CN116753167B - 转子及真空泵 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种转子及真空泵，涉及真空泵技术领域，用以改善真空泵中杂质堆积，影响转子正常工作的问题。所述转子组，应用于真空泵，所述转子组转动设于所述真空泵内，其特征在于，所述转子组包括至少一对彼此转动接触的转子，所述转子包括：第一侧面；第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对且平行设置；周向表面，所述周向表面设于所述第一侧面和所述第二侧面之间；其中，所述第一侧面上开设有若干第一集尘槽，所述第二侧面上开设有若干第二集尘槽，所述周向表面上开设有若干第三集尘槽。

Description

转子及真空泵

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种转子及真空泵。

背景技术

真空泵，包括多级泵和单级泵，多级泵是指包括一对各自支承多个转子的驱动轴的泵。真空泵的外壳提供了定子，在泵的使用过程中，驱动轴和转子在定子内旋转。定子包括气体入口、气体出口和多个泵送室，且相邻的泵送室被横向壁分开。气流管道将来自一个泵送室的室出口与相邻的下游泵送室的室入口连接在一起。每一个泵送室罩住一对转子，从而使得在转子之间并且在每一个转子与泵送室的内壁之间存在较小的余隙。典型地，转子具有罗茨(Roots)或诺斯(Northey(“爪形”))型线中的一种型线，并且转子的型线可沿着驱动轴而变化。

在转子转动过程中，所带动的气流中可能会存在灰尘、颗粒物等，随着真空泵使用时间增加，泵体内这类杂质会不断增多，并堆积在定子的各级腔室中。这些杂质会随转子转动而受到转子之间的挤压，久而久之，可能会对转子造成损伤，甚至是造成转子转动困难，继而导致整个真空泵损坏。

发明内容

有鉴于此，本申请提供一种转子及真空泵，用以改善真空泵中杂质堆积，影响转子正常工作的问题。

而本申请为解决上述技术问题所采用的技术方案为：

第一方面，本申请提供了一种转子组，应用于真空泵，所述转子组转动设于所述真空泵内，所述转子组包括至少一对彼此转动接触的转子，所述转子包括：

第一侧面；

第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对且平行设置；

周向表面，所述周向表面设于所述第一侧面和所述第二侧面之间；

其中，所述第一侧面上开设有若干第一集尘槽，所述第二侧面上开设有若干第二集尘槽，所述周向表面上开设有若干第三集尘槽。

在本申请的部分实施例中，所述一对彼此转动接触的转子分别定义为第一转子和第二转子，所述第一转子上的第三集尘槽所开设的位置不同于所述第二转子上的第三集尘槽所开设的位置。

在本申请的部分实施例中，沿所述第一侧面朝向所述第二侧面投影，所述第一集尘槽的投影与所述第二集尘槽的投影不重合。

在本申请的部分实施例中，所述转子组包括多对彼此转动接触的转子，所述多对彼此转动接触的转子沿所述第一侧面朝向所述第二侧面的方向排布设置。

在本申请的部分实施例中，所述第一集尘槽的内侧壁开设有第一集尘子槽，所述第二集尘槽的内侧壁开设有第二集尘子槽，所述第一集尘子槽和所述第二集尘子槽开设的深度以及形状相同。

在本申请的部分实施例中，所述第一集尘子槽沿所述第一集尘槽的内壁周向开设，且所述第一集尘子槽设有多个，多个所述第一集尘子槽沿所述第一集尘槽的深度方向排列设置。

在本申请的部分实施例中，所述转子组还包括第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴平行设置，至少一转子套设于所述第一转轴上，与套设于所述第一转轴上的一转子转动接触的另一转子套设于所述第二转轴上。

第二方面，本申请提供了一种真空泵，所述真空泵包括：

电机组；

固定端，所述固定端与所述电机组相对设置；

齿轮组，所述齿轮组与所述电机组连接并位于所述电机组和所述固定端之间；

定子组，所述定子组与所述齿轮组背离所述电机组的一端连接并位于所述电机组和所述齿轮组之间；

如第一方面所述的转子组，所述转子组设于所述定子组内并与所述齿轮组传动连接。

在本申请的部分实施例中，所述定子组包括多级定子以及若干第一连接件，所述多级定子之间通过所述连接件连接并沿所述固定端朝向所述电机组的方向排列设置。

在本申请的部分实施例中，每一级所述定子均开设有第一转子腔和第二转子腔，所述第一转子转动设于所述第一转子腔内，所述第二转子转动设于所述第二转子腔内。

综上，由于采用了上述技术方案，本申请至少包括如下有益效果：

本申请所提供的一种转子及真空泵，主要通过在转子的第一侧面和第二侧面上分别开设有若干第一集尘槽和第二集尘槽，利用第一集尘槽和第二集尘槽收集真空泵在转动时一些随空气进入的杂质，避免过多的杂质影响到真空泵的正常工作。以及，第一集尘槽和第二集尘槽分别设置在相对且平行的两个侧面，增加能够收集杂质的位置，且也有利于确保转子转动的动平衡。本申请还通过在周向表面开设第三集尘槽，以及一个转子组至少有一对彼此转动接触的转子，在一对转子转动接触过程中，便能够将部分制程杂质堆积至第三集尘槽内，尤其是通过转子转动，彼此接触，更有利于杂质进入至第三集尘槽内，避免杂质影响两个转子的正常转动。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本申请的一些实施例，而非对本申请的限制，其中：

图1为本申请实施例中所提供的一种真空泵的结构示意图；

图2为本申请实施例中所提供的一视角下转子的结构示意图；

图3为本申请实施例中所提供的另一视角下转子的结构示意图；

图4为本申请实施例中所提供的两个转子在真空泵中转动的结构示意图。

附图标记说明：

1、真空泵；11、电机组；12、固定端；13、齿轮组；14、定子组；15、转子组；151、转子；1511、第一侧面；15111、第一集尘槽；1512、第二侧面；15121、第二集尘槽；1513、周向表面；15131、第三集尘槽。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下获得的所有其他实施例，都属于本申请所保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，词语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。在本申请的描述中，“多个”的含义为两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为示例性”的任何实施例不一定被解释为比其他实施例更优选或更具优势。为使本领域任何技术人员能够实现和使用本申请，给出了以下描述。在以下描述，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本申请。在其他实例中，不会对已知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本申请的描述变得晦涩。因此，本申请并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理的最广范围相一致。

真空泵产生真空的工作原理主要是利用运动部件的旋转或者进给运动，产生封闭空间的容积差，实现抽气和排气的过程，从而产生抽真空的过程。真空泵工作时，动力驱动联轴器，靠转子带动叶片、端子在壳体内腔中旋转，从而产生封闭容积的变化，实现抽气、排气过程。目前，应用较为广泛的是罗茨转子，其主要通过两个能够彼此啮合的罗茨转子运动，使转子和泵体内腔之间形成周期性变化的工作腔容积，实现气体的吸入、运输、压缩和排出，使泵的进口处形成真空。从以上技术可看出，真空泵产生真空的首要且必要条件即是转子转动以带动气体流动形成真空。在真空泵转动过程中，会吸入空气，而空气中可能会携带杂质进入至真空泵内，久而久之，随着杂质的增多，便会对转子的转动造成影响。

例如：在化学气相沉积等工艺过程中，工艺气体被供应至工艺室从而在衬底的表面上面形成沉积层。由于工艺气体在工艺室中的存留时间相对较短，因此在沉积工艺过程中仅消耗掉较少部分的被供应至工艺室的气体。未被消耗掉的工艺气体随后使用真空泵与来自工艺中的一种或更多种副产物从工艺室中泵送出来。从工艺室中泵送出来的气流中可包含能够导致泵受到损伤的物质。如一些沉积工艺产生固体颗粒，例如SiO2颗粒，所述固体颗粒与未被消耗掉的工艺气体一起从工艺室中被排出。另外，一些沉积工艺使用了能够冷凝和/或收集在泵中的汽化的液体前驱体例如TEOS。作为另一个实例，如果未被消耗掉的工艺气体或副产物是可冷凝的，那么在工艺室与真空泵之间的真空管路内或者在真空泵自身内发生在低温表面上的冷凝可导致产生大量的粉末或灰尘通过所述泵。

通过双轴式真空泵的任何固体或液体物料在泵的转子之间被加压，随着时间的流逝，这样可能会对转子造成损伤，或者在一些实例中导致转子无法转动，被杂质等锁止。

为此，请参见图2至图4，本申请提供了一种转子组15，该转子组15，应用于真空泵1，且转子组15转动设于真空泵1内。转子组15包括至少一对彼此转动接触的转子151，所谓一对转子151，是指两个转子151，且这两个转子151相对设置，该相对设置是指两个转子151在这两个转子151中的任一转子151的径向方向上呈相对设置。该转子151包括：

第一侧面1511；

第二侧面1512，所述第二侧面1512与所述第一侧面1511相对且平行设置；

周向表面1513，所述周向表面1513设于所述第一侧面1511和所述第二侧面1512之间；

其中，所述第一侧面1511上开设有若干第一集尘槽15111，所述第二侧面1512上开设有若干第二集尘槽15121，所述周向表面1513上开设有若干第三集尘槽15131。

本申请所提供的技术方案主要是通过在转子151的第一侧面1511和第二侧面1512上分别开设有若干第一集尘槽15111和第二集尘槽15121，利用第一集尘槽15111和第二集尘槽15121收集真空泵1在转动时一些随空气进入的杂质，避免过多的杂质影响到真空泵1的正常工作。以及，第一集尘槽15111和第二集尘槽15121分别设置在相对且平行的两个侧面，增加能够收集杂质的位置，且也有利于确保转子151转动的动平衡。本申请还通过在周向表面1513开设第三集尘槽15131，以及一个转子组15至少有一对彼此转动接触的转子151，在一对转子151转动接触过程中，便能够将部分制程杂质堆积至第三集尘槽15131内，尤其是通过转子151转动，彼此接触，更有利于杂质进入至第三集尘槽15131内，避免杂质影响两个转子151的正常转动。

需要说明的是，该转子组15所应用的真空泵1主要是双轴式真空泵1，但也可用于单轴式真空泵1。若转子组15用于双轴式真空泵1，除了第一集尘槽15111、第二集尘槽15121以及第三集尘槽15131自身具有集尘作用外，还能通过一对转子151的彼此转动，达到辅助杂质进入至各集尘槽内，尤其是第三集尘槽15131。15131若转子组15用于单轴式真空泵1，那么集尘作用便主要单纯依靠各集尘槽自身槽式结构进行收集杂质。除此以外，第一集尘槽15111、第二集尘槽15121以及第三集尘槽15131的设置，除了能够起到集尘、堆积杂质的作用外，还具有减轻重量，降低成本，以及通过减轻转子151的重量，相较于未开槽的转子151而言，在相同转速下，转动惯量减小，对电机的转矩、功率等性能要求降低，电机使用寿命更长，以及整个真空泵1的振动更小，真空泵1的寿命也能得到延长。

在一些实施例中，将一对彼此转动接触的转子151分别定义为第一转子151和第二转子151。第一转子151上的第三集尘槽15131所开设的位置不同于第二转子151上的第三集尘槽15131所开设的位置。换言之，即第一转子151和第二转子151在转动时，第一转子151上的第三集尘槽15131与第二转子151上的第三集尘槽15131之间不会重叠，从而减少甚至消除因通过两转子151的第三集尘槽15131重叠部分导致的转子151之间的气体泄漏量。以及，对于第一转子151上的第三集尘槽15131和第二转子151上的第三集尘槽15131所开设的位置不同，在第一转子151和第二转子151彼此转动时，更有利于空气中携带的杂质在受到一转子151的周向表面1513挤压而进入至另一转子151的第三集尘槽15131内，更加方便收集杂质。

进一步地，对于第一转子151上的第三集尘槽15131和第二转子151上的第三集尘槽15131的分布位置不同还可以进一步细化限定，具体是：在第一转子151和第二转子151同步转动过程中，第一转子151上的第三集尘槽15131和第二转子151上的第三集尘槽15131呈错位设置，在确保第一转子151和第二转子151转动时，各自的第三集尘槽15131不会重合的前提下，相较于第三集尘槽15131其他位置分布方式，能够开设更多的第三集尘槽15131，对杂质等可收集堆积的容量更多，以及减轻更多的质量，降低转子151转动对电机以及转轴的负担。

在一些实施例中，沿第一侧面1511朝向第二侧面1512的方向投影，第一集尘槽15111的投影与第二集尘槽15121的投影不重合。多个第一集尘槽15111和多个第二集尘槽15121的投影不重合，有利于在开槽时，降低槽被开设为通孔的风险，即若第一集尘槽15111和第二集尘槽15121开设的位置对应，那么在第一侧面1511开设第一集尘槽15111和在第二侧面1512开设第二集尘槽15121便有可能因为槽的深度没有控制好而导致两个集尘槽直接连通变为通孔，影响杂质收集堆积效果。以及，通过限定第一集尘槽15111与第二集尘槽15121的投影不重合，对于单个集尘槽而言，且相较于两侧集尘槽位置对应的方式而言，第一集尘槽15111和第二集尘槽15121均能够开设更深的深度，从而增加第一集尘槽15111和第二集尘槽15121收集杂质的容量。

在一些实施例中，转子组15包括多对彼此转动接触的转子151。多对彼此转动接触的转子151沿第一侧面1511朝向第二侧面1512的方向排布设置，第一侧面1511朝向第二侧面1512的方向即为转轴的轴向方向，使多对转子151沿转轴的轴向方向排列，形成多级转子151。每一级转子151在转动过程中，均能够带走一部分空气，并将剩余未带走的空气传递至下一级转子151中，逐级带走定子腔内的空气，从而形成真空。

在一些实施例中，第一集尘槽15111的内侧壁开设有第一集尘子槽，通过利用第一集尘子槽，进一步对进入至第一集尘槽15111的杂质进行收集，提高第一集尘槽15111内容纳杂质的容积，也进一步降低转子151的质量。对于在第一集尘槽15111的内侧壁开设第一集尘子槽包括在形成第一集尘槽15111的每一壁面均可开设第一集尘子槽，开设位置没有特殊限制，对于工艺上没有额外开设位置要求，便于生产制造。同理，第二集尘槽15121的内侧壁上开设第二集尘子槽。通过利用第二集尘子槽，进一步对进入至第二集尘槽15121的杂质进行收集，提高第二集尘槽15121内容纳杂质的容积，也进一步降低转子151的质量。对于在第二集尘槽15121的内侧壁开设第二集尘子槽包括在形成第二集尘槽15121的每一壁面均可开设第二集尘子槽，开设位置没有特殊限制，对于工艺上没有额外开设位置要求，便于生产制造。

进一步地，第一集尘子槽和第二集尘子槽所开设的深度以及形状均相同，有利于保持转子151自身的动平衡，避免因开设子槽，导致转子151动平衡受到过大的影响。第一集尘子槽和第二集尘子槽开设的深度和形状均相同，能够有效提高转子151的动平衡，提高转子151转动时的稳定性以及降低气体泄漏。

更进一步地，第一集尘子槽沿第一集尘槽15111的内侧壁周向开设。在第一集尘槽15111的内侧壁开设，对于第一集尘子槽的深度能够有更大范围的选择，因为第一集尘槽15111的内侧壁厚度位于转子151的径向方向，即该内侧壁的厚度远大于第一集尘槽15111的轴向方向(厚度方向)所具有的厚度。对于第一集尘子槽开设深度的把控要求更低，更容易生产，以及能够开设更深的槽，利于减轻转子151质量以及收集杂质。除此以外，第一集尘子槽设有多个，多个第一集尘子槽沿第一集尘槽15111的深度方向排列设置，通过以转子151的径向方向作为第一集尘子槽的深度方向，提供第一集尘子槽较大范围的深度选择，还通过以第一集尘槽15111的深度方向(转子151的厚度方向)作为多个第一集尘子槽排列的方向，尽可能多地开设第一集尘子槽，以及每一第一集尘子槽深度也可以尽可能开设更深，有利于降低转子151的质量，以及提高转子151集尘的能力。同理，对于第二集尘子槽，其沿第二集尘槽15121的内侧壁周向方向开设，且第二集尘子槽设有多个，多个第二集尘子槽沿第二集尘槽15121的深度方向排列设置。第二集尘子槽所开设的方式以及结构均与第一集尘子槽相同，所具有的有益效果也相同，不再赘述。

在一些实施例中，转子组15还包括第一转轴和第二转轴。第一转轴和第二转轴平行设置，至少一转子151套设于第一转轴上，与套设于第一转轴上的一转子151转动接触的另一转子151套设于第二转轴上。位于第一转轴上的为第一转子151，位于第二转轴上的为第二转子151，彼此转动接触的第一转子151和第二转子151即为一对转子151。沿第一转轴和第二转轴的轴向方向，可以设置多对套设于第一转轴和第二转轴上的转子151，以形成多级转子151的结构，利于真空泵1抽真空。具体是气体随转子151转动，沿转轴的轴向方向逐渐减少，直至真空。

请参见图1，本申请还提供了一种真空泵1，该真空泵1包括：

电机组11；

固定端12，所述固定端12与所述电机组11相对设置；

齿轮组13，所述齿轮组13与所述电机组11连接并位于所述电机组11和所述固定端12之间；

定子组14，所述定子组14与所述齿轮组13背离所述电机组11的一端连接并位于所述电机组11和所述齿轮组13之间；

如上述任一实施例中所述的转子组15，所述转子组15设于所述定子组14内并与所述齿轮组13传动连接。

该真空泵1主要是通过将电机组11与固定端12呈相对设置，在固定端12和电机组11之间放置定子组14、齿轮组13，以固定形成一真空泵1。通过将齿轮组13与电机组11连接，使电机组11内的电机输出端与齿轮组13传动连接，齿轮组13经过一系列的齿轮传动，实现动力的传递；齿轮组13背离电机组11的一端便与定子组14连接，齿轮将动力传递至定子组14，定子组14带动转子组15转动，实现转子151的旋转，继而实现真空泵1进行抽吸真空的工作过程。对于转子组15所具有的结构以及有益效果，在前述实施例中已经进行了较为详细地描述，该真空泵1同样具有与前述任一实施例中所述的转子组15的结构以及有益效果，因此，在此不再赘述。

在一些实施例中，定子组14包括多级定子以及若干第一连接件。多级定子之间通过第一连接件连接并沿固定端12朝向电机组11的方向排列设置。每一级定子均开设有第一转子腔和第二转子151腔，第一转子151转动设于第一转子腔内，第二转子151转动设于第二转子151腔内。为大家更加清晰地理解真空泵1的结构，下面先举例定子组14中一共包含有五级定子，转子组15中一共包括有四级第一转子151和四级第二转子151，并对真空泵1做详细介绍：

电机组11通过电机法兰安装于齿轮组13一侧，齿轮组13通过第二连接件安装于定子组14的第一级定子(轴承座)上；第一转轴的一部分与第二转轴的一部分均放置于第二级定子上，第一级第一转子151和第一级第二转子151通过本身的平键分别与第一转轴和第二转轴键槽配合装配，第二级定子与第一级定子通过第一连接件连接，第二级第一转子151和第二级第二转子151通过本身的平键分别第一转轴和第二转轴上的键槽配合装配，第三级定子与第二级定子通过第一连接件定位连接，第三级第一转子151和第三级第二转子151通过本身的平键分别与第一转轴和第二转轴上的键槽配合装配,第四级定子与第三级定子通过第一连接件定位连接，第四级第一转子151和第四级第二转子151通过本身的键槽分别与第一转轴和第二转轴上设有的平键装配，第五级定子与固定端12通过第二连接件定位连接。

其中，每一级定子中均开设有第一转子腔和第二转子151腔，对应级的第一转子151转动放置于第一转子腔内，对应级的第二转子151转动放置于第二转子151腔内。并且，对于第一转轴和第二转轴，第一转轴的两端分别与第一级定子和第五级定子连接，以使第一转轴和第二转轴固定于定子组14内，每一级定子也开设有供第一转轴和第二转轴放置的第一转轴腔和第二转轴腔，第一转轴腔与第一转子腔连通，第二转轴腔与第二转子151腔连通。

还需要说明的是，对于第一连接件和第二连接件，在本实施例中均采用的是定位销和螺栓，通过定位销进行定位连接对应的部件，再利用螺栓螺纹连接至定位销上，达到固定目标部件的效果。当然，对于第一连接件和第二连接件也可以采用其他连接零部件，如螺钉、嵌入式零部件等，不做限定。

本申请还提供了一种真空泵的制造方法，包括：

S1.根据泵体的型号，计算额定工况下的腔体内部气体压力、内部温度、转子啮合时的应力及剪切力；

S2.利用前期的理论计算相关数据，设计具有本发明相关的转子模型；

S3.利用ANSYS有限元分析软件，将实际运行工况进行分析模拟，模拟所设计的转子在额定工况下所承受的热变形、轴向、径向剪切力、应力，是否符合设计初期目标；

S4.利用建模工具测绘每级转子质心坐标、几何回转中心坐标；

S5.根据转子质心坐标与几何回转中心坐标，计算去重方向及中心线；

S6.以去重中心线为基准向两侧均匀开设轴向和径向的减重孔+集尘孔；

S7.径向减重开设位置确保转子旋转啮合时不能重叠；

S8.利用加工中心对设计转子模型进行加工；

S9.最后用动平衡仪器对转子整体进行动平衡精调；

S10.样件装配、性能测试，根据测试；

S11.根据测试结果对初期设计的转子数模进行调整、优化；

S12.转子毛坯模具设计及开发；

S13.定型转子加工、装配、功能及性能测试。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

同时，本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个申请实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

针对本申请引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本申请作为参考，但与本申请内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本申请权利要求最广范围有限制的文件(当前或之后附加于本申请中的)也除外。需要说明的是，如果本申请附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本申请内容有不一致或冲突的地方，以本申请的描述、定义和/或术语的使用为准。

Claims (9)

1.一种转子组，应用于真空泵，所述转子组转动设于所述真空泵内，其特征在于，所述转子组包括至少一对彼此转动接触的转子，所述转子包括：

第一侧面；

第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对且平行设置；

周向表面，所述周向表面设于所述第一侧面和所述第二侧面之间；

其中，所述第一侧面上开设有若干第一集尘槽，所述第二侧面上开设有若干第二集尘槽，所述周向表面上开设有若干第三集尘槽；

所述第一集尘槽的内侧壁开设有第一集尘子槽，所述第一集尘子槽沿所述第一集尘槽的内侧壁周向开设；

所述一对彼此转动接触的转子包括第一转子和第二转子，所述第一转子上的第三集尘槽所开设的位置不同于所述第二转子上的第三集尘槽所开设的位置。

2.如权利要求1所述的转子组，其特征在于，沿所述第一侧面朝向所述第二侧面投影，所述第一集尘槽的投影与所述第二集尘槽的投影不重合。

3.如权利要求1所述的转子组，其特征在于，所述转子组包括多对彼此转动接触的转子，所述多对彼此转动接触的转子沿所述第一侧面朝向所述第二侧面的方向排布设置。

4.如权利要求1所述的转子组，其特征在于，所述第二集尘槽的内侧壁开设有第二集尘子槽，所述第一集尘子槽和所述第二集尘子槽开设的深度以及形状相同。

5.如权利要求1所述的转子组，其特征在于，所述第一集尘子槽设有多个，多个所述第一集尘子槽沿所述第一集尘槽的深度方向排列设置。

6.如权利要求1所述的转子组，其特征在于，所述转子组还包括第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴平行设置，至少一转子套设于所述第一转轴上，与套设于所述第一转轴上的一转子转动接触的另一转子套设于所述第二转轴上。

7.一种真空泵，其特征在于，所述真空泵包括：

电机组；

固定端，所述固定端与所述电机组相对设置；

齿轮组，所述齿轮组与所述电机组连接并位于所述电机组和所述固定端之间；

定子组，所述定子组与所述齿轮组背离所述电机组的一端连接并位于所述电机组和所述齿轮组之间；

如权利要求1至6任一项所述的转子组，所述转子组设于所述定子组内并与所述齿轮组传动连接。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述定子组包括多级定子以及若干第一连接件，所述多级定子之间通过所述第一连接件连接并沿所述固定端朝向所述电机组的方向排列设置。

9.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，每一级所述定子均开设有第一转子腔和第二转子腔，所述第一转子转动设于所述第一转子腔内，所述第二转子转动设于所述第二转子腔内。