JPS62107287A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS62107287A JPS62107287A JP24393585A JP24393585A JPS62107287A JP S62107287 A JPS62107287 A JP S62107287A JP 24393585 A JP24393585 A JP 24393585A JP 24393585 A JP24393585 A JP 24393585A JP S62107287 A JPS62107287 A JP S62107287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- stage
- temperature
- rear stage
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体製造装置等で必要とされるオイルフリー
な粗引き真空ポンプに係り、特に中間冷却器を必要とす
る多段真空ポンプに好適な冷却方法に関する。
な粗引き真空ポンプに係り、特に中間冷却器を必要とす
る多段真空ポンプに好適な冷却方法に関する。
従来のオイルフリー真空ポンプはメカニカルブースタ十
油回転ポンプであったが最近多段メカニカルブースタの
組合せで完全オイルフリー真空ポンプが出てきている６
本ポンプの構成を第３図に示すが前段１と後段２により
なっており各段に３個ブフメカニカルブースタボンプ３
がある６本システムでは後段側２のメカニカルブースタ
３の段間にインタクーラ４を設置しているが前段１と後
段２の間はインタクーラなしで直結されている。
油回転ポンプであったが最近多段メカニカルブースタの
組合せで完全オイルフリー真空ポンプが出てきている６
本ポンプの構成を第３図に示すが前段１と後段２により
なっており各段に３個ブフメカニカルブースタボンプ３
がある６本システムでは後段側２のメカニカルブースタ
３の段間にインタクーラ４を設置しているが前段１と後
段２の間はインタクーラなしで直結されている。
大気に近い粘性流の領域ではインタクーラは有効と考え
ながら分子流の領域では過剰設備と言える。
ながら分子流の領域では過剰設備と言える。
即ち詳細は後述するが分子流の領域では壁にぶつかった
分子の９０％以上はその壁温になってしまうことから真
空ポンプ間を連結する配管を冷却するこで十分であると
いう点の考慮がなされていないのが世の中の真空ポンプ
である。
分子の９０％以上はその壁温になってしまうことから真
空ポンプ間を連結する配管を冷却するこで十分であると
いう点の考慮がなされていないのが世の中の真空ポンプ
である。
尚、この種の装置に関連するものに実開昭５３−３９８
０７号がある。
０７号がある。
本発明の目的は２段以上の多段真空ポンプの分子流領域
で使用される真空ポンプ段間にインタクーラを設置せず
連結管に冷却ジャケットを取り付けて後段側の吸込温度
を低下させ後段側真空ポンプの性能を向上させることに
ある。 ゛〔発明の概要〕 後段側真空ポンプの吸込温度が高いということはそれた
け流体馬力が増え、さらに同じ圧力比を得るのに吸込温
度が高いほど吐出温度を高くなり、スクリュー圧縮機の
場合ロータ間クリアランスの問題、また材質そのものが
温度が制限されるなど吸込温度が高いと種々の問題が出
てくる。これを解決するためには前段側と後段側の間に
例えば第４図に示すように前段５と後段６よりなる２段
スクリュー真空ポンプの場合にはインタクーラ７を設置
し後段６の吸込温度を下げてやれば良いということにな
る。しかしながらこのようなインタクーラの設置は場所
もとるし配管も複雑になるし価格の点からみても短所が
多い、ところがこの粗引き真空ポンプの場合、前段の吐
出圧力がＩ×１０−’Ｔｏｒｒぐらいであることから分
子流とみなせる領域であり、この領域では分子の温度、
即ち流体の温度は壁面の温度に近づくことがわかってい
る。（壁にぶつかる分子と壁との間のエネルギのやりと
りを示す適応係数αで見た場合空気と炭素鋼ではα＝０
．８７〜０．８８ ゛
と高く分子の温度は壁温に近くなると言える）即ち、特
別インククーラを設けなくとも前段と後段を継ぐ連結管
を冷却してやれば後段側の吸込温度はその冷却温度に近
くなることがわかる。
で使用される真空ポンプ段間にインタクーラを設置せず
連結管に冷却ジャケットを取り付けて後段側の吸込温度
を低下させ後段側真空ポンプの性能を向上させることに
ある。 ゛〔発明の概要〕 後段側真空ポンプの吸込温度が高いということはそれた
け流体馬力が増え、さらに同じ圧力比を得るのに吸込温
度が高いほど吐出温度を高くなり、スクリュー圧縮機の
場合ロータ間クリアランスの問題、また材質そのものが
温度が制限されるなど吸込温度が高いと種々の問題が出
てくる。これを解決するためには前段側と後段側の間に
例えば第４図に示すように前段５と後段６よりなる２段
スクリュー真空ポンプの場合にはインタクーラ７を設置
し後段６の吸込温度を下げてやれば良いということにな
る。しかしながらこのようなインタクーラの設置は場所
もとるし配管も複雑になるし価格の点からみても短所が
多い、ところがこの粗引き真空ポンプの場合、前段の吐
出圧力がＩ×１０−’Ｔｏｒｒぐらいであることから分
子流とみなせる領域であり、この領域では分子の温度、
即ち流体の温度は壁面の温度に近づくことがわかってい
る。（壁にぶつかる分子と壁との間のエネルギのやりと
りを示す適応係数αで見た場合空気と炭素鋼ではα＝０
．８７〜０．８８ ゛
と高く分子の温度は壁温に近くなると言える）即ち、特
別インククーラを設けなくとも前段と後段を継ぐ連結管
を冷却してやれば後段側の吸込温度はその冷却温度に近
くなることがわかる。
そこで、本発明は２段以上の真空ポンプを連結してなる
多段真空ポンプにおいて、各段間の連結管に冷却ジャケ
ットを設けて上記目的を達成するようにしたものである
。
多段真空ポンプにおいて、各段間の連結管に冷却ジャケ
ットを設けて上記目的を達成するようにしたものである
。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る０本オイルフリースクリユー真空ポンプは主に半導体
製遊装Ｗ（低圧ＣＶＤ装置）用の到達圧力が１０一番〜
１０−’Ｔｏｒｒ粗引きポンプであり性能上前段５＋後
段６の２段にする必要がある。
る０本オイルフリースクリユー真空ポンプは主に半導体
製遊装Ｗ（低圧ＣＶＤ装置）用の到達圧力が１０一番〜
１０−’Ｔｏｒｒ粗引きポンプであり性能上前段５＋後
段６の２段にする必要がある。
前段の吐出圧力はＩ Ｘ １０−”Ｔｏｒｒ程度であり
、吐出過度は実験より５０〜１００℃ぐらいと推定され
ている。そこでこの前段吐出ガスの温度、即ち後段の吸
込温度を常温近くまで下げることが後段の性能向上にな
ることは先に述べたが、それを第３図に示す如く前段５
と後段６を継ぐ連結管８にこの配管の一部若しくは全体
を覆うように水冷または他の冷却材を流せるようにジャ
ケット９を設けて後段に入るガスの温度を低下させる。
、吐出過度は実験より５０〜１００℃ぐらいと推定され
ている。そこでこの前段吐出ガスの温度、即ち後段の吸
込温度を常温近くまで下げることが後段の性能向上にな
ることは先に述べたが、それを第３図に示す如く前段５
と後段６を継ぐ連結管８にこの配管の一部若しくは全体
を覆うように水冷または他の冷却材を流せるようにジャ
ケット９を設けて後段に入るガスの温度を低下させる。
水冷ジャケット９の詳細構造図を第２図に示す０本実施
例によれば後段６に入るガスの温度を低下させ後段真空
ポンプ６の性能を向上させる効果がある。
例によれば後段６に入るガスの温度を低下させ後段真空
ポンプ６の性能を向上させる効果がある。
本発明によればスクリュー真空ポンプだけでなくメカニ
カルブースタなどを多段で使用する場合に後段側に入る
ガス温度を低下させ後段真空ポンプの性能を向上させる
と同時に後段真空ポンプの吐出温度をも低下させること
が出来ることがら信頼性や安定性の面でも効果がある。
カルブースタなどを多段で使用する場合に後段側に入る
ガス温度を低下させ後段真空ポンプの性能を向上させる
と同時に後段真空ポンプの吐出温度をも低下させること
が出来ることがら信頼性や安定性の面でも効果がある。
第１図は本発明を適用した２段スクリュー真空ポンプの
フロー、第２図は第１図の縦断面図、第３図は従来の多
段メカニカルブースタの系統図、第４図は２段スクリュ
ー真空ポンプの股間にインタークーラを設置した場合の
系統図である。 ５・・・前段スクリュ真空ポンプ、６・・・後段スクリ
ュウ真空ポンプ、−８・・・連結管、９・・・冷却ジャ
ケット。 第１図 第２図 ■ ３ 図 菓 ４ 図
フロー、第２図は第１図の縦断面図、第３図は従来の多
段メカニカルブースタの系統図、第４図は２段スクリュ
ー真空ポンプの股間にインタークーラを設置した場合の
系統図である。 ５・・・前段スクリュ真空ポンプ、６・・・後段スクリ
ュウ真空ポンプ、−８・・・連結管、９・・・冷却ジャ
ケット。 第１図 第２図 ■ ３ 図 菓 ４ 図
Claims (1)
- １、２段以上の真空ポンプを連結して、なる多段真空ポ
ンプにおいて、各段間の連結管に冷却ジャケットを設け
たことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24393585A JPS62107287A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24393585A JPS62107287A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107287A true JPS62107287A (ja) | 1987-05-18 |
Family
ID=17111217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24393585A Pending JPS62107287A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107287A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5131825A (en) * | 1990-03-27 | 1992-07-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Multi-stage vacuum pump with reaction chamber between stages |
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP24393585A patent/JPS62107287A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5131825A (en) * | 1990-03-27 | 1992-07-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Multi-stage vacuum pump with reaction chamber between stages |
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
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