JP5645229B2 - 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム - Google Patents

Description

本発明は、真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置を連結する真空排気装置の連結構造、及び、この連結構造が備えた真空排気システムに関する。
本願は、２０１０年１１月１７日に、日本に出願された特願２０１０−２５７１４１号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気するために使用される真空排気装置（真空ポンプ）では、用途に応じて複数の異なる真空排気装置を気体流通的に直列に接続して目的の性能を達成することが一般的に行われている。例えば、排気対象機器を作動圧力まで排気し、その圧力を保つための主ポンプとしてメカニカルブースターポンプを採用し、大気圧から主ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための粗引きポンプとして、油回転ポンプやドライポンプを採用する。これらの真空ポンプを組み合わせて使用することによって、目的の性能を達成する真空排気システムを構築している。真空ポンプの組合せはこれに限らず多様であり、３台以上の真空ポンプを組み合わせるケースもある。

このような複数の真空ポンプを組み合わせる場合、通常、各々の真空ポンプは適所に配置された上で接続配管等によって接続される。例えば、各々の真空ポンプを所定のフレーム（設置台）に固定し、主ポンプの排気口と粗引きポンプの吸気口を配管によって接続するなどの接続構造が一般的である。

例えば、下記非特許文献１には、上ポンプの排気口と下ポンプの吸気口とが配管で接続されている真空排気システムが示されている。また、下記非特許文献２には、フレーム上及びフレーム内に真空ポンプを設置し、上下の真空ポンプの排気口と吸気口を配管で接続した真空排気システムが示されている。

また、上述したような方法で接続される真空ポンプには、単一のケーシング内に形成された空間を区分し、複数のポンプ室とすることによって多段構造とした、多段ルーツ真空ポンプが多く採用されている。多段ルーツ真空ポンプにおいては、各段のポンプ室が直列となるように接続されていることが一般的である（下記特許文献１参照）。

日本国特開２００２−３６４５６９号公報

「エドワーズ 真空製品総合カタログ Revision3」、エドワーズ株式会社、P54 「真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC）：油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)」、[online]、株式会社アルバック、［平成２２年４月１６日検索］、インターネット<URL: http://www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>

ところで、上述したような従来の真空排気システムにおいて、各々の真空ポンプは、排気口及び吸気口の接続仕様等、一部の仕様を除き、それぞれ個別に設計製造されることが一般的である。このような真空ポンプの設置を行う場合、限られた設置スペースを有効に使用するため、真空排気システムを設置するための設置面積をできるだけ小さくすることが要求されている。また、設置に用いられるフレームとして、できるだけ単純化し耐久性のあるフレームを使用することが求められている。さらに、圧力損失を最低限に抑えるために、真空ポンプ同士を接続する配管は、短く、太く、曲がりのないように接続することが求められている。

しかしながら、主にコストの問題から、これらの要求を同時に満たすことは難しかった。例えば、コストを考慮すると、フレームは様々な形状の真空ポンプに対応するために、余裕を持った寸法にせざるを得なかった。また、真空ポンプを小型に設計することができても、設置面積はフレームに依存して大きくなる等、限られた設置スペースを有効に使用することができなかった。

本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、省スペース、低コストをなし得る真空排気装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供している。
本発明の一態様に係る真空排気装置の連結構造は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備えた真空排気装置の連結構造である。
前記各真空排気装置は、前記各ケーシングに接続されたモータをそれぞれ備える。
前記連結構造は、前記ケーシングの第１側に形成された第１端面と、前記ケーシングの、前記第１側とは反対側の第２側に形成された第２端面とを備える。
複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置に設けられた前記第２端面と、前記第２の真空排気装置に設けられた前記第１端面とが接するように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置されている。
前記第１端面と前記第２端面とを締結することにより、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第１の真空排気装置及び前記第２の真空排気装置同士が連結される。

前記複数の真空排気装置は、吸気部と、排気部とを備えていてもよい。
前記吸気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第１側に形成されている。
前記排気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第２側に形成されている。
前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置されている。
前記第１端面及び前記第２端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する。

前記連結構造は、複数の台座部と、複数の脚部とをさらに具備してもよい。
前記複数の台座部は、前記第１端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第１側に形成されている。
前記複数の脚部は、前記第２端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第２側に形成されている。

前記複数の台座部と、前記吸気部とは独立して前記ケーシングに形成されていてもよい。また、前記複数の脚部と、前記排気部とは独立して前記ケーシングに形成されていてもよい。

前記吸気部の前記吸気部端面と、前記複数の台座部とは、同一平面上に形成されていてもよい。また、前記排気部の前記排気部端面と、前記複数の脚部とは、同一平面上に形成されていてもよい。

前記連結構造は、前記吸気部端面または前記排気部端面に設けられ、前記ケーシング内の気密を維持する封止部材をさらに具備してもよい。

前記連結構造は、前記複数の台座部の前記第１端面または前記複数の脚部の前記第２端面に設けられた、凹凸形状を有する位置決め機構をさらに具備してもよい。

前記ケーシングは、上下２つに分割可能な、下側ケーシングと上側ケーシングとにより形成されてもよい。

本発明の一態様に係る真空排気システムは、連結された複数の真空排気装置を備えた真空排気システムであって、前記複数の真空排気装置は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備える。
前記ケーシングは、前記ケーシングの第１側に形成された第１端面と、前記ケーシングの、前記第１側とは反対側の第２側に形成された第２端面とを有する。
複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置に設けられた前記第２端面と、前記第２の真空排気装置に設けられた前記第１端面とが接するように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置されている。
前記第１端面と前記第２端面とを締結することにより、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第１の真空排気装置及び前記第２の真空排気装置同士が連結される。

前記真空排気システムは、接続ユニットと、少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構とをさらに具備してもよい。
前記接続ユニットは、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に設けられ、前記複数の真空排気装置のうち、真空排気の対象機器に接続された最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの１つに備えられた前記ポンプ室と、前記複数の真空排気装置のうち最後段の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる。

前記複数の真空排気装置は、吸気部と、排気部とを備えていてもよい。
前記吸気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第１側に形成されている。
前記排気部は、前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第２側に形成されている。
前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置されている。
前記第１端面及び前記第２端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する。

前記接続ユニットは、吸気側経路形成部材と、排気側経路形成部材と、配管部材とを含んでいてもよい。
前記吸気側経路形成部材は、前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する吸気側経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続されている。
排気側経路形成部材は、前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する排気側経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続されている。
前記配管部材は、前記吸気側経路及び前記排気側経路に連通する配管経路を有し、前記吸気側経路形成部材及び前記排気側経路形成部材に接続されている。

前記冷却機構は、前記排気側経路形成部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられていてもよい。

前記複数の真空排気装置は、積まれるように配置されてもよい。その場合、前記排気側経路形成部材は、前記複数の真空排気装置のうち最下部である前記最後段の真空排気装置の下部に配置される。

前記接続ユニットは、前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室と前記第２の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させてもよい。

前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置は、この少なくとも１つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有してもよい。前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられていてもよい。

本発明の態様によれば、フレーム等を用いることなく、真空排気装置のケーシング同士を直接連結することが可能になるため、省スペースかつ低コストをなし得る真空排気装置を提供することができる。
また、真空排気装置のケーシング同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置から発せられる熱を分散させることができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る真空排気システムを上方から見た斜視図である。 図２は、同実施形態に係る真空排気装置を上方から見た斜視図である。 図３は、同真空排気装置を下方から見た斜視図である。 図４は、図２のＣ−Ｃ線に沿う真空排気装置の断面図である。 図５は、図１のＡ−Ａ線に沿う真空排気システムの断面図である。 図６は、図１のＢ−Ｂ線に沿う真空排気システムの断面図である。 図７は、本発明の第２の実施形態に係る真空排気システムを上方から見た斜視図である。 図８は、図７のＧ−Ｇ線に沿う真空排気システムの断面図である。 図９は、図７のＨ方向から見た真空排気システムの側面図である。 図１０は、ベースユニットの上から見た断面図である。 図１１は、図１０に示すＬ−Ｌ線断面図である。 図１２は、真空排気装置を示す上から見た斜視図である。 図１３は、図１２に示した真空排気装置を下から見た斜視図である。 図１４は、本発明の第３の実施形態に係る真空排気システムを示す断面図である。 図１５は、その真空排気システムの接続ユニットの一部を構成する配管部材を示す側面図である。 図１６は、本発明の第４の実施形態に係る真空排気システムに設けられた冷却機構を説明するための図である。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る真空排気装置の連結構造を採用した真空排気システム１０Ａについて、図面を参照して詳細に説明する。図１に示すように、本実施形態の真空排気システム１０Ａは、２つの真空排気装置１Ａ，１Ｂを連結させたシステムである。この真空排気システム１０Ａは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された真空排気装置１Ａの吸気口３１Ａから吸気した気体を２つの真空排気装置１Ａ，１Ｂによって圧縮し、真空排気装置１Ｂの排気口４１Ｂ（図５参照）から排気するシステムである。

真空排気システム１０Ａを構成する真空排気装置１Ａ，１Ｂは、略同一の外形のケーシングを構成要素として有している。また、真空排気装置１Ｂ（第２の真空排気装置）に対して、符号Ｅ（図５参照）で示す平面において、直接的に真空排気装置１Ａ（第１の真空排気装置）を重ねて配置することが可能である。
さらに、真空排気装置１Ｂに対して真空排気装置１Ａが上下方向（縦方向）に積み上げられるように重ねて配置されることにより、上側の真空排気装置１Ａの排気口４１Ａ（図５参照）と下側の真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂとを配管を介さずに直接接続することができる。

以下、個々の真空排気装置１Ａ，１Ｂについて詳細に説明する。真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂは、略同一の構成であるため、真空排気装置１Ｂについて説明する。
図２〜４に示すように、真空排気装置１Ｂは、上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとからなるケーシング２５Ｂと、２本の回転軸８１，８１（図６参照）と、ケーシング２５Ｂによって画定された２つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂにそれぞれ収容されたマユ型ロータ８２ａ，８２ｂと、回転軸８１，８１を駆動するモータ８とを有するルーツ真空ポンプである。

ロータ８２ａ，８２ｂはそれぞれ一対のロータから構成されており、２つのロータはそれぞれ回転軸８１上に配列され、各ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂに収容されている。一対のロータは、それぞれのロータの回転軸８１，８１の軸端に設けられた駆動ギア８５により互いに反対方向に同期回転する。
ケーシング２５Ｂは、２つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂを画定するとともに真空排気装置１Ｂの外形を形成している。また、回転軸８１，８１は、ベアリング８３，８４によって支持されている。

ポンプ室２１Ｂとポンプ室２２Ｂとは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５Ｂの内部で直接接続されている。ポンプ室２１Ｂはケーシング２５Ｂの上部に形成された吸気口３１Ｂと連通している。ポンプ室２２Ｂは、ケーシング２５Ｂの下部に形成された排気口４１Ｂと連通している。

次に、真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５Ｂについて説明する。ケーシング２５Ｂは、後述するように上下２分割構造であり、上部（第１側）に吸気口３１Ｂを有する吸気部３が形成され、下部（第２側）に排気口４１Ｂを有する排気部４が形成されている。また、ケーシング２５Ｂの上部（第１側）には、４つの台座部５が形成されており、下部（第２側）には、４つの脚部６が形成されている。

ケーシング２５Ｂは、ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂの形状に依存した楕円円筒形状を有している。吸気部３、排気部４、台座部５、脚部６は、前記ケーシング２５Ｂと一体に形成されている。具体的には、これらは、鋳造によって一体に形成されることが好ましい。
真空排気装置１Ｂは、ケーシング２５Ｂの長手方向（回転軸８１の軸方向）が水平となるように設置される。なお、以下の説明において、２本の回転軸８１を含む平面を水平中心面と称する（図４にＤで示す）。

ケーシング２５Ｂは、上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとに２分割されている。上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとは、ボルト・ナット等の締結部材によって締結されており、上下ケーシング２５Ｂａ，２５Ｂｂを組み合わせることによって、モータ８側のベアリングケース８６、及び反モータ側ベアリングケース８７を保持することができるように構成されている。また、上下ケーシング２５Ｂａ，２５Ｂｂを組み合わせることによって、反モータ側ベアリング８４、及び油かき上げ板８８を含む空間８９を密閉させることができる。なお、本実施形態において、分割面は、前記水平中心面Ｄと略一致する。

吸気部３は、ケーシング２５Ｂの上部に、上方向に突出するように、かつ、ケーシング２５Ｂ（上側ケーシング２５Ｂａ）と一体に形成されている。吸気部３は、前記水平中心面Ｄと平行な端面（吸気部端面）３ａを有しており、この端面３ａは、ケーシング２５Ｂの長手方向に長さを有する概略矩形形状をなしている。
また、吸気部３には、吸気口３１Ｂが設けられている。吸気口３１Ｂは端面３ａに開口されており、ポンプ室２１Ｂに連通している。さらに、吸気部３の端面３ａのやや内側には、端面３ａの外形に沿って溝３６が形成されている。溝３６には、Ｏリング５３（封止部材）が嵌め込まれている。

排気部４は、ケーシング２５Ｂの下部に、下方向に突出するように、かつ、ケーシング２５Ｂ（下側ケーシング２５Ｂｂ）と一体に形成されており、吸気部３と同様に、水平中心面Ｄと平行な端面（排気部端面）４ａを有している。排気部４には、排気口４１Ｂが設けられている。排気口４１Ｂは、端面４ａに開口されており、ポンプ室２２Ｂに連通されている。
吸気部３の端面３ａと、排気部４の端面４ａとは、平面視において、略同形状である。

台座部５は、ケーシング２５Ｂ（上側ケーシング２５Ｂａ）の上部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の台座である。台座部５は、真空排気装置１Ｂの上方向に突出するような、突起状の形状を有している。４つの台座部５は、それぞれ、その上端が面５１（以下、第１端面５１と称する）を形成している。４つの第１端面５１は、同一面上に形成されている。
さらに、台座部５の第１端面５１と前述した吸気部３の端面３ａとは、同一面上に形成されている。ただし、台座部５は、吸気部３とは独立して設けられている。つまり、台座部５の第１端面５１と、吸気部３の端面３ａとは離間して形成されている。

脚部６は、ケーシング２５Ｂ（下側ケーシング２５Ｂｂ）の下部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の脚である。脚部６は、真空排気装置１Ｂの下方向に突出するような、突起状の形状を有している。また、平面視における位置は、前記台座部５と略同じである。４つの脚部６は、それぞれ、その下端が面６１（以下、第２端面６１と称する）を形成している。４つの第２端面６１は、同一面上に形成されている。
さらに、脚部６の端面６１と排気部４の端面４ａとは、同一面上に形成されている。ただし、脚部６は、排気口４とは独立して設けられている。つまり、脚部６の端面６１と、排気部４の端面４ａとは離間して形成されている。
また、台座部５と脚部６とは、側面を開口面とした中空状に形成されており、それぞれの端面５１，６１には締結孔（位置決め穴）５４、６２が形成されている。

また、図２，３に示すように、台座部５には突起部５２（位置決め機構）が設けられている。これに対応して、脚部６には位置決め穴６２（位置決め機構）が形成されている。

なお、図５に示すように、真空排気装置１Ａは、ポンプ室２１Ａ，２２Ａの配置以外は、真空排気装置１Ｂと略同一の構成である。

図５に示すように、真空排気システム１０Ａは、真空排気装置１Ｂの上方に真空排気装置１Ａを直接重ねたシステムである。この際、真空排気装置１Ｂの吸気部３の端面３ａと真空排気装置１Ａの排気部４の端面４ａとが当接するように重ねられている。また、真空排気装置１Ａの排気口４１Ａと真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂは、平面視において略同じ位置に形成されている。

上記実施形態によれば、真空排気装置１Ａ，１Ｂは、符号Ｅ（図５参照）で示した平面において上下方向に直接重ねて配置することが可能であり、真空排気装置１Ｂの吸気部３の端面３ａに、真空排気装置１Ａの排気口４の端面４ａを接して重ねるように、真空排気装置１Ｂの直上に真空排気装置１Ａを載置することができる。これにより、真空排気装置１Ａの排気口４１Ａと真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂとを気体流通的に連通させることができる。

つまり、真空排気装置１Ａの吸気口３１Ａから流入された気体は、ポンプ室２１Ａ及び２２Ａで圧縮され、排気口４１Ａより排気される。次いで、気体は真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂを介してポンプ室２１Ｂ及び２２Ｂで圧縮され、排気口４１Ｂより排気される。圧縮の際には、気体は、ケーシング２５とロータ８２との間の空間に閉じ込められ、ロータ８２の回転で排気側に排出される。

これにより、真空排気装置１Ａ、１Ｂ同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。
真空排気装置１Ａ、１Ｂを構成するケーシング２５Ａ、２５Ｂ同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置１Ａ、１Ｂから発せられる熱を分散させることができる。

また、ケーシング２５において、上下のケーシング２５ａ、２５ｂを組み合わせることで、ベアリングケース８６、８７を保持し、かつ、反モータ側の空間８９を形成する（カバーの役割をする）構成とした。これにより、部品点数を削減することが可能となるとともに、ケーシング２５全体でベアリングケース８６、８７を保持するため、排気運転時における真空排気装置１Ａ、１Ｂの変形を抑えることができる。

また、台座部５の第１端面５１と脚部６の第２端面６１とは、平面視において略同じ位置に形成されているため、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂとを上下方向に配置することによって、台座部５の第１端面５１と、脚部６の第２端面６１とが接して重ねることができる。この状態で、台座部５と脚部６とをボルト・ナット等の締結部材９１によって締結することによって、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂを確実に固定することができる。

吸気部３の端面３ａに形成されている溝３６に、Ｏリング５３等の封止部材を配置することによって、吸気部３と排気部４を接続した際の気密状態を向上させることができる。
なお、この溝３６は、吸気部３側ではなく、排気部４側（この場合、真空排気装置１Ａのケーシング２５Ａの排気部側）に設けてもよい。

真空排気装置１Ａ、１Ｂを連結した際に、台座部５の突起部５２と脚部６の位置決め穴６２とを嵌め合わせることによって、位置決めを容易にすることができる。突起部５２及び位置決め穴６２は、全ての脚部６及び台座部５に設けることが好ましいが、少なくとも２ヶ所に設ければよい。

なお、ケーシング２５内部に画定されるポンプ室の数は、１つでもよいし、３つ以上でもよく、仕様によって自由に設定することができる。

また、真空排気装置は、上述したようなルーツ型真空ポンプのみに限られることはなく、ケーシングに吸気口と排気口を備えて同様の構造にすることができる真空ポンプであれば、どのような真空ポンプを採用してもよい。

また、本実施形態においては、台座部５と脚部６は、４つ設けられていたが、これに限ることはなく、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、どのような構成でもよい。
さらに、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、台座部５の第１端面５１と吸気部３の端面３ａは離間して形成せず、一体に成型されていてもよい。同様に、脚部６の第２端面６１と排気部４の端面４ａに関しても、一体に成型されていてもよい。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る真空排気システム１０Ｂについて、図面を参照して詳細に説明する。図７に示すように、真空排気システム１０Ｂは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された吸気口１１から吸気した気体を３つの真空排気装置１Ｃ，１Ｄ、１Ｅによって圧縮し、排気口１２から排気するシステムである。
図７、図８に示されているように、真空排気システム１０Ｂを構成する真空排気装置１Ｃ，１Ｄ，１Ｅは、直接重ねて配置されることが可能である。具体的には、真空排気装置１Ｃ，１Ｄ，１Ｅを構成するケーシング同士を直接接続することが可能である。

図８に示すように、３つの真空排気装置１Ｃ〜１Ｅのうち、最前段の真空排気装置１Ｃは、ケーシング内に単一のポンプ室２１Ｃを有するメカニカルブースターポンプである。真空排気装置１Ｃは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器と接続されている。

最前段より後段の真空排気装置１Ｄ、１Ｅは、多段ルーツ真空ポンプであり、各々が複数のポンプ室を備えている。また、真空排気装置１Ｄ、１Ｅは、複数のポンプ室に対して、複数の吸気口及び排気口を備えている。つまり、本実施形態の真空排気装置１Ｄ（１Ｅ）を構成する複数のポンプ室は、それら全てのポンプ室が直列となるように接続されていない。

言い換えれば、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、同じケーシングに形成された他のポンプ室と接続されていない。また、これらポンプ室は、吸気口及び排気口の両方をそれぞれ個別に有している。

真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄは、同じ真空排気装置１Ｄの他のポンプ室２２Ｄ、２３Ｄとは接続されておらず、ポンプ室２１Ｄに直接連通する排気口４１Ｄを介して、真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅと接続されている。
また、真空排気装置１Ｄと真空排気装置１Ｅとは、配管等を使用することなく、符号Ｊで示す平面において直接連結している。

さらに、真空排気システム１０Ｂは、真空排気装置１同士の接続を補う接続ユニット７（マニホールド）を備えている。接続ユニット７は、吸気側経路形成部材（第１接続部材）７１、排気側経路形成部材（第２接続部材）としてのベースユニット７２、配管部材７３、及びバルブユニット７４（バルブ集合体）に分割されている。これらが、真空排気装置１Ｃ〜１Ｅと組み合わされることで、真空排気装置１Ｃ〜１Ｅを構成する複数のポンプ室を接続する接続配管が完成し、真空排気システム１０Ｂとして機能する。

吸気側経路形成部材７１は、真空排気装置１Ｃと真空排気装置１Ｄとの間に介在するように配置されているブロック形状の部材である。吸気側経路形成部材７１には、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃと真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄとを接続する経路７５（図８参照）が形成されているとともに、配管部材７３と真空排気装置１Ｄのポンプ室２２Ｄ、２３Ｄとを接続する吸気側経路（接続経路）７６（図９参照）が形成されている。配管部材７３は、吸気側経路形成部材７１の側部に連結され、配管部材７３内に形成された配管経路７８が吸気側経路７６と接続される。吸気側経路７６は、図８の符号７６ａ、７６ｂに示すような、２つの経路から構成されている。

図１２は、真空排気装置１Ｅ（１Ｄでもよい）を示す上から見た斜視図である。図１３は、これを下から見た斜視図である。真空排気装置１Ｅのケーシングは、上記同様に上下分割構造となっており、上側ケーシング２５Ｅａ、下側ケーシング２５Ｅｂを備えている。上側ケーシング２５Ｅａに、吸気部１０３が設けられ（図１２参照）、下側ケーシング２５Ｅｂに、排気部１０４が設けられている。吸気部１０３の端面１０３ａには、Ｏリング５３が嵌め込まれる以外にも、図示しないガスケットが塗布されている。ガスケットは、隣り合う吸気口３１Ｅ、３２Ｅ、３３Ｅ同士の連通を遮断するためのシール部材である。

この真空排気システム１０Ｂの製造時において、例えばペースト状のガスケットが吸気部１０３の端面１０３ａに塗布された後、このケーシング２５Ｅの端面１０３ａと、真空排気装置１Ｄのケーシングの排気部の端面とが当接することで、これらが接続される。ガスケットの材料としては、シリコン系、フッ素系等の耐腐食性のゴムが用いられるが、これらに限られない。

このように塗布式のガスケットのような、簡易なシール部材が用いられることにより、コストを低減し、かつ、狭い吸気部１０３内でできるだけ広い開口面積を有する吸気口３１Ｅ、３２Ｅ、３３Ｅを確保することができる。このように簡易なシール部材が用いられ、隣り合う吸気口同士で気体のリークがあったとしても、そのリークの程度は、排気速度に対して十分小さいリーク速度であれば問題ない。

以上の説明ではガスケットが、吸気部１０３の端面１０３ａに塗布される例を説明したが、もちろん、排気部１０４の端面１０４ａに塗布されてもよい。
例えば端面１０３ａ及び１０４ａの平面度が高い場合に、気体のリーク速度が十分に小さければ、この塗布式のガスケットは不要である。

ベースユニット７２は、真空排気装置１Ｅの底面、すなわちその下部に連結するように配置されており、真空排気システム１Ｅを構成するポンプ室、配管部材７３、及びバルブユニット７４と接続されている。ベースユニット７２には、真空排気装置１Ｃのポンプ室と配管部材７３とを接続するとともに、真空排気装置１Ｅのポンプ室とバルブユニット７４を接続する排気側経路（接続経路）７７（図９参照）が形成されている。真空排気装置１Ｅ、配管部材７３、及びバルブユニット７４は、いずれもベースユニット７２の上面に接続されており、ベースユニット７２が真空排気システム１０Ｂ全体を支持する構造となっている。

排気側経路７７は、配管部材７３の配管経路７８に接続される２つの経路７７ａ、７７ｂ（図８参照）と、真空排気装置１Ｅのポンプ室２４Ｅと連通する排気口４３Ｅとバルブユニット７４とを接続する経路７７ｃの３つの経路を有する。
配管部材７３は配管形状の部材であり、その内部には、真空排気装置１Ｅの排気口と真空排気装置１Ｄの吸気口を接続する上記の配管経路７８が形成されている。配管経路７８は、吸気側経路形成部材７１の経路７６ａ、７６ｂ（図８参照）に対応した２つの経路に対応して、長さ方向に沿う分割面によって２分割されている。

図１０は、ベースユニット７２の上から見た断面図である。図１１は、図１０に示すＬ−Ｌ線断面図である。ベースユニット７２のブロック７２５の上面には、真空排気装置１Ｅのケーシングに接続されるポンプ接続部７２１と、配管部材７３に接続される配管接続部７２２と、バルブユニット７４に接続されるバルブユニット接続部７２３とが形成されている。これらポンプ接続部７２１、配管接続部７２２、バルブユニット接続部７２３の周囲にそれぞれ形成された周状溝に、Ｏリング等のシール部材７２１ｄ、７２２ｄ、７２３ｄがそれぞれ嵌め込まれている。

ポンプ接続部７２１には、３つの連通口７２１ａ、７２１ｂ、７２１ｃが配列されるように形成されている。これら３つの連通口７２１ａ、７２１ｂ、７２１ｃは、真空排気装置１Ｅの、排気口４１Ｅ、４２Ｅ、４３Ｅと、それぞれ連通している。配管接続部７２２には、２つの連通口７２２ａ、７２２ｂが形成されており、これら連通口７２２ａ、７２２ｂは、配管部材７３の配管経路７８に連通している。また、バルブユニット接続部７２３には、３つの連通口７２３ａ、７２３ｂ、７２３ｃが配列されるように形成されている。

連通口７２１ａ、７２２ａ、７２３ａのすべてが、排気側経路７７のうち経路７７ａと連通している。連通口７２１ｂ、７２２ｂ、７２３ｂのすべてが、排気側経路のうち経路７７ｂと連通している。連通口７２１ｃ、７２３ｃのすべてが、排気側経路のうち経路７７ｃと連通している。これらの構成は、図９も参照すると理解しやすい。

バルブユニット７４は、真空排気システム１０Ｂ全体の排気口である総排気口１２を有している。図１１の断面図に示すように、バルブユニット７４には、複数のバルブ７９（逆止弁）が設けられている。これにより、真空排気装置１Ｅを構成するポンプ室であって、排気口４１Ｅ、４２Ｅ、４３Ｅと直接接続されているポンプ室２１Ｅ、２２Ｅ、２４Ｅのうち任意のポンプ室から個別に排気を可能となる。

バルブユニット７４が設けられることにより、ポンプによる過圧縮を防止し、モータ８による動力伝達のロスを抑えることができる。

複数のバルブ７９は、ボール状でもよいし、圧力を個別の値に調整可能な調整バルブでもよい。各バルブ７９が、個別の圧力に調整可能な調整バルブである場合、適宜その圧力が設定され、ユーザーにより使用される圧力帯域を広げることができる。

このようにベースユニット７２及びバルブユニット７４が、最後段の真空排気装置１Ｅの下部、すなわち、真空排気システム１０Ｂの最下部に配置されている。これにより、真空排気システム１０Ｂの重心をできるだけ下方に配置させることができ、上下積層による多段の真空排気システム１０Ｂの設置の安定性が高めることができる。

次に、図８を参照して本実施形態における各真空排気装置を構成する複数のポンプ室の構成、及びポンプ室の接続順序について説明する。
最上段に位置する真空排気装置１Ｃは、１つのポンプ室２１Ｃを有するメカニカルブースターポンプであり、ポンプ室２１Ｃは、吸気口１１、及び排気口４１Ｃを備えている。
真空排気装置１Ｄは、３つのポンプ室２１Ｄ、２２Ｄ、２３Ｄを有している。３つのポンプ室２１Ｄ、２２Ｄ、２３Ｄは、それぞれ上述した３つの吸気口３１Ｄ、３２Ｄ、３３Ｄ、及び３つの排気口４１Ｄ、４２Ｄ、４３Ｄを備えている。
真空排気装置１Ｅは、４つのポンプ室２１Ｅ、２２Ｅ、２３Ｅ、２４Ｅを備えており、３つの吸気口３１Ｅ、３２Ｅ、３３Ｅ、及び３つの排気口４１Ｅ、４２Ｅ、４３Ｅを備えている。真空排気装置１Ｅの４つのポンプ室のうち、２つのポンプ室２３Ｅ、２４Ｅは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｅを構成するケーシングの内部で直接接続されている。

接続ユニット７は、吸気側経路形成部材７１とベースユニット７２と配管部材７３とが協働して、真空排気装置１Ｅの排気口４１Ｅと真空排気装置１Ｄの吸気口３２Ｄとを接続するように、構成されている。同様に接続ユニット７は、真空排気装置１Ｅの排気口４２Ｅと真空排気装置１Ｄの吸気口３３Ｄとを接続するように構成されている。
さらに、接続ユニット７は、真空排気装置１Ｅの排気口４３Ｅとバルブユニット７４とを接続するように構成されている。

次に、図８を参照して、実際の気体の流れを説明する。
まず、吸気口１１から真空排気装置１Ｃに流入した気体が、ポンプ室２１Ｃで圧縮され、排気口４１Ｃから排気される。次に、気体は、真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄに流入し、圧縮される。次いで、気体は、ポンプ室２１Ｄと直接接続されている真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅに流入する。ポンプ室２１Ｅから排気された気体は、ベースユニット７２に形成された排気側経路７７の経路７７ａに流入する。以上の気体の流れを図８の矢印Ｆ１に示す。

ベースユニット７２に流入した気体は、配管部材７３を介して、真空排気装置１Ｄのポンプ室２２Ｄに流入する。図９に、ベースユニット７２から配管部材７３を介して、気体が真空排気装置１Ｄの別のポンプ室に戻される流れを示す（矢印Ｆ４）。
ポンプ室２２Ｄに流入した気体は、図８の矢印Ｆ２に示すように、ベースユニット７２に至る経路で圧縮される。次いで、図８の矢印Ｆ３で示される経路で圧縮された気体は、最終的に、バルブユニット７４に導かれ、排気口１２から排気される。

また、バルブユニット７４に設けられた複数のバルブ７９を操作することによって、真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅ又は２２Ｅから排気することが可能である。

上記実施形態によれば、連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置１Ｄの吸気口３２Ｄ，３３Ｄと、他端側に配置された真空排気装置１Ｅの排気口４１Ｅ，４２Ｅとを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置１Ｅから排気された気体を一端側に配置された真空排気装置１Ｄに流入させるような構成とした。
これにより、複数のポンプ室を有する複数の真空排気装置を接続して気体の圧縮を行う際に、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、第１の実施形態の効果に加え、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。

また、バルブユニット７４をベースユニット７２に直接接続することで、任意のポンプ室からの排気が容易となるため、煩雑な配管接続が不要になって装置の最適化と小型化を両立できる。

（第３実施形態）
図１４は、本発明の第３の実施形態に係る真空排気システムを示す断面図である。図１５は、その真空排気システムの接続ユニットの一部を示す側面図であり、各真空排気装置のロータの回転軸に直交する方向で見た図である。本実施形態に係る真空排気システム１０Ｃと、例えば上記第２の実施形態に係る真空排気システム１０Ｂと異なる点は、真空排気システム１０Ｃが冷却機構を備えている点である。

冷却機構は、例えば冷媒を流通させる冷却管１５である。冷却管１５は、真空排気システム１０Ｃの各ケーシング２５Ｃ、２５Ｄ、２５Ｅの複数の箇所、モータ８のモータハウジング８ａ、また、図１５に示すように配管部材１７３に設けられている。ケーシング２５Ｃ、２５Ｄ、２５Ｅに設けられた冷却管１５は、例えばベアリングの近傍及び隔壁１６等に挿通されるように設けられている。隔壁１６は、真空排気装置１Ｄ（１Ｅ）において、１つのケーシング２５Ｄ（２５Ｅ）内での複数のポンプ室２１Ｄ〜２３Ｄ（２１Ｅ〜２３Ｅ）を区画する機能を有する。このような冷却機構によって、真空排気システム１０Ｃを効率良く冷却することができる。

特に、隔壁１６に冷却管１５が設けられることにより、冷却しにくいケーシングの内部まで冷却することができる。

図１５に示すように、配管部材１７３の側面には、冷却管１５の一部を保持する保持ボックス１７３ａが接続されている。冷却管１５は、この保持ボックス１７３ａ内で、１回ターンするようなＵ字形状に形成されている。しかし、冷却管１５は、Ｕ字形状に限られず、その形状や長さの設計の変更が可能である。

なお、上記のように複数箇所に設けられた冷却管１５は、入口及び出口を１つずつ有する１本の管でつながるように、すなわち１系統の流路として構成されていてもよい。あるいは、冷却管１５は、複数の系統の流路で構成されるように、複数の管で構成されていてもよい。

（第４の実施形態）
図１６は、本発明の第４の実施形態を説明するための図であり、真空排気システムの一部の構造を示す断面図である。これは、上記第２の実施形態に係るベースユニット７２に冷却機構を加えたベースユニット１７２である。

この冷却機構は、冷却管１５の他、排気側経路１７７ａ、１７７ｂ、１７７ｃにそれぞれ設けられた冷却フィン１１５を有する。冷却フィン１１５は、例えばこのベースユニット１７２のブロックに一体成型により形成される。冷却管１５は、それら排気側経路１７７ａ、１７７ｂ、１７７ｃの下部に配置され、ベースユニット１７２のブロックに挿通されて設けられている。

真空排気システムでは、排気側で気体が圧縮されるため、吸気側に比べ排気側の方が高温になる。冷却機構が、真空排気システムの排気側であるベースユニットに設けられることにより、気体の圧縮により発生する熱を効率的に冷却することができる。

本実施形態では、冷却機構として冷却フィン１１５が設けられたが、これはなくてもよい。

本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。

ケーシング２５の外形状は、楕円円筒形状のみに限ることはなく、特に、小排気量の真空ポンプであれば、ポンプ室の形状に依存しない形状、例えば、ブロック形状としてもよい。

上記実施形態では、複数の真空排気装置が縦方向に積み上げられて配置されていたが、横方向に積まれてもよいし、縦及び横の両方に配置されていてもよい。

上記実施形態に係る真空排気システムは、２つまたは３つの真空排気装置を備えていたが、縦及び／または横方向に配列されて接続された４つ以上の真空排気装置を備えていてもよい。

上記のように、３つ以上、あるいは、４つ以上の真空排気装置が設けられる形態に、上記第２（または第３、４）の実施形態を適用する場合、それら４つ以上の真空排気装置のうち隣接する２つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、配管部材７３のような外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。あるいは、それら４つ以上の排気装置のうち隣接しない２つの真空排気装置のケーシングを互いに接続するように、配管部材７３のような外部配管の機能を有する配管部材が接続されていてもよい。

真空排気システムが、４つ以上の真空排気装置を備える場合に、例えば配管部材７３のような外部配管の機能を有する配管部材が複数設けられていてもよい。

図１６に示した冷却機構が、例えば、図８または１４に示したように、最前段の真空排気装置１Ｃと、その次の段の真空排気装置１Ｄとの間に設けられていてもよい。

図１６に示した冷却機構で設けられた冷却フィンは、上記した隔壁１６に形成されていてもよい。

１Ａ〜１Ｅ 真空排気装置
３、１０３ 吸気部
３ａ、１０３ａ 端面
４、１０４ 排気部
４ａ、１０４ａ 端面
５ 台座部
６ 脚部
２１〜２４ ポンプ室
２５Ａ，２５Ｂ ケーシング
２５Ｂａ、２５Ｅａ 上側ケーシング
２５Ｂｂ、２５Ｅｂ 下側ケーシング
３１〜３３ 吸気口
４１〜４３ 排気口
５１ 第１端面
５２ 突起部（位置決め機構）
５３ 封止部材
６１ 第２端面
６２ 位置決め穴（位置決め機構）

Claims (24)

1. ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングとをそれぞれ備えた真空排気装置の連結構造であって、
   前記各真空排気装置は、前記各ケーシングに接続されたモータをそれぞれ備え、
   前記連結構造は、
   前記ケーシングの第１側に形成された第１端面と、
   前記ケーシングの、前記第１側とは反対側の第２側に形成された第２端面と、
   前記第１端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第１側に形成された複数の台座部と、
   前記第２端面をそれぞれ含み、前記ケーシングの前記第２側に形成された複数の脚部とを備え、
   複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置に設けられた前記第２端面と、第２の真空排気装置に設けられた前記第１端面とが接するように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置され、
   前記第１端面と前記第２端面とを締結することにより、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第１の真空排気装置及び前記第２の真空排気装置同士が連結される
   連結構造。
2. 請求項１に記載の連結構造であって、
   前記複数の真空排気装置は、
   前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第１側に形成された吸気部と、
   前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第２側に形成された排気部とを備え、
   前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置され、
   前記第１端面及び前記第２端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通する
   連結構造。
3. 請求項１または２に記載の連結構造であって、
   前記複数の台座部と、前記吸気部とは独立して前記ケーシングに形成され、
   前記複数の脚部と、前記排気部とは独立して前記ケーシングに形成されている
   連結構造。
4. 請求項３に記載の連結構造であって、
   前記吸気部の前記吸気部端面と、前記複数の台座部とは、同一平面上に形成され、
   前記排気部の前記排気部端面と、前記複数の脚部とは、同一平面上に形成されている
   連結構造。
   連結構造。
5. 請求項１から４のうちいずれか１項に記載の連結構造であって、
   前記複数の台座部の前記第１端面または前記複数の脚部の前記第２端面に設けられた、凹凸形状を有する位置決め機構をさらに具備する
   連結構造。
6. 連結された複数の真空排気装置を備えた真空排気システムであって、
   前記複数の真空排気装置は、ポンプ室と、前記ポンプ室を画定するケーシングと、前記ケーシングに接続されたモータとをそれぞれ備え、
   前記ケーシングは、前記ケーシングの第１側に形成された第１端面と、前記ケーシングの、前記第１側とは反対側の第２側に形成された第２端面とを有し、
   複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置に設けられた前記第２端面と、第２の真空排気装置に設けられた前記第１端面とが接するように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングが直接重ねられて配置され、
   前記第１端面と前記第２端面とを締結することにより、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシングの間で気体が流通可能に、前記第１の真空排気装置及び前記第２の真空排気装置同士が連結され、
   前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に設けられ、前記複数の真空排気装置のうち、真空排気の対象機器に接続された最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの１つに備えられた前記ポンプ室と、前記複数の真空排気装置のうち最後段の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる接続ユニットをさらに備え、
   前記複数の真空排気装置は、
   前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの吸気口と、吸気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第１側に形成された吸気部と、
   前記ポンプ室と連通する少なくとも１つの排気口と、排気部端面とを有し、前記ケーシングの前記第２側に形成された排気部とさらに備え、
   前記吸気部の前記吸気部端面と前記排気部の前記排気部端面とが接して重なるように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシング及び前記第２の真空排気装置の前記ケーシング同士が直接重ねられて配置され、
   前記第１端面及び前記第２端面の締結により、前記吸気部端面と前記排気部端面とが直接接続され、前記吸気口と前記排気口とが連通し、
   前記接続ユニットは、
   前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する吸気側経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続された吸気側経路形成部材と、
   前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する排気側経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続された排気側経路形成部材と、
   前記吸気側経路及び前記排気側経路に連通する配管経路を有し、前記吸気側経路形成部材及び前記排気側経路形成部材に接続された配管部材と
   を含む
   真空排気システム。
7. 請求項６に記載の真空排気システムであって、
   少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構をさらに備え、
   前記冷却機構は、前記排気側経路形成部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられている
   真空排気システム。
8. 請求項６または７に記載の真空排気システムであって、
   前記複数の真空排気装置は、積まれるように配置され、
   前記排気側経路形成部材は、前記複数の真空排気装置のうち最下部である前記最後段の真空排気装置の下部に配置されている
   真空排気システム。
9. 連結された複数の真空排気装置を備えた真空排気システムであって、
   前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口と、前記ケーシングに接続されたモータとをそれぞれ有し、
   前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の前記ポンプ室と、第２の真空排気装置の前記ポンプ室とが連通するように、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとが直接接続され、
   前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に設けられ、前記複数の真空排気装置のうち、真空排気の対象機器に接続された最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの１つに備えられた前記ポンプ室と、前記複数の真空排気装置のうち最後段の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる接続ユニットをさらに備え、
   前記接続ユニットは、
   前記最後段の真空排気装置の前記排気口に連通する排気側経路を有し、前記最後段の真空排気装置の前記ケーシングに接続された排気側経路形成部材と、
   前記排気側経路と、最前段の真空排気装置より後段の真空排気装置のうちの１つの前記吸気口とを連通させる経路を有し、前記排気側経路形成部材に接続された配管部材と
   を含む
   真空排気システム。
10. 請求項９に記載の真空排気システムであって、
    少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構をさらに備え、
    前記冷却機構は、前記排気側経路形成部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられている
    真空排気システム。
11. 請求項９または１０に記載の真空排気システムであって、
    前記複数の真空排気装置は、積まれるように配置され、
    前記排気側経路形成部材は、前記複数の真空排気装置のうち最下部である前記最後段の真空排気装置の下部に配置されている
    真空排気システム。
12. 請求項９に記載の真空排気システムであって、
    前記接続ユニットは、前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室と前記第２の真空排気装置の前記ポンプ室とを連通させる
    真空排気システム。
13. 請求項１０に記載の真空排気システムであって、
    前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置は、この少なくとも１つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有し、
    前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられている
    真空排気システム。
14. 複数の真空排気装置の連結構造であって、
    前記複数の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口と、前記ケーシングに接続されたモータとをそれぞれ有し、
    前記複数の真空排気装置の前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置され、
    前記連結構造は、
    前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有し、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続された接続ユニットを備える
    連結構造。
15. 請求項１４に記載の連結構造であって、
    前記接続ユニットは、
    前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する、前記接続経路のうちの第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第１接続部材と、
    前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する、前記接続経路のうちの第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第２接続部材と、
    前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する、前記接続経路のうちの配管経路を有し、前記第１接続部材及び前記第２接続部材に接続された配管部材とを含む
    連結構造。
16. 請求項１５に記載の連結構造であって、
    前記第１接続部材、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも１つは、一体的に形成された部材である
    連結構造。
17. 請求項１５または１６に記載の連結構造であって、
    前記第２接続部材は、複数の第２接続経路を有し、
    前記連結構造は、
    前記複数の第２接続経路にそれぞれ設けられた複数のバルブと、前記複数のバルブを介して前記複数の第２接続経路に連通する総排気口とを有するバルブユニットをさらに具備する
    連結構造。
18. 請求項１５から１７のうちいずれか１項に記載の連結構造であって、
    前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置を載置させる台座である
    連結構造。
19. 少なくとも１つのポンプ室を形成するケーシングと、前記ケーシングに設けられ、前記ポンプ室に連通する吸気口及び排気口と、前記ケーシングに接続されたモータとをそれぞれ有し、前記ポンプ室同士が連通するように、前記ケーシング同士が直接連結して配置された、複数の真空排気装置と、
    前記複数の真空排気装置のうち第１の真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、第２の真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを連通させ、前記第２の真空排気装置の前記排気口から排気された気体を、前記第１の真空排気装置の前記吸気口を介して前記第１の真空排気装置の前記ポンプ室に流入させる接続経路を有し、前記複数の真空排気装置の各ケーシングの外部に配置され、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングと、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングとに接続された接続ユニットと
    を備える真空排気システム。
20. 請求項１９に記載の真空排気システムであって、
    少なくとも前記接続ユニットに設けられた冷却機構をさらに具備する
    真空排気システム。
21. 請求項２０に記載の真空排気システムであって、
    前記接続ユニットは、
    前記第１の真空排気装置の前記吸気口に連通する第１接続経路を有し、前記第１の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第１接続部材と、
    前記第２の真空排気装置の前記排気口に連通する第２接続経路を有し、前記第２の真空排気装置の前記ケーシングに接続された第２接続部材と、
    前記第１接続経路及び前記第２接続経路に連通する配管経路を有し、前記第１接続部材及び前記第２接続部材に接続された配管部材とを含む
    真空排気システム。
22. 請求項２１に記載の真空排気システムであって、
    前記冷却機構は、前記第２接続部材及び前記配管部材のうち少なくとも一方に設けられている
    真空排気システム。
23. 請求項２１または２２に記載の真空排気システムであって、
    前記第２の真空排気装置が、前記第１の真空排気装置より下部に配置されるように、前記複数の真空排気装置が積まれるように配置され、
    前記第２接続部材は、前記第２の真空排気装置の下部に配置されている
    真空排気システム。
24. 請求項２０から２３のうちいずれか１項に記載の真空排気システムであって、
    前記複数の真空排気装置のうち少なくとも１つの真空排気装置は、この少なくとも１つの真空排気装置の前記ケーシング内で複数のポンプ室を区画するように、前記ケーシング内に形成された隔壁を有し、
    前記冷却機構は、さらに前記隔壁に設けられている
    真空排気システム。

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