WO2012066781A1 - 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム - Google Patents

真空排気装置の接続構造及び真空排気システム Download PDF

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WO2012066781A1
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connection
vacuum
vacuum exhaust
casing
evacuation
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PCT/JP2011/006396
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敏生 鈴木
正智 岡本
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株式会社アルバック
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type

Definitions

  • the present invention relates to a connection structure of a vacuum evacuation device and a vacuum evacuation system for connecting a plurality of vacuum evacuation devices for evacuating a device to be evacuated such as a vacuum chamber.
  • vacuum exhaust devices used to decompress and exhaust equipment to be exhausted such as vacuum chambers
  • the target performance is achieved by connecting multiple different vacuum exhaust devices in series in a gas flow depending on the application. It is generally done.
  • a mechanical booster pump is used as the main pump to exhaust the equipment to be exhausted to the operating pressure and maintain that pressure
  • a roughing pump to exhaust the vacuum system from atmospheric pressure to a pressure at which the main pump can operate
  • an oil rotary pump or a dry pump is adopted.
  • an evacuation system that achieves the target performance is constructed.
  • the combination of vacuum pumps is not limited to this, and there are cases where three or more vacuum pumps are combined.
  • each vacuum pump When combining a plurality of such vacuum pumps, each vacuum pump is usually arranged at a suitable place and then connected by a connecting pipe or the like.
  • a connection structure in which each vacuum pump is fixed to a predetermined frame (installation base) and the exhaust port of the main pump and the intake port of the roughing pump are connected by piping is common.
  • Non-Patent Document 1 shows a vacuum exhaust system in which an exhaust port of an upper pump and an intake port of a lower pump are connected by a pipe.
  • Non-Patent Document 2 discloses a vacuum exhaust system in which a vacuum pump is installed on and in a frame, and exhaust ports and intake ports of upper and lower vacuum pumps are connected by piping.
  • the gas pressure increases as the gas is compressed and moved from the preceding pump chamber to the subsequent pump chamber.
  • the exhaust capacity that is, the volume of the pump chamber is smaller in the rear pump chamber than in the front pump chamber. That is, the volume of the plurality of pump chambers is limited to a configuration in which the volumes are sequentially reduced within one vacuum pump. For this reason, even when constructing an evacuation system by combining these multi-stage Roots vacuum pumps, combinations of configurations and arrangements of a plurality of pump chambers are limited as described above. Due to such a limitation, when an optimum pump chamber configuration is prioritized, the space efficiency of the entire vacuum exhaust system often deteriorates. In addition, if priority is given to the space efficiency of the entire system, there is a problem that it is difficult to obtain an optimal pump chamber configuration, and it is difficult to construct an efficient vacuum exhaust system.
  • the present invention has been made in consideration of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a connection structure for an evacuation apparatus that enables efficient evacuation in a smaller space.
  • connection structure of the vacuum evacuation device is a connection structure of a plurality of vacuum evacuation devices, and the plurality of vacuum evacuation devices are provided in a casing that forms at least one pump chamber, and the casing. Each having an intake port and an exhaust port communicating with the pump chamber.
  • the casings are directly connected to each other so that the pump chambers of the plurality of vacuum exhaust apparatuses communicate with each other.
  • the connection structure includes a connection unit having a connection path. The connection path communicates at least one intake port of the first vacuum exhaust device and the at least one exhaust port of the second vacuum exhaust device among the plurality of vacuum exhaust devices, and the second vacuum exhaust device.
  • the gas exhausted from the exhaust port is caused to flow into the pump chamber of the first vacuum exhaust device via the intake port of the first vacuum exhaust device.
  • the connection unit is disposed outside each casing of the plurality of vacuum exhaust apparatuses, and is connected to the casing of the first vacuum exhaust apparatus and the casing of the second vacuum exhaust apparatus.
  • the connection unit may include a first connection member, a second connection member, and a piping member.
  • the first connection member has a first connection path of the connection paths communicating with the intake port of the first evacuation apparatus, and is connected to the casing of the first evacuation apparatus.
  • the second connection member has a second connection path of the connection paths communicating with the exhaust port of the second vacuum exhaust apparatus, and is connected to the casing of the second vacuum exhaust apparatus.
  • the piping member has a piping path of the connection paths that communicates with the first connection path and the second connection path, and is connected to the first connection body and the second connection body.
  • At least one of the first connection member, the second connection member, and the piping member may be an integrally formed member.
  • the second connection member may have a plurality of second connection paths.
  • the connection structure includes a valve unit having a plurality of valves respectively provided in the plurality of second connection paths and a total exhaust port communicating with the plurality of second connection paths via the plurality of valves. Furthermore, you may comprise.
  • the first connection member and the second connection member may be a pedestal on which at least one of the plurality of vacuum exhaust devices is placed.
  • the vacuum exhaust system includes a plurality of vacuum exhaust apparatuses and a connection unit.
  • the plurality of vacuum evacuation devices each include a casing that forms at least one pump chamber, and an intake port and an exhaust port that are provided in the casing and communicate with the pump chamber.
  • the casings are directly connected so that the pump chambers communicate with each other.
  • the connection unit has a connection path. The connection path communicates at least one intake port of the first evacuation device and at least one exhaust port of the second evacuation device among the plurality of evacuation devices, and the second evacuation device.
  • connection unit is disposed outside each casing of the plurality of vacuum exhaust apparatuses, and is connected to the casing of the first vacuum exhaust apparatus and the casing of the second vacuum exhaust apparatus.
  • the vacuum exhaust system may further include at least a cooling mechanism provided in the connection unit.
  • the connection unit may include a first connection member, a second connection member, and a piping member.
  • the first connection member has a first connection path of the connection paths communicating with the intake port of the first evacuation apparatus, and is connected to the casing of the first evacuation apparatus.
  • the second connection member has a second connection path of the connection paths communicating with the exhaust port of the second vacuum exhaust apparatus, and is connected to the casing of the second vacuum exhaust apparatus.
  • the piping member has a piping path of the connection paths that communicates with the first connection path and the second connection path, and is connected to the first connection body and the second connection body.
  • the cooling mechanism may be provided on at least one of the second connection member and the piping member.
  • the plurality of vacuum evacuation devices are disposed so that the second vacuum evacuation device is disposed below the first vacuum evacuation device, and the second connection member is configured to be the second connection member. You may arrange
  • At least one of the plurality of vacuum evacuation devices includes a partition formed in the casing so as to partition a plurality of pump chambers in the casing of the at least one vacuum evacuation device. Also good. And the said cooling mechanism may be further provided in the said partition.
  • the degree of freedom of the arrangement of the pump chamber is increased, it is possible to construct an evacuation system capable of efficient evacuation in a small space.
  • FIG. 1 is a perspective view of a vacuum exhaust system that employs a connection structure for a vacuum exhaust apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the vacuum exhaust system.
  • FIG. 3 is a side view of the vacuum evacuation system as viewed from the direction A in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the second connecting member as seen from above.
  • 5 is a cross-sectional view taken along line LL shown in FIG.
  • FIG. 6 is a perspective view of the vacuum evacuation device as viewed from above.
  • FIG. 7 is a perspective view of the vacuum evacuation device as viewed from below.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the vacuum exhaust apparatus.
  • FIG. 1 is a perspective view of a vacuum exhaust system that employs a connection structure for a vacuum exhaust apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the vacuum exhaust system.
  • FIG. 9 is a sectional view showing an evacuation system according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a side view showing a piping member constituting a part of the connection unit of the vacuum exhaust system.
  • FIG. 11 is a view for explaining a cooling mechanism provided in the vacuum exhaust system according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an entire vacuum exhaust system 10 according to the present embodiment, in which the vacuum exhaust apparatuses 1A, 1B, and 1C are connected via a connection unit 7 (manifold).
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the vacuum exhaust system 10.
  • FIG. 3 is a side view of the evacuation system 10 as seen from the direction indicated by the symbol A in FIG.
  • the vacuum exhaust system 10 is a system that compresses the gas sucked from the intake port 11 connected to an exhaust target device such as a vacuum chamber (not shown) by the three vacuum exhaust devices 1A to 1C and exhausts the gas from the total exhaust port 12.
  • the vacuum exhaust device 1A (main vacuum exhaust device) is a mechanical booster pump having a single pump chamber 21A (see FIG. 2) in the casing.
  • the vacuum exhaust apparatus 1A is connected to an exhaust target device such as a vacuum chamber (not shown).
  • the vacuum exhaust devices 1 ⁇ / b> B and 1 ⁇ / b> C are multistage roots vacuum pumps, each having a plurality of pump chambers.
  • the vacuum exhaust apparatuses 1B and 1C include a plurality of intake ports and exhaust ports for a plurality of pump chambers. That is, the plurality of pump chambers constituting the vacuum exhaust apparatus 1B (1C) of the present embodiment are not connected so that all of the pump chambers are in series. In other words, at least two pump chambers among the plurality of pump chambers are not connected to other pump chambers formed in the same casing. In addition, these pump chambers individually have both an intake port and an exhaust port. Since these intake port and exhaust port are connected to the exhaust port and intake port of the adjacent vacuum exhaust device, at least two pump chambers of the plurality of pump chambers constitute another vacuum exhaust device 1C (1B). Connected to the pump chamber.
  • the vacuum exhaust apparatuses 1A to 1C of the present embodiment can be arranged by directly connecting the casings of the vacuum exhaust apparatuses. Further, the pump chambers are connected and communicated by directly connecting the vacuum exhaust devices.
  • the above configuration will be described with reference to FIG.
  • the pump chamber 21B of the vacuum exhaust apparatus 1B is not connected to the other pump chambers 22B and 23B of the same vacuum exhaust apparatus 1B, and the exhaust chamber 41B of the vacuum exhaust apparatus 1C directly communicates with the pump chamber 21B. It is connected to the pump chamber 21C. Further, the evacuation device 1B and the evacuation device 1C are directly connected in a plane indicated by a symbol B without using piping or the like. Details of a mechanism for realizing such a configuration will be described later.
  • the vacuum exhaust system 10 includes a connection unit 7 (manifold) for supplementing the connection between the vacuum exhaust apparatuses 1.
  • the connection unit 7 is divided into a first connection member 71, a second connection member 72, a piping member 73, and a valve unit (valve assembly) 74.
  • a connection pipe connecting a plurality of pump chambers constituting the vacuum evacuation devices 1A to 1C is completed, and functions as the vacuum evacuation system 10.
  • the first connection member 71 is an integrally formed member having a block shape and disposed so as to be interposed between the vacuum exhaust device 1A and the vacuum exhaust device 1B, and is formed by casting, for example.
  • the first connecting member 71 is formed with a path 75 (see FIG. 2) for connecting the pump chamber 21A of the vacuum exhaust device 1A and the pump chamber 21B of the vacuum exhaust device 1B, and the piping member 73 and the vacuum exhaust device.
  • a first connection path 76 (see FIGS. 2 and 3) that connects the 1B pump chambers 22B and 23B is formed.
  • the piping member 73 is connected to the side portion of the first connecting member 71, and a piping path 78 formed in the piping member 73 communicates with the first connecting path 76.
  • the first connection path 76 includes two paths as indicated by reference numerals 76a and 76b in FIG.
  • the second connection member 72 is disposed so as to be connected to the bottom surface of the vacuum exhaust device 1 ⁇ / b> C, and is connected to the pump chamber, the piping member 73, and the valve unit 74 that constitute the vacuum exhaust system 10.
  • the second connection member 72 communicates the pump chamber of the evacuation apparatus 1C and the piping path 78 of the piping member 73, and also connects the pump chamber of the evacuation apparatus 1C and the valve unit 74 to the second connection path 77 ( 3) is formed.
  • the vacuum exhaust device 1, the piping member 73, and the valve unit 74 are all connected to the upper surface of the second connection member 72, and the second connection member 72 itself supports the entire vacuum exhaust system 10 (base). It has become.
  • the second connection path 77 includes two paths 77a and 77b (see FIG. 2) connected to the pipe path 78 of the pipe member 73, an exhaust port 43C and a valve unit 74 communicating with the pump chamber 24C of the vacuum exhaust apparatus 1C. There are a total of three paths 77c connecting the two. Further, the second connection member 72 is an integrally formed member.
  • the piping member 73 is a pipe-shaped member.
  • a pipe path 78 that connects the exhaust port of the evacuation device 1C and the intake port of the evacuation device 1B is formed inside the connection portion piping unit 73.
  • the piping path 78 is divided into two by a dividing surface along the length direction corresponding to the two paths corresponding to the first connection paths 76 a and 76 b (see FIG. 2) of the first connection member 71.
  • the piping member 73 is also an integrally formed member, for example, formed by casting.
  • connection path formed by the communication between the second connection path 77, the first connection path 76 and the piping path 78 is provided in the connection unit 7.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the second connecting member 72 as viewed from above.
  • 5 is a cross-sectional view taken along line LL shown in FIG.
  • a pump connection portion 721 connected to the casing of the vacuum exhaust apparatus 1 ⁇ / b> C
  • a pipe connection portion 722 connected to the piping member 73
  • a valve connected to the valve unit 74 On the upper surface of the block 725 of the second connection member 72, a pump connection portion 721 connected to the casing of the vacuum exhaust apparatus 1 ⁇ / b> C, a pipe connection portion 722 connected to the piping member 73, and a valve connected to the valve unit 74.
  • a unit connection portion 723 is formed. Seal members 721d, 722d, and 723d such as O-rings are fitted in circumferential grooves formed around the pump connection portion 721, the pipe connection portion 722, and the valve unit connection portion 723, respectively.
  • the pump connection portion 721 is formed so that three communication ports 721a, 721b, and 721c are arranged. These three communication ports 721a, 721b, and 721c communicate with the exhaust ports 41C, 42C, and 43C of the vacuum exhaust device 1C, respectively.
  • Two communication ports 722 a and 722 b are formed in the pipe connection portion 722, and these communication ports 722 a and 722 b communicate with the piping path 78 of the piping member 73.
  • the valve unit connecting portion 723 is formed so that three communication ports 723a, 723b, and 723c are arranged.
  • All of the communication ports 721 a, 722 a, and 723 a communicate with the path 77 a of the second connection path 77. All of the communication ports 721b, 722b, and 723b communicate with the path 77b in the second connection path. All of the communication ports 721c and 723c communicate with the path 77c of the second connection path.
  • the valve unit 74 is connected to the second connecting member 72 and has a total exhaust port 12 that is an exhaust port of the entire system. As shown in the sectional view of FIG. 4, the valve unit 74 is provided with a plurality of valves 79 (check valves), and the total exhaust port 12 is connected to the paths 77a to 77c through the valves 79. ing. Thereby, it is possible to evacuate individually from any pump chamber among the pump chambers 21C, 22C, and 24C directly connected to the exhaust ports 41C, 42C, and 43C, which are the pump chambers that constitute the vacuum exhaust apparatus 1C.
  • valve unit 74 By providing the valve unit 74, over-compression by the pump can be prevented and loss of power transmission by the motor 8 can be suppressed.
  • the plurality of valves 79 may be ball-shaped, or may be adjustment valves capable of adjusting the pressure to individual values.
  • each valve 79 is an adjustment valve that can be adjusted to an individual pressure, the pressure is appropriately set, and the pressure band used by the user can be expanded.
  • the second connecting member 72 and the valve unit 74 are arranged at the lower part of the final stage of the vacuum exhaust apparatus 1C, that is, at the lowest part of the vacuum exhaust system 10.
  • the center of gravity of the vacuum evacuation system 10 can be disposed as low as possible, and the installation stability of the multi-stage evacuation system 10 by upper and lower stacking can be improved.
  • the vacuum exhaust apparatus 1A located at the uppermost stage is a mechanical booster pump having one pump chamber 21A.
  • the pump chamber 21A includes an intake port 11 and an exhaust port 41A.
  • the vacuum exhaust apparatus 1B has three pump chambers 21B, 22B, and 23B.
  • the three pump chambers 21B, 22B, and 23B are each provided with three intake ports 31B, 32B, and 33B and three exhaust ports 41B, 42B, and 43B.
  • the vacuum exhaust apparatus 1C includes four pump chambers 21C, 22C, 23C, and 24C, and includes three intake ports 31C, 32C, and 33C, and three exhaust ports 41C, 42C, and 43C.
  • the two pump chambers 23C and 24C are directly connected to each other inside the casing constituting the evacuation device 1C via the connection pipe 29.
  • connection unit 7 the first connection member 71, the second connection member 72, and the piping member 73 cooperate to connect the exhaust port 41C of the vacuum exhaust device 1C and the intake port 32B of the vacuum exhaust device 1B. It is configured. Similarly, the connection unit 7 is configured to connect the exhaust port 42C of the vacuum exhaust device 1C and the intake port 33B of the vacuum exhaust device 1B. Further, the connection unit 7 is configured to connect the exhaust port 43C of the vacuum exhaust device 1C and the valve unit 74.
  • the paths 77a and 77b of the second connection path 77 not only connect the pump chamber of the evacuation apparatus 1C and the piping path 78 of the piping member 73, but also the pump of the evacuation apparatus 1C.
  • the chamber and the valve unit 74 are connected.
  • the gas flowing into the vacuum exhaust device 1A from the intake port 11 is compressed in the pump chamber 21A and exhausted from the exhaust port 41A.
  • the gas flows into the pump chamber 21B of the vacuum exhaust device 1B and is compressed.
  • the gas flows into the pump chamber 21C of the vacuum exhaust apparatus 1C that is directly connected to the pump chamber 21B.
  • the gas exhausted from the pump chamber 21 ⁇ / b> C flows into the path 77 a of the second connection path 77 formed inside the second connection member 72.
  • the above gas flow is shown by an arrow F1 in FIG.
  • FIG. 3 shows a flow in which the gas is returned from the second connection member 72 to another pump chamber of the vacuum exhaust apparatus 1B through the piping member 73 (arrow F4).
  • the gas that has flowed into the pump chamber 22B is compressed along a path that reaches the second connection member 72, as indicated by an arrow F2 in FIG.
  • the gas compressed in the path indicated by the arrow F ⁇ b> 3 in FIG. 2 is finally guided to the valve unit 74 and exhausted from the total exhaust port 12.
  • valve unit 74 By operating a plurality of valves 79 provided in the valve unit 74, it is possible to exhaust from the pump chamber 21C or 22C of the vacuum exhaust device 1C.
  • FIG. 6 is a perspective view of the vacuum exhaust apparatus 1B as viewed from above.
  • FIG. 7 is a perspective view of the vacuum exhaust apparatus 1B as viewed from below.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the vacuum exhaust apparatus 1B.
  • the vacuum exhaust apparatus 1 according to the present embodiment includes the vacuum exhaust apparatuses 1A to 1C having different pump chamber configurations. In the following description, the vacuum exhaust apparatus 1B having three pump chambers will be described. explain.
  • the vacuum exhaust apparatuses 1A to 1C have a casing 25 having substantially the same outer shape as a constituent element.
  • a casing shape As shown in FIG. 1, it is possible to arrange
  • the vacuum exhaust apparatus 1 ⁇ / b> B includes a casing 25 composed of an upper casing 25 a and a lower casing 25 b, two rotating shafts 81 and 81 (see FIG. 3), and 3 defined by the casing 25.
  • This is a roots vacuum pump having eyebrows type rotors 82a, 82b, 82c accommodated in two pump chambers 21B, 22B, 23B, respectively, and a motor 8 for driving the rotary shafts 81, 81.
  • the rotors 82a, 82b, and 82c are each composed of a pair of rotors.
  • the two rotors are respectively arranged on the rotating shaft 81 and accommodated in the pump chambers 21B, 22B, and 23B.
  • the pair of rotors are synchronously rotated in opposite directions by drive gears 85 provided at the shaft ends of the rotary shafts 81 of the respective rotors.
  • the casing 25 defines three pump chambers 21B, 22B, and 23B, and forms the outer shape of the vacuum exhaust device 1B.
  • the rotating shafts 81 and 81 are supported by bearings 83 and 84.
  • the pump chambers 21 ⁇ / b> B, 22 ⁇ / b> B, and 23 ⁇ / b> B communicate with suction ports 31, 32, and 33 formed at the upper portion of the casing 25, and communicate with exhaust ports 41, 42, and 43 formed at the lower portion of the casing 25. ing.
  • the casing 25 which comprises the vacuum exhaust apparatus 1B is demonstrated.
  • the casing 25 has an upper and lower divided structure, and an intake portion 3 having intake ports 31, 32, and 33 is formed in the upper portion (one side), and exhaust ports 41, 42, and 43 are formed in the lower portion (the other side).
  • An exhaust portion 4 having the following structure is formed.
  • four pedestal portions 5 are formed on the upper portion of the casing 25.
  • Four legs 6 are formed in the lower part of the casing 25.
  • the casing 25 has an elliptic cylindrical shape depending on the shape of the pump chambers 21 to 23.
  • the intake part 3, the exhaust part 4, the pedestal part 5, and the leg part 6 are formed integrally with the casing 25. Specifically, it is preferable that these are integrally formed by casting.
  • the vacuum exhaust apparatus 1B according to the present embodiment is installed so that the longitudinal direction of the casing 25 (the axial direction of the rotary shaft 81) is horizontal, and the long axis of the elliptical cross section of the casing 25 is horizontal. .
  • a plane including the two rotation shafts 81 that is, a horizontal plane is referred to as a horizontal center plane (indicated by D in FIG. 8).
  • the casing 25 is divided into two parts, an upper casing 25a and a lower casing 25b.
  • the upper casing 25a and the lower casing 25b are fastened by fastening members such as bolts and nuts.
  • the bearing case 86 on the motor 8 side and the anti-motor side bearing case 87 are It is comprised so that it can hold
  • the space 89 including the non-motor side bearing 84 and the oil scooping plate 88 can be sealed.
  • the dividing plane substantially coincides with the horizontal center plane D.
  • the intake portion 3 is formed on the upper portion of the casing 25 so as to protrude upward and integrally with the casing 25 (upper casing 25a).
  • the air intake portion 3 has an end face 35 parallel to the horizontal center plane D, and the end face 35 has a rectangular shape having a length in the axial direction of the casing 25.
  • the intake section 3 is provided with a plurality of intake ports 31-33.
  • the plurality of intake ports 31 to 33 are opened in the end face 35 and communicate with the pump chambers 21 to 23, respectively.
  • a groove 36 is formed along the outer shape of the end face 35 slightly inside the end face 35 of the air intake portion 3.
  • An O-ring 53 is fitted in the groove 36.
  • the exhaust part 4 is formed at the lower part of the casing 25 so as to protrude downward and is integrally formed with the casing 25 (lower casing 25b). Similarly to the intake part 3, the horizontal center plane D is formed. And an end face 45 parallel to each other.
  • the exhaust part 4 is provided with a plurality of exhaust ports 41 to 43. The plurality of exhaust ports 41 to 43 are opened in the end face 45 and communicate with the pump chambers 21B to 23B, respectively.
  • the end surface 35 of the intake portion 3 and the end surface 45 of the exhaust portion have substantially the same shape in plan view.
  • the pedestal portion 5 is an upper portion of the casing 25 (upper casing 25a) and is a protruding pedestal provided at four locations on the outermost side in a plan view.
  • the pedestal 5 has a protruding shape that protrudes upward from the vacuum exhaust device 1B.
  • Each of the four pedestal portions 5 has a surface 51 (hereinafter referred to as an end surface 51) at its upper end.
  • the four end surfaces 51 are formed on the same surface.
  • the end surface 51 of the pedestal portion 5 and the end surface 35 of the intake portion 3 described above are formed on the same surface.
  • the pedestal portion 5 is provided independently of the intake portion 3. That is, the end surface 51 of the pedestal portion 5 and the end surface 35 of the intake portion 3 are formed apart from each other.
  • the leg portion 6 is a projecting leg provided at four locations on the outermost part in a plan view, which is the lower part of the casing 25 (lower casing 25b).
  • the leg 6 has a protruding shape that protrudes downward in the vacuum exhaust device 1B. Further, the position in plan view is substantially the same as the pedestal portion 5.
  • Each of the four legs 6 has a lower surface forming a surface 61 (hereinafter referred to as an end surface 61).
  • the four end surfaces 61 are formed on the same surface.
  • the end surface 61 of the leg part 6 and the end surface 45 of the exhaust part 4 are formed on the same surface.
  • the leg 6 is provided independently of the exhaust port 4.
  • the end surface 61 of the leg portion 6 and the end surface 45 of the exhaust portion 4 are formed apart from each other. Moreover, the base part 5 and the leg part 6 are formed in the hollow shape which made the side surface the opening surface. A fastening hole 54 is formed in each of the end faces 51 and 61.
  • the pedestal portion 5 is provided with a protruding portion 52.
  • a positioning hole 62 is formed in the leg 6.
  • the vacuum evacuation devices 1B and 1C can be directly stacked in the vertical direction. Furthermore, the vacuum evacuation device 1B can be placed directly above the vacuum evacuation device 1C so that the end surface 45 of the exhaust port 4 of the vacuum evacuation device 1B is in contact with and overlapped with the end surface 35 of the intake section 3 of the vacuum evacuation device 1C. it can. As described above, the end surface 35 of the air intake unit 3 and the end surface 45 of the exhaust unit 4 have substantially the same shape in plan view, and therefore are placed in the vertical direction, thereby exhaust ports 41B to 43B of the vacuum exhaust device 1B. And the air inlets 31C to 33C of the vacuum exhaust device 1C communicate with each other in a gas flow. Thereby, it is not necessary to provide piping for connecting the vacuum evacuation apparatuses 1 and the distance between the pump chambers to be connected is shortened, so that pressure loss can be suppressed.
  • the casings 25 constituting the vacuum evacuation device 1 are connected to each other, the rigidity of the entire system composed of a plurality of vacuum evacuation devices is increased, and the heat generated from the vacuum evacuation device 1 can be dispersed.
  • the upper and lower casings 25a and 25b are combined to hold the bearing cases 86 and 87 and to form a space 89 on the side opposite to the motor (acting as a cover).
  • the number of parts can be reduced, and the bearing cases 86 and 87 are held by the entire casing 25, so that deformation of the vacuum exhaust device 1 during the exhaust operation can be suppressed.
  • the evacuation device 1 ⁇ / b> A and the evacuation device 1 ⁇ / b> B can be securely fixed by fastening the pedestal portion 5 and the leg portion 6 with a fastening member 91 such as a bolt and a nut.
  • the airtight state when the intake part 3 and the exhaust part 4 are connected can be improved.
  • the groove 36 may be provided not on the intake portion 3 side but on the exhaust portion 4 side.
  • Positioning can be facilitated by fitting the protrusions 52 of the pedestal part 5 and the positioning holes 62 of the leg part 6 when the vacuum exhaust device 1 is connected.
  • the protrusions 52 and the positioning holes 62 are preferably provided in all the leg parts 6 and the pedestal part 5, but may be provided in at least two places.
  • a gasket (not shown) is applied to the end face 35 of the intake portion 3 in addition to the O-ring 53 being fitted.
  • the gasket is a seal member for blocking communication between adjacent intake ports 31, 32, 33.
  • a paste-like gasket is applied to, for example, the end surface 35 of the intake portion 3 of the casing 25 of the evacuation device 1C, and then the end surface 35 of the intake portion and the evacuation device 1B. These are connected by contact with the end face 45 of the exhaust part 4 of the casing 25.
  • a corrosion-resistant rubber such as silicon or fluorine is used, but is not limited thereto.
  • the gasket may be applied to the end surface 45 of the exhaust portion 4.
  • this coating type gasket is not required if the gas leak rate is sufficiently low.
  • the pump chambers not only communicate with each other in one evacuation apparatus, but may communicate with the pump chambers of other evacuation apparatuses, or communicate with the connection unit 7. Also good.
  • the communication arrangement of the pump chambers may be arbitrary, thereby increasing the degree of freedom of arrangement of the pump chambers, and thus it is possible to construct a more efficient vacuum exhaust system.
  • FIG. 9 is a sectional view showing an evacuation system according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a side view showing a part of the connection unit of the vacuum evacuation system, as viewed in a direction orthogonal to the rotation axis of the rotor of each vacuum evacuation device.
  • the difference between the vacuum exhaust system 110 according to the present embodiment and, for example, the vacuum exhaust system 10 according to the first embodiment is that the vacuum exhaust system 110 includes a cooling mechanism.
  • the cooling mechanism is, for example, a cooling pipe 15 for circulating a refrigerant.
  • the cooling pipe 15 is provided at a plurality of locations of each casing 25 of the vacuum exhaust system 110, the motor housing 8a of the motor 8, and the piping member 173 as shown in FIG.
  • the cooling pipe 15 provided in the casings 25, 25, 25 is provided so as to be inserted through, for example, the vicinity of the bearing and the partition wall 16.
  • the partition wall 16 has a function of partitioning a plurality of pump chambers 21B to 23B (21C to 23C) in one casing 25 in the vacuum exhaust apparatus 1B (1C). With such a cooling mechanism, the vacuum exhaust system 110 can be efficiently cooled.
  • a holding box 173 a that holds a part of the cooling pipe 15 is connected to the side surface of the piping member 173.
  • the cooling pipe 15 is formed in a U shape so as to turn once in the holding box 173a.
  • the cooling pipe 15 is not limited to the U-shape, and the design of the shape and length can be changed.
  • cooling pipes 15 provided at a plurality of locations as described above may be configured to be connected by a single pipe having one inlet and one outlet, that is, as a single channel.
  • the cooling pipe 15 may be comprised with the some pipe
  • FIG. 11 is a view for explaining the third embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view showing a partial structure of the vacuum exhaust system.
  • This is a second connection member 172 obtained by adding a cooling mechanism to the second connection member 72 according to the first embodiment.
  • This cooling mechanism has cooling fins 115 provided in the respective paths 177a, 177b, and 177c of the second connection path in addition to the cooling pipe 15.
  • the cooling fin 115 is formed by integral molding on the block of the second connection member 172, for example.
  • the cooling pipe 15 is disposed below the exhaust side passages 177a, 177b, and 177c, and is inserted through the block of the second connection member 172.
  • the exhaust side is hotter than the intake side.
  • the cooling fin 115 is provided as a cooling mechanism, but this may not be provided.
  • the pump chamber can be a single pump chamber or can be divided into a plurality of pump chambers by providing a partition in the pump chamber 22.
  • the vacuum exhaust device is not limited to the roots type vacuum pump as described above, and any vacuum pump can be adopted as long as the suction port and the exhaust port can be integrally formed in the casing. May be.
  • the base part 5 and the four leg parts 6 were formed, it is not restricted to this, What kind of thing will be sufficient if the base part 5 can support the leg part 6 reliably? It may be configured. Moreover, as long as the base part 5 can support the leg part 6 reliably, the end surface 51 of the base part 5 and the end surface 35 of the air intake part 3 may not be formed apart from each other but may be integrally formed. Similarly, the end surface 61 of the leg portion 6 and the end surface 45 of the exhaust portion 4 may be integrally molded.
  • the plurality of vacuum exhaust devices are stacked and arranged in the vertical direction, but may be stacked in the horizontal direction or may be arranged in both the vertical and horizontal directions.
  • the vacuum exhaust system includes two or three vacuum exhaust devices, but may include four or more vacuum exhaust devices connected in a vertical and / or horizontal direction. .
  • the four or more vacuum exhaust apparatuses are used.
  • the piping member which has the function of external piping may be connected so that the casing of two adjacent vacuum exhaust apparatuses may be connected mutually.
  • the piping member which has a function of external piping may be connected so that the casing of two vacuum exhaust apparatuses which are not adjacent among these four or more exhaust apparatuses may be connected mutually.
  • a plurality of piping members having a function of external piping such as the piping member 73 may be provided.
  • the cooling mechanism shown in FIG. 11, for example, as shown in FIG. 2 or 9, is a first connecting member that is a member between the front-stage vacuum exhaust device 1A and the next-stage vacuum exhaust device 1B. 71 may be provided.
  • the cooling fin provided by the cooling mechanism shown in FIG. 11 may be formed on the partition wall 16 described above.
  • Vacuum exhaust device 1A, 1B, 1C Vacuum exhaust device 3 Intake part 4 Exhaust part 5 Base part 6 Leg part 7 Connection unit 8 Motor 10, 110 Vacuum exhaust system 12 Total exhaust port 21-24 Pump chamber 25 Casing 31-33 Inlet port 35, 45 End face 41 to 43 Exhaust port 71 First connecting member 72 Second connecting member 73 Piping member 74 Valve unit 76 First connecting path 77 Second connecting path 78 Piping path 79 Valve

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Abstract

　この真空排気装置の接続構造は、複数の真空排気装置の接続構造であって、前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口とをそれぞれ有する。前記複数の真空排気装置の前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置される。前記接続構造は、前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有し、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続された接続ユニットを備える。

Description

真空排気装置の接続構造及び真空排気システム
　本発明は、真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置を接続するための真空排気装置の接続構造及び真空排気システムに関する。
　本願は、２０１０年１１月１７日に、日本に出願された特願２０１０－２５７１４３号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気するために使用される真空排気装置（真空ポンプ）では、用途に応じて複数の異なる真空排気装置を気体流通的に直列に接続して目的の性能を達成することが一般的に行われている。例えば、排気対象機器を作動圧力まで排気し、その圧力を保つための主ポンプとしてメカニカルブースターポンプを採用し、大気圧から主ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための粗引きポンプとして、油回転ポンプやドライポンプを採用する。これらの真空ポンプを組み合わせて使用することによって、目的の性能を達成する真空排気システムを構築している。真空ポンプの組合せはこれに限らず多様であり、３台以上の真空ポンプを組み合わせるケースもある。
　このような複数の真空ポンプを組み合わせる場合、通常、各々の真空ポンプは適所に配置された上で接続配管等によって接続される。例えば、各々の真空ポンプを所定のフレーム（設置台）に固定し、主ポンプの排気口と粗引きポンプの吸気口を配管によって接続するなどの接続構造が一般的である。
　例えば、下記非特許文献１には、上ポンプの排気口と下ポンプの吸気口とが配管で接続されている真空排気システムが示されている。また、下記非特許文献２には、フレーム上及びフレーム内に真空ポンプを設置し、上下の真空ポンプの排気口と吸気口を配管で接続した真空排気システムが示されている。
　また、上述したような方法で接続される真空ポンプには、単一のケーシング内に形成された空間を区分し、複数のポンプ室とすることによって多段構造とした、多段ルーツ真空ポンプが多く採用されている。多段ルーツ真空ポンプにおいては、各段のポンプ室が直列となるように接続されていることが一般的である（下記特許文献１参照）。
日本国特開２００２－３６４５６９号公報
「エドワーズ　真空製品総合カタログ　Revision3」、エドワーズ株式会社、P54 「真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC）：油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min～20000L/min)」、[online]、株式会社アルバック、［平成２２年４月１６日検索］、インターネット<URL: http://www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>
　ところで、上述したような多段ルーツ真空ポンプにおいては、気体が前段のポンプ室から後段のポンプ室へと圧縮されて移動するのに伴って気体の圧力が上昇する。このため、排気容量、すなわちポンプ室の容積は、前段のポンプ室より後段のポンプ室の方が小さくなっている。つまり、複数のポンプ室の容積は、一つの真空ポンプ内で順に小さくする構成に限られる。
　このため、これら多段ルーツ真空ポンプを組み合わせて真空排気システムを構築する場合においても、複数のポンプ室の構成・配置等の組合せは上述したように制限される。このような制限によって、最適なポンプ室構成を優先しようとすると、真空排気システム全体のスペース効率が悪くなる場合が多い。また、システム全体のスペース効率を優先しようとすると、最適なポンプ室構成とすることが難しくなるという問題があり、効率的な真空排気システムを構築することが難しかった。
　本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、より少ないスペースで、効率的な真空排気を可能にする真空排気装置の接続構造を提供することを目的とする。
　上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供している。
　本発明の一態様に係る真空排気装置の連結構造は、複数の真空排気装置の接続構造であって、前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口とをそれぞれ有する。
　前記複数の真空排気装置の前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置される。
　前記接続構造は、接続経路を有する接続ユニットを備える。
　接続経路は、前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる。
　接続ユニットは、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続される。
　前記接続ユニットは、第１接続部材と、第２接続部材と、配管部材とを含んでいてもよい。
　前記第１接続部材は、前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する、前記接続経路のうちの第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続される。
　前記第２接続部材は、前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する、前記接続経路のうちの第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続される。
　前記配管部材は、前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する、前記接続経路のうちの配管経路を有し、前記第１接続体及び前記第２接続体に接続される。
　前記第１接続部材、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも１つは、一体的に形成された部材であってもよい。
　前記第２接続部材は、複数の第２接続経路を有してもよい。そして、前記接続構造は、前記複数の第２接続経路にそれぞれ設けられた複数のバルブと、前記複数のバルブを介して前記複数の第２接続経路に連通する総排気口とを有するバルブユニットをさらに具備してもよい。
　前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置を載置させる台座であってもよい。
　本発明の一態様に係る真空排気システムは、複数の真空排気装置と、接続ユニットとを具備する。
　前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口とをそれぞれ有する。また、前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置される。
　前記接続ユニットは、接続経路を有する。前記接続経路は、前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有する。
　接続ユニットは、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続される。
　前記真空排気システムは、少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構をさらに具備してもよい。
　前記接続ユニットは、第１接続部材と、第２接続部材と、配管部材とを含んでいてもよい。
　前記第１接続部材は、前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する、前記接続経路のうちの第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続される。
　前記第２接続部材は、前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する、前記接続経路のうちの第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続される。
　前記配管部材は、前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する、前記接続経路のうちの配管経路を有し、前記第１接続体及び前記第２接続体に接続される。
　前記冷却機構は、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられていてもよい。
　前記第２の真空排気装置が、前記第１の真空排気装置より下部に配置されるように、前記複数の真空排気装置が積まれるように配置され、前記第２接続部材は、前記第２の真空排気装置の下部に配置されてもよい。
　前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置は、この少なくとも１つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有してもよい。そして、前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられてもよい。
　本発明の態様によれば、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、少ないスペースで効率的な真空排気可能な真空排気システムを構築することが可能となる。
図１は、本発明の一実施形態に係る真空排気装置の接続構造を採用した真空排気システムの斜視図である。 図２は、同真空排気システムの全体構成を示す断面図である。 図３は、図１のＡ方向から見た同真空排気システムの側面図である。 図４は、第２接続部材の上から見た断面図である。 図５は、図４に示すＬ－Ｌ線断面図である。 図６は、同真空排気装置を上方から見た斜視図である。 図７は、同真空排気装置を下方から見た斜視図である。 図８は、同真空排気装置の全体構成を示す断面図である。 図９は、本発明の第２の実施形態に係る真空排気システムを示す断面図である。 図１０は、その真空排気システムの接続ユニットの一部を構成する配管部材を示す側面図である。 図１１は、本発明の第３の実施形態に係る真空排気システムに設けられた冷却機構を説明するための図である。
（第１の実施形態）
　以下、本発明の第１の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
　図１は、真空排気装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃを接続ユニット７（マニホールド）を介して連結した、本実施形態の真空排気システム１０全体を示す斜視図である。図２は、真空排気システム１０の全体構成を示す断面図である。図３は、図１の符号Ａで示す方向から見た真空排気システム１０の側面図である。真空排気システム１０は、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された吸気口１１から吸気した気体を３つの真空排気装置１Ａ～１Ｃによって圧縮し、総排気口１２から排気するシステムである。
　３つの真空排気装置１Ａ～１Ｃのうち、真空排気装置１Ａ（主真空排気装置）は、ケーシング内に単一のポンプ室２１Ａ（図２参照）を有するメカニカルブースターポンプである。真空排気装置１Ａは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器と接続されている。図２の断面図に示すように、真空排気装置１Ｂ、１Ｃは、多段ルーツ真空ポンプであり、各々が複数のポンプ室を備えている。
　従来の多段ルーツ真空ポンプにおいては、真空ポンプの内部に形成されている複数のポンプ室が直列になるように接続されており、１つの多段ルーツ真空ポンプは、ポンプ室の数に関わらず、１つの吸気口及び排気口を備えていた。
　これに対し、真空排気装置１Ｂ、１Ｃは、複数のポンプ室に対して、複数の吸気口及び排気口を備えている。つまり、本実施形態の真空排気装置１Ｂ（１Ｃ）を構成する複数のポンプ室は、それら全てのポンプ室が直列となるように接続されていない。
　言い換えれば、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、同じケーシングに形成された他のポンプ室と接続されていない。また、これらポンプ室は、吸気口及び排気口の両方をそれぞれ個別に有している。これらの吸気口及び排気口は、隣接する真空排気装置の排気口及び吸気口に接続されるため、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、他の真空排気装置１Ｃ（１Ｂ）を構成するポンプ室と接続されている。
　このような構成を実現するために、本実施形態の真空排気装置１Ａ～１Ｃは、真空排気装置のケーシング同士を直接連結させて配置することができる。さらに、真空排気装置同士を直接連結することによってポンプ室同士が接続され連通する。
　以上の構成について図２を参照して説明する。真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂは、同じ真空排気装置１Ｂの他のポンプ室２２Ｂ、２３Ｂとは接続されておらず、ポンプ室２１Ｂに直接連通する排気口４１Ｂを介して、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃと接続されている。また、真空排気装置１Ｂと真空排気装置１Ｃとは、配管等を使用することなく、符号Ｂで示す平面において直接連結している。このような構成を実現するための機構の詳細に関しては後述する。
　さらに、真空排気システム１０は、真空排気装置１同士の接続を補うための接続ユニット７（マニホールド）を備えている。接続ユニット７は、第１接続部材７１、第２接続部材７２、配管部材７３、及びバルブユニット（バルブ集合体）７４に分割されている。
　これらが、真空排気装置１Ａ～１Ｃと組み合わされることで、真空排気装置１Ａ～１Ｃを構成する複数のポンプ室を接続する接続配管が完成し、真空排気システム１０として機能する。
　第１接続部材７１は、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂとの間に介在するように配置されているブロック形状でなる一体的に形成された部材であり、例えば鋳造により形成される。第１接続部材７１には、真空排気装置１Ａのポンプ室２１Ａと真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂとを接続する経路７５（図２参照）が形成されているとともに、配管部材７３と真空排気装置１Ｂのポンプ室２２Ｂ、２３Ｂとを接続する第１接続経路７６（図２及び３参照）が形成されている。
　配管部材７３は、第１接続部材７１の側部に連結され、配管部材７３内に形成された配管経路７８が第１接続経路７６と連通している。第１接続経路７６は、図２の符号７６ａ、７６ｂに示すような、２つの経路から構成されている。
　第２接続部材７２は、真空排気装置１Ｃの底面に連結するように配置されており、真空排気システム１０を構成するポンプ室、配管部材７３、及びバルブユニット７４と接続されている。第２接続部材７２には、真空排気装置１Ｃのポンプ室と配管部材７３の配管経路７８とを連通し、また、真空排気装置１Ｃのポンプ室とバルブユニット７４を接続する第２接続経路７７（図３参照）が形成されている。真空排気装置１、配管部材７３、及びバルブユニット７４は、いずれも第２接続部材７２の上面に接続されており、第２接続部材７２自体が真空排気システム１０全体を支持する構造（台座）となっている。
　第２接続経路７７は、配管部材７３の配管経路７８に接続される２つの経路７７ａ、７７ｂ（図２参照）と、真空排気装置１Ｃのポンプ室２４Ｃと連通する排気口４３Ｃとバルブユニット７４とを接続する経路７７ｃの、合計３つの経路を有する。また、第２接続部材７２は、一体形成された部材である。
　配管部材７３は、配管形状の部材である。接続部配管部７３の内部には、真空排気装置１Ｃの排気口と真空排気装置１Ｂの吸気口とを接続する配管経路７８が形成されている。配管経路７８は、第１接続部材７１の第１接続経路７６ａ、７６ｂ（図２参照）に対応した２つの経路に対応して、長さ方向に沿う分割面によって２分割されている。配管部材７３も、一体的に形成された部材であり、例えば鋳造により形成される。
　以上のように、第２接続経路７７、第１接続経路７６及び配管経路７８が連通することで形成された接続経路が、接続ユニット７内に設けられる。
　図４は、第２接続部材７２の上から見た断面図である。図５は、図４に示すＬ－Ｌ線断面図である。第２接続部材７２のブロック７２５の上面には、真空排気装置１Ｃのケーシングに接続されるポンプ接続部７２１と、配管部材７３に接続される配管接続部７２２と、バルブユニット７４に接続されるバルブユニット接続部７２３とが形成されている。これらポンプ接続部７２１、配管接続部７２２、バルブユニット接続部７２３の周囲にそれぞれ形成された周状溝に、Ｏリング等のシール部材７２１ｄ、７２２ｄ、７２３ｄがそれぞれ嵌め込まれている。
　ポンプ接続部７２１には、３つの連通口７２１ａ、７２１ｂ、７２１ｃが配列されるように形成されている。これら３つの連通口７２１ａ、７２１ｂ、７２１ｃは、真空排気装置１Ｃの、排気口４１Ｃ、４２Ｃ、４３Ｃと、それぞれ連通している。配管接続部７２２には、２つの連通口７２２ａ、７２２ｂが形成されており、これら連通口７２２ａ、７２２ｂは、配管部材７３の配管経路７８に連通している。また、バルブユニット接続部７２３には、３つの連通口７２３ａ、７２３ｂ、７２３ｃが配列されるように形成されている。
　連通口７２１ａ、７２２ａ、７２３ａのすべてが、第２接続経路７７のうち経路７７ａと連通している。連通口７２１ｂ、７２２ｂ、７２３ｂのすべてが、第２接続経路のうち経路７７ｂと連通している。連通口７２１ｃ、７２３ｃのすべてが、第２接続経路のうち経路７７ｃと連通している。これらの構成は、図３も参照すると理解しやすい。
　バルブユニット７４は、第２接続部材７２と接続されており、システム全体の排気口である総排気口１２を有している。図４の断面図に示すように、バルブユニット７４には、複数のバルブ７９（逆止弁）が設けられており、総排気口１２は、各バルブ７９を介して経路７７ａ～７７ｃと接続されている。これにより、真空排気装置１Ｃを構成するポンプ室であって、排気口４１Ｃ、４２Ｃ、４３Ｃと直接接続されているポンプ室２１Ｃ、２２Ｃ、２４Ｃのうち任意のポンプ室から個別に排気可能となる。
　バルブユニット７４が設けられることにより、ポンプによる過圧縮を防止し、モータ８による動力伝達のロスを抑えることができる。
　複数のバルブ７９は、ボール状でもよいし、圧力を個別の値に調整可能な調整バルブでもよい。各バルブ７９が、個別の圧力に調整可能な調整バルブである場合、適宜その圧力が設定され、ユーザーにより使用される圧力帯域を広げることができる。
　このように第２接続部材７２及びバルブユニット７４が、最後段の真空排気装置１Ｃの下部、すなわち、真空排気システム１０の最下部に配置されている。これにより、真空排気システム１０の重心をできるだけ下方に配置させることができ、上下積層による多段の真空排気システム１０の設置の安定性が高めることができる。
　次に、図２を参照して、本実施形態における各真空排気装置を構成する複数のポンプ室の構成、及びポンプ室の接続順序について説明する。
　最上段に位置する真空排気装置１Ａは、１つのポンプ室２１Ａを有するメカニカルブースターポンプである。ポンプ室２１Ａは、吸気口１１、及び排気口４１Ａを備えている。
　真空排気装置１Ｂは、３つのポンプ室２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂを有している。３つのポンプ室２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂは、それぞれ３つの吸気口３１Ｂ、３２Ｂ、３３Ｂ、及び３つの排気口４１Ｂ、４２Ｂ、４３Ｂを備えている。
　真空排気装置１Ｃは、４つのポンプ室２１Ｃ、２２Ｃ、２３Ｃ、２４Ｃを備えており、３つの吸気口３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃ、及び３つの排気口４１Ｃ、４２Ｃ、４３Ｃを備えている。真空排気装置１Ｃの４つのポンプ室のうち、２つのポンプ室２３Ｃ、２４Ｃは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｃを構成するケーシングの内部で直接接続されている。
　接続ユニット７は、第１接続部材７１と第２接続部材７２と配管部材７３とが協働して、真空排気装置１Ｃの排気口４１Ｃと真空排気装置１Ｂの吸気口３２Ｂとを接続するように構成されている。同様に、接続ユニット７は、真空排気装置１Ｃの排気口４２Ｃと真空排気装置１Ｂの吸気口３３Ｂとを接続するように構成されている。
　さらに、接続ユニット７は、真空排気装置１Ｃの排気口４３Ｃとバルブユニット７４とを接続するように構成されている。
　なお、図３に示すように、第２接続経路７７の経路７７ａ及び７７ｂは、真空排気装置１Ｃのポンプ室と配管部材７３の配管経路７８とを接続するのみならず、真空排気装置１Ｃのポンプ室とバルブユニット７４とを接続している。
　次に、図２を参照して、実際の気体の流れを説明する。
　まず、吸気口１１から真空排気装置１Ａに流入した気体が、ポンプ室２１Ａで圧縮され、排気口４１Ａから排気される。次に、気体は、真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂに流入し、圧縮される。次いで、気体は、ポンプ室２１Ｂと直接接続されている真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃに流入する。ポンプ室２１Ｃから排気された気体は、第２接続部材７２の内部に形成された第２接続経路７７の経路７７ａに流入する。以上の気体の流れを図２の矢印Ｆ１に示す。
　第２接続部材７２に流入した気体は、配管部材７３の配管経路７８（及び第１接続部材７１の第１接続経路７６）を介して、真空排気装置１Ｂのポンプ室２２Ｂに流入する。図３に、第２接続部材７２から配管部材７３を介して、気体が真空排気装置１Ｂの別のポンプ室に戻される流れを示す（矢印Ｆ４）。
　ポンプ室２２Ｂに流入した気体は、図２の矢印Ｆ２に示すように、第２接続部材７２に至る経路で圧縮される。次いで、図２の矢印Ｆ３で示される経路で圧縮された気体は、最終的に、バルブユニット７４に導かれ、総排気口１２から排気される。
　また、バルブユニット７４に設けられた複数のバルブ７９を操作することによって、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃ又は２２Ｃから排気することも可能である。
　以下、個々の真空排気装置１の構造について詳細に説明する。図６は、真空排気装置１Ｂを上方から見た斜視図である。図７は、真空排気装置１Ｂを下方から見た斜視図である。図８は、真空排気装置１Ｂの全体構成を示す断面図である。
　なお、本実施形態に係る真空排気装置１には、ポンプ室の構成を異にする真空排気装置１Ａ～１Ｃが含まれるが、以下の説明においては、３つのポンプ室を有する真空排気装置１Ｂについて説明する。
　図１に最もよく示されているように、真空排気装置１Ａ～１Ｃは、略同一の外形のケーシング２５を構成要素として有している。このようなケーシング形状とすることによって、図１に示すように、真空排気装置１Ｃに対して、直接的に真空排気装置１Ｂを重ねて配置することが可能である。
　さらに、真空排気装置１Ｃに対して真空排気装置１Ｂを重ねて配置することによって、上側の真空排気装置１Ｂの排気口と下側の真空排気装置１Ｃの吸気口とが配管を介さずに直接接続することができる。
　図８に示すように、真空排気装置１Ｂは、上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとからなるケーシング２５と、２本の回転軸８１，８１（図３参照）と、ケーシング２５によって画定された３つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂにそれぞれ収容されたマユ型ロータ８２ａ，８２ｂ，８２ｃと、回転軸８１，８１を駆動するモータ８とを有するルーツ真空ポンプである。
　ロータ８２ａ，８２ｂ，８２ｃは、それぞれ一対のロータから構成されている。２つのロータは、それぞれ回転軸８１上に配列され、各ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂに収容されている。一対のロータは、それぞれのロータの回転軸８１，８１の軸端に設けられた駆動ギア８５により互いに反対方向に同期回転する。
　ケーシング２５は、３つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂを画定するとともに、真空排気装置１Ｂの外形を形成している。また、回転軸８１，８１は、ベアリング８３，８４によって支持されている。
　ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂは、それぞれケーシング２５の上部に形成された吸入口３１，３２，３３と連通しているとともに、ケーシング２５の下部に形成された排気口４１，４２，４３と連通している。
　次に、真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５について説明する。
　ケーシング２５は、後述するように上下２分割構造であり、上部（一側）に吸気口３１，３２，３３を有する吸気部３が形成され、下部（他側）に排気口４１，４２，４３を有する排気部４が形成されている。また、ケーシング２５の上部には、４つの台座部５が形成されている。ケーシング２５の下部には、４つの脚部６が形成されている。
　ケーシング２５は、ポンプ室２１～２３の形状に依存した楕円円筒形状を有している。
　吸気部３、排気部４、台座部５、脚部６は、ケーシング２５と一体に形成されている。具体的には、これらは、鋳造によって一体に形成されることが好ましい。
　本実施形態に係る真空排気装置１Ｂは、ケーシング２５の長手方向（回転軸８１の軸方向）が水平となるように、かつ、ケーシング２５の楕円断面の長軸が水平となるように設置される。なお、以下の説明において、２本の回転軸８１を含む平面、すなわち、水平面を水平中心面と称する（図８にＤで示す）。
　ケーシング２５は、上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとに２分割されている。上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとは、ボルト・ナット等の締結部材によって締結されており、上下ケーシング２５ａ，２５ｂを組み合わせることによって、モータ８側のベアリングケース８６、及び反モータ側ベアリングケース８７を保持することができるように構成されている。また、上下ケーシング２５ａ，２５ｂを組み合わせることによって、反モータ側ベアリング８４、及び油かき上げ板８８を含む空間８９を密閉させることができる。なお、本実施形態において、分割面は、前記水平中心面Ｄと略一致する。
　吸気部３は、ケーシング２５の上部に、上方向に突出するように、かつ、ケーシング２５（上側ケーシング２５ａ）と一体に形成されている。吸気部３は、前記水平中心面Ｄと平行な端面３５を有しており、前記端面３５は、ケーシング２５の軸方向に長さを有する矩形形状である。
　また、吸気部３には、複数に区分された吸気口３１～３３が設けられている。前記複数の吸気口３１～３３は、前記端面３５に開口されており、それぞれ、ポンプ室２１～２３に連通されている。
　また、吸気部３の端面３５のやや内側には、端面３５の外形に沿って溝３６が形成されている。溝３６には、Ｏリング５３が嵌め込まれている。
　排気部４は、ケーシング２５の下部に、下方向に突出するように、かつ、ケーシング２５（下側ケーシング２５ｂ）と一体に形成されており、前記吸気部３と同様に、前記水平中心面Ｄと平行な端面４５を有している。排気部４には、複数に区分された排気口４１～４３が設けられている。前記複数の排気口４１～４３は、前記端面４５に開口されており、それぞれ、ポンプ室２１Ｂ～２３Ｂに連通されている。
　吸気部３の端面３５と、排気部の端面４５とは、平面視において、略同形状である。
　台座部５は、ケーシング２５（上側ケーシング２５ａ）の上部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の台座である。台座部５は、真空排気装置１Ｂの上方向に突出するような、突起状の形状を有している。４つの台座部５は、それぞれ、その上端が面５１（以下、端面５１と称する）を形成している。４つの端面５１は、同一面上に形成されている。
　さらに、台座部５の端面５１と前述した吸気部３の端面３５とは、同一面上に形成されている。ただし、台座部５は、吸気部３とは独立して設けられている。つまり、台座部５の端面５１と、吸気部３の端面３５とは、離間して形成されている。
　脚部６は、ケーシング２５（下側ケーシング２５ｂ）の下部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の脚である。脚部６は、真空排気装置１Ｂの下方向に突出するような、突起状の形状を有している。また、平面視における位置は、前記台座部５と略同じである。４つの脚部６は、それぞれ、その下端が面６１（以下、端面６１と称する）を形成している。４つの端面６１は、同一面上に形成されている。
　さらに、脚部６の端面６１と排気部４の端面４５とは、同一面上に形成されている。ただし、脚部６は、排気口４とは独立して設けられている。つまり、脚部６の端面６１と、排気部４の端面４５とは、離間して形成されている。
　また、台座部５と脚部６とは、側面を開口面とした中空状に形成されている。それぞれの端面５１，６１には、締結孔５４が形成されている。
　また、図６，７に示すように、台座部５には、突起部５２が設けられている。これに対応して、脚部６には、位置決め穴６２が形成されている。
　上記実施形態によれば、真空排気装置１Ｂ，１Ｃは上下方向に直接重ねて配置することが可能である。さらに、真空排気装置１Ｃの吸気部３の端面３５に、真空排気装置１Ｂの排気口４の端面４５を接して重ねるように、真空排気装置１Ｃの直上に真空排気装置１Ｂを載置することができる。
　上述したように、吸気部３の端面３５と排気部４の端面４５とは、平面視において略同形状であるため、上下方向に載置することによって、真空排気装置１Ｂの排気口４１Ｂ～４３Ｂと、真空排気装置１Ｃの吸気口３１Ｃ～３３Ｃとが気体流通的に連通する。
　これにより、真空排気装置１同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。
　また、真空排気装置１を構成するケーシング２５同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置１から発せられる熱を分散させることができる。
　また、ケーシング２５において、上下のケーシング２５ａ、２５ｂを組み合わせることで、ベアリングケース８６、８７を保持し、かつ、反モータ側の空間８９を形成する（カバーの役割をする）構成とした。これにより、部品点数を削減することが可能となるとともに、ケーシング２５全体でベアリングケース８６、８７を保持するため、排気運転時における真空排気装置１の変形を抑えることができる。
　また、台座部５の端面５１と脚部６の端面６１とは、平面視において略同じ位置に形成されているため、真空排気装置１Ｂと真空排気装置１Ｃとを上下方向に配置することによって、台座部５の端面５１と、脚部６の端面６１とが接して重ねることができる。この状態で、台座部５と脚部６とをボルト・ナット等の締結部材９１によって締結することによって、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂとを確実に固定することができる。
　吸気部３の端面３５に形成されている溝３６にＯリング等の封止部材を配置することによって、吸気部３と排気部４とを接続した際の気密状態を向上させることができる。なお、この溝３６は、吸気部３側ではなく、排気部４側に設けてもよい。
　真空排気装置１を連結した際に台座部５の突起部５２と脚部６の位置決め穴６２とを嵌め合わせることによって、位置決めを容易にすることができる。突起部５２及び位置決め穴６２は、全ての脚部６及び台座部５に設けることが好ましいが、少なくとも２ヶ所に設ければよい。
　吸気部３の端面３５には、Ｏリング５３が嵌め込まれる以外にも、図示しないガスケットが塗布されている。ガスケットは、隣り合う吸気口３１、３２、３３同士の連通を遮断するためのシール部材である。
　この真空排気システム１０の製造時において、ペースト状のガスケットが、例えば真空排気装置１Ｃのケーシング２５の吸気部３の端面３５に塗布された後、この吸気部の端面３５と、真空排気装置１Ｂのケーシング２５の排気部４の端面４５とが当接することで、これらが接続される。ガスケットの材料としては、シリコン系、フッ素系等の耐腐食性のゴムが用いられるが、これらに限られない。
　このように塗布式のガスケットのような、簡易なシール部材が用いられることにより、コストを低減し、かつ、狭い吸気部３内でできるだけ広い開口面積を有する吸気口３１、３２、３３を確保することができる。このように簡易なシール部材が用いられ、隣り合う吸気口同士で気体のリークがあったとしても、そのリークの程度は、排気速度に対して十分小さいリーク速度であれば問題ない。
　以上の説明ではガスケットが、吸気部３の端面３５に塗布される例を説明したが、もちろん、排気部４の端面４５に塗布されてもよい。
　例えば端面３５及び４５の平面度が高い場合に、気体のリーク速度が十分に小さければ、この塗布式のガスケットは不要である。
　以上のように、本実施形態では、ポンプ室同士は一つの真空排気装置内で連通するのみならず、他の真空排気装置のポンプ室と連通してもよいし、接続ユニット７と連通してもよい。換言すると、ポンプ室の連通配置は任意でよく、これにより、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。
（第２の実施形態）
　図９は、本発明の第２の実施形態に係る真空排気システムを示す断面図である。図１０は、その真空排気システムの接続ユニットの一部を示す側面図であり、各真空排気装置のロータの回転軸に直交する方向で見た図である。本実施形態に係る真空排気システム１１０と、例えば上記第１の実施形態に係る真空排気システム１０と異なる点は、真空排気システム１１０が冷却機構を備えている点である。
　冷却機構は、例えば冷媒を流通させる冷却管１５である。冷却管１５は、真空排気システム１１０の各ケーシング２５の複数の箇所、モータ８のモータハウジング８ａ、また、図１０に示すように配管部材１７３に設けられている。ケーシング２５、２５、２５に設けられた冷却管１５は、例えばベアリングの近傍及び隔壁１６等に挿通されるように設けられている。隔壁１６は、真空排気装置１Ｂ（１Ｃ）において、１つのケーシング２５内での複数のポンプ室２１Ｂ～２３Ｂ（２１Ｃ～２３Ｃ）を区画する機能を有する。このような冷却機構によって、真空排気システム１１０を効率良く冷却することができる。
　特に、隔壁１６に冷却管１５が設けられることにより、冷却しにくいケーシング２５の内部まで冷却することができる。
　図１０に示すように、配管部材１７３の側面には、冷却管１５の一部を保持する保持ボックス１７３ａが接続されている。冷却管１５は、この保持ボックス１７３ａ内で、１回ターンするようなＵ字形状に形成されている。しかし、冷却管１５は、Ｕ字形状に限られず、その形状や長さの設計の変更が可能である。
　なお、上記のように複数箇所に設けられた冷却管１５は、入口及び出口を１つずつ有する１本の管でつながるように、すなわち１系統の流路として構成されていてもよい。あるいは、冷却管１５は、複数の系統の流路で構成されるように、複数の管で構成されていてもよい。
（第３の実施形態）
　図１１は、本発明の第３の実施形態を説明するための図であり、真空排気システムの一部の構造を示す断面図である。これは、上記第１の実施形態に係る第２接続部材７２に冷却機構を加えた第２接続部材１７２である。
　この冷却機構は、冷却管１５の他、第２接続経路の各経路１７７ａ、１７７ｂ、１７７ｃにそれぞれ設けられた冷却フィン１１５を有する。冷却フィン１１５は、例えばこの第２接続部材１７２のブロックに一体成型により形成される。冷却管１５は、それら排気側経路１７７ａ、１７７ｂ、１７７ｃの下部に配置され、第２接続部材１７２のブロックに挿通されて設けられている。
　真空排気システムでは、排気側で気体が圧縮されるため、吸気側に比べ排気側の方が高温になる。冷却機構が、真空排気システムの排気側である第２接続部材１７２に設けられることにより、気体の圧縮により発生する熱を効率的に冷却することができる。
　本実施形態では、冷却機構として冷却フィン１１５が設けられたが、これはなくてもよい。
　本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
　ポンプ室は、仕様によって、一つのポンプ室とすることもできるし、ポンプ室２２内に隔壁を設けることによって、複数のポンプ室に分割することもできる。
　また、真空排気装置は、上述したようなルーツ型真空ポンプに限ることはなく、ケーシングに吸気口と排気口を一体に形成することができる真空ポンプであれば、どのような真空ポンプを採用してもよい。
　また、上記各実施形態においては、台座部５と脚部６を、４つ形成したが、これに限ることはなく、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、どのような構成でもよい。
　また、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、台座部５の端面５１と吸気部３の端面３５とは離間して形成せず、一体に成型されていてもよい。同様に、脚部６の端面６１と排気部４の端面４５に関しても、一体に成型されていてもよい。
　上記実施形態では、複数の真空排気装置が縦方向に積み上げられて配置されていたが、横方向に積まれてもよいし、縦及び横の両方に配置されていてもよい。
　上記実施形態に係る真空排気システムは、２つまたは３つの真空排気装置を備えていたが、縦及び／または横方向に配列されて接続された４つ以上の真空排気装置を備えていてもよい。
　上記のように、３つ以上、あるいは、４つ以上の真空排気装置が設けられる形態に、配管部材７３（１７３）のような外部配管が適用される場合、それら４つ以上の真空排気装置のうち隣接する２つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。あるいは、それら４つ以上の排気装置のうち隣接しない２つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。
　真空排気システムが、４つ以上の真空排気装置を備える場合に、例えば配管部材７３のような外部配管の機能を有する配管部材が複数設けられていてもよい。
　図１１に示した冷却機構が、例えば、図２または９に示したように、最前段の真空排気装置１Ａと、その次の段の真空排気装置１Ｂとの間の部材である第１接続部材７１に設けられていてもよい。
　図１１に示した冷却機構で設けられた冷却フィンは、上記した隔壁１６に形成されていてもよい。
　１Ａ、１Ｂ、１Ｃ　真空排気装置
　３　吸気部
　４　排気部
　５　台座部
　６　脚部
　７　接続ユニット
　８　モータ
　１０、１１０　真空排気システム
　１２　総排気口
　２１～２４　ポンプ室
　２５　ケーシング
　３１～３３　吸気口
　３５、４５　端面
　４１～４３　排気口
　７１　第１接続部材
　７２　第２接続部材
　７３　配管部材
　７４　バルブユニット
　７６　第１接続経路
　７７　第２接続経路
　７８　配管経路
　７９　バルブ

Claims (11)

  1. 　複数の真空排気装置の接続構造であって、
    　前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口とをそれぞれ有し、
    　前記複数の真空排気装置の前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置され、
    　前記接続構造は、
    　前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有し、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続された接続ユニットを備える
    　接続構造。
  2. 　請求項１に記載の接続構造であって、
    　前記接続ユニットは、
    　前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する、前記接続経路のうちの第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第１接続部材と、
    　前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する、前記接続経路のうちの第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第２接続部材と、
    　前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する、前記接続経路のうちの配管経路を有し、前記第１接続体及び前記第２接続体に接続された配管部材とを含む
    　接続構造。
  3. 　請求項２に記載の接続構造であって、
    　前記第１接続部材、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも１つは、一体的に形成された部材である
    　接続構造。
  4. 　請求項２または３に記載の接続構造であって、
    　前記第２接続部材は、複数の第２接続経路を有し、
    　前記接続構造は、
    　前記複数の第２接続経路にそれぞれ設けられた複数のバルブと、前記複数のバルブを介して前記複数の第２接続経路に連通する総排気口とを有するバルブユニットをさらに具備する
    　接続構造。
  5. 　請求項２から４のうちいずれか１項に記載の接続構造であって、
    　前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置を載置させる台座である
    　接続構造。
  6. 　少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口とをそれぞれ有し、前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置された、複数の真空排気装置と、
    　前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有し、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続された接続ユニットと
    　を備える真空排気システム。
  7. 　請求項６に記載の真空排気システムであって、
    　少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構をさらに具備する
    　真空排気システム。
  8. 　請求項７に記載の真空排気システムであって、
    　前記接続ユニットは、
    　前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第１接続部材と、
    　前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第２接続部材と、
    　前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する配管経路を有し、前記第１接続体及び前記第２接続体に接続された配管部材とを含む
    　真空排気システム。
  9. 　請求項８に記載の真空排気システムであって、
    　前記冷却機構は、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられている
    　真空排気システム。
  10. 　請求項８または９に記載の真空排気システムであって、
    　前記第２の真空排気装置が、前記第１の真空排気装置より下部に配置されるように、前記複数の真空排気装置が積まれるように配置され、
    　前記第２接続部材は、前記第２の真空排気装置の下部に配置されている
    　真空排気システム。
  11. 　請求項７から１０のうちいずれか１項に記載の真空排気システムであって、
    　前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置は、この少なくとも１つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有し、
    　前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられている
    　真空排気システム。
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