JP2011226370A - 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス流路61のガス流れの上流側に共鳴型サイレンサ53−1を、下流側に膨張型サイレンサ53−2を配置し、該共鳴型サイレンサ53−1と膨張型サイレンサ53−2を一体に構成した。また、ドライ真空ポンプを備え、該ドライ真空ポンプの排気流路に上記複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置して設けたドライ真空ポンプ装置。
【選択図】図3
Description
11b 回転軸
12 ロータ
12a〜12e ロータ
13a〜13e ロータ室
14 ロータケーシング
15a〜15e 気体流路
17 吸込口
18 吐出口
20 軸受
22 モータ
22a モータロータ
22b モータステータ
23 軸受ケーシング
24 モータケーシング
26 サイドケーシング
29 タイミングギア
30 サイドケーシング
40 軸受ケース
41 軸受ケース
50 排気ユニット
53 サイレンサ
53−1 共鳴型サイレンサ
53−2 膨張型サイレンサ
60 サイレンサケーシング
61 ガス流路
62 共鳴室
63 第1膨張室
64 第2膨張室
65 共鳴口
66 第1絞り口
67 第2絞り口
68 第3絞り口
69 蓋体
Claims (4)
- 気体流路の気体流れの上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置し、該共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサを一体に構成したことを特徴と複合型サイレンサ。
- 蓋体と厚板状のサイレンサケーシングを具備し、
前記サイレンサケーシングの片面に上部開口する共鳴型サイレンサ室部、膨張型サイレンサ室部、及び気体流路部を形成し、
前記共鳴型サイレンサ室部を上部開口の共鳴口部で前記気体流路部に連通させると共に、
前記膨張型サイレンサ室部を上部開口の絞り口部で前記共鳴口部より下流側の前記気体流路部に連通させ、
前記サイレンサケーシングの前記片面を前記蓋体で覆い、共鳴型サイレンサと膨張型サイレンサを一体に構成したことを特徴と複合型サイレンサ。 - ドライ真空ポンプを備え、該ドライ真空ポンプの排気流路に請求項1又は2記載の複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサが、下流側に膨張型サイレンサが位置するように配置して設けたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
- 1台又は直列に接続された複数台のルーツ型ドライ真空ポンプを備え、その排気側に排気ユニットを設け、該排気ユニットの排気ガス側の排気ガス流路に請求項1又は2記載の複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサが、下流側に膨張型サイレンサが位置するように配置して設けたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
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