次ポンプ作
用を行う多段ルーツポンプと、同回転駆動装置及び多段
ルーツポンプを一体とした多段ポンプ装置とに関する。
【０００２】
【従来の技術】特開平８−１４１７２号公報記載の多段
ルーツポンプでは、ケーシング内にそれぞれ吸気口及び
排気口を備えた複数個のポンプ室がそれぞれ平行に構成
されている。各ポンプ室内には２個で１組をなすロータ
が配置され、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着
されて互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するようにな
っている。ケーシングでは、最前段のポンプ室の吸気口
が開放されている。また、前段のポンプ室と後段のポン
プ室との間には比較的軸長の長い隔壁が形成されてお
り、前段のポンプ室の排気口はその隔壁に形成された連
通室により後段のポンプ室の吸気口と順次接続されてい
る。ここで、連通室は、２本の軸の軸線を含む仮想面に
対して反対側まで延在し、各軸をこの連通室内に剥き出
しとしている。そして、最後段のポンプ室の排気口が開
放されている。
ルーツポンプでは、ケーシング内にそれぞれ吸気口及び
排気口を備えた複数個のポンプ室がそれぞれ平行に構成
されている。各ポンプ室内には２個で１組をなすロータ
が配置され、各ロータは互いに平行な２本の軸上に装着
されて互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するようにな
っている。ケーシングでは、最前段のポンプ室の吸気口
が開放されている。また、前段のポンプ室と後段のポン
プ室との間には比較的軸長の長い隔壁が形成されてお
り、前段のポンプ室の排気口はその隔壁に形成された連
通室により後段のポンプ室の吸気口と順次接続されてい
る。ここで、連通室は、２本の軸の軸線を含む仮想面に
対して反対側まで延在し、各軸をこの連通室内に剥き出
しとしている。そして、最後段のポンプ室の排気口が開
放されている。
【０００３】また、この多段ルーツポンプの各軸の一端
は、モータ等の回転駆動装置の駆動本体から突出して回
転駆動する駆動軸に連結されている。また、多段ルーツ
ポンプのその軸の他端には駆動ギアが固定され、この駆
動ギアは多段ルーツポンプの他方の軸の先端に固定され
た従動ギアと噛合されて回転を伝動するようになってい
る。こうして、この多段ルーツポンプはモータ等の回転
駆動装置とともに多段ポンプ装置を構成することとな
る。
は、モータ等の回転駆動装置の駆動本体から突出して回
転駆動する駆動軸に連結されている。また、多段ルーツ
ポンプのその軸の他端には駆動ギアが固定され、この駆
動ギアは多段ルーツポンプの他方の軸の先端に固定され
た従動ギアと噛合されて回転を伝動するようになってい
る。こうして、この多段ルーツポンプはモータ等の回転
駆動装置とともに多段ポンプ装置を構成することとな
る。
【０００４】このような多段ポンプ装置を用いて例えば
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、多段ルー
ツポンプにおいて、最前段のポンプ室の吸気口をその室
内に開口させるとともに、最後段のポンプ室の排気口を
大気等に開口させる。そして、モータにより多段ルーツ
ポンプを駆動する。これにより、多段ルーツポンプの各
ポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持しつつ
回転するため、各ポンプ室内において順次ポンプ作用が
行われ、その室内の空気を大気等に放出してその室内を
減圧室とすることが可能になる。
ある室内を真空引きして減圧室としたい場合、多段ルー
ツポンプにおいて、最前段のポンプ室の吸気口をその室
内に開口させるとともに、最後段のポンプ室の排気口を
大気等に開口させる。そして、モータにより多段ルーツ
ポンプを駆動する。これにより、多段ルーツポンプの各
ポンプ室内で各ロータが互いに僅かな間隙を保持しつつ
回転するため、各ポンプ室内において順次ポンプ作用が
行われ、その室内の空気を大気等に放出してその室内を
減圧室とすることが可能になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の多
段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置では、前段のポンプ
室の排気口と後段のポンプ室の吸気口とを接続する手段
として、各段間の隔壁に形成した連通室を採用し、各ロ
ータを装着する各軸をこの連通室内に剥き出しとしてい
る。このため、これら多段ルーツポンプ若しくは多段ポ
ンプ装置では、高圧の後段のポンプ室内の流体が軸孔を
経て低圧の連通室へと漏洩し、その連通室内の流体が軸
孔を経てさらに低圧の前段のポンプ室へと漏洩しやす
く、結果として減圧性能の低下を招来してしまう。他
方、かかる欠点を抑制するとすれば、各段間について各
軸孔と各軸との間に軸封装置を設ける必要があり、これ
では部品点数の増加から製造コストの高騰化を招来する
こととなる。
段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置では、前段のポンプ
室の排気口と後段のポンプ室の吸気口とを接続する手段
として、各段間の隔壁に形成した連通室を採用し、各ロ
ータを装着する各軸をこの連通室内に剥き出しとしてい
る。このため、これら多段ルーツポンプ若しくは多段ポ
ンプ装置では、高圧の後段のポンプ室内の流体が軸孔を
経て低圧の連通室へと漏洩し、その連通室内の流体が軸
孔を経てさらに低圧の前段のポンプ室へと漏洩しやす
く、結果として減圧性能の低下を招来してしまう。他
方、かかる欠点を抑制するとすれば、各段間について各
軸孔と各軸との間に軸封装置を設ける必要があり、これ
では部品点数の増加から製造コストの高騰化を招来する
こととなる。
【０００６】本発明は、上記従来の実状に鑑みてなされ
たものであり、減圧性能の向上と製造コストの低廉化と
を両立した多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置を提供
することを解決課題としている。
たものであり、減圧性能の向上と製造コストの低廉化と
を両立した多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置を提供
することを解決課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の多段ルーツポン
プは、それぞれ吸気口及び排気口を備えた複数個のポン
プ室をそれぞれ平行に構成するケーシングと、各該ポン
プ室内に配置され、互いに平行な複数の軸上に装着され
て互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するロータとを有
する多段ルーツポンプであって、前記ロータは２個以上
で１組をなし、前記ケーシングでは、最前段の前記ポン
プ室の前記吸気口が開放され、前段の該ポンプ室の前記
排気口は前記複数の軸の軸線を含む仮想面に対して反対
側まで延在する連通孔により後段の該ポンプ室の該吸気
口と順次接続され、最後段の該ポンプ室の該排気口が開
放されてなり、各該連通孔は各該軸間において各該軸と
接触することなく該ケーシングに貫設されていることを
特徴とする。
プは、それぞれ吸気口及び排気口を備えた複数個のポン
プ室をそれぞれ平行に構成するケーシングと、各該ポン
プ室内に配置され、互いに平行な複数の軸上に装着され
て互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するロータとを有
する多段ルーツポンプであって、前記ロータは２個以上
で１組をなし、前記ケーシングでは、最前段の前記ポン
プ室の前記吸気口が開放され、前段の該ポンプ室の前記
排気口は前記複数の軸の軸線を含む仮想面に対して反対
側まで延在する連通孔により後段の該ポンプ室の該吸気
口と順次接続され、最後段の該ポンプ室の該排気口が開
放されてなり、各該連通孔は各該軸間において各該軸と
接触することなく該ケーシングに貫設されていることを
特徴とする。
【０００８】この多段ルーツポンプでは、前段のポンプ
室の排気口と後段のポンプ室の吸気口とが各軸に接触す
ることのない連通孔により接続されているため、高圧の
後段のポンプ室内の流体は軸孔及び連通孔を経て前段の
ポンプ室へと漏洩しにくく、減圧性能の低下をほとんど
来さない。そして、このために、各段間について各軸孔
と各軸との間に軸封装置を設ける必要もなく、部品点数
の増加を要せずに製造コストの低廉化を実現することが
できる。
室の排気口と後段のポンプ室の吸気口とが各軸に接触す
ることのない連通孔により接続されているため、高圧の
後段のポンプ室内の流体は軸孔及び連通孔を経て前段の
ポンプ室へと漏洩しにくく、減圧性能の低下をほとんど
来さない。そして、このために、各段間について各軸孔
と各軸との間に軸封装置を設ける必要もなく、部品点数
の増加を要せずに製造コストの低廉化を実現することが
できる。
【０００９】本発明の多段ルーツポンプにおいて、各ポ
ンプ室を最前段から第１ポンプ室、第２ポンプ室、…、
第ｎ−１ポンプ室、第ｎポンプ室とすれば、第ｎ−１ポ
ンプ室の排気口と第ｎポンプ室の吸気口とを接続する連
通孔の連通面積は第ｎ−１ポンプ室の吸気口の連通面積
に第ｎポンプ室の軸長と第ｎ−１ポンプ室の軸長との比
の値を乗じた値以上とすることが好ましい。こうであれ
ば、高圧の後段のポンプ室内の流体が移送中に膨張する
ことがなく、減圧性能の低下を来さないからである。
ンプ室を最前段から第１ポンプ室、第２ポンプ室、…、
第ｎ−１ポンプ室、第ｎポンプ室とすれば、第ｎ−１ポ
ンプ室の排気口と第ｎポンプ室の吸気口とを接続する連
通孔の連通面積は第ｎ−１ポンプ室の吸気口の連通面積
に第ｎポンプ室の軸長と第ｎ−１ポンプ室の軸長との比
の値を乗じた値以上とすることが好ましい。こうであれ
ば、高圧の後段のポンプ室内の流体が移送中に膨張する
ことがなく、減圧性能の低下を来さないからである。
【００１０】本発明の多段ルーツポンプには、駆動本体
と、この駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸とを
有する回転駆動装置が隣接して設けられ、多段ルーツポ
ンプとこの回転駆動装置との間には、回転駆動装置の駆
動軸に固定された駆動ギアと、多段ルーツポンプの各軸
に固定され、駆動ギアにより伝動する従動ギアとからな
るタイミングギア列が設けられていることが好ましい。
これにより、本発明の多段ルーツポンプをモータ等の回
転駆動装置と一体した本発明の多段ポンプ装置とされ
る。この多段ポンプ装置では、回転駆動装置の駆動軸か
ら伝達される駆動力は、駆動ギア及び従動ギアからなる
タイミングギア列並びに各軸で各ロータの回転に変換さ
れることとなる。このため、ベルトで駆動するような滑
りはなく、また多段ルーツポンプにおいて各軸のねじれ
も影響を受けにくいことから、回転駆動装置の駆動力が
それぞれのポンプ室内において全てのロータの回転に変
換されやすく、ポンプ作用が滑らかに行われやすい。
と、この駆動本体から突出して回転駆動する駆動軸とを
有する回転駆動装置が隣接して設けられ、多段ルーツポ
ンプとこの回転駆動装置との間には、回転駆動装置の駆
動軸に固定された駆動ギアと、多段ルーツポンプの各軸
に固定され、駆動ギアにより伝動する従動ギアとからな
るタイミングギア列が設けられていることが好ましい。
これにより、本発明の多段ルーツポンプをモータ等の回
転駆動装置と一体した本発明の多段ポンプ装置とされ
る。この多段ポンプ装置では、回転駆動装置の駆動軸か
ら伝達される駆動力は、駆動ギア及び従動ギアからなる
タイミングギア列並びに各軸で各ロータの回転に変換さ
れることとなる。このため、ベルトで駆動するような滑
りはなく、また多段ルーツポンプにおいて各軸のねじれ
も影響を受けにくいことから、回転駆動装置の駆動力が
それぞれのポンプ室内において全てのロータの回転に変
換されやすく、ポンプ作用が滑らかに行われやすい。
【００１１】本発明の多段ポンプ装置では、最前段のポ
ンプ室の吸気口はタイミングギア列から最も遠い位置で
開放され、最後段のポンプ室の排気口はタイミングギア
列に最も近い位置で開放されてなることが好ましい。こ
うであれば、最前段のポンプ室の吸気口が開口される室
内等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、その
室内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。
ンプ室の吸気口はタイミングギア列から最も遠い位置で
開放され、最後段のポンプ室の排気口はタイミングギア
列に最も近い位置で開放されてなることが好ましい。こ
うであれば、最前段のポンプ室の吸気口が開口される室
内等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、その
室内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態を図面を参照しつつ説明する。この多段ポンプ装置で
は、図１に示すように、多段ルーツポンプＰが回転駆動
装置としてのモータＭと一体とされている。ここで、多
段ルーツポンプＰでは、第１〜８シリンダブロック１〜
８がそれぞれ間にＯリングを介在させつつ順次積層さ
れ、これらは第１シリンダブロック１側に設けた前面プ
レート１ｃとともに図示しない通しボルトにより締結さ
れている。これら第１〜８シリンダブロック１〜８及び
前面プレート１ｃがケーシングの一部を構成している。
態を図面を参照しつつ説明する。この多段ポンプ装置で
は、図１に示すように、多段ルーツポンプＰが回転駆動
装置としてのモータＭと一体とされている。ここで、多
段ルーツポンプＰでは、第１〜８シリンダブロック１〜
８がそれぞれ間にＯリングを介在させつつ順次積層さ
れ、これらは第１シリンダブロック１側に設けた前面プ
レート１ｃとともに図示しない通しボルトにより締結さ
れている。これら第１〜８シリンダブロック１〜８及び
前面プレート１ｃがケーシングの一部を構成している。
【００１３】第１〜７シリンダブロック１〜７にはそれ
ぞれ水平な２本の軸孔が上下で互いに平行をなして貫設
されており、各軸孔には第１軸９及び第２軸１０が収容
されている。第１シリンダブロック１の各軸孔内には第
１、２軸９、１０を軸支する軸受装置１ａ、１ｂが設け
られ、これらは前面プレート１ｃにより覆われている。
ぞれ水平な２本の軸孔が上下で互いに平行をなして貫設
されており、各軸孔には第１軸９及び第２軸１０が収容
されている。第１シリンダブロック１の各軸孔内には第
１、２軸９、１０を軸支する軸受装置１ａ、１ｂが設け
られ、これらは前面プレート１ｃにより覆われている。
【００１４】第２シリンダブロック２には、図２にも示
すように、１個のポンプ室２ａが後方から凹設されてお
り、ポンプ室２ａ内には、下方に位置する第１軸９に装
着された第１ロータ１１と、上方に位置する第２軸１０
に装着された第２ロータ１２とが配置されている。第
１、２ロータ１１、１２はそれぞれ互いに僅かな間隙を
保持しつつ回転するようになっている。第２シリンダブ
ロック２には、ポンプ室２ａと連通し、第１、２ロータ
１１、１２の回転により空気を吸入する吸気口２ｂと、
空気を排出する排気口２ｃとが水平に貫設されている。
すように、１個のポンプ室２ａが後方から凹設されてお
り、ポンプ室２ａ内には、下方に位置する第１軸９に装
着された第１ロータ１１と、上方に位置する第２軸１０
に装着された第２ロータ１２とが配置されている。第
１、２ロータ１１、１２はそれぞれ互いに僅かな間隙を
保持しつつ回転するようになっている。第２シリンダブ
ロック２には、ポンプ室２ａと連通し、第１、２ロータ
１１、１２の回転により空気を吸入する吸気口２ｂと、
空気を排出する排気口２ｃとが水平に貫設されている。
【００１５】図１に示す第４、６シリンダブロック４、
６にも、図４及び図５に示すように、それぞれ１個の同
様のポンプ室４ａ、６ａが前方から凹設され、各ポンプ
室４ａ、６ａ内には同様の第１、２ロータ１３〜１６が
配置されている。また、第４、６シリンダブロック４、
６には、同様の吸気口４ｂ、６ｂ及び排気口４ｃ、６ｃ
が水平に貫設されている。但し、図１に示すように、第
２シリンダブロック２による最前段のポンプ室２ａの軸
長が最も長いＬ1であり、第４シリンダーブロック４に
よるポンプ室４ａの軸長が次に長いＬ2であり、第６シ
リンダーブロック６による最後段のポンプ室６ａの軸長
が最も短いＬ3である。また、これら各ポンプ室２ａ、
４ａ、６ａの軸長に合わせて第１、２ロータ１１〜１６
の軸長も異なっている。
６にも、図４及び図５に示すように、それぞれ１個の同
様のポンプ室４ａ、６ａが前方から凹設され、各ポンプ
室４ａ、６ａ内には同様の第１、２ロータ１３〜１６が
配置されている。また、第４、６シリンダブロック４、
６には、同様の吸気口４ｂ、６ｂ及び排気口４ｃ、６ｃ
が水平に貫設されている。但し、図１に示すように、第
２シリンダブロック２による最前段のポンプ室２ａの軸
長が最も長いＬ1であり、第４シリンダーブロック４に
よるポンプ室４ａの軸長が次に長いＬ2であり、第６シ
リンダーブロック６による最後段のポンプ室６ａの軸長
が最も短いＬ3である。また、これら各ポンプ室２ａ、
４ａ、６ａの軸長に合わせて第１、２ロータ１１〜１６
の軸長も異なっている。
【００１６】図１に示す第３シリンダブロック３には、
図３にも示すように、両軸９、１０の軸線を含む仮想面
に対して反対側まで延在する連通孔３ａが水平に貫設さ
れている。この連通孔３ａは、各軸９、１０間において
各軸９、１０と接触することなく第３シリンダブロック
３に貫設されている。連通孔３ａの連通面積Ｓ1は連通
孔３ａの直径をＬ4とすると、 Ｓ1＝π（Ｌ4／２）2 である。この連通孔３ａの連通面積Ｓ1は、ポンプ室２
ａの吸気口２ｂの連通面積をＳとすると、 Ｓ1≧Ｓ×Ｌ2／Ｌ1 としている。
図３にも示すように、両軸９、１０の軸線を含む仮想面
に対して反対側まで延在する連通孔３ａが水平に貫設さ
れている。この連通孔３ａは、各軸９、１０間において
各軸９、１０と接触することなく第３シリンダブロック
３に貫設されている。連通孔３ａの連通面積Ｓ1は連通
孔３ａの直径をＬ4とすると、 Ｓ1＝π（Ｌ4／２）2 である。この連通孔３ａの連通面積Ｓ1は、ポンプ室２
ａの吸気口２ｂの連通面積をＳとすると、 Ｓ1≧Ｓ×Ｌ2／Ｌ1 としている。
【００１７】また、第５シリンダーブロック５にも同様
の連通孔５ａが水平に貫設され、連通孔５ａは、各軸
９、１０間において各軸９、１０と接触することなく第
５シリンダブロック５に貫設されている。この連通孔５
ａも、各軸９、１０間において各軸９、１０と接触する
ことなく第５シリンダブロック５に貫設されている。連
通孔５ａの連通面積Ｓ2は連通孔５ａの直径をＬ5とする
と、 Ｓ2＝π（Ｌ5／２）2 である。この連通孔５ａの連通面積Ｓ2は、ポンプ室４
ａの吸気口４ｂの連通面積をＳとポンプ室２ａの吸気口
２ｂの連通面積と同じＳとすると、 Ｓ2≧Ｓ×Ｌ3／Ｌ2 としている。
の連通孔５ａが水平に貫設され、連通孔５ａは、各軸
９、１０間において各軸９、１０と接触することなく第
５シリンダブロック５に貫設されている。この連通孔５
ａも、各軸９、１０間において各軸９、１０と接触する
ことなく第５シリンダブロック５に貫設されている。連
通孔５ａの連通面積Ｓ2は連通孔５ａの直径をＬ5とする
と、 Ｓ2＝π（Ｌ5／２）2 である。この連通孔５ａの連通面積Ｓ2は、ポンプ室４
ａの吸気口４ｂの連通面積をＳとポンプ室２ａの吸気口
２ｂの連通面積と同じＳとすると、 Ｓ2≧Ｓ×Ｌ3／Ｌ2 としている。
【００１８】そして、図１に示す第７シリンダブロック
７の各軸孔内には、第１、２軸９、１０を軸支する軸受
装置７ａ、７ｂが設けられている。また、第８シリンダ
ブロック８には、図１に示すように、ギア室８ａが後方
から凹設されており、ギア室８ａ内では、第１軸９に駆
動ギア１７が固定されている。また、第２軸１０には従
動ギア１８が固定されている。従動ギア１８は、駆動ギ
ア１７と噛合し、駆動ギア１７とともにタイミングギア
列を構成している。また、第８シリンダブロック８には
図示しないボルトによりモータＭの駆動本体３０が固定
され、第１軸９は駆動本体３０から突出して回転駆動す
るモータＭの駆動軸と図示しない継手により連結されて
いる。
７の各軸孔内には、第１、２軸９、１０を軸支する軸受
装置７ａ、７ｂが設けられている。また、第８シリンダ
ブロック８には、図１に示すように、ギア室８ａが後方
から凹設されており、ギア室８ａ内では、第１軸９に駆
動ギア１７が固定されている。また、第２軸１０には従
動ギア１８が固定されている。従動ギア１８は、駆動ギ
ア１７と噛合し、駆動ギア１７とともにタイミングギア
列を構成している。また、第８シリンダブロック８には
図示しないボルトによりモータＭの駆動本体３０が固定
され、第１軸９は駆動本体３０から突出して回転駆動す
るモータＭの駆動軸と図示しない継手により連結されて
いる。
【００１９】第２〜６シリンダブロック２〜６の側面に
は、図２〜６に示すように、ガスケット２１、２２を介
して第１、２側面プレート１９、２０が図示しないボル
トにより締結されている。これら第１、２側面プレート
１９、２０がケーシングの残部を構成している。図２〜
６に示すように、第２プレート２０には第２シリンダブ
ロック２の吸気口２ｂと同一連通面積で連通する吸気口
２０ａが水平に貫設され、第３シリンダーブロック３の
連通孔３ａと第４シリンダーブロック４の吸気口４ｂと
を同一連通面積で連通する連通溝２０ｂ及び第５シリン
ダーブロック５の連通孔５ａと第６シリンダーブロック
６の吸気口６ｂとを同一連通面積で連通する連通溝２０
ｃが凹設されている。また、第１プレート１９には第２
シリンダブロック２の排気口２ｃと第３シリンダブロッ
ク３の連通孔３ａとを同一連通面積で連通する連通溝１
９ａ及び第４シリンダブロック４の排気口４ｃと第５シ
リンダブロック５の連通孔５ａとを同一連通面積で連通
する連通溝１９ｂが凹設され、第６シリンダブロック６
の排気口６ｃと同一連通面積で連通する排気口１９ｃが
水平に貫設されている。
は、図２〜６に示すように、ガスケット２１、２２を介
して第１、２側面プレート１９、２０が図示しないボル
トにより締結されている。これら第１、２側面プレート
１９、２０がケーシングの残部を構成している。図２〜
６に示すように、第２プレート２０には第２シリンダブ
ロック２の吸気口２ｂと同一連通面積で連通する吸気口
２０ａが水平に貫設され、第３シリンダーブロック３の
連通孔３ａと第４シリンダーブロック４の吸気口４ｂと
を同一連通面積で連通する連通溝２０ｂ及び第５シリン
ダーブロック５の連通孔５ａと第６シリンダーブロック
６の吸気口６ｂとを同一連通面積で連通する連通溝２０
ｃが凹設されている。また、第１プレート１９には第２
シリンダブロック２の排気口２ｃと第３シリンダブロッ
ク３の連通孔３ａとを同一連通面積で連通する連通溝１
９ａ及び第４シリンダブロック４の排気口４ｃと第５シ
リンダブロック５の連通孔５ａとを同一連通面積で連通
する連通溝１９ｂが凹設され、第６シリンダブロック６
の排気口６ｃと同一連通面積で連通する排気口１９ｃが
水平に貫設されている。
【００２０】以上のように構成された多段ポンプ装置を
用いて例えばある室内を真空引きして減圧室としたい場
合、多段ルーツポンプＰにおいて、図６に示すように、
ホース等を介して第２プレート２０の吸気口２０ａをそ
の室内に開口させるとともに、ホース等を介して第１プ
レート１９の排気口１９ｃを大気等に開口させる。そし
て、モータＭにより多段ルーツポンプＰを駆動する。こ
れにより、多段ルーツポンプＰの各ポンプ室２ａ、４
ａ、６ａ内で第１、２ロータ１１〜１６が互いに僅かな
間隙を保持しつつ回転するため、各ポンプ室２ａ、４
ａ、６ａ内において順次ポンプ作用が行われ、その室内
の空気を大気等に放出してその室内を減圧室とすること
が可能になる。
用いて例えばある室内を真空引きして減圧室としたい場
合、多段ルーツポンプＰにおいて、図６に示すように、
ホース等を介して第２プレート２０の吸気口２０ａをそ
の室内に開口させるとともに、ホース等を介して第１プ
レート１９の排気口１９ｃを大気等に開口させる。そし
て、モータＭにより多段ルーツポンプＰを駆動する。こ
れにより、多段ルーツポンプＰの各ポンプ室２ａ、４
ａ、６ａ内で第１、２ロータ１１〜１６が互いに僅かな
間隙を保持しつつ回転するため、各ポンプ室２ａ、４
ａ、６ａ内において順次ポンプ作用が行われ、その室内
の空気を大気等に放出してその室内を減圧室とすること
が可能になる。
【００２１】この間、この多段ポンプ装置では、ポンプ
室２ａの排気口２ｃとポンプ室４ａの吸気口４ｂとが各
軸９、１０に接触することのない連通孔３ａにより接続
されているため、高圧のポンプ室４ａ内の空気は軸孔及
び連通孔３ａを経てポンプ室２ａへと漏洩しにくい。ま
た、ポンプ室４ａの排気口４ｃとポンプ室６ａの吸気口
６ｂとも各軸９、１０に接触することのない連通孔５ａ
により接続されているため、高圧のポンプ室６ａ内の空
気は軸孔及び連通孔５ａを経てポンプ室４ａへと漏洩し
にくい。このため、このポンプ装置では、減圧性能の低
下をほとんど来さない。そして、このために、各段間に
ついて各軸孔と各軸９、１０との間に軸封装置を設けて
もいないことから、部品点数の増加を要せずに製造コス
トの低廉化を実現している。
室２ａの排気口２ｃとポンプ室４ａの吸気口４ｂとが各
軸９、１０に接触することのない連通孔３ａにより接続
されているため、高圧のポンプ室４ａ内の空気は軸孔及
び連通孔３ａを経てポンプ室２ａへと漏洩しにくい。ま
た、ポンプ室４ａの排気口４ｃとポンプ室６ａの吸気口
６ｂとも各軸９、１０に接触することのない連通孔５ａ
により接続されているため、高圧のポンプ室６ａ内の空
気は軸孔及び連通孔５ａを経てポンプ室４ａへと漏洩し
にくい。このため、このポンプ装置では、減圧性能の低
下をほとんど来さない。そして、このために、各段間に
ついて各軸孔と各軸９、１０との間に軸封装置を設けて
もいないことから、部品点数の増加を要せずに製造コス
トの低廉化を実現している。
【００２２】また、この多段ポンプ装置では、上記のよ
うに、連通孔３ａ、５ａの連通面積Ｓ1、Ｓ2を定めてい
るため、高圧のポンプ室４ａ、６ａ内の空気が移送中に
膨張することがなく、減圧性能の低下を来さない。さら
に、この多段ポンプ装置では、モータＭの駆動軸から伝
達される駆動力が駆動ギア１７及び従動ギア１８からな
るタイミングギア列並びに第１、２軸９、１０で各ロー
タ１１〜１６の回転に変換されることとなるため、多段
ルーツポンプＰにおいて第１、２軸９、１０のねじれの
影響を受けにくく、モータＭの駆動力がそれぞれのポン
プ室２ａ、４ａ、６ａ内において全てのロータ１１〜１
６の回転に変換されやすく、ポンプ作用が滑らかに行わ
れやすい。
うに、連通孔３ａ、５ａの連通面積Ｓ1、Ｓ2を定めてい
るため、高圧のポンプ室４ａ、６ａ内の空気が移送中に
膨張することがなく、減圧性能の低下を来さない。さら
に、この多段ポンプ装置では、モータＭの駆動軸から伝
達される駆動力が駆動ギア１７及び従動ギア１８からな
るタイミングギア列並びに第１、２軸９、１０で各ロー
タ１１〜１６の回転に変換されることとなるため、多段
ルーツポンプＰにおいて第１、２軸９、１０のねじれの
影響を受けにくく、モータＭの駆動力がそれぞれのポン
プ室２ａ、４ａ、６ａ内において全てのロータ１１〜１
６の回転に変換されやすく、ポンプ作用が滑らかに行わ
れやすい。
【００２３】また、この多段ポンプ装置では、最前段の
ポンプ室２ａの吸気口２ｂがタイミングギア列から最も
遠い位置で開口され、最後段のポンプ室６ａの排気口６
ｃがタイミングギア列に最も近い位置で開口されている
ため、最前段のポンプ室２ａの吸気口２ｂが開口される
室内等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、そ
の室内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。
ポンプ室２ａの吸気口２ｂがタイミングギア列から最も
遠い位置で開口され、最後段のポンプ室６ａの排気口６
ｃがタイミングギア列に最も近い位置で開口されている
ため、最前段のポンプ室２ａの吸気口２ｂが開口される
室内等にタイミングギア列の潤滑油が飛散しにくく、そ
の室内等について環境を好適に維持しつつ減圧できる。
【００２４】なお、本発明は、ロータが３個以上で１組
をなすルーツポンプとしたり、ポンプ室が４個以上の多
段ポンプ装置としたりすることもできる。
をなすルーツポンプとしたり、ポンプ室が４個以上の多
段ポンプ装置としたりすることもできる。
【００２５】
【評価】実施例のポンプ装置と比較例のポンプ装置とに
ついて、排気口から吸気口までの空気のリーク量を算定
し、比較評価を行った。実施例のポンプ装置は、ポンプ
室が６個である点を除き、上記実施形態のポンプ装置と
同一の構造を有するものである。他方、比較例のポンプ
装置は、上記特開平８−１４１７２号公報記載のポンプ
装置と同様の構造を有するものである。ここで、実施例
のポンプ装置と比較例のポンプ装置とについて、図７に
示すように、ポンプ室４０ａの内周面とロータ４１、４
２の外周面とのクリアランスをＣＬｒａ、ポンプ室４０
ａの後方側端面とロータ４１、４２の後方側端面とのク
リアランスをＣＬｒｅ、ポンプ室４０ａの前方側端面と
ロータ４１、４２の前方側端面とのクリアランスをＣＬ
ｆ、ロータ４１、４２間のクリアランスをＣＬｒｏ、第
１、２軸４３、４４とシリンダーブロック４５とのクリ
アランスをＣＬｓとする。なお、ポンプ室を構成する他
のシリンダーブロックについても同様である。
ついて、排気口から吸気口までの空気のリーク量を算定
し、比較評価を行った。実施例のポンプ装置は、ポンプ
室が６個である点を除き、上記実施形態のポンプ装置と
同一の構造を有するものである。他方、比較例のポンプ
装置は、上記特開平８−１４１７２号公報記載のポンプ
装置と同様の構造を有するものである。ここで、実施例
のポンプ装置と比較例のポンプ装置とについて、図７に
示すように、ポンプ室４０ａの内周面とロータ４１、４
２の外周面とのクリアランスをＣＬｒａ、ポンプ室４０
ａの後方側端面とロータ４１、４２の後方側端面とのク
リアランスをＣＬｒｅ、ポンプ室４０ａの前方側端面と
ロータ４１、４２の前方側端面とのクリアランスをＣＬ
ｆ、ロータ４１、４２間のクリアランスをＣＬｒｏ、第
１、２軸４３、４４とシリンダーブロック４５とのクリ
アランスをＣＬｓとする。なお、ポンプ室を構成する他
のシリンダーブロックについても同様である。
【００２６】実施例のポンプ装置及び比較例のポンプ装
置ともに、ＣＬｒａ＝０．１５ｍｍ、ＣＬｆ＝０．１５
ｍｍ、ＣＬｒｅ＝０．２０ｍｍ、ＣＬｒｏ＝０．１５ｍ
ｍ、ＣＬｓ＝０．１０ｍｍとする。また、最前段ポンプ
室４０ａのロータ１回転当たりの排気容量を０．３ｃｃ
／ｒｅｖ、すべての前段と後段とのポンプ室の容積比を
０．８、ロータ４１、４２の回転数を５０００ｒｐｍと
する。
置ともに、ＣＬｒａ＝０．１５ｍｍ、ＣＬｆ＝０．１５
ｍｍ、ＣＬｒｅ＝０．２０ｍｍ、ＣＬｒｏ＝０．１５ｍ
ｍ、ＣＬｓ＝０．１０ｍｍとする。また、最前段ポンプ
室４０ａのロータ１回転当たりの排気容量を０．３ｃｃ
／ｒｅｖ、すべての前段と後段とのポンプ室の容積比を
０．８、ロータ４１、４２の回転数を５０００ｒｐｍと
する。
【００２７】この結果、実施例のポンプ装置では、空気
のリーク量が０．２２９Ｔｏｒｒ・Ｌ／ｓｅｃであった
のに対し、比較例のポンプ装置では空気のリーク量が
０．５９３Ｔｏｒｒ・Ｌ／ｓｅｃであった。これによ
り、実施例のポンプ装置は、比較例のポンプ装置に比し
て、空気のリーク量が約２．５分の１に減少しており、
減圧機能が向上していることがわかる。
のリーク量が０．２２９Ｔｏｒｒ・Ｌ／ｓｅｃであった
のに対し、比較例のポンプ装置では空気のリーク量が
０．５９３Ｔｏｒｒ・Ｌ／ｓｅｃであった。これによ
り、実施例のポンプ装置は、比較例のポンプ装置に比し
て、空気のリーク量が約２．５分の１に減少しており、
減圧機能が向上していることがわかる。
【００２８】したがって、本発明の多段ルーツポンプ及
び多段ポンプ装置によれば、減圧性能の向上と製造コス
トの低廉化とを両立できることがわかる。
び多段ポンプ装置によれば、減圧性能の向上と製造コス
トの低廉化とを両立できることがわかる。
【図１】実施形態の多段ポンプ装置の縦断面図である。
【図２】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図１のＩＩ
−ＩＩ矢視断面図である。
−ＩＩ矢視断面図である。
【図３】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図１のＩＩ
Ｉ−ＩＩＩ矢視断面図である。
Ｉ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【図４】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図１のＩＶ
−ＩＶ矢視断面図である。
−ＩＶ矢視断面図である。
【図５】実施形態の多段ポンプ装置に係り、図１のＶ−
Ｖ矢視断面図である。
Ｖ矢視断面図である。
【図６】実施形態の多段ポンプ装置の平面図である。
【図７】実施例のポンプ装置及び比較例のポンプ装置に
係り、各クリアランスを示す断面図である。
係り、各クリアランスを示す断面図である。
Ｐ…多段ルーツポンプ ２０ａ、２ｂ、４ｂ、６ｂ…吸気口 ２ｃ、４ｃ、６ｃ、１９ｃ…排気口 ２ａ、４ａ、６ａ…ポンプ室 ３ａ、５ａ…連通孔 １〜８、１ｃ、１９、２０…ケーシング（１〜８…第１
〜８シリンダブロック、１ｃ…前面プレート、１９…第
１側面プレート、２０…第２側面プレート） ９、１０…第１、２軸 １１〜１６…第１、２ロータ １９ａ、１９ｂ、２０ｂ、２０ｃ…連通溝 Ｍ…回転駆動装置（モータ） ３０…駆動本体 １７…駆動ギア １８…従動ギア
〜８シリンダブロック、１ｃ…前面プレート、１９…第
１側面プレート、２０…第２側面プレート） ９、１０…第１、２軸 １１〜１６…第１、２ロータ １９ａ、１９ｂ、２０ｂ、２０ｃ…連通溝 Ｍ…回転駆動装置（モータ） ３０…駆動本体 １７…駆動ギア １８…従動ギア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内山 理 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA18 AB06 BB01 BB16 BB31 BB32 BB41 CC02 CC04 CC05 CC06 CC07 CC08 CC09 CC23 CC24 CC25
Claims (4)
- 【請求項１】それぞれ吸気口及び排気口を備えた複数個
のポンプ室をそれぞれ平行に構成するケーシングと、各
該ポンプ室内に配置され、互いに平行な複数の軸上に装
着されて互いに僅かな間隙を保持しつつ回転するロータ
とを有する多段ルーツポンプであって、 前記ロータは２個以上で１組をなし、前記ケーシングで
は、最前段の前記ポンプ室の前記吸気口が開放され、前
段の該ポンプ室の前記排気口は前記複数の軸の軸線を含
む仮想面に対して反対側まで延在する連通孔により後段
の該ポンプ室の該吸気口と順次接続され、最後段の該ポ
ンプ室の該排気口が開放されてなり、各該連通孔は各該
軸間において各該軸と接触することなく該ケーシングに
貫設されていることを特徴とする多段ルーツポンプ。 - 【請求項２】各ポンプ室を最前段から第１ポンプ室、第
２ポンプ室、…、第ｎ−１ポンプ室、第ｎポンプ室とす
るとして、該第ｎ−１ポンプ室の排気口と該第ｎポンプ
室の吸気口とを接続する連通孔の連通面積は該第ｎ−１
ポンプ室の吸気口の連通面積に該第ｎポンプ室の軸長と
該第ｎ−１ポンプ室の軸長との比の値を乗じた値以上と
することを特徴とする請求項１記載の多段ルーツポン
プ。 - 【請求項３】請求項１又は２記載の多段ルーツポンプに
は、駆動本体と、該駆動本体から突出して回転駆動する
駆動軸とを有する回転駆動装置が隣接して設けられ、該
多段ルーツポンプと該回転駆動装置との間には、該回転
駆動装置の該駆動軸に固定された駆動ギアと、該多段ル
ーツポンプの各該軸に固定され、該駆動ギアにより伝動
する従動ギアとからなるタイミングギア列が設けられて
いることを特徴とする多段ポンプ装置。 - 【請求項４】最前段のポンプ室の吸気口はタイミングギ
ア列から最も遠い位置で開放され、最後段の該ポンプ室
の該排気口は該タイミングギア列に最も近い位置で開放
されてなることを特徴とする請求項３記載の多段ポンプ
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10345011A JP2000170679A (ja) | 1998-12-04 | 1998-12-04 | 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置 |
| TW088115060A TW436585B (en) | 1998-12-04 | 1999-09-01 | Multi-stage roots pump and multi-stage pump device |
| KR1019990040101A KR20000047492A (ko) | 1998-12-04 | 1999-09-17 | 다단 루츠펌프 및 다단 펌프장치 |
| EP99123818A EP1006281A1 (en) | 1998-12-04 | 1999-12-01 | Multi-stage roots pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10345011A JP2000170679A (ja) | 1998-12-04 | 1998-12-04 | 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000170679A true JP2000170679A (ja) | 2000-06-20 |
Family
ID=18373687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10345011A Pending JP2000170679A (ja) | 1998-12-04 | 1998-12-04 | 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1006281A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000170679A (ja) |
| KR (1) | KR20000047492A (ja) |
| TW (1) | TW436585B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| KR100647012B1 (ko) | 2006-07-28 | 2006-11-23 | (주)엘오티베큠 | 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 |
| WO2012066781A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム |
| KR20190112002A (ko) * | 2017-02-17 | 2019-10-02 | 라이볼트 게엠베하 | 다단 루츠 펌프 |
| JP2020056409A (ja) * | 2014-09-05 | 2020-04-09 | レイボルド ゲーエムベーハー | クローポンプ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3941452B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2007-07-04 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける運転停止制御方法及び運転停止制御装置 |
| US6666666B1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-23 | Denis Gilbert | Multi-chamber positive displacement fluid device |
| JP3991918B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2007-10-17 | 株式会社豊田自動織機 | ルーツポンプ |
| GB0319300D0 (en) * | 2003-08-18 | 2003-09-17 | Boc Group Plc | Low pulsation booster pumps |
| DE102008063281A1 (de) * | 2008-12-29 | 2010-07-01 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| CN111692092B (zh) * | 2020-05-25 | 2022-11-29 | 温州市格东机械有限公司 | 凸轮转子泵 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2088957B (en) * | 1980-12-05 | 1984-12-12 | Boc Ltd | Rotary positive-displacement fluidmachines |
| JPS6210491A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-19 | Shuichi Kitamura | 複数段圧縮ポンプ |
| JP2537696B2 (ja) * | 1990-09-21 | 1996-09-25 | 株式会社荏原製作所 | 多段真空ポンプ |
| DE19503716C1 (de) * | 1995-02-04 | 1996-03-28 | K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr | Zweiwellige Drehkolbenpumpe zur gleichzeitigen Erzeugung von Unterdruck und von Überdruck |
-
1998
- 1998-12-04 JP JP10345011A patent/JP2000170679A/ja active Pending
-
1999
- 1999-09-01 TW TW088115060A patent/TW436585B/zh active
- 1999-09-17 KR KR1019990040101A patent/KR20000047492A/ko not_active Application Discontinuation
- 1999-12-01 EP EP99123818A patent/EP1006281A1/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211556A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプ |
| KR100647012B1 (ko) | 2006-07-28 | 2006-11-23 | (주)엘오티베큠 | 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 |
| WO2012066781A1 (ja) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム |
| JP2020056409A (ja) * | 2014-09-05 | 2020-04-09 | レイボルド ゲーエムベーハー | クローポンプ |
| KR20190112002A (ko) * | 2017-02-17 | 2019-10-02 | 라이볼트 게엠베하 | 다단 루츠 펌프 |
| JP2020507704A (ja) * | 2017-02-17 | 2020-03-12 | レイボルド ゲーエムベーハー | 多段式ルーツポンプ |
| KR102490780B1 (ko) * | 2017-02-17 | 2023-01-19 | 라이볼트 게엠베하 | 다단 루츠 펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW436585B (en) | 2001-05-28 |
| KR20000047492A (ko) | 2000-07-25 |
| EP1006281A1 (en) | 2000-06-07 |
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