KR101121321B1 - 도포 장치, 현상 장치, 도포 방법, 현상 방법 및 기록 매체 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1에 나타난 도포, 현상 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 나타난 도포, 현상 장치를 나타내는 종단면도이다.
도 4는 도 1에 나타난 도포, 현상 장치의 현상 처리부(DEV층) 및 직행 반송부를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 1에 나타난 도포, 현상 장치를 이용해 기판을 처리한 경우에서의 기판의 반송 경로의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 6은 도 2에 대응하는 도로서 본 발명과 관련되는 도포, 현상 장치의 제2의 실시의 형태를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 3에 대응하는 도로서 도 6에 나타난 도포, 현상 장치를 나타내는 측부 단면도이다.
도 8은 도 6에 나타난 도포, 현상 장치의 기판 검사부에서의 횡단면도이다.
도 9는 도 5에 대응하는 도로서 도 6에 나타난 도포, 현상 장치를 이용해 기판을 처리한 경우에서의 기판의 반송 경로의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 10은 도 2에 대응하는 도로서 본 발명과 관련되는 도포, 현상 장치의 제3의 실시의 형태를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 3에 대응하는 도로서 도 10에 나타난 도포, 현상 장치를 나타내는 종단면도이다.
도 12는 도 8에 대응하는 도로서 도 10에 나타난 도포, 현상 장치의 기판 검사부에서의 횡단면도이다.
도 13은 도 5에 대응하는 도로서 도 10에 나타난 도포, 현상 장치를 이용해 기판을 처리한 경우에서의 기판의 반송 경로의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 14는, 종래의 도포, 현상 장치를 설명하기 위한 도이다.
처리 블럭: S2
Claims (11)
- 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하에 중복하도록 하여 배치되고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 기판 검사부와의 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 도포 장치. - 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 상기 레지스트막 형성부와 상하에 중복하도록 하여 설치된 직행 반송부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 인터페이스 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 직행 반송부는, 상기 처리 블럭의 캐리어 블럭측으로부터 상기 인터페이스 블럭측으로, 레지스트막이 형성된 기판을 직행 반송하는 직행 반송부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 직행 반송부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 직행 반송부와의 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 직행 반송부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하고,
상기 레지스트막 형성부는, 상기 레지스트막 형성부용 반송 기구에 의해 반송되어 오는 기판의 검사를 행하는 기판 검사 유니트를 더 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치. - 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 인터페이스 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하에 중복하도록 하여 배치되고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 기판 검사부와의 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부와 상하에 중복하도록 하여 설치된 도포막 형성부를 더 포함하고,
상기 도포막 형성부는, 도포액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 도포액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 도포막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 도포막 형성부에 대응하는 높이 방향 위치에도 상기 수수 유니트가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치. - 기판을 현상 처리하는 현상 처리부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
현상 처리되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 동시에, 상기 현상 처리된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭을 구비하고,
상기 현상 처리부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하로 중복되도록 하여 배치되고,
상기 현상 처리부는, 현상액을 기판에 도포하는 액처리 유니트와, 상기 액처리 유니트로 기판을 반송하는 현상 처리부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 현상 처리부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 현상 처리부 또는 기판 검사부와의 사이에서, 대응하는 현상 처리부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 현상 장치. - 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하로 중복되도록 하여 배치되고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 기판 검사부 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 도포 장치를 이용하여 기판에 도포 처리를 행하는 방법이며,
상기 캐리어 블럭에 반입된 기판을 상기 처리 블럭의 상기 레지스트막 형성부로 반송하여, 당해 기판에 레지스트막을 형성하는 공정과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을, 상기 수수 유니트를 개재하여 상기 레지스트막 형성부로부터 상기 기판 검사부로 반송하여, 당해 기판을 검사하는 공정과,
검사필의 기판을 상기 캐리어 블럭으로 반송하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 방법. - 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 상기 레지스트막 형성부와 상하에 중복하도록 하여 설치된 직행 반송부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 인터페이스 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 직행 반송부는, 상기 처리 블럭의 캐리어 블럭측으로부터 상기 인터페이스 블럭측으로, 레지스트막이 형성된 기판을 직행 반송하는 직행 반송부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 직행 반송부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 직행 반송부와의 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 직행 반송부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하고,
상기 레지스트막 형성부는, 상기 레지스트막 형성부용 반송 기구에 의해 반송되어 오는 기판의 검사를 행하는 기판 검사 유니트를 더 갖는 도포 장치를 이용하여 기판에 도포 처리를 행하는 방법이며,
상기 캐리어 블럭에 반입된 기판을 상기 처리 블럭의 상기 레지스트막 형성부로 반송하여, 상기 레지스트막 형성부의 상기 처리 유니트에 있어서 기판에 레지스트막을 형성하는 공정과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을, 상기 레지스트막 형성부용의 반송 기구에 의해, 상기 레지스트막 형성부의 상기 기판 검사 유니트로 반송하여, 당해 기판을 검사하는 공정과,
검사필의 기판을, 상기 수수 유니트를 개재하여 상기 레지스트막 형성부로부터 상기 직행 반송부로 반송하고, 또한 상기 직행 반송부용 반송 기구를 이용하여 인터페이스 블럭에 반송하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 방법. - 레지스트막을 기판에 형성하는 레지스트막 형성부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
레지스트막이 형성되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 인터페이스 블럭을 구비하고,
상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하에 중복하도록 하여 배치되고,
상기 레지스트막 형성부는, 레지스트액을 기판에 도포하는 액처리 유니트 및 레지스트액이 도포된 기판을 가열하는 가열 유니트를 포함하는 복수의 처리 유니트와, 이들 처리 유니트 사이에서 기판을 반송하는 레지스트막 형성부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 레지스트막 형성부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 레지스트막 형성부 또는 기판 검사부와의 사이에서, 대응하는 레지스트막 형성부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 도포 장치를 이용하여 기판에 도포 처리를 행하는 방법이며,
상기 캐리어 블럭에 반입된 기판을 상기 처리 블럭의 상기 레지스트막 형성부로 반송하여, 당해 기판에 레지스트막을 형성하는 공정과,
상기 레지스트막이 형성된 기판을, 상기 수수 유니트를 개재하여 상기 레지스트막 형성부로부터 상기 기판 검사부로 반송하여, 당해 기판을 검사하는 공정과,
검사필의 기판을, 상기 기판 검사부용의 반송 기구를 이용하여 상기 인터페이스 블럭으로 반송하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 방법. - 기판을 현상 처리하는 현상 처리부와, 기판을 검사하는 기판 검사부를 포함하는 처리 블럭과,
현상 처리되어야 하는 기판을 상기 처리 블럭으로 인도하는 동시에, 상기 현상 처리된 기판을 상기 처리 블럭으로부터 수취하는 캐리어 블럭용 반송 기구를 갖는 캐리어 블럭을 구비하고,
상기 현상 처리부 및 상기 기판 검사부는, 상기 처리 블럭 내에 있어서 상하에 중복하도록 하여 배치되고,
상기 현상 처리부는, 현상액을 기판에 도포하는 액처리 유니트와, 상기 액처리 유니트로 기판을 반송하는 현상 처리부용 반송 기구를 갖고,
상기 기판 검사부는, 기판을 검사하는 기판 검사 유니트와, 상기 기판 검사 유니트로 기판을 반송하는 기판 검사부용 반송 기구를 갖고,
상기 처리 블럭은, 상기 현상 처리부 및 상기 기판 검사부의 각각에 대응하는 높이 방향 위치에 배치되고, 대응하는 현상 처리부 또는 기판 검사부와의 사이에서, 대응하는 현상 처리부의 반송 기구 또는 기판 검사부의 반송 기구를 개재하여 기판의 수수를 행하는 복수의 수수 유니트와, 상기 복수의 수수 유니트 사이에서 기판을 반송하는 승강 가능한 수수 유니트용 반송 기구를 더 포함하는 현상 장치를 이용하여 기판에 현상 처리를 행하는 방법이며,
상기 캐리어 블럭에 반입된 기판을 상기 처리 블럭의 상기 현상 처리부로 반송하여, 당해 기판을 현상 처리하는 공정과,
상기 현상 처리된 기판을, 상기 수수 유니트를 개재하여 상기 현상 처리부로부터 상기 기판 검사부로 반송하여, 당해 기판을 검사하는 공정과,
검사필의 기판을 상기 캐리어 블럭으로 반송하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 현상 방법. - 도포 장치를 제어하는 제어 장치에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 기록 매체이며,
상기 프로그램이 상기 제어 장치에 의해 실행됨으로써, 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 도포 방법을 상기 도포 장치에 실시시키는 것을 특징으로 하는 기록 매체. - 현상 장치를 제어하는 제어 장치에 의해 실행되는 프로그램이 기록된 기록 매체이며,
상기 프로그램이 상기 제어 장치에 의해 실행됨으로써, 제9항에 기재된 현상 방법을 상기 현상 장치에 실시시키는 것을 특징으로 하는 기록 매체.
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