KR102490780B1 - 다단 루츠 펌프 - Google Patents

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디터 콜벤바흐
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라이볼트 게엠베하
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Abstract

다단 루츠 펌프는 펌프 하우징(16, 18) 내에 복수의 펌프 챔버(14)를 포함한다. 펌프 챔버(14)는 각각의 펌프 스테이지(26, 28, 30, 32, 34)를 구성하며, 각 펌프 스테이지는 2개의 2-치형 회전 피스톤(10)을 포함한다. 펌프 스테이지(26, 28, 30, 32, 34)는 격벽(44)에 의해 서로 분리된다. 격벽(44)에는, 본질적으로 반경방향으로 연장되는 연결 덕트(48)가 배열되어 있다. 연결 덕트(48)는 유입 챔버(40)와 연결되고, 유입 챔버(40)의 유입 개구(42)는 연결 덕트(48)보다 큰 단면을 갖는다.

Description

다단 루츠 펌프
본 발명은 다단 루츠 펌프(multistage Roots pump)에 관한 것이다.
루츠 펌프는, 예를 들어 펌프 챔버 내에 배열된 2-치형 회전 피스톤(two-toothed rotary piston)을 포함한다. 펌프 챔버마다 제공된 2개의 회전 피스톤은 가스가 메인 입구를 통해 개별 챔버를 통해서 흡입되고 메인 출구를 통해 배출되도록 반대 방향으로 구동된다. 여기서, 메인 입구 및 메인 출구는 반경방향으로 연장되고 서로 대향하여 배열된다. 또한, 특히 3개 또는 4개의 치형부를 포함하는 다중-치형 회전 피스톤이 공지되어 있다. 여기서도, 가스는 반경방향으로 배열된 메인 입구로부터 반경방향으로 배열된 메인 출구로 본질적으로 반경방향으로 펌핑된다.
또한, 저압을 달성하기 위해, 다단 루츠 펌프가 공지되어 있다. 그러한 루츠 펌프는 스테이지당 한 쌍의 회전 피스톤을 포함한다. 여기서, 펌핑될 가스는 펌프 스테이지의 출구로부터 인접한 펌프 스테이지의 입구로 전달된다. 이것은 연결 덕트를 통해 실현된다. 연결 덕트는 미국 특허 출원 공개 제 US 2010/0158728 호에 개시된 바와 같이, 루츠 펌프의 하우징 내에 배열될 수 있으며, 연결 덕트는 각각, 회전 피스톤이 배열된 펌프 챔버를 둘러싸거나, 펌프 챔버의 반경방향 외측에 배열된다. 이것은 루츠 펌프의 하부 영역에 배열된 펌프 스테이지의 출구로부터 루츠 펌프의 대향 영역, 예를 들어 상부 영역에 배열된 인접한 펌프 스테이지의 입구로 가스를 전달하는데 필요하다. 그러한 루츠 펌프는 하우징 내의 덕트의 구성이 기술적으로 복잡하다는 점에서 불리하다. 또한, 하우징은 연결 덕트를 수용하기 위해 큰 체적을 가져야 한다. 이것은 루츠 펌프의 외측 치수를 크게 할 뿐만 아니라, 특히 높은 비용을 수반한다. 높은 비용은 복잡한 제조 프로세스뿐만 아니라 필요한 다량의 금속에 기인한다.
또한, 국제 공개 제 WO 2013/023954 호로부터는, 회전 피스톤이 3개 이상의 치형부를 포함하는 다단 루츠 펌프가 공지되어 있다. 여기서, 인접한 펌프 챔버들 사이의 연결 덕트는 인접한 펌프 챔버를 서로 분리시키는 격벽에 배열된다. 회전 피스톤당 3개 이상의 치형부가 제공되기 때문에, 연결 덕트가 격벽에 축방향으로만 배열되는 것이 가능하다. 연결 덕트의 그러한 축방향 배열은 3-치형 또는 다중-치형 회전 피스톤 펌프의 경우에만 가능하기 때문에, 그러한 펌프는 흡입 용량이 2-치형 회전 피스톤을 갖는 루츠 펌프보다 작다는 점에서 불리하다.
3-치형 회전 피스톤을 갖는 다른 루츠 펌프가 미국 특허 출원 공개 제 US 2005/0089424 호로부터 공지되어 있다. 이것은 다단 루츠 펌프이며, 개별 펌프 스테이지는 격벽에 의해 서로 분리되어 있다. 펌프 스테이지들 사이의 연결 덕트는 격벽에 배열된다. 여기서, 연결 덕트는 Z자형 구성을 갖는다. 따라서, 연결 덕트는 입구 영역, 반경방향으로 연장되는 연결 영역 및 축방향으로 연장되는 출구 영역을 포함한다. 이것은 높은 유량 손실을 초래한다.
본 발명의 목적은 높은 흡입 용량을 달성할 수 있는 다단 루츠 펌프를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 이러한 목적은 청구항 1에 기재된 다단 루츠 펌프에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 다단 루츠 펌프는 펌프 하우징 내에 한정된 복수의 펌프 챔버를 포함한다. 펌프 챔버 각각에는, 펌프 스테이지를 한정하기 위한 2개의 2-치형 회전 피스톤이 배열된다. 인접한 펌프 스테이지는 격벽에 의해 서로 분리되어 있다. 격벽에는, 인접한 펌프 스테이지들을 연결하기 위한 연결 덕트가 배열된다. 본 발명에 따르면, 연결 덕트는 적어도 하나, 바람직하게는 모두가 축방향 유입 챔버와 연결되도록 구성되며, 연결 덕트를 통해 전달 매체가 펌프 스테이지의 펌프 챔버로부터 유입 개구를 통해 유입 챔버 내로 유동한다. 본 발명에 따르면, 유입 개구는 유입 개구의 단면이 연결 덕트의 단면보다 크도록 구성된다. 본 발명에 따른 2-치형 회전 피스톤을 갖는 다단 루츠 펌프의 구성의 도움으로, 높은 흡입 용량이 달성될 수 있다. 큰 유입 개구를 포함하는 유입 챔버를 제공함으로써, 격벽에 배열되고 그에 따라 보다 짧은 연결 덕트의 경우에도 유동 저항이 감소될 수 있다. 이것은 펌프의 전력 소비를 감소시키고, 흡입 용량 및 그에 따른 펌프의 효율을 증가시킨다.
본 발명에 따르면, 이것은 2-치형 회전 피스톤을 포함하는 루츠 펌프이기 때문에, 2개의 펌프 스테이지들 사이의 연결 덕트는 본질적으로 특히 반경방향으로만 배열되고 격벽에서 완전히 연장되는 것이 바람직하다. 따라서, 연결 덕트는 특히 반경방향으로만 연장되는 덕트 섹션을 포함한다. 전체 연결 덕트가 반경방향으로 배열되는 것이 특히 바람직하며, 연결 덕트는 특히 바람직하게는, 유동 방향에서 볼 때 상류측 축방향 유입 챔버와 직접 연결된다. 바람직하게는 반경방향으로 연장되는 연결 덕트와 또한 직접 연결되는 축방향 유출 챔버가 추가적으로 제공되는 것이 특히 바람직하다. 다음에, 유출 챔버는 유출 개구를 통해 다음의 펌프 스테이지와 연결되고, 연결 덕트의 유출 개구는 다음의 펌프 스테이지의 입구를 구성한다.
바람직하게는, 유입 챔버의 유입 개구는 연결 덕트의 반경방향 덕트 섹션, 특히 본질적으로 반경방향으로만 연장되는 연결 덕트보다 큰 단면을 갖는다. 유입 개구의 단면은 연결 덕트의 단면보다 적어도 10%, 특히 적어도 20%, 보다 바람직하게는 적어도 30%만큼 더 큰 것이 특히 바람직하다.
발생하는 유동 저항을 더욱 감소시키기 위해, 바람직하게는 유입 개구에서의 모든 에지, 바람직하게는 또한 유입 챔버와 연결 덕트 사이의 전이부에서의 모든 에지가 유동 향상 방식(flow-enhancing manner)의 반경으로 둥글게 되어 있는 것이 또한 바람직하다. 바람직하게는, 둥근 부분의 반경은 2 밀리미터보다 크다.
다른 바람직한 실시예에 따르면, 프리챔버(prechamber)는 유동 방향에서 볼 때 유입 챔버의 상류에 제공된다. 따라서, 테스트될 전달 매체는 유입 챔버 내로 전달되기 전에 먼저 적어도 부분적으로 프리챔버 내로 이동한다. 그러나, 필요한 경우, 프리챔버 및 유입 챔버는 매체가 또한 펌프 챔버로부터 유입 챔버 내로 직접 이동할 수 있도록 배열될 수 있다. 그러한 구성은 유동 저항을 더욱 감소시킨다. 프리챔버를 제공하는 것은 유입 개구의 단면과는 독립적인 독립 발명이다.
특히 바람직한 양태에 따르면, 프리챔버는 한 쌍의 회전 피스톤에 대해 반경방향으로 배열된다. 이것은 전달될 매체가 프리챔버 내로 유동할 때 재지향될 필요가 없다는 이점을 제공한다. 따라서, 프리챔버는 회전 피스톤이 돌출하지 않는 펌프 챔버의 부분으로서 구성되는 것이 특히 바람직하다. 보다 바람직하게는, 프리챔버는 프리챔버 내로의 유동 저항이 없는 매체 유입이 가능하도록 펌프 챔버의 전체 폭을 가로질러 연장된다.
본 발명의 특히 바람직한 양태에 따르면, 격벽 내에 배열된 연결 덕트는 유출 챔버와 추가적으로 연결된다. 여기서, 연결은 직접적인 방식으로 실현되는 것이 바람직하며, 바람직하게는, 연결 덕트는 격벽 내에 반경방향으로만 배열된다. 바람직하게는, 유출 챔버는 유출 개구를 포함한다. 여기서, 유출 개구의 단면은 바람직하게는 연결 덕트의 단면보다 크도록 구성된다. 유출 개구의 단면은 바람직하게는 연결 덕트의 단면보다 10%, 특히 20% 및 보다 바람직하게는 30%만큼 더 크다. 또한, 이러한 영역에서도, 바람직하게는 유입 챔버의 영역에서와 같이 에지가 둥글게 되어 있다.
본 발명의 특히 바람직한 양태에 따르면, 바람직하게는 포스트챔버(postchamber)가 제공된다. 이것은 유동 방향에서 볼 때 유출 챔버의 하류에 배열된다. 여기서, 포스트챔버는 매체가 유출 챔버로부터 유출 개구를 통해 포스트챔버 내로 완전히 또는 부분적으로만 유동하도록 배열 및 구성될 수 있다. 따라서, 매체는, 가능하게는 유출 개구로부터 부분적으로 직접, 다음의 펌프 챔버 내로 유동할 수 있거나, 포스트챔버 내로 완전히 또는 부분적으로 먼저 유동한 후에, 포스트챔버로부터 다음의 펌프 챔버 내로 유동할 수 있다. 바람직하게는, 포스트챔버는 프리챔버에 대응하도록 구성된다. 특히, 포스트챔버는 바람직하게는 한 쌍의 회전 피스톤에 대해 반경방향으로 배열된다. 여기서도, 회전 피스톤이 프리챔버 내로 돌출하지 않는 것이 바람직하고, 프리챔버는 특히 펌프 스테이지의 전체 폭을 가로질러 연장된다.
본 발명의 특히 바람직한 양태에 따르면, 하우징은 적어도 하나의 입구 커버를 포함한다. 적어도 하나의 입구 커버는 특히 유입 챔버의 측벽을 거의 완전히 구성한다. 적어도 하나의 입구 커버를 개방하거나 제거함으로써, 유입 챔버는, 예를 들어 세정 목적을 위해 용이하게 접근 가능하다. 또한, 적어도 하나의 입구 커버를 제공함으로써, 기하형상이 단순화되어, 제조를 용이하게 한다.
바람직한 양태에 따르면, 예를 들어 프리챔버의 측벽을 구성하는 추가적인 입구 커버가 제공된다. 또한, 이러한 사이드 커버도 바람직하게는, 예를 들어 프리챔버가 세정 목적을 위해 용이하게 접근 가능하도록 측벽을 완전히 구성하도록 형성된다. 이에 의해, 또한 기하형상이 단순화되고, 그에 따라 보다 저렴한 제조가 가능해진다. 또한, 프리챔버의 입구 커버를 통해, 펌프 챔버는 용이하게 접근 가능하다.
사이드 커버가 프리챔버 및 유입 챔버의 측벽 모두를 구성하는 것이 특히 바람직하다. 특히 바람직한 양태에 따르면, 입구 커버는 적어도 2개의 인접한 펌프 스테이지를 가로질러 연장되고, 보다 바람직하게는 다단 루츠 펌프의 모든 펌프 스테이지를 가로질러 연장된다.
바람직한 양태에 따르면, 하우징은 유출 챔버의 측벽을 구성하는 적어도 하나의 출구 커버를 포함한다. 여기서, 출구 커버는 바람직하게는 입구 커버에 대응하도록 구성되고, 특히 포스트챔버를 위한 출구 커버가 제공되며, 특히 바람직한 실시예에 따르면, 출구 커버는 하나 또는 복수의 펌프 스테이지를 가로질러 연장되고, 특히 모든 펌프 스테이지를 가로질러 연장된다.
이하, 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 기초하여 상세하게 설명된다:
도 1은 한 쌍의 회전 피스톤의 상이한 회전 위치에 있어서의 본 발명에 따른 2단 루츠 펌프의 개략도의 단면을 도시하고,
도 2는 본 발명에 따른 다단 루츠 펌프의 개략적인 사시 종단면을 도시하며,
도 3은 유입 챔버의 입구 영역을 개략적으로 도시하는 평면도를 도시한다.
본 발명에 따른 다단 루츠 펌프의 각 펌프 스테이지는 한 쌍의 롤링 피스톤(rolling piston)을 포함한다. 한 쌍의 롤링 피스톤은 2개의 2-치형 회전 피스톤(10)을 포함한다. 회전 피스톤(10)은 샤프트(12) 상에 각각 배열되고, 매체를 전달하기 위해 반대 방향으로 회전된다. 연속적으로 배열된 펌프 스테이지의 개별 롤링 피스톤은 공통 샤프트 상에 각각 배치되고, 그에 따라 루츠 펌프는 2개의 샤프트(12)를 포함한다. 각각의 롤링 피스톤 쌍의 롤링 피스톤(10)은 펌프 스테이지를 구성하는 펌프 챔버(14) 내에 배열된다. 펌프 챔버는 2-부분 하우징(16, 18)에 의해 형성되어 있다. 여기서, 2개의 샤프트(12)의 중앙에는 하우징의 칸막이(20)가 제공되어, 간단한 조립이 가능하다. 또한, 하우징에는 입구 커버(22) 및 출구 커버(24)가 제공된다.
도 2에 도시된 도 1의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따른 개략적인 종단면으로부터, 본 발명에 따른 루츠 펌프는 축방향으로, 복수의 펌프 스테이지(26, 28, 30, 32, 34)가 제공되는 다단 루츠 펌프로서 구성된다는 것을 알 수 있다. 개별 펌프 스테이지의 챔버 체적은 펌프 스테이지(26)로부터 시작해서 펌프 스테이지(34)를 향해 감소한다. 제 1 펌프 스테이지(26)는 메인 입구(36)와 연결된다. 메인 입구(36)는 진공 배기될 챔버 등과 연결된다. 따라서, 전달될 매체는 메인 입구(36)를 통해 제 1 펌프 스테이지(26)의 펌프 챔버(14) 내로 반경방향으로 유동한다.
메인 입구(36)와 반경방향 반대측에는, 프리챔버(prechamber)(38)가 형성되어 있다. 프리챔버(38)는 펌프 스테이지(26)의 전체 축방향 폭을 가로질러 연장되고, 그에 따라 제 1 펌프 스테이지(26)의 롤링 피스톤(10)과 본질적으로 동일한 폭을 갖는다.
또한, 유입 챔버(40)가 제공된다. 유입 챔버(40)는 한편으로는 프리챔버(38)에 인접하게 배열되고, 도시된 예시적인 실시예에서 펌프 챔버(14)와 직접 연결된 유입 개구(42)를 더 포함한다.
격벽(44) 내측에 배열된 연결 덕트(48)는 유입 챔버(40)에 인접하게 배치된다. 도 2에서, 전달될 매체는 연결 덕트(48)의 상부로부터 하부로 유동한다.
도시된 예시적인 실시예에서 반경방향으로만 연장되는 연결 덕트(48)에 인접하게, 유입 챔버(40)에 대응하도록 구성된 유출 챔버(50)가 배열되고, 유출 챔버(40)에 인접하게, 프리챔버(38)에 대응하도록 구성된 포스트챔버(postchamber)(52)가 배열된다. 유출 챔버(50)는 유출 개구(54)를 포함하며, 유출 개구(54)의 윤곽 및 구성은 도시된 예시적인 실시예에서 유입 개구(42)와 일치한다.
도시된 예시적인 실시예에서, 모든 펌프 스테이지는 서로 대응하도록 구성되며, 펌프 스테이지는 각각 격벽(44)에 의해 서로 분리되어 있으며, 각각의 격벽(44)에는, 도시된 예시적인 실시예에서 반경방향으로 연장되는 연결 덕트(48)가 배열되어 있다. 각각의 연결 덕트(48)는 유입 챔버(40) 및 유출 챔버(50)뿐만 아니라 프리챔버(38) 및 포스트챔버(52)와 각각 연결된다.
특히 유동 저항을 감소시키기 위해, 유입 챔버(40)의 유입 개구(42)뿐만 아니라, 바람직하게는 또한 유출 챔버(50)의 유출 개구(54)는 연결 덕트(48)보다 큰 단면을 갖도록 구성된다.
또한, 유입 챔버(40)와 프리챔버(38) 모두는 공통 입구 커버(24)와 연결된다. 대응적으로, 유출 챔버(50) 및 포스트챔버(52)는 공통 출구 커버(22)와 연결된다.
최종 펌프 스테이지(34)는 또한 전달될 매체가 배출되는 메인 출구(도시되지 않음)와 연결된다.
도 3에는, 한편으로는 프리챔버(38)와 연결되고 다른 한편으로는 연결 덕트(48)와 연결된 입구 챔버(40)의 개략적인 평면도가 도시되어 있다. 도시된 예시적인 실시예에서, 유입 개구(42)는 곡선형 에지(154)에 의해 형성된다. 따라서, 유입 개구는 파선(56)으로 도시된 단면을 갖는다.
또한 알 수 있는 바와 같이, 유입 챔버(40)는 한편으로는 대응하는 펌프 챔버(14)와 직접 연결되고, 다른 한편으로는 프리챔버(38)와 직접 연결된다. 유출 개구(54)도 마찬가지이다.

Claims (19)

  1. 다단 루츠 펌프에 있어서,
    펌프 하우징(16, 18)에 의해 한정되는 제 1 펌프 챔버(14) 및 제 2 펌프 챔버(14)와,
    펌프 종축을 한정하고, 상기 제 1 및 제 2 펌프 챔버(14)에 배열되어 제 2 펌프 스테이지(28)에 인접한 제 1 펌프 스테이지(26)를 한정하는 2개의 2-치형 회전 피스톤(10)과,
    상기 제 1 및 제 2 펌프 스테이지(26, 28)를 서로 분리시키는 격벽(44)과,
    상기 격벽(44)에 배열되는 연결 덕트(48)를 포함하며,
    상기 연결 덕트(48)는 전달 매체가 상기 제 1 펌프 챔버(14)로부터 유입 개구(42)를 통해 유동하는 유입 챔버(40)와 연결되고,
    상기 유입 개구(42)는 상기 연결 덕트(48)보다 큰 단면을 가지며,
    상기 펌프 하우징(16, 18)은:
    상기 제 1 펌프 챔버(14)의 상기 유입 챔버(40)의 측벽과 프리챔버(38)의 측벽을 구성하는 출구 커버(24)와,
    상기 제 2 펌프 챔버(14)의 유출 챔버(50)의 측벽과 포스트챔버(52)의 측벽을 구성하는 입구 커버(22)를 포함하고,
    상기 유입 챔버(40) 및 상기 유출 챔버(50)는 상기 입구 커버(22)와 상기 출구 커버(24)에 각각 접촉하는 상기 격벽(44)의 상단 및 하단 사이에 형성되는
    다단 루츠 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결 덕트(48)는 상기 펌프 종축에 대해 반경방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 연결 덕트(48)는 상기 유입 챔버(40)와 직접 연결되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  4. 삭제
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유입 개구(42)의 에지의 적어도 일부분은 둥글게 되어 있는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프리챔버(38)는 유동 방향에서 볼 때 상기 유입 챔버(40)의 상류에 배열된 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 프리챔버(38)는 상기 2개의 2-치형 회전 피스톤(10)에 대해 반경방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 프리챔버(38)는 상기 회전 피스톤(10)이 회전할 때 상기 회전 피스톤(10)이 통과하지 않는 상기 제 1 펌프 챔버(14)의 부분인 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결 덕트(48)는 상기 유출 챔버(50)와 직접 연결되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전달 매체를 상기 제 2 펌프 챔버(14) 내로 유출시키는 상기 유출 챔버(50)의 유출 개구(54)는 상기 연결 덕트(48)보다 큰 단면을 갖는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 유출 개구(54)의 에지의 적어도 일부분은 둥글게 되어 있는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 포스트챔버(52)는 유동 방향에서 볼 때 상기 유출 챔버(50)의 하류에 배열된 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 포스트챔버(52)는 상기 2개의 2-치형 회전 피스톤(10)에 대해 반경방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 포스트챔버(52)는 상기 회전 피스톤(10)이 회전할 때 상기 회전 피스톤(10)이 통과하지 않는 상기 제 2 펌프 챔버(14)의 부분인 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  16. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입구 커버(22)는 상기 제 1 및 제 2 펌프 스테이지(26, 28)를 가로질러 연장되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 출구 커버(24)는 상기 제 1 및 제 2 펌프 스테이지(26, 28)를 가로질러 연장되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  18. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 출구 커버(24)는 상기 제 1 및 제 2 펌프 스테이지(26, 28)를 가로질러 연장되는 것을 특징으로 하는
    다단 루츠 펌프.
  19. 삭제
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000170679A (ja) * 1998-12-04 2000-06-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置
JP2009228597A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Anest Iwata Corp 多段ポンプ及びその製造方法
WO2016035047A1 (en) * 2014-09-04 2016-03-10 Scoprega S.P.A. Volumetric compressor

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3198120A (en) * 1962-10-29 1965-08-03 Waukesha Foundry Co Multiple positive displacement pump
GB2088957B (en) 1980-12-05 1984-12-12 Boc Ltd Rotary positive-displacement fluidmachines
DE3312117A1 (de) * 1983-04-02 1984-10-04 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Zweiwellen-vakuumpumpe mit innerer verdichtung
JPS6188764A (ja) 1984-10-08 1986-05-07 Hitachi Ltd サイリスタ式交流電力制御装置
JPS6319090U (ko) * 1986-07-23 1988-02-08
EP0738833B1 (en) 1995-04-19 2000-09-20 Ebara Corporation Multistage positive-displacement vacuum pump
JP2000205148A (ja) * 1999-01-11 2000-07-25 Toyota Autom Loom Works Ltd 多段ル―ツポンプ及び多段ル―ツポンプのロ―タハウジング製作方法
JP3991918B2 (ja) * 2003-05-19 2007-10-17 株式会社豊田自動織機 ルーツポンプ
TWI237093B (en) 2003-10-23 2005-08-01 Ind Tech Res Inst Multi-staged vacuum pump
JP2005155540A (ja) * 2003-11-27 2005-06-16 Aisin Seiki Co Ltd 多段ドライ真空ポンプ
GB0515905D0 (en) 2005-08-02 2005-09-07 Boc Group Plc Vacuum pump
CN101382137A (zh) * 2007-09-07 2009-03-11 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种直排大气的多级罗茨干式真空泵
CN201396281Y (zh) * 2009-03-19 2010-02-03 孙成忠 多级三叶罗茨真空泵
JP5370298B2 (ja) * 2010-07-14 2013-12-18 株式会社豊田自動織機 ルーツ式流体機械
DE202011104491U1 (de) 2011-08-17 2012-11-20 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Wälzkolbenpumpe
FR3001263B1 (fr) * 2013-01-18 2015-02-20 Adixen Vacuum Products Pompe a vide multi-etagee de type seche

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000170679A (ja) * 1998-12-04 2000-06-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置
JP2009228597A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Anest Iwata Corp 多段ポンプ及びその製造方法
WO2016035047A1 (en) * 2014-09-04 2016-03-10 Scoprega S.P.A. Volumetric compressor

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