JP7201275B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
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Description
ポンプ室と、
前記ポンプ室内に、平行な回転中心線周りに回転可能に配置した一対のポンプロータと、
各ポンプロータにおける前記回転中心線の方向の両側のロータ端面と、
前記ポンプ室における前記回転中心線の方向の両側に位置し、前記ロータ端面のそれぞれに対峙しているポンプ室内側端面と
を備えており、
前記ロータ端面のそれぞれには、ロータ端面凸部およびロータ端面凹部が形成されており、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面の外周縁に沿って当該外周縁の全周に亘って、外周縁側凸部が形成されており、
前記ロータ端面凹部は、前記ロータ端面における前記外周縁側凸部に囲まれた部分に形成されており、
対峙する前記ロータ端面と前記ポンプ室内側端面との間において、前記ロータ端面凸部は、第1隙間で、前記ポンプ室内側端面に対峙し、前記ロータ端面凹部は、前記第1隙間よりも広い第2隙間で前記ポンプ室内側端面に対峙している。
図1は本実施の形態に係る2段真空ポンプを示し、(a)はポンプ中心軸線を含む水平面(図1(c)のA-A線の位置)で切断した場合の概略断面図であり、図1(b)は、ポンプ中心軸線を含む水平面(図1(c)のB-B線の位置)で切断した場合の概略断面図であり、図1(c)はモータ側の端面図である。
図2(a)は真空ポンプ1の後段のポンプロータ30を示す端面図であり、図2(b)はその断面図であり、図2(c)はその反対側の端面図である。図2(d)および(e)は、モータ側サイドプレート7を示す端面図および断面図である。また、図3(a)は後段のポンプ室2bを示す概略部分断面図であり、図3(b)は後段のポンプ室2bを示す説明図である。
Claims (6)
- ポンプ室と、
前記ポンプ室内に、平行な回転中心線周りに回転可能に配置した一対のポンプロータと、
各ポンプロータにおける前記回転中心線の方向の両側のロータ端面と、
前記ポンプ室における前記回転中心線の方向の両側に位置し、前記ロータ端面のそれぞれに対峙しているポンプ室内側端面と
を備えており、
前記ロータ端面のそれぞれには、ロータ端面凸部およびロータ端面凹部が形成されており、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面の外周縁に沿って当該外周縁の全周に亘って、外周縁側凸部が形成されており、
前記ロータ端面凹部は、前記ロータ端面における前記外周縁側凸部に囲まれた部分に形成されており、
相互に対峙する前記ロータ端面と前記ポンプ室内側端面との間において、前記ロータ端面凸部は、第1隙間で、前記ポンプ室内側端面に対峙し、前記ロータ端面凹部は、前記第1隙間よりも広い第2隙間で前記ポンプ室内側端面に対峙しており、
前記ポンプロータの各ロータ端面および前記ポンプ室内側端面には、ロータ軸が貫通して延びる軸穴がそれぞれ開口しており、
前記ポンプ室は、前記ポンプロータの前記回転中心線に直交する方向の一方の側において吸気側に連通し、他方の側において排気側に連通しており、
前記ポンプ室内側端面には、凹部が形成されており、
前記凹部は、前記ポンプ室内側端面において、前記ポンプロータの前記回転中心線に対して前記排気側であって、前記軸穴から離れた位置に形成されており、
前記凹部は、前記第1隙間よりも広い第3隙間で、前記ロータ端面凸部に対峙する真空ポンプ。 - 請求項1において、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面に開口している前記軸穴の全周を取り囲む状態に、内周縁側凸部が形成されており、
前記ロータ端面凹部は、前記外周縁側凸部と前記内周縁側凸部との間に形成されている真空ポンプ。 - 請求項1において、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面の長径位置において、当該ロータ端面の一方の外周縁端から他方の外周縁まで直線状に延びる直線状凸部が形成されており、
前記直線状凸部は、前記外周縁側凸部よりも前記ポンプ室内側端面の側に突出した端面部分である真空ポンプ。 - ポンプ室と、
前記ポンプ室内に、平行な回転中心線周りに回転可能に配置した一対のポンプロータと、
各ポンプロータにおける前記回転中心線の方向の両側のロータ端面と、
前記ポンプ室における前記回転中心線の方向の両側に位置し、前記ロータ端面のそれぞれに対峙しているポンプ室内側端面と
を備えており、
前記ロータ端面のそれぞれには、ロータ端面凸部およびロータ端面凹部が形成されており、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面の外周縁に沿って当該外周縁の全周に亘って、外周縁側凸部が形成されており、
前記ロータ端面凹部は、前記ロータ端面における前記外周縁側凸部に囲まれた部分に形成されており、
相互に対峙する前記ロータ端面と前記ポンプ室内側端面との間において、前記ロータ端面凸部は、第1隙間で、前記ポンプ室内側端面に対峙し、前記ロータ端面凹部は、前記第1隙間よりも広い第2隙間で前記ポンプ室内側端面に対峙しており、
前記ロータ端面凸部として、前記ロータ端面の長径位置において、当該ロータ端面の一方の外周縁端から他方の外周縁まで直線状に延びる直線状凸部が形成されており、
前記直線状凸部は、前記外周縁側凸部よりも前記ポンプ室内側端面の側に突出した端面部分である真空ポンプ。 - 請求項1ないし4のうちのいずれか一つの項において、
筒状のケーシング本体と、前記ケーシング本体の両端に取り付けたサイドプレートとを備えており、
前記ケーシング本体の内周面と、前記サイドプレートのそれぞれのプレート内側端面との間に、前記ポンプ室が形成されており、
前記サイドプレートのそれぞれの前記プレート内側端面によって、前記ポンプ室内側端面が規定されている真空ポンプ。 - 請求項1ないし4のうちのいずれか一つの項において、
前記ポンプ室として、少なくとも、吸気側の第1ポンプ室と排気側の第2ポンプ室を備えており、
前記第1ポンプ室および前記第2ポンプ室のそれぞれに、相互に対峙する前記ロータ端面および前記ポンプ室内側端面が備わっており、前記ロータ端面のそれぞれに、前記ロータ端面凸部および前記ロータ端面凹部が形成されている真空ポンプ。
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