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Diese
Anmeldung betrifft ein Verfahren zum Reparieren eines Defekts auf
einem Substrat und insbesondere ein Verfahren zum Reparieren eines
Defekts auf einem Substrat durch Injektion eines Wiederherstellungsmaterials
in einen defekten Abschnitt.
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Die
Kathodenstrahlröhren-Vorrichtung
(CRT-Vorrichtung), die eine in großem Umfang verwendete Anzeigevorrichtung
ist, wird als Fernseher, Monitor für eine Messvorrichtung und
Informationsterminal verwendet. Jedoch, da Eigenschaften wie geringere
Größe und geringeres
Gewicht der Anzeigevorrichtung benötigt werden, gibt es eine Beschränkung für die CRT-Vorrichtung
aufgrund ihres hohen Gewichts und ihrer Größe. Zum Überwinden dieser Beschränkungen
der CRT-Vorrichtung,
wurden viele Arten von Flachpanelanzeigevorrichtungen (FPDs), wie
zum Beispiel Flüssigkristallanzeigevorrichtungen
(LCD-Vorrichtungen), Plasmaanzeigepanels (PDPs), Feldemissionsanzeigevorrichtungen
(FED-Vorrichtungen),
Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen (ELD-Vorrichtungen) usw.,
eingeführt.
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Da
die LCD-Vorrichtungen unter den FPDs exzellente Fähigkeiten
mit einem dünnen
Profil, einem geringem Gewicht und einem geringem Stromverbrauch
aufweisen, werden sie in großem
Umfang verwendet. Insbesondere werden LCD-Vorrichtungen, die einen Dünnschichttransistor
als Schaltelement aufweisen, aufgrund ihres hohen Kontrastverhältnisses,
hohen Bildqualität
und Charakteristiken, die zur Anzeige bewegter Bilder geeignet sind,
in großem
Umfang für
Notebook-Rechner, Monitore, TV-Geräte usw. verwendet.
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Die
LCD-Vorrichtung weist ein Flüssigkristallpanel
und eine Hintergrundbeleuchtungseinheit auf. Das Flüssigkristallpanel
weist ein Arraysubstrat, ein Farbfiltersubtrat und eine Flüssigkristallschicht
dazwischen auf. Sowohl das Arraysubstrat als auch das Farbfiltersubstrat
weisen ein transparentes Glassubstrat auf. In dem Arraysubstrat
kreuzt eine Gateleitung auf dem transparenten Glassubstrat eine
Datenleitung auf dem transparenten Glassubstrat, so dass ein Pixelbereich
definiert ist. Zusätzlich
ist ein Dünnschichttransistor (TFT)
an jedem Kreuzungsabschnitt der Gate- und Datenleitungen mit einem
Pixelbereich in jedem Pixelbereich verbunden. Andererseits sind
auf dem transparenten Glassubstrat des Farbfiltersubstrats eine
Farbfilterschicht mit Subfarbfilter mit roter, grüner und
blauer Farbe, eine Schwarzmatrix, die den Grenzen jedes Pixelbereichs
entspricht, und eine gemeinsame Elektrode (Common-Elektrode) auf
der Farbfilterschicht und der Schwarzmatrix gebildet.
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Ferner
ist eine Flüssigkristallpanel-Ansteuerungseinheit,
die einen Ansteuerungsschaltkreis zum Bereitstellen eines Ansteuerungssignals
aufweist, mit einer Seite des Flüssigkristallpanels
elektrisch verbunden. Die Flüssigkristallpanel-Ansteuerungseinheit
stellt Signale an die Gate- und Datenleitungen bereit, so dass das Flüssigkristallpanel
angesteuert wird. Indem Spannungen eines Datensignals gesteuert
werden, das in die Pixelelektrode mit einer gemeinsamen Elektrode,
die eine gemeinsame Spannung aufweist, angelegt wird, werden die
Flüssigkristallmoleküle in der
Flüssigkristallschicht
aufgrund einer optischen Anisotropie der Flüssigkristallmoleküle abhängig von
einem elektrischen Feld gedreht, das zwischen den Pixelelektroden
und den gemeinsamen Elektroden induziert ist. Demzufolge können die
LCD-Vorrichtungen Bilder anzeigen, indem die Lichtdurchlässigkeit
gesteuert wird.
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In
einem Herstellungsprozess des Arraysubstrats und des Farbfiltersubstrats
gibt es Defekte, wie zum Beispiel Kratzer und Dellen auf einer Oberfläche des
transparenten Glassubstrats. Das transparente Glassubstrat kann
repariert werden, indem eine Gesamtoberfläche davon abgeschliffen wird.
Jedoch wird das transparente Glassubstrat verworfen, wenn der Defekt
zu tief ist.
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Nachstehend
wird das herkömmliche
Reparaturverfahren für
einen Defekt auf dem Substrat erklärt.
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Die 1A und 1B sind
jeweils Querschnittsansichten des herkömmlichen Flüssigkristallpanels mit einem
Defekt. In den 1A und 1B weist
das Flüssigkristallpanel 10 ein
Arraysubstrat 12, ein Farbfiltersubstrat 14 und
eine Flüssigkristallschicht 16 dazwischen
auf. Zum Beispiel wenn das Flüssigkristallpanel 10 an
ein Gehäuse
(nicht gezeigt) angepasst wird, kann es einen Defekt 18 geben,
wie zum Beispiel Kratzer und Dellen auf einer Oberfläche des
transparenten Glassubstrats des Arraysubstrats 12 oder
des Farbfiltersubstrats 14. Da der Defekt 18 auf
dem transparenten Glassubstrat Probleme bei der Anzeige von Bildern
verursacht, muss der Defekt 18 entfernt werden.
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Unter
Bezugnahme auf 1A ist der Defekt 18 mit
einer ersten Tiefe „b” auf dem
transparenten Glassubstrat des Arraysubstrats 12 gebildet.
Indem die gesamte Oberfläche
des transparenten Substrats des Arraysubstrats 18 unter
Verwendung einer Abschleifeinheit (nicht gezeigt) um eine erste
Dicke „b” abgeschliffen wird,
die im Wesentlichen die gleiche Dicke wie die erste Tiefe „b” ist, wird
das transparente Substrat repariert. Durch den Abschleifprozess
wird eine neue Oberfläche 20 freigelegt
und ein neues transparentes Glassubstrat weist eine zweite Dicke „a” auf. Da
das transparente Substrat abgeschliffen werden soll, um die zweite
Dicke „a” zu haben,
steigt die Prozesszeit an. Zusätzlich
werden zusätzliche
Vorrichtungen für
den Abschleifprozess benötigt.
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Andererseits,
unter Bezugnahme auf 1B, wenn der Defekt 18 eine
zweite Tiefe „d” aufweist,
die viel größer ist
als die erste Tiefe „b”, gibt
es weitere Probleme. Insbesondere sollte das transparente Glassubstrat
abgeschliffen werden, so dass das transparente Glassubstrat eine
zweite Dicke „c” aufweist,
um das transparente Glassubstrat mit dem Defekt 18 zu reparieren.
In diesem Fall kann das transparente Glassubstrat nicht verwendet
werden, da das transparente Glassubstrat zu dünn ist. Zusätzlich, wenn der Defekt 18 zu
tief ist, ist es unmöglich,
das transparente Glassubstrat durch das herkömmliche Reparaturverfahren
zu reparieren. Demzufolge muss das Flüssigkristallpanel verworfen
werden, so dass die Herstellungsausbeute reduziert wird.
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Ferner,
da eine gesamte Oberfläche
des transparenten Glassubstrats, das den Defekt aufweist, in dem
herkömmlichen
Reparaturprozess abgeschliffen werden soll, steigt die Prozessierungszeit
weiter an.
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Folglich
ist die Erfindung auf ein Verfahren zum Reparieren eines Defekts
auf einem Substrat gerichtet, dass eines oder mehrere der Probleme
aufgrund der Beschränkungen
und Nachteile des Standes der Technik im Wesentlichen überwindet.
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Zusätzliche
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung
erklärt
und werden teilweise aus der Beschreibung offensichtlich, oder können durch
Anwenden der Erfindung erlernt werden. Die Vorteile der Erfindung
werden durch die Struktur realisiert und erreicht, auf die insbesondere
in der Beschreibung und Patentansprüchen davon, sowie den angefügten Zeichnungen
hingewiesen wird.
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Zum
Erreichen dieser und weiterer Vorteile und in Übereinstimmung mit dem Zweck
der Erfindung wie er verkörpert
und ausführlich
beschrieben ist, weist ein Verfahren zum Reparieren eines Substrats
Einspritzen eines Wiederherstellungsmaterials auf ein Substrat,
das einen Defekt aufweist, wobei das Wiederherstellungsmaterial
den Defekt bedeckt; Aushärten
des Wiederherstellungsmaterial; und Abschleifen des ausgehärteten Wiederherstellungsmaterial,
so dass das ausgehärtete
Widerherstellungsmaterial und das Substrat eine flache Oberfläche bilden,
auf. Es ist verständlich,
dass sowohl die vorangegangen allgemeine Beschreibung als auch die
folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erklärend sind
und sie beabsichtigen eine weitergehende Erklärung der beanspruchten Erfindung
zu schaffen.
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Die
begleitenden Zeichnung, die enthalten sind, um ein weitergehendes
Verständnis
der Erfindung zu schaffen und in dieser Beschreibung enthalten sind
und einen Teil davon bilden, stellen Ausführungsbeispiele der Erfindung
dar und dienen zusammen mit der Beschreibung zum Erklären der
Prinzipien der Erfindung. In den Zeichnungen:
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1A und 1B sind
jeweils Querschnittsansichten eines herkömmlichen Flüssigkristallpanels mit einem
Defekt;
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2A bis 2F sind
Querschnittsansichten, die einen erfindungsgemäßen Reparaturprozess eines
Defekts auf einem Substrat zeigen;
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3A bis 3C zeigen
jeweils Defektarten auf einem Substrat;
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4A und 4B sind
Bilder, die jeweils eine Oberfläche
eines Substrats vor und nach einem erfindungsgemäßen Verfahren zum Reparieren
eines Defekts auf dem Substrat zeigen; und
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5 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Abschleifprozess eines Wiederherstellungsmaterials
auf einem Substrat gemäß der Erfindung
zeigt.
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Es
wird jetzt Bezug genommen im Detail auf beispielhafte Ausführungsformen
der Erfindung, die in den begleitenden Zeichnungen dargestellt sind.
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Die 2A bis 2F sind
Querschnittsansichten, die einen erfindungsgemäßen Reparaturprozess eines
Defekts auf einem Substrat zeigen. Die 3A bis 3C zeigen
jeweils Defektarten auf einem Substrat, 4A und 4B sind
Bilder, die jeweils eine Oberfläche
eines Substrats vor und nach einem erfindungsgemäßen Verfahren zum Reparieren
eines Defekts auf dem Substrat zeigen, und 5 ist eine
Querschnittsansicht, die einen Abschleifprozess eines Wiederherstellungsmaterials
auf einem Substrat gemäß der Erfindung
zeigt.
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Wie
in den 3A bis 3C gezeigt
ist, weist ein Flüssigkristallpanel 110 das
Arraysubstrat 112, ein Farbfiltersubstrat 114 und
eine Flüssigkristallschicht 116 dazwischen
auf. Defekte 118a, 118b und 118c sind auf
einem Substrat eines Arraysubstrats 112 während eines
Herstellungsprozesses des Flüssigkristallpanels 110 erzeugt.
Die Defekte können
auch auf einem Substrat des Farbfiltersubstrats 114 erzeugt
sein. Das Substrat kann aus einem transparenten Glas gebildet sein.
Unter Bezugnahme auf 3A ist der Kantendefekt 118a an
einer Kante des Substrats angeordnet. Unter Bezugnahme auf 3b kann
der Dellendefekt 118b erzeugt sein, indem es von einem
Gehäuse
(nicht gezeigt) gepresst wird, das zum Einpassen des Flüssigkristallpanels 110 verwendet
wird. Unter Bezugnahme auf 3C kann
der Kratzerdefekt 118c erzeugt werden, indem es von einem
Gehäuse
(nicht gezeigt) zerkratzt wird, das zum Einpassen des Flüssigkristallpanels 110 verwendet
wird.
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Sowohl
der Kantendefekt 118a als auch der Dellendefekt 180b können einen
Durchmesser von ungefähr
0,2 Millimeter bis ungefähr
1 Zentimeter aufweisen. Der Kratzerdefekt 118c kann eine
Breite von ungefähr 0,2
Millimeter und eine Länge
von ungefähr
10 Zentimeter aufweisen. Obwohl sowohl der Kantendefekt 118a, der
Dellendefekt 118b als auch der Kratzerdefekt 118c im
Vergleich zu einer Gesamtoberfläche
des Flüssigkristallpanels
klein sind, können
die Defekte 118a, 118b und 118c ein ernstes
Problem beim Anzeigen von Bildern verursachen. Folglich sollten
die Defekte 118a, 118b und 118c repariert
werden. Falls es unmöglich
ist, die Defekte 118a, 118b und 118c zu
reparieren, sollte das Substrat, in dem die Defekte 118a, 118b und 118c erzeugt
sind, verworfen werden. Unter Berücksichtigung einer Produktionsausbeute
ist es dringend notwendig, die Defekte 118a, 118b und 118c zu
reparieren.
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Die
Flüssigkristallpanels
sind gemäß einer
Größe des Flüssigkristallpanels
und einer Tiefe des Defekts 118 in reparaturbedürftige Güter und
reparaturunbedürftige
Güter eingeteilt.
Ein kleines Flüssigkristallpanel kleiner
als ein 10-Zoll-Modell
ist unter Berücksichtigung
einer Tiefe eines Defekts von mehr als ungefähr 0,1 Millimeter eingeteilt
oder nicht. Folglich, wenn der Defekt auf einem Substrat mit einem
kleinen Flüssigkristallpanel
eine Tiefe unter 0,1 Millimeter aufweist, ist das Flüssigkristallpanel
in die reparatur-unbedürftigen
Güter eingeteilt,
so dass das Flüssigkristallpanel
für eine
LCD-Vorrichtung ohne einen Reparaturprozess verwendet wird. Andererseits,
wenn der Defekt auf einem Substrat mit einem kleinen Flüssigkristallpanel
eine Tiefe von mehr als 0,1 Millimeter aufweist, wird das Flüssigkristallpanel
in die reparaturbedürftigen
Güter eingeteilt,
so dass das Flüssigkristallpanel
für eine
LCD-Vorrichtung nach einem Reparaturprozess verwendet wird.
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Ein
großes
Flüssigkristallpanel
größer als
ein 10-Zoll-Modell wird unter Berücksichtigung einer Tiefe eines
Defekts über
ungefähr
0,2 Millimeter eingeteilt oder nicht. Folglich, wenn der Defekt
auf einem Substrat eines großen
Flüssigkristallpanels
eine Tiefe von weniger als 0,2 Millimeter aufweist, wird das Flüssigkristallpanel
in die reparatur-unbedürftigen
Güter eingeteilt,
so dass das Flüssigkristallpanel
für eine
LCD-Vorrichtung ohne einen Reparaturprozess verwendet wird. Andererseits,
wenn der Defekt auf einem Substrat mit einem großen Flüssigkristallpanel eine Tiefe
von mehr als 0,2 Millimeter aufweist, wird das Flüssigkristallpanel
in die reparaturbedürftigen
Güter eingeteilt,
so dass das Flüssigkristallpanel
für eine
LCD-Vorrichtung nach einem Reparaturprozess verwendet wird.
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Unter
Bezugnahme auf die 2A bis 2F wird
ein erfindungsgemäßes Verfahren
zum Reparieren eines Defekts auf einem Substrat erklärt. Es wird
vorausgesetzt, dass ein Defekt auf einem Substrat eines Arraysubstrats
eines Flüssigkristallpanels
erzeugt ist.
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In 2A wird
ein Substrat 112, wo ein Defekt 118 erzeugt ist,
gereinigt, so dass Partikel darauf entfernt werden. Wie oben erwähnt, weist
das Flüssigkristallpanel 110 ein
Substrat 112 als Arraysubstrat, ein Substrat 114 als
Farbfiltersubstrat und eine Flüssigkristallschicht 116 dazwischen
auf.
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Als
Nächstes
wird in
2B ein Wiederherstellungsmaterial
122 unter
Verwendung einer Injektionseinheit
120 in den Defekt
118 injiziert.
Das Wiederherstellungsmaterial
122 wird auf einem Umfang
des Defekts
118 sowie in den Defekt
118 injiziert.
Das Wiederherstellungsmaterial
122 kann ein Acrylharz aufweisen,
das transparent ist und ein hohes Fließvermögen aufweist. Zusätzlich wird
das Acrylharz in dem Wiederherstellungsmaterial
122 schnell
durch ultraviolettes Licht (UV-Licht) ausgehärtet. Das Wiederherstellungsmaterial
122 ist
von dem Material der Substrate
112 und
114 verschieden.
Das Wiederherstellungsmaterial
122 weist Inhaltsstoffe
und ein Verhältnis
davon wie in Tabelle 1 auf. Tabelle 1
| Inhaltsstoffe | Gewichts% |
| 2-Hydroxyethyl-Methacrylat | 70–80 |
| Isobornyl-Methacrylat | 10–20 |
| Triethylen-Glykol-Dimethacrylat | 0,1–5 |
| Photoinitiator | 0,1–3 |
| Acrylharz | 0,1–3 |
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Das
Wiederherstellungsmaterial 122 kann eine Frontscheibenreparatur,
zum Beispiel ein KIT der Liquid Resin International Ltd., oder ein „Bullseye
Windshield Repair Kit” von
Permatex, Inc. sein.
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Als
Nächstes
wird in 2C eine transparente Schicht 124 an
das Substrat 112 angebracht, wo das Wiederherstellungsmaterial 122 eingespritzt
ist. Die transparente Schicht 124 kontaktiert das Wiederherstellungsmaterial 122 und
entspricht dem Defekt 118. Die transparente Schicht 124 wirkt
als Puffer, wenn ein äußerer Druck
auf das Wiederherstellungsmaterial 122 auftritt, damit
es vollständig
in den Defekt 118 eindringt. Zusätzlich verhindert die transparente
Schicht 124, dass sich Inhaltsstoffe des Wiederherstellungsmaterials 122 verflüchtigen,
indem eine Exposition des Wiederherstellungsmaterials 122 an
Luft abgeblockt wird. Die transparente Schicht 124 kann
eine Zellophan-Schicht sein. Die transparente Schicht 124 ist
größer als
der Defekt 118. Die transparente Schicht 124 bedeckt
auch einen Bereich, wo das Wiederherstellungsmaterial 122 gebildet
ist.
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Als
Nächstes
wird in 2D das UV-Licht unter Verwendung
einer UV-Lampe 126 als Aushärteeinheit auf die transparente
Schicht 124 eingestrahlt, so dass das Wiederherstellungsmaterial 122 (aus 2C)
ausgehärtet
wird. Demzufolge wird ein ausgehärtetes
Wiederherstellungsmaterial 140 in dem Defekt 118 ausgebildet.
Die UV-Lampe 126 emittiert das UV-Licht mit einer Lichtintensität von ungefähr 3 mW/cm2 während
einer Zeitspanne von ungefähr
3 Minuten bis ungefähr
5 Minuten. Da die Menge des eingestrahlten Lichts einer Multiplikation
der Lichtintensität
mit einer Bestrahlungszeit entspricht, beträgt die minimale Menge von eingestrahltem
Licht auf das Wiederherstellungsmaterial 122 zum Aushärten ungefähr 540 mJ.
Das UV-Licht von der UV-Lampe 126 soll die Flüssigkristallschicht 116 des
Flüssigkristallpanels 110 nicht
beeinflussen. Falls eine lichtundurchlässige Schicht anstelle der
transparenten Schicht 124 verwendet wird, kann das Wiederherstellungsmaterial 122 nicht
von dem UV-Licht ausgehärtet
werden. Folglich wird eine Wärme-Aushärteeinheit
anstelle der UV-Lampe 126 zum
Aushärten
des Wiederherstellungsmaterials 122 verwendet, wenn eine
lichtundurchlässige
Schicht anstelle der transparenten Schicht 124 verwendet
wird.
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Als
Nächstes
wird in 2E nach dem Entfernen der transparenten
Schicht 124 (aus 2D) das ausgehärtete Wiederherstellungsmaterial 140 abgeschliffen.
Durch den Abschleifprozess auf dem ausgehärteten Wiederherstellungsmaterial 140 bildet
der wiederhergestellte Abschnitt 128 eine flache Oberfläche mit dem
Substrat 112, wie in 2F gezeigt
ist. Da das ausgehärtete
Wiederherstellungsmaterial 140 einen geringeren Härtegrad
als das Substrat 112 aufweist, gibt es keinen Schaden an
dem Substrat 112 während
des Abschleifprozesses auf dem ausgehärtetem Wiederherstellungsmaterials 140 mit
einer Abschleifeinheit (nicht gezeigt) mit einem Härtegrad,
der kleiner ist als der Härtegrad
des Substrats 112, und größer als der Härtegrad des
ausgehärteten
Wiederherstellungsmaterials 140. Das ausgehärtete Wiederherstellungsmaterial 140 kann von
dem Substrat 112 abgeschabt werden unter Verwendung einer
Klinge, so dass eine flache Oberfläche gebildet wird. Ein Härtegrad
der Klinge ist kleiner als der Härtegrad
des Substrats 112 und größer als der Härtegrad
des ausgehärteten
Wiederherstellungsmaterials 140.
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5 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Abschleifprozess eines Wiederherstellungsmaterials
auf einem Substrat gemäß der Erfindung
zeigt. In 5 weist eine Abschleifeinheit 130 einen
Körper 132 und
ein Abschleiftuch 134, das unter dem Körper 132 angeordnet
ist, auf. Der Körper 132 ist
drehbar. Das Abschleiftuch 134 ist mit dem Körper 132 kombiniert,
so dass das Abschleiftuch 134 rotiert, wenn der Körper 132 rotiert. Ein
Schlamm (nicht gezeigt), der fähig
ist, das gehärtete
Wiederherstellungsmaterial 140 physikalisch und chemisch
abzuschleifen, ist auf das Abschleiftuch 134 aufgetragen.
Der Schlamm beeinflusst nicht das Substrat 112. Die Abschleifeinheit 130 rotiert
und wird dem Substrat 112 angenähert. Die Abschleifeinheit 130 kontaktiert
und schleift das ausgehärtete
Wiederherstellungsmaterial 140 ab, so dass das ausgehärtete Wiederherstellungsmaterial 140 und
das Substrat 112 eine flache Oberfläche bilden. Dann wird der Reparaturprozess beendet,
indem der wiederhergestellte Abschnitt 128 unter Verwendung
von Isopropylalkohol (IPA) gereinigt wird.
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In
den 3B und 3C sind
der Dellendefekt 118b und der Kratzerdefekt 118c in
der Mitte einer Oberfläche
des Substrats 112 angeordnet. Folglich können die
Defekte 118b und 118c durch den obigen Reparaturprozess,
der einen Injektionsprozess des Wiederherstellungsmaterials, einen
Aushärteprozess
des Wiederherstellungsmaterials und einen Abschleifprozess des ausgehärteten Wiederherstellungsmaterials
aufweist, wiederhergestellt werden. Jedoch wird in 3A der
obige Reparaturprozess auf einer Oberfläche sowie einer Seitenfläche durchgeführt zum
Wiederherstellen des Kantendefekts 118a, der an Kanten
des Substrats 112 angeordnet ist. In diesem Fall wird das
Wiederherstellungsmaterial 122 auf das Substrat 112 injiziert, so
dass es einen Abschnitt der Oberfläche des Substrats 112 und
einen Abschnitt der Seitenfläche
des Substrats 112 bedeckt. Die transparente Schicht 124 ist
angebracht, um das Wiederherstellungsmaterial 122 auf dem
Abschnitt der Oberfläche
des Substrats und den Abschnitt der Seitenfläche des Substrats 112 zu
bedecken. Dann wird das Wiederherstellungsmaterial 122 ausgehärtet, so
dass das ausgehärtete
Wiederherstellungsmaterial 140 gebildet wird, und die transparente
Schicht 124 wird entfernt. Nach dem Entfernen der transparenten
Schicht 124 wird das ausgehärtete Wiederherstellungsmaterial 140 abgeschliffen.
Die 4A und 4B sind
Bilder, die jeweils eine Oberfläche
eines Substrats vor und nach einem Verfahren zum Reparieren eines
Defekts auf dem Substrat gemäß der Erfindung
zeigen. In 4A ist der Defekt merklich beobachtbar, so
dass die LCD-Vorrichtung
eine schlechte Bildqualität
bei einem Substrat aufweist, wo der Defekt gebildet ist. Jedoch
gibt es in 4B kein Bildproblem aufgrund
des Reparaturprozesses gemäß der Erfindung.
Der Reparaturprozess kann auf ein einzelnes Substrat angewendet
werden.