KR101280828B1 - 기판결함의 수리방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 결함부위에 복원제를 주입하여 기판결함의 수리방법에 관한 것으로, 결함부위를 가지는 유리기판을 준비하는 단계; 상기 결함부위에 복원제를 주입하는 단계; 상기 복원제를 경화하여 경화된 복원제를 형성하는 단계; 상기 경화된 복원제를 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기판결함, 유리 복원제, 경화

Description

기판결함의 수리방법{Method for repairing defect in substrate}
본 발명은 기판결함의 수리방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판의 결함부위에 복원제를 주입하여 기판결함의 수리방법에 관한 것이다.
일반적으로 사용되는 표시장치 중의 하나인 CRT(Cathode Ray Tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT 자체의 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 대응에 적극적으로 대응할 수 없었다. 이와 같은 CRT의 문제를 해결하기 위하여, LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel), ELD(electro luminescent display), VFD(vacuum fluorescent display)와 같은 여러가지 평판표시장치가 제안 및 활용되고 있다. 평판표시장치의 대부분은 투명한 유리기판을 사용하여 제작한다.
평판표시장치 중에서 액정표시장치는 소형화, 경량화, 박형화, 저전력 구동의 장점을 가지고 있어 현재 널리 사용되고 있다. 특히, 박막 트랜지스터를 이용한 액정표시장치는 표시화면의 고화질화, 대형화 및 컬러화 등을 실현할 수 있어, 최근에는 노트북 PC 및 모니터는 물론 여러 분야에서 다양하게 사용되고 있다.
액정표시장치는 액정표시패널 및 백라이트 유닛으로 구성된다. 액정표시패널은 어레이 기판과 액정층을 개재하여 합착되는 컬러필터 기판으로 구성된다. 어레이 기판과 컬러필터 기판은 투명한 유리기판을 사용한다. 일반적으로 어레이 기판 은 다수의 게이트 배선 및 다수의 데이터 배선이 교차하는 화소영역이 정의되고, 각각의 교차영역에 형성된 박막 트랜지스터는 각각의 화소영역의 화소전극과 연결된다. 컬러필터 기판은 각각의 화소영역에 대응되는 적색, 녹색 및 청색의 컬러필러와, 각각의 컬러필터의 경계영역에 블랙 매트릭스 및 컬러필터 및 블랙 매트리스 상에 공통전극이 형성된다.
액정표시패널의 일측에는 구동신호를 공급하는 구동회로가 실장된 액정표시패널 구동부가 전기적으로 연결되고, 액정표시패널의 다수의 게이트 배선 및 다수의 데이터 배선에 신호를 공급하여 액정표시패널을 구동시킨다. 액정표시패널은 공통전극에 전압이 인가된 상태에서 화소전극에 인가되는 데이터신호의 전압을 제어하게 되면, 액정층은 공통전극과 화소전극 사이의 전계에 따라 유전 이방성에 의해 회전함으로써, 화소영역 별로 빛을 투과시키거나 차단시켜 화상을 표시하게 된다.
상기와 같은 액정표시패널의 제작과정에서 어레이 기판 및 컬러필터 기판의 표면에서 스크레치(scratch) 및 함몰부위와 같은 결함이 발생할 수 있고, 이러한 결함은 기판 전체를 연마하여 수리할 수 있다. 그러나, 결함부위가 너무 깊어 수리 가 불가능하면 폐기처분하였다. 이하에서는 종래기술의 기판결함에 대한 수리방법을 설명한다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 결함을 가지는 액정표시패널의 단면도이다.
도 1과 같이, 액정표시패널(10)은 어레이 기판(12)이 액정층(16)을 개재하여 컬러필터 기판(14)과 합착되어 있고, 액정표시패널(10)의 케이스(도시하지 않음)을 조립하는 과정에서 또는 다른 이유로 인해, 어레이 기판(12) 또는 컬러필터 기판(14)의 표면에서, 케이스의 부품 등에 의해 스크레치 또는 함몰부위와 같은 결함부위(18)가 발생한다. 이와 같은 결함부위(18)는 액정표시패널(10)이 구동되었을 때, 이미지(image) 불량을 발생시키므로, 반드시 제거하여야 한다.
도 1은 결함부위(18)가 어레이 기판(12)에 발생된 것을 도시한 것으로, 연마수단(도시하지 않음)을 사용하여, 점선(20)으로 표시되어 있는 결함부위(18)의 깊이로 어레이 기판(12)을 연마하여, 결함부위(18)를 수리한다. 그러나 어레이 기판(12)이 제 1 두께(a)를 가지도록 전체 표면을 연마하여야 하므로 상당히 많은 시간이 소요되며, 또는 별도의 장비를 구비하여야 한다.
그러나, 도 2와 같이, 결함부위(18)가 현저하게 깊어지면, 결함부위(18)의 깊이인 점선(20)까지 어레이 기판(12)을 연마하였을 때, 제 2 두께(b)를 가지게 되면, 어레이 기판(12)이 너무 얇아져, 액정표시패널(10)의 스펙을 만족시키지 못하 여 폐기 처분하여야 한다. 또는 결함부위(18)의 깊이가 너무 깊어 연마가 불가능한 경우도 발생할 수 있으며, 이런 경우에도 액정표시패널(10)을 폐기하여야 한다. 결함부위(18)로 인해 액정표시패널(10)을 폐기하여야 하므로, 생산효율이 저하된다.
상기와 같은 종래기술에서 기판의 결함을 수리하기 위하여, 결함부위를 제외한 기판의 다른 영역도 동시에 연마하여야 하므로, 많은 시간이 소요되고, 기판의 두께가 얇아지는 문제가 있다. 그리고, 기판의 연마를 위하여 별도의 장비를 구비하여야 한다. 또한, 기판의 두께가 현저하게 얇아지면 액정표시패널로써 사용할 수 없기 때문에 폐기 처분해야 한다. 그러나, 액정표시패널은 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하여 거의 모든 공정을 완료한 완제품 수준으로, 폐기처분하게 되면 생산비용의 손실이 증가하는 원인이 된다.
상기와 같은 종래기술의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 기판의 결함부위에 복원제를 주입하여 결함부위를 수리하는 기판결함의 수리방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 액정표시패널의 상부기판 또는 하부기판에서 발생한 결함부위에 복원제를 주입하고 경화한 후에, 연마에 의해 결함부위를 수리하는 기판결함의 수리방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판결함의 수리방법은, 결함부위를 가지는 유리기판을 준비하는 단계; 상기 결함부위에 복원제를 주입하는 단계; 상기 복원제를 경화하여 경화된 복원제를 형성하는 단계; 상기 경화된 복원제를 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판결함의 수리방법에 있어서, 상기 복원제를 주입하고, 상기 복원제 상에 필름을 부착하는 단계를 포함하고, 상기 필름은 투명한 셀로판 필름을 사용하고, 상기 복원제는 열경화에 의해 경화되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판결함의 수리방법에 있어서, 상기 유리기판보다 작고, 상기 경화 복원제보다 큰 경도를 가지는 연마수단에 의해 상기 경화 복원제가 연마되고, 상기 연마수단은 면도칼인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판결함의 수리방법에 있어서, 상기 연마수단은 회전가능한 본 체와 상기 본체의 하부에 부착된 연마포로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판결함의 수리방법에 있어서, 상기 복원제는 2 - 히드록시에틸 메타크릴레이트, 이소보닐 아크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디메타클레이트, 광개시제, 및 아크릴산을 포함하고, 상기 2 - 히드록시에틸 메타크릴레이트, 상기 이소보닐 아크릴레이트, 상기 트리에틸렌 글리콜 디메타클레이트, 상기 광개시제, 및 상기 아크릴산은 각각 70-80, 10-20, 0.1-5, 0.1-3, 및 0.1-3의 중량 퍼센트로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판결함의 수리방법은, 결함부위를 가지는 상부기판과 하부기판이 합착된 액정표시패널을 준비하는 단계; 상기 결함부위에 복원제를 주입하는 단계; 상기 복원제 상에 투명필름을 부착하는 단계; 상기 복원제를 자외선 램프를 이용하여 경화하는 단계; 상기 투명필름을 제거하는 단계; 상기 경화된 복원제를 연마하는 단계; 상기 결함부위를 세정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판결함의 수리방법은 다음과 같은 효과가 있다.
액정표시패널에 있어서, 상부 및 하부기판으로 사용되는 유리기판의 결함부위를 깊이 또는 크기와 관계없이 유리 복원제의 주입 및 경화 후에 경화된 유리 복원제를 연마하는 것에 의해, 용이하게 결함부위를 수리함으로써, 생산성을 개선할 수 있다.
또한, 결함부위를 특정하여, 결함부위를 제외한 유리기판의 다른 영역에 영 향을 주지 않고 수리하는 것에 의해, 유리기판의 두께 변화없이, 결함부위를 용이하게 수리할 수 있다.
본 발명은 기판을 연마에 의해서 수리하는 것이 아니라, 복원제의 주입에 의해 수리하기 때문에, 결함부위의 깊이가 현저하게 깊어도 수리가 가능하다.
결함부위가 모서리에 발생하는 경우에도 복원제의 주입, 경화 및 연마에 의해 모서리 부분을 복원할 수 있어, 폐기되는 액정표시패널을 최소화할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 수리방법에 대한 공정단면도이고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 사시도이고, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 수리 전과 수리 후의 사진이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복원제의 연마에 대한 공정단면도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 수리 대상 기판을 판별하기 위한 기준도이다.
액정표시패널(110)의 제작과정에서 하부기판으로 사용하는 어레이 기판(112) 및 상부기판으로 사용하는 컬러필터 기판(114)의 표면에, 도 4a 내지 도 4c와 같은 기판결함이 발생한다. 도 4a는 액정표시패널(110)의 모서리 부분에서 모서리 결 함(118a)이 발생한 경우이고, 도 4b는 액정표시패널(110)의 상부 표면에서 액정표시패널(110)을 조립하기 위하여 사용하는 케이스 부품(도시하지 않음)에 의해 찍혀서 발생되는 함몰결함(118b)에 대한 것이고, 도 4c는 케이스 부품 등에 의해 긁혀서 발생되는 스크래치 결함(118c)에 대한 것이다.
일반적으로, 모서리 결함(118a)과 함몰결함(118b)은 0.2 mm 내지 1 cm의 직경을 가지고, 스크래치 결함(118c)은 0.2 mm의 폭과 10 cm 정도의 길이를 가진다. 액정표시패널(110)에서 발생되는 모서리 결함(118a), 함몰결함(118b), 및 스크래치 결함(118c)은 전체 면적과 비교하여 크지 않지만, 화면구현시 불량 이미지를 발생시키기 때문에 반드시 수리하거나, 수리가 불가능하면 폐기처분해야한다. 액정표시패널(110)은 어레이 및 컬러필터 기판(112, 114)이 합착되어 거의 완제품 수준으로 제작된 단계로, 이 단계에서 폐기처분하게 되면, 생산비용의 손실이 과대하게 된다. 따라서, 가능하면 결함부위(118)를 수리하여 제품으로 출하할 수 있게 해야 한다.
액정표시패널(110)의 크기 및 결함부위(118)의 깊이에 따라 수리 대상을 판별한다. 도 7과 같이, 10 인치 미만이 소형 기판을 사용하는 액정표시패널(110)은 결함부위(118)의 깊이에 대하여 0.1mm를 기준으로 수리대상의 여부를 판별한다. 결함부위(118)의 깊이가 0.1mm 미만인 경우는 수리하지 않고, 결함부위(118)의 깊이가 0.1mm 이상인 경우는 결함부위(118)를 수리한다. 그리고, 10인치 이상의 대형기 판을 사용하는 액정표시패널(110)은 결함부위(118)의 깊이에 대하여 0.2mm을 기준으로 수리대상의 여부를 판별한다. 결함부위(118)의 깊이가 0.2mm 미만인 경우는 수리하지 않고, 결함부위(118)의 깊이가 0.2mm 이상인 경우는 결함부위(118)를 수리한다.
액정표시패널(110)의 어레이 기판(112) 또는 컬러필터 기판(114)에서 발생한 결함부위(118)를 수리하는 방법은 다음과 같다. 하기에서는 편의상 어레이 기판(112)에서 결합부위(118)가 발생한 것으로 가정하여 설명한다. 도 3a와 같이, 결함부위(118)가 발생한 액정표시패널(110)을 준비하고 결함부위(118)와 어레이 기판(112)의 이물질 등을 제거한다. 도 3b와 같이 주입수단(120)을 사용하여 유리 복원제(122)를 결함부위(118)에 주입한다. 유리 복원제(122)는 결함부위(118)와 인접한 어레이 기판(112)의 다른 부분까지 충분히 공급한다. 유리 복원제(122)는 투명하고, 유동성이 좋고 자외선에 의해 빠르게 경화될 수 있는 아크릴 수지(acrylic resin)를 포함한 물질을 이용한다. 유리 복원제(122)의 성분 및 비율은 표 1과 같다.
표 1
성분 중량 퍼센트(weight percent)
2 - 히드록시에틸 메타크릴레이트
(2-hydroxyethyl methacrylate)
70-80
이소보닐 아크릴레이트
(isobornyl methacrylate)
10-20
트리에틸렌글리콜디메타클레이트
(triethylene glycol dimethacrylate)
0.1-5
광개시제
(photoinitiator)
0.1-3
아크릴산
(acrylic acid)
0.1-3
본 발명에서는 유리 복원제(122)로 리퀴드 레진 인터내셔널사(Liquid Resin International, Ltd.)에서 상업적으로 판매하고 있는 윈드실드 리페어 키트(windshield repair KIT) 또는 퍼맥텍스사(Permatex. Inc)에서 상업적으로 판매하고 있는 불스아이 윈드실드 리페어 키트(Bullseye windshiled repair KIT)를 사용한다. 결함부위(118)를 수리하기 위해 사용되는 유리 복원제(122)는 어레이 및 컬러필터 기판(112, 114)과 다른 물질이다.
도 3c와 같이, 유리 복원제(122)가 주입된 결함부위(118)와 결함부위(118) 주변의 어레이 기판(112) 상에 투명필름(124)을 부착시킨다. 투명필름(122)은 유리 복원제(122)가 결함부위(118)의 내부로 완전히 침투하도록 외부로부터 압력을 인가할 때 완충막으로서 기능하고, 또한 유리 복원제(122)가 경화되기 전에, 유리 복원제(122)에 포함되어 있는 성분이 휘발되는 것을 방지하기 위해 유리 복원제(122)가 대기 중에 노출되지 않도록 차단하는 기능을 한다. 투명필름(124)으로 셀로판 필름(cellophane film)을 사용한다. 투명필름(124)은 결함부위(118)보다 당연히 커야하고, 유리 복원제(122)가 분포한 어레이 기판(112)의 다른 영역까지 커버할 수 있는 크기이어야 한다. 다시 말하면, 투명필름(124)은 유리 복원제(122)가 분포한 영역보다 커야 한다.
도 3d와 같이, 경화수단으로써 자외선 램프(ultraviolet lamp)(126)를 이용 하여 투명필름(124)의 상부로 자외선을 조사하여 유리 복원제(122)를 경화시켜 경화된 복원제(140)를 형성한다. 자외선 램프(126)는 3mW/cm2의 조도를 사용하여, 3 내지 5분 정도 조사하여 유리 복원제(122)를 경화시킨다. "광량=조도X시간"이므로, 상기의 조도와 시간을 광량으로 환산하면, 유리 복원제(122)를 경화시키는 최소 광량은 540mj이다. 자외선 램프(126)는 액정표시패널(110) 내부의 액정층(116)에 영향을 주지 않는 범위 내에서 사용한다. 만일, 투명필름(124) 대신에 불투명 필름을 사용한다면, 자외선이 투과하지 않아 유리 복원제(122)가 경화되지 않는다. 그리고, 경화수단으로 자외선 램프(126) 대신에 가열에 의해 경화시키는 열경화수단을 선택할 수 있다. 열경화수단을 사용하는 경우는 투명필름(124) 대신에 불투명 필름을 사용할 수 있다.
도 3e와 같이, 투명필름(124)을 제거하고, 경화된 복원제(140)를 연마한다. 연마에 의해서, 결함부위(118)의 경화된 복원제(140)는 액정표시패널(110)과 동일한 평면으로 가진다. 유리 복원제(122)가 경화되어도 액정표시패널(110)의 유리기판보다 낮은 경도를 가지고 있기 때문에, 연마수단(도시하지 않음)의 경도가 유리기판보다 낮고 경화된 복원제(140)보다 크다면, 유리기판의 손상없이 연마가 가능하다. 그리고 연마수단으로 면도칼(도시하지 않음)을 이용하는 것이 가능하다. 연마수단으로 면도칼을 이용하는 경우, 작업자가 결함부위(118)에서 경화된 복원제(140)를 부드럽게 긁어 내어 어레이 기판(112)와 결함부위(118)를 동일한 평면으로 만든다. 면도칼의 경도는 어레이 및 컬러필터 기판(112, 114)보다 작고, 경화된 복원제(140)보다 크다.
연마수단으로 도 6과 같이, 연마기(130)는 회전하는 본체(132)와 본체(132)의 하면에 부착되는 연마포(134)로 구성된다. 경화된 복원제(140)와 접촉하는 연마포(134)에는 물리적 및 화학적으로 경화된 복원제(140)를 연마할 수 있는 현탄액(slurry)(도시하지 않음)을 발라준다. 현탄액은 유리기판에는 영향을 안주고, 단지 경화된 복원제(140)를 물리적 및 화학적으로 연마하는 성분으로 구성한다. 연마기(130)를 회전시키면서 어레이 기판(112)과 근접시켜 어레이 기판(112) 상으로 돌출된 경화된 복원제(140)를 연마한다. 그리고, 도 3f와 같이, 연마가 완료된 후에, 이소프로필 알콜(sopropyl alcohol:IPA)을 사용하여 복원부위(128)를 세정(cleaning)하는 것에 의해, 수리를 완료한다.
도 4b 및 도 4c와 같은, 함몰결함(118b) 및 스크래치 결함(118c)은 어레이 기판(112)의 평면에서 발생하였기 때문에, 유리 복원제(122)의 주입, 경화 및 연마에 의해 수리가 용이하게 수리가 가능하지만, 도 4a와 같이 모서리 결함(118a)의 경우에는, 상면과 측면을 연마하여야 한다. 모서리 결함(118a)을 수리하는 방법은 다음과 같다. 모서리 결함(118a)에 유리 복원제(122)를 주입하고, 투명필름(124)을 부착한다. 투명필름(124)을 부착할 때, 모서리 결함(118a)에서 유리 복원제(122)가 어레이 기판(112)의 상면과 상면과 수직인 측면의 형태를 가질 수 있도록 적당히 조절한다. 그리고 유리 복원제(122)를 경화시켜 경화된 복원제(140)를 형성하고 투 명필름(124)을 제거한 후에, 모서리 결함(118a)의 상면과 측면에서 어레이 기판(112)과 동일한 평면을 유지하기 위해 경화된 복원제(140)를 연마한다.
도 5a 및 도 5b는 기판결함의 수리전과 수리후의 모습을 편광 현미경에 의해 관찰한 사진이다. 도 5b와 같이, 본 발명에 의해서 결함부위가 수리된 액정표시패널에서는 거의 결함의 형태가 관찰되지 않지만, 도 5a에서는 결함의 형태가 선명하게 관찰되며, 액정표시패널을 구동하게 되면 이미지 불량으로 나타난다. 상기에서, 액정표시패널의 기판결함을 수리하는 방법을 제시하였지만, 단일 기판에서 결함이 발생한 경우에서, 상기와 같은 방법으로 수리할 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 결함을 가지는 액정표시패널의 단면도
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 수리방법에 대한 공정단면도
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 사시도
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 기판결함의 수리 전과 수리 후의 사진
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 복원제의 연마에 대한 공정단면도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 수리 대상 기판을 판별하기 위한 기준도

Claims (11)

  1. 결함부위를 가지는 평판표시장치용 유리기판을 준비하는 단계;
    상기 결함부위에 복원제를 주입하는 단계;
    상기 복원제를 경화하는 경화된 복원제를 형성하는 단계; 및
    상기 유리기판과 동일 평면을 가지도록 상기 경화된 복원제를 연마하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 경화된 복원제는 상기 유리기판과 다른 물질이며 상기 유리기판보다 낮은 경도를 가지는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복원제는 자외선 램프에 의해 경화 또는 열경화에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복원제를 주입하고, 상기 복원제 상에 필름을 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 필름은 투명한 셀로판 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유리기판보다 작고, 상기 경화된 복원제보다 큰 경도를 가지는 연마수단에 의해 상기 경화된 복원제가 연마되는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 연마수단은 회전가능한 본체와 상기 본체의 하부에 부착된 연마포로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 결함부위를 가지는 상부 및 하부기판이 합착된 액정표시패널을 준비하는 단계;
    상기 결함부위에 복원제를 주입하는 단계;
    상기 복원제 상에 투명필름을 부착하는 단계;
    상기 복원제를 자외선 램프를 이용하여 경화하는 단계;
    상기 투명필름을 제거하는 단계;
    상기 상부 또는 하부기판과 동일 평면을 가지도록 상기 경화된 복원제를 연마하는 단계; 및
    상기 결함부위를 세정하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 경화된 복원제는 상기 상부 또는 하부기판과 다른 물질이며 상기 상부 또는 하부기판보다 낮은 경도를 가지는 것을 특징으로 하는 기판결함의 수리방법.
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