KR101056962B1 - 폴리이미드계 중합체와 이들의 공중합체 혼합물 및 이들을 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물 - Google Patents
폴리이미드계 중합체와 이들의 공중합체 혼합물 및 이들을 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물 Download PDFInfo
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Abstract
Description
인장강도 (Tensile Strengh, MPa) |
신장률 (Elongation,%) |
모듈러스 (Modulus, GPa) |
|
실시예 4 | 160.4 | 126.5 | 2.9 |
실시예 5 | 108 | 10.7 | 3.2 |
실시예 6 | 127.6 | 32.8 | 3.0 |
Claims (17)
- 하기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 화합물로 이루어진 그룹으로부터 1종 이상 선택된 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
화학식 1
화학식 2
화학식 3
상기 화학식 1 내지 3에서, Z는 각각 3,4-디카르복시-1,2,3,4-테트라하이드로-6-터셜리부틸-1-나프탈렌숙신산 이무수물(DTBDA)를 포함하는 테트라카르본산 및 그 유도체를 구성하는 4가의 유기기이고, 반복단위 a는 1 내지 150이며; b는 1 내지 400이며; Y1, Y2, Y3는 각각 디아민을 구성하는 2가의 유기기로서, Y1은 , , 및 중에서 선택된 것이고,
Y2는 2가의 지방족 또는 방향족 유기기로서 p-페닐렌디아민, m-페닐렌디아민, 2,4,6-트리메틸-1,3-페닐렌디아민, 2,3,5,6-테트라메틸-1,4-페닐렌디아민, 4,4’-디아미노디페닐에테르, 3,4’-디아미노디페닐에테르, 3,3’-디아미노디페닐에테르, 4,4’-디아미노디페닐설피드, 4,4’-디아미노디페닐메탄, 3,4’-디아미노디페닐메탄, 3,3’-디아미노디페닐메탄, 4,4’-메틸렌-비스(2-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디에틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2-이소프로필-6-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디이소프로필아닐린), 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 벤지딘, o-톨리딘, m-톨리딘, 3,3',5,5'-테트라메틸벤지딘, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)벤지딘, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 및 2,2-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 방향족 디아민;
1,6-헥산디아민, 1,4-시클로헥산디아민, 1,3-시클로헥산디아민, 1,4-비스(아미노메틸)시클로헥산, 1,3-비스(아미노메틸)시클로헥산, 4,4'-디아미노디시클로헥실메탄, 4,4'-디아미노벤조아날라이드(4,4'-Diaminobenzoanalide), 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판(2,2-Bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane), 1,3-비스(3-아미노프로필)테트라메틸다이실록산(1,3-Bis(3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane), 비스(p-아미노페녹시)디메틸실란(Bis(p-aminophenoxy) dimethylsilane), 디아미노헥산(Diaminohexane), 디아미노도데칸(Diaminododecane), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (4-aminophenoxy)benzene), 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane), 1,1-비스(4-아미노페녹시페닐)사이클로헥산(1,1-bis(4-aminophenoxyphenyl) cyclohexane), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]설폰(Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (3-aminophenoxy)benzene), 5-아미노-1,3,3-트리메틸사이클로헥사메틸아민(5-Amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine), 4,4'-비스(4-아미노페녹시)바이페닐(4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl), 1,1-비스(4-아미노페닐)사이클로헥산(1,1-Bis(4-aminophenyl)cyclohexane), α,α'-비스(4-아미노페닐)-1,4-다이아이소프로필벤젠(α,α'-Bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene), 1,3-비스(4-아미노페녹시)-2,2-다이메틸프로판(1,3-Bis(4-aminophenoxy)-2,2-dimethylpropane), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (4-aminophenoxy)benzene), 9,9-비스(4-아미노페닐)플로린(9,9-Bis(4-aminophenyl)fluorine), 및 4,4'-디아미노-3,3'-디메틸디시클로헥실메탄로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 지방족 디아민을 들 수 있으며, 상기 방향족 및 지방족 디아민 중에서 선택된 1종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.
Y3는 상기 Y1 및 Y2 중에서 선택된 것이며, R은 알킬기 및 실릴 알킬기(silyl alkyl)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 것이고, 반복단위 c와 d는 각각 5 내지 200이다.
- 제1항에 있어서, 상기 Z는 각각 1~100mole%의 3,4-디카르복시-1,2,3,4-테트라하이드로-6-터셜리부틸-1-나프탈렌숙신산 이무수물(DTBDA)를 포함하는 테트라카르본산 및 그 유도체를 구성하는 4가의 유기기인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 1로 표시되는 화합물의 중량평균분자량은 1,000 내지 100,000인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 1로 표시되는 화합물의 유리전이온도는 200 내지 400℃인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물의 중량평균분자량은 1,000 내지 200,000인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물의 유리전이온도는 100 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
- 하기 화학식 4 내지 6으로 표시되는 화합물로 이루어진 그룹으로부터 1종 이상 선택된 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체.
화학식 4
화학식 5
화학식 6
상기 화학식 4 내지 6에서 Y4, Y5, Y6는 각각 디아민을 구성하는 2가의 유기기로서 Y4는 , , 및 중에서 선택된 것이고,
Y5는 2가의 지방족 또는 방향족 유기기로서, p-페닐렌디아민, m-페닐렌디아민, 2,4,6-트리메틸-1,3-페닐렌디아민, 2,3,5,6-테트라메틸-1,4-페닐렌디아민, 4,4’-디아미노디페닐에테르, 3,4’-디아미노디페닐에테르, 3,3’-디아미노디페닐에테르, 4,4’-디아미노디페닐설피드, 4,4’-디아미노디페닐메탄, 3,4’-디아미노디페닐메탄, 3,3’-디아미노디페닐메탄, 4,4’-메틸렌-비스(2-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디에틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2-이소프로필-6-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디이소프로필아닐린), 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 벤지딘, o-톨리딘, m-톨리딘, 3,3',5,5'-테트라메틸벤지딘, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)벤지딘, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 및 2,2-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 방향족 디아민;
1,6-헥산디아민, 1,4-시클로헥산디아민, 1,3-시클로헥산디아민, 1,4-비스(아미노메틸)시클로헥산, 1,3-비스(아미노메틸)시클로헥산, 4,4'-디아미노디시클로헥실메탄, 4,4'-디아미노벤조아날라이드(4,4'-Diaminobenzoanalide), 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판(2,2-Bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane), 1,3-비스(3-아미노프로필)테트라메틸다이실록산(1,3-Bis(3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane), 비스(p-아미노페녹시)디메틸실란(Bis(p-aminophenoxy) dimethylsilane), 디아미노헥산(Diaminohexane), 디아미노도데칸(Diaminododecane), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (4-aminophenoxy)benzene), 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(2,2-Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane), 1,1-비스(4-아미노페녹시페닐)사이클로헥산(1,1-bis(4-aminophenoxyphenyl) cyclohexane), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]설폰(Bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (3-aminophenoxy)benzene), 5-아미노-1,3,3-트리메틸사이클로헥사메틸아민(5-Amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine), 4,4'-비스(4-아미노페녹시)바이페닐(4,4'-Bis(4-aminophenoxy)biphenyl), 1,1-비스(4-아미노페닐)사이클로헥산(1,1-Bis(4-aminophenyl)cyclohexane), α,α'-비스(4-아미노페닐)-1,4-다이아이소프로필벤젠(α,α'-Bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene), 1,3-비스(4-아미노페녹시)-2,2-다이메틸프로판(1,3-Bis(4-aminophenoxy)-2,2-dimethylpropane), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(1,3-Bis (4-aminophenoxy)benzene), 9,9-비스(4-아미노페닐)플로린(9,9-Bis(4-aminophenyl)fluorine), 및 4,4'-디아미노-3,3'-디메틸디시클로헥실메탄로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 지방족 디아민을 들 수 있으며, 상기 방향족 및 지방족 디아민 중에서 선택된 1종 이상을 혼합하여 사용할 수 있으며,
반복단위 e는 1 내지 150이며; f는 1 내지 400이며; 화학식 5의 반복단위 g는 5 내지 200이며; R은 알킬기 및 실릴 알킬기(silyl alkyl)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 것이고; 화학식 6의 반복단위 h는 5 내지 200이다.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따른 감광성 폴리이미드 수지 조성물을 위한 폴리이미드계 중합체를 포함하는 공중합체 혼합물.
- 바인더 수지, 광활성 화합물 및 용매를 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물에 있어서,
상기 바인더 수지는 제1항에 따른 상기 화학식 1 내지 3으로 표시되는 화합물 및 제7항에 따른 상기 화학식 4 내지 6으로 표시되는 화합물로 이루어진 그룹으로부터 1종 이상 선택된 폴리이미드계 중합체 및/또는 이들의 공중합체 혼합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 바인더 수지는 하기 화학식 7로 표시되는 폴리아믹산을 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
화학식 7
상기 식에서, W는 테트라카르본산 및 그 유도체를 구성하는 4가의 유기기로서, , , , , 및 로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상을 함유하고,
Y7은 디아민을 구성하는 2가의 유기기로서, p-페닐렌디아민, m-페닐렌디아민, 2,4,6-트리메틸-1,3-페닐렌디아민, 2,3,5,6-테트라메틸-1,4-페닐렌디아민, 4,4’-디아미노디페닐에테르, 3,4’-디아미노디페닐에테르, 3,3’-디아미노디페닐에테르, 4,4’-디아미노디페닐설피드, 4,4’-디아미노디페닐메탄, 3,4’-디아미노디페닐메탄, 3,3’-디아미노디페닐메탄, 4,4’-메틸렌-비스(2-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디에틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2-이소프로필-6-메틸아닐린), 4,4'-메틸렌-비스(2,6-디이소프로필아닐린), 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 벤지딘, o-톨리딘, m-톨리딘, 3,3',5,5'-테트라메틸벤지딘, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)벤지딘, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 및 2,2-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 방향족 디아민;
1,6-헥산디아민, 1,4-시클로헥산디아민, 1,3-시클로헥산디아민, 1,4-비스(아미노메틸)시클로헥산, 1,3-비스(아미노메틸)시클로헥산, 4,4'-디아미노디시클로헥실메탄, 및 4,4'-디아미노-3,3'-디메틸디시클로헥실메탄로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 지방족 디아민을 들 수 있으며, 상기 방향족 디아민 또는 지방족 디아민 중에서 선택된 1종 이상을 혼합하여 사용할 수 있으며, i는 5 내지 200이다. - 제10항에 있어서, 상기 화학식 7로 표시되는 폴리아믹산은 전체 바인더 수지 중 1 내지 70중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 포지티브형 감광성 수지 조성물은 바인더 수지 100중량부에 대하여 광활성 화합물 1 내지 50중량부 및 용매 30 내지 90중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 바인더 수지의 i-선 투과율이 50% 이상인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
- 제10항에 있어서, 상기 화학식 7로 표시되는 폴리아믹산의 신장률이 40% 이상인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
- 제9항에 있어서, 상기 용매는 N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, N-비닐피롤리돈, N-메틸카프로락탐, 디메틸술폭시드, 테트라메틸요소, 피리딘, 디메틸술폰, 헥사메틸술폭시드, m-크레졸, γ-부티로락톤, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 에틸카르비톨, 부틸카르비톨, 에틸카르비톨 아세테이트, 부틸카르비톨 아세테이트, 에틸렌글리콜, 젖산에틸, 젖산부틸, 시클로헥사논, 및 시클로펜타논으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상임을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
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US12/720,364 US8257901B2 (en) | 2009-03-10 | 2010-03-09 | Polyimide-based polymers, copolymers thereof and positive type photoresist compositions comprising the same |
TW99106890A TWI426093B (zh) | 2009-03-10 | 2010-03-10 | 聚亞醯胺系聚合物、共聚物及包含該聚合物之正型光阻劑 |
JP2010053492A JP5593548B2 (ja) | 2009-03-10 | 2010-03-10 | ポリイミド系重合体とこれらの共重合体、並びにこれを含むポジ型感光性樹脂組成物 |
US13/568,911 US8669038B2 (en) | 2009-03-10 | 2012-08-07 | Polyimide-based polymers, copolymers thereof and positive type photoresist compositions comprising the same |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101441344B1 (ko) * | 2013-01-15 | 2014-09-18 | 애경유화주식회사 | 고투과 고선택성 공중합체 폴리이미드 소재 및 그의 합성 방법 |
KR101501875B1 (ko) * | 2014-05-30 | 2015-03-11 | 주식회사 엘지화학 | 폴리이미드계 용액 및 이를 이용하여 제조된 폴리이미드계 필름 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120076129A (ko) * | 2010-12-29 | 2012-07-09 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 광분해성 전자재료,이로부터 형성된 절연막 및 유기발광소자 |
TWI635139B (zh) * | 2017-03-02 | 2018-09-11 | 律勝科技股份有限公司 | 感光性透明樹脂 |
KR102007564B1 (ko) * | 2017-08-14 | 2019-08-06 | (주)휴넷플러스 | 감광성 바인더 수지 및 이를 포함하는 유기 절연막 조성물 |
KR102097406B1 (ko) * | 2019-05-10 | 2020-04-07 | 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 | 폴리이미드 전구체 조성물, 이의 제조 방법 및 폴리이미드 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000063515A (ja) | 1998-08-21 | 2000-02-29 | Jsr Corp | ポリアミック酸、ポリイミドおよび液晶配向剤 |
JP2002338686A (ja) | 2002-04-30 | 2002-11-27 | Jsr Corp | ポリアミック酸およびポリイミド |
KR100851787B1 (ko) * | 2007-04-11 | 2008-08-13 | 제일모직주식회사 | 3,4-디카르복시-1,2,3,4-테트라하이드로-6-터셔리부틸-1-나프탈렌숙신산이무수물 및 그를 이용하여 제조한 폴리이미드중합체를 포함하는 액정 배향제 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101118697B1 (ko) * | 2004-09-03 | 2012-03-12 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 폴리아미드산을 포함하는 하층 반사방지막 형성조성물 |
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- 2010-03-10 TW TW99106890A patent/TWI426093B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000063515A (ja) | 1998-08-21 | 2000-02-29 | Jsr Corp | ポリアミック酸、ポリイミドおよび液晶配向剤 |
JP2002338686A (ja) | 2002-04-30 | 2002-11-27 | Jsr Corp | ポリアミック酸およびポリイミド |
KR100851787B1 (ko) * | 2007-04-11 | 2008-08-13 | 제일모직주식회사 | 3,4-디카르복시-1,2,3,4-테트라하이드로-6-터셔리부틸-1-나프탈렌숙신산이무수물 및 그를 이용하여 제조한 폴리이미드중합체를 포함하는 액정 배향제 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101441344B1 (ko) * | 2013-01-15 | 2014-09-18 | 애경유화주식회사 | 고투과 고선택성 공중합체 폴리이미드 소재 및 그의 합성 방법 |
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