KR101010253B1 - 도포액 공급장치 및 이것을 수반한 슬릿 코트식 도포장치 - Google Patents

도포액 공급장치 및 이것을 수반한 슬릿 코트식 도포장치 Download PDF

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Abstract

기판(20)에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구(14a)를 갖는 도포 헤드(14)를 구비하고 도포 헤드 및 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치(12')와 조합되어 사용되고, 도포 헤드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치(10')는; 도포액원(10a)과 슬릿 코트식 도포장치의 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단(10b)과; 도포액 공급 수단에 개재되어 도포액 공급수단중의 도포액을 가압하는 펌프(10c)와; 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브(10d)와; 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단(10f 또는 10'f)과; 그리고, 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 도포 헤드에 의해 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해서 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값으로 되도록 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단(10g); 또는, 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남으로써 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단(22);을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
Figure R1020030074268
도포액 공급장치, 도포액 공급 수단, 퍼프, 개폐 밸브, 도포액 압력 검출 수단, 도포액 압력 제어 수단

Description

도포액 공급장치 및 이것을 수반한 슬릿 코트식 도포장치{COATING LIQUID SUPPLY DEVICE AND SLIT COAT TYPE COATING APPARATUS WITH THE SAME}
도 1은, 종래의 도포액 공급장치를 수반한 종래의 슬릿 코트식 도포장치에서, 도포 개시부터의 경과 시간에 따라 도포 헤드로부터의 도포액의 유출량이 변화되는 모양을 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 2는, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치의 구성을 컬러 필터 제조공정에 편입시킨 상태에서 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 3은, 도 2의 컬러 필터 제조공정의 제 1 위치의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 4는, 도 2의 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에서, 도포 개시부터의 경과 시간에 따라 도포 헤드로의 도포액의 유출량이 변화하는 모양을 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 5는, 종래의 도포액 공급장치를 수반한 종래의 슬릿 코트식 도포장치에서, 도포 개시의 전후에서 도포액의 압력이 변화되는 모양을 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 6은, 도 2의 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에서, 도포 개시의 전후에서 도포액의 압력이 변화되는 모양을 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 7은, 종래의 도포액 공급장치를 수반한 종래의 슬릿 코트식 도포장치에 의해 기판상에 형성된 도포액의 막의 두께가 도포 개시의 시점으로부터 변화되는 모양을 개략적으로 도시하고 있는 동시에, 도 2의 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에 의해 기판상에 형성된 도포액의 막의 두께가 도포 개시의 시점부터 변화되는 모양도 개략적으로 도시하는 도면이며;
도 8은, 실선에 의해, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치의 구성을 컬러 필터 제조공정에 편입시킨 상태에서 개략적으로 도시하고 있고, 또 동시에, 1점 쇄선에 의해, 도 2중에 도시되어 있었던 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치가 구비되어 있었던 도포액 압력 제어 수단의 구성이 상기 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치에 편입된 모양을 개략적으로 도시하고 있는 도면이며;
도 9는, 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치에 특유의 압력불량 경보 제어부의 동작을 개략적으로 도시하는 플로챠트이며;
도 10은, 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단의 제어부가 동작을 개시하고 나서 상기 동작을 종료할때 까지의 사이에, 제어부가 도포액 압력 불량을 검출하지 않아 도포액 압력불량 경보를 발하지 않았을 경우의, 도포액 압력 검출 수단에 의한 도포액 압력 검출 경과시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하고 있는 도면이며;
도 11은, 도 10의 경우에서의, 기판의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르 는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하고 있는 도면이며;
도 12는, 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단의 제어부가 동작을 개시한 직후에 제어부가 도포액 압력 불량을 검출하여 도포액 압력불량 경보를 발했을 경우의, 도포액 압력 검출 수단에 의한 도포액 압력 검출 경과시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하는 도면이며;
도 13은, 도 12의 경우에서의, 기판의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하는 도면이며;
도 14는, 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단의 제어부가 동작을 개시하고 나서 상기 동작을 종료할 때까지의 사이에, 제어부가 도포액 압력불량을 검출하여 도포액 압력불량 경보를 발한 경우의, 도포액 압력 검출 수단에 의한 도포액 압력 검출 경과시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하고 있는 도면이며; 그리고,
도 15는, 도 14의 경우에서의, 기판의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하는 도면이다.
본 발명은, 슬릿 코트(slit coat)식 도포장치에 도포액을 공급하는 도포액 공급장치 및 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에 관한 것이다.
기판상에 예를 들면 레지스트액 등의 액체의 소정량을 소정의 두께로 도포하 는 슬릿 코트식 도포장치는 종래부터 잘 알려져 있다. 종래의 슬릿 코트식 도포장치는, 기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 가진 도포 헤드를 구비하고 있다. 도포 헤드에는 도포액 공급장치로부터 소정량의 도포액이 공급되고, 기판 및 도포 헤드중 어느 일방이 타방에 대하여 소정의 속도로 이동되는 동안에 도포 헤드의 슬릿형상 개구에 의해 기판상에 소정량의 도포액이 소정의 두께로 도포된다.
상기 도포액은, 기판에 대하여 도포 헤드가 도포액의 도포를 개시하고 나서 기판상에 도포된 도포액의 두께가 원하는 일정한 두께로 안정되기(즉, 도포 헤드로부터의 도포액의 유출량이 원하는 일정량이 되기)까지 비교적 큰 시간을 필요로 하고 있다. 도 1은, 이 모양을 도시하고 있다.
따라서, 기판상의 원하는 영역에 도포액을 원하는 일정한 두께로 도포시키게 하는 경우에는, 상기 원하는 영역에서의 도포액의 도포 개시 위치보다도 전방으로부터 도포액의 도포를 개시해야 한다.
이것은, 기판의 재료 및 도포액의 사용량에 낭비를 생기게 하고 있다. 이 낭비는, 도포장치에서의 도포작업 속도가 커지면 커질수록 많아진다.
상기 도포장치에 의해 기판상에 원하는 일정한 두께로 도포액이 도포된 후에는, 기판상의 도포액의 두께가 측정된다.
기판상의 도포액의 두께에 불균일이 생겨 있는 것이 발견된 경우에는, 그 원인을 발견하기 위해서, 상기 도포장치의 동작이 정지된다. 이 경우에는, 도포액의 두께 불균일이 발견된 기판으로부터 상기 도포장치에 의해 현재 도포작업이 행해지고 있는 기판 또는 상기 도포작업이 종료한 직후의 기판까지의 사이에 위치하고 있 는 기판 모두, 및 상기 도포장치에 의해 현재 도포작업이 행해지고 있는 기판 또는 상기 도포작업이 종료한 직후의 기판에, 도포액의 두께 불균일이 생겨 있을 가능성이 대단히 크다. 따라서, 도포액의 두께 불균일이 생겨 있을 가능성이 대단히 큰 이들 기판 모두는, 폐기된다.
이것은, 도포장치에서의 도포작업 속도가 커지면 커질 수록, 도포액의 두께 불균일이 생긴 경우에 폐기해야 할 기판의 수가 많아지는 것을 의미하고 있다.
본 발명의 목적은, 슬릿 코트식 도포장치에 도포작업의 개시 직후부터 항상 확실하게 기판상의 소정의 영역에 원하는 일정한 두께로 도포액을 도포시킬 수 있고, 이 결과로서 기판의 재료 및 도포액의 사용량의 낭비를 상술한 종래에 비해 현저하게 저감시킬 수 있는, 도포액 공급장치 및 이 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 슬릿 코트식 도포장치에 의한 기판상에의 도포액의 도포작업중에 기판상에 도포된 도포액의 두께 불균일을 검출할 수 있고, 도포액의 두께 불균일이 생김으로써 폐기하지 않으면 안되는 기판의 수를 상술한 종래에 비해 대단히 삭감할 수 있는, 도포액 공급장치 및 이 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치를 제공하는 것이다.
최초에 상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 도포액 공급장치는:
기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치와 조합되어 사용되고, 상기 도포 헤드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치로서;
도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
상기 도포액 공급 수단에 개재되어 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단;을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
최초에 상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 슬릿 코트식 도포장치는:
기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드와, 상기 도포 헤 드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치로서;
상기 도포액 공급장치가,
도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
상기 도포액 공급 수단에 개재되어 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
다음에 상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 도포액 공급장치는:
기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치와 조합되어 사용되고, 상기 도포 헤드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치로서;
도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
상기 도포액 공급 수단에 개재되어 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남에 따라 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단;을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 이 도포액 공급장치는, 최초에 상술한 목적을 달성하는 본 발명에 따른 도포액 공급장치의 상기 도포액 압력 제어 수단을 더 구비할 수 있다.
다음에 상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 슬릿 코트식 도포장치는:
기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드와, 상기 도포 헤 드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치로서;
상기 도포액 공급장치가,
도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
상기 도포액 공급 수단에 개재되어 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남에 따라 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단;을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 이 슬릿 코트식 도포장치는, 최초에 상술한 목적을 달성하는 본 발명에 따른 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포액 공급장치의 상기 도포액 압력 제어 수단을 더 구비할 수 있다.
(발명의 실시의 형태)
[제 1 실시형태]
우선 최초에, 도 2 내지 도 7을 참조하면서, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12)의 전체의 구성이 개략적으로 도시되어 있다.
슬릿 코트식 도포장치(12)는, 슬릿형상 개구(14a)를 갖는 도포 헤드(14)를 구비하고 있다. 도포액 공급 장치(10)는, 도포 헤드(14)에 대하여 소정량의 도포액을 공급한다.
도포 헤드(14)는, 적어도 제 1 위치(후술하는 더미 도포 롤러에의 도포액 도포 위치)(16)와 제 2 위치(후술하는 기판에의 도포액 도포 위치)(18) 사이에서 이동 자유롭다. 제 2 위치(18)에서는, 도포 헤드(14)는 슬릿형상 개구(14a)를 기판(20)의 소정의 영역에 대해 대향시키고, 도포 헤드(14) 및 기판(20)중 어느 일방이 타방에 대하여 상대적으로 이동됨으로써 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14a)는 기판(20)의 소정의 영역의 일단에서 타단까지 주사한다. 그리고, 그 주사의 개시 시점부터 종료 시점까지, 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14a)로부터 소정의 양의 도포액을 소정의 압력을 수반하여 유출시킴으로써, 도포액을 기판(20)의 소정의 영역에 대하여 소정의 영역의 일단부터 타단까지 소정의 두께로 도포할 수 있다.
이 실시형태에서, 슬릿 코트식 도포장치(12)는, 액정 디스플레이를 위한 컬러 필터 제조공정중에 편입되어 있고, 그리고, 도포액은 기판(20)상에 컬러 필터의 적어도 1층을 형성하기 위해 사용되는 예를 들면 레지스트액이다.
도포액 공급장치(10)는, 도포액원(10a)과 슬릿 코트식 도포장치(12)의 도포 헤드(14) 사이에 뻗어 나온 예를 들면 파이프와 같은 도포액 공급 수단(10b)을 구비하고 있다. 도포액 공급 수단(10b)에는, 도포액 공급 수단(10b)중의 도포액을 가압하는 펌프(10c)가 개재되어 있다. 도포액 공급 수단(10b)에는 또, 도포액 공급 수단(10b)에서 펌프(10c)와 도포 헤드(14) 사이에 개폐밸브(10d)가 개재되어 있다. 이 실시형태에서는, 개폐밸브(10d)는 에어 구동식 개폐밸브에 의해 구성되어 있다. 더욱이, 도포액 공급 수단(10b)에서 도포 헤드(14)와 개폐밸브(10d) 사이에 필터(10e)가 개재되어 있다.
도포액 공급장치(10)는, 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단(10f)도 구비하고 있다.
도포액 공급장치(10)는 더욱이, 도포액 압력 검출 수단(10f)이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되는 도포액 압력 제어 수단(10g)을 구비하고 있다. 도포액 압력 제어 수단(10g)은, 도포 헤드(14)에 의해 기판(20)에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해 개폐밸브(10d)가 개방되기 직전에 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 펌프의 동작을 제어한다.
이 실시형태에서, 도포액 공급장치(10)의 펌프(10c)는 다이어프램 펌프이며, 도포액 공급 장치(10)의 도포액 공급 수단(10b)에서 다이어프램의 상류측에 역류방지 밸브(10h)가 개재되어 있다.
다이어프램 펌프(10c)의 다이어프램(D)은, 다이어프램 구동 수단(DD)의 도시되어 있지 않은 피스톤의 왕복운동이 작동유를 통하여 전달됨으로써 왕복운동된 다. 다이어프램 구동 수단(DD)의 동작은, 도포액 압력 제어 수단(10g)에 의해 제어된다.
이 실시형태에서, 도포액 압력 검출 수단(10f)은, 다이어프램 구동 수단(DD)의 상기 작동유의 압력을 검출함으로써 다이어프램 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액의 압력을 간접적으로 검출한다.
다이어프램 펌프(10c)의 도포액 유입유출실(C)로부터는 도포액이 채워져 있는 도포액 분기 수단(10i)이 분기되어 있다. 이 실시형태에서 도포액 분기 수단(10i)은 벤트 관을 구성하고 있고, 벤트 관에는 벤트 밸브(BV)가 개재되어 있다. 벤트 밸브(BV)는, 통상 닫혀져 있다.
제 1 위치(16)에서, 슬릿 코트식 도포장치(12)의 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14a)는, 도 3 중에 도시되어 있는 바와 같이, 더미 도포 롤러(16a)의 외주면에 대향되어 있다. 더미 도포 롤러(16a)의 외주면의 대략 하반분은 세정액조(16b)중의 세정액(WL)에 담가져 있다. 세정액조(16b)에는, 드레인 파이프(16c)와 오버플로 파이프(16d)가 배치되어 있다.
더미 도포 롤러(16a)는 소정의 방향(도 3중에 화살표로 표시되어 있음)으로 소정의 속도로 회전가능하다. 더미 도포 롤러(16a)의 외주측의 대략 상반분에서, 더미 도포 롤러(16a)의 외주면의 상단보다도 상기 소정의 회전 방향의 상류측의 소정의 위치에는, 건조용 가스 노즐(16e)이 대향하여 있다. 더미 도포 롤러(16a)의 외주면의 대략 상반분에서, 건조용 가스 노즐 대향 위치에 대하여 상기 소정의 회전 방향의 상류측에 인접한 위치에는 닥터 블레이드(16f)가 접촉해 있다.
다음에, 도 2 및 도 3을 참조하면서 상술한 바와 같이, 컬러 필터 제조공정중에 편입되어 있는, 도포액 공급장치(10)를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12)의 동작에 대하여 설명한다.
슬릿 코트식 도포장치(12)의 도포 헤드(14)가, 도 2에서 실선으로 도시되어 있는 바와 같이, 제 1 위치(16)에 배치되어 있을 때, 도포액 공급 수단(10b)에는 도포액이 채워져 있다.
도포 헤드(14)가, 도 2에서 2점 쇄선으로 도시되어 있는 바와 같이, 제 2 위치(18)로 이동되고 기판(20)상에 도포액을 도포하기 전에는, 제 1 위치(16)에 배치되어 있는 도포 헤드(14)는, 도포액 공급 수단(10b)의 개폐밸브(10d)가 소정시간 일단 개방되어 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액을 더미 도포 롤러(16a)의 외주면의 상단에 유출시킨다.
이 동안에 더미 도포 롤러(16a)는, 상기 소정의 회전 방향으로 상기 소정의 회전속도로 회전하고 있다. 회전하고 있는 더미 도포 롤러(16a)의 외주면상에 유출된 도포액의 대부분은, 세정액조(16b)중의 세정액(WL)을 빠져 나감으로써 상기 외주면에서 분리된다. 세정액(WL)에서 분리된 상기 외주면상에 잔류하고 있는 도포액은, 닥터 블레이드(16f)에 의해 긁어 떨어뜨려진다. 그리고, 상기 외주면은 최후에, 건조용 가스 노즐(16e)로부터 분사되는 가스, 예를 들면 질소 가스(N2 가스), 에 의해 건조된다.
제 1 위치(16)에서, 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액을 더미 도포 롤러(16a) 의 외주면의 상단에 유출시킨 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14a)로부터는, 지금까지의 동안에 슬릿형상 개구(14a)에 노출되어 있어서 외기로부터의 이물이 혼입되어 있을 가능성이 있는 도포액의 부분이 폐기된다. 또 동시에, 슬릿형상 개구(14a)에는 신선한 도포액이 채워진다.
이 후 즉시, 도포액 공급 수단(10b)의 개폐밸브(10d)가 닫히고, 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액이 펌프(10c)와 개폐밸브(10d) 사이에서 원하는 압력의 값으로 될 때까지 도포액 압력 제어 수단(10g)이 펌프(10c)의 동작을 제어한다. 이 실시예에서는, 이 동안의 상기 가압된 도포액의 압력은, 도포액 압력 검출 수단(10f)이 다이어프램 구동 수단(DD)의 상기 작동유의 압력을 검출함으로써 간접적으로 검출하고 있다. 그리고, 도포액 압력 검출 수단(10f)은, 검출한 작동유 압력(즉, 상기 가압된 도포액의 압력)에 대응한 도포액 압력 신호를 도포액 압력 제어 수단(10g)을 향하여 출력하고 있다.
상술하는 바와 같이 개폐밸브(10d)가 닫혀지는 동시에, 도포 헤드(14)는 제 2 위치(18)로 이동되어, 제 2 위치의 기판(20)상의 소정 영역의 일단(즉, 도포 개시 위치)에 슬릿형상 개구(14a)를 대향시킨다.
도포액 압력 제어 수단(10g)이 도포액 압력 제어 수단(10g)이 검출한 작동유 압력(즉,상기 가압된 도포액의 압력)이 상기 원하는 값이면, 도포액 압력 제어 수단(10g)은 개폐밸브(10d)를 개방시킨다. 이 결과, 압력이 상기 원하는 값으로 유지되고 있고, 펌프(10c)로부터 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14a)까지의 사이에서 도포액 공급 수단(10b)에 채워져 있는 소정량의 도포액이, 슬릿형상 개구(14a) 로부터 소정의 압력을 유지하여 기판(20)의 소정의 영역상에 압출된다.
개폐밸브(10d)가 개방되는 동시에, 도포 헤드(14) 및 기판(20)중 어느 일방은 타방에 대하여 상대적으로 소정의 속도로 이동한다. 따라서, 슬릿형상 개구(14a)로부터 소정의 압력을 유지한(즉, 소정의 유출량을 유지한) 도포액의 소정량이, 제 2 위치의 기판(20)상의 소정영역의 일단(즉, 도포 개시 위치)부터 타단(즉, 도포 종료 위치)까지 소정의 두께로 도포된다.
이 후, 도포 헤드(14)는, 제 1 위치(16)로 복귀되고, 다음 기판(20)에의 도포액의 도포를 위해, 상술한 순서가 반복된다.
상술한 바와 같이 구성되고 상술한 바와 같이 동작하는 도포액 공급장치(10)를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12)에 의하면, 도 1과 유사한 도 4중에 도시되어 있는 바와 같이, 도 1에 도시되어 있는 종래의 경우에 비해, 기판(20)에 대하여 도포 헤드(14)가 도포액의 도포를 개시하고 나서 보다 단시간에 기판(20)상에 도포된 도포액의 두께가 원하는 일정한 두께(즉, 도포 헤드(14)로부터의 도포액의 유출량이 원하는 일정량)로 안정하다.
이와 같은 효과는, 도 5와 도 6을 대비함으로써도 알 수 있다.
도 5는, 종래의 슬릿 코트식 도포장치의 도포액 공급장치의 도포액 공급 수단(파이프)에서, 도포액 도포 개시전(즉, 도포액 유출전)부터 도포액 도포 개시후(즉, 도포액 유출후)까지, 도포액 가압 펌프와 도포 헤드 사이에서 측정된 도포액의 압력의 값의 변화를 도시하고 있다.
여기에서 도포액은, 도포액 도포가 개시될 때 까지는 균일한 도포를 위해 필 요한 원하는 압력의 값으로 도포액 가압 펌프에 의해 가압되어 있지 않다. 따라서 도포액의 압력은, 도포액 도포개시 직후에 도포 헤드의 슬릿형상 개구로부터 도포액이 유출을 개시함으로써, 일단 저하된다. 그 후 어느정도의 시간경과와 함께 도포액 가압 펌프에 의한 가압의 영향으로 도포액의 압력이 균일한 도포를 위해 필요한 원하는 값에 서서히 도달한다. 즉, 도포액 도포 개시부터, 도포 헤드의 슬릿형상 개구로부터의 도포액의 유출량이 원하는 값으로 될 때까지, 비교적 시간을 요한다.
도 6은, 상술한 제 1 실시형태의 슬릿 코트식 도포장치(12)의 도포액 공급장치(10)의 도포액 공급 수단(파이프)(10b)에서, 도포액 도포 개시전(즉, 도포액 유출전)부터 도포액 도포 개시후(즉, 도포액 유출후)까지, 펌프(10c)와 개폐밸브(10d) 사이에서(즉, 도포액 압력 검출 수단(10f)에서) 측정된 도포액의 압력의 값의 변화를 도시하고 있다.
여기에서 도포액의 상기 압력은, 도포액 도포 개시 직전(즉, 개폐밸브(10d)의 개방 직전)까지 균일한 도포를 위해 필요한 원하는 값 보다도 큰 원하는 예비압의 값으로 유지되어 있다. 그리고, 도포액의 압력은, 도포액 도포 개시 직후(즉, 개폐밸브(10d)의 개방 직후)에 도포 헤드(14)의 슬릿형상 개구(14)로부터 도포액이 유출을 개시함으로써, 일단 저하된다. 그러나, 즉시 펌프(10c)에 의한 예비 가압의 영향으로 도포액의 압력이 원하는 값으로 안정된다. 즉, 도포액 도포 개시로부터 즉시, 도포 헤드의 슬릿형상 개구로부터의 도포액의 유출량이 원하는 값으로 안정된다.
상술한 효과는, 도 7을 봄으로써도 알 수 있다.
도 7에는, 상술한 제 1 실시형태의 슬릿 코트식 도포장치(12)에 의해 기판(20)의 소정의 영역에 도포된 도포액에 의해 상기 소정의 영역에 형성된 도포액의 막의 두께가, 도포액의 도포 개시 위치로부터의 거리에 의해 변화되는 모양이 도시되어 있는 동시에, 상술한 종래의 슬릿 코트식 도포장치에 의해 기판의 소정의 영역에 도포된 도포액에 의해 상기 소정의 영역에 형성된 도포액의 막의 두께가, 도포액의 도포 개시 위치로부터의 거리에 의해 변화되는 모양이 도시되어 있다.
여기에서, 종래의 슬릿 코트식 도포장치를 사용한 경우에는, 기판의 소정의 영역에 대하여 도포액의 도포를 개시하고 나서 상기 소정의 영역에 도포된 도포액의 막의 두께가 원하는 일정한 두께로 안정될 때까지 비교적 긴 시간(즉, 도포 개시 위치로부터 비교적 긴 거리)을 필요로 하고 있다.
이에 반해, 상술한 제 1 실시형태의 슬릿 코트식 도포장치(12)를 사용한 경우에는, 기판(20)의 소정의 영역에 대하여 도포액의 도포를 개시하고 나서 즉시 상기 소정의 영역에 도포된 도포액의 막의 두께가 원하는 일정한 두께로 안정된다.
[제 1 실시형태의 변형예〕
또한, 도 2 내지 도 7을 참조하여 상술한 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)에서는, 도포액 압력 검출 수단(10f)이 다이어프램 구동 수단(DD)의 작동유의 압력을 검출함으로써 다이어프램 펌프(10c)에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하고 있었는데, 도 2중에 2점 쇄선에 의해 도시되어 있는 바와 같이, 다이어프램 펌프(10c)의 도포액 유입유출실(C)로부터 분기되어 있는 도포액 분기 수단(10i)에 도포액 압력 검출 수단(10'f)을 설치할 수도 있다.
이 경우에서도, 상술한 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
[제 2 실시형태]
다음에, 도 8 내지 도 15를 참조하면서, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치에 대하여 상세히 설명한다.
도 8은, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10')를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12')의 전체의 구성이 실선으로 개략적으로 도시되어 있다.
제 2 실시형태에 따른 도포액 공급 장지(10')를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12')의 복수의 구성 부재의 일부는, 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명한 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12)의 복수의 구성 부재의 일부와 동일하다. 따라서, 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10')를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12')의 복수의 구성 부재의 이와 같은 일부는, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)를 수반한 슬릿 코트식 도포장치(12)의 복수의 구성 부재에서 대응하는 구성 부재에 붙여져 있는 참조 부호와 동일한 참조 부호를 붙여서, 이들 일부의 구성 부재에 대한 상세한 설명은 생략한다.
또한, 이 실시형태에서도, 슬릿 코트식 도포장치(12')는, 액정 디스플레이를 위한 컬러 필터 제조공정중에 편입되어 있고, 그리고, 도포액은 기판(20)상에 컬러 필터의 적어도 1층을 형성하기 위해 사용되는 예를 들면 레지스트액이다.
제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10')가 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)와 다른 것은, 도포액 압력 검출 수단(10f)이 검출한 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남으로써 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단(22)을 구비하고 있는 것이다.
도포액 압력 불량 경보 수단(22)은, 도포액 압력 검출 수단(10f)으로부터의 도포액 압력 신호와 도포액 압력 불량 경보 수단(22)에 미리 설정된 원하는 도포액 압력의 상한값 및 하한값이 비교기(22a)를 통하여 입력되는 압력불량 경보 제어부(22b)를 포함하고 있다.
압력불량 경보 제어부(22b)에는, 경보발생 수단의 일종인 경보기(22c)가 접속되어 있다. 압력불량 경보 제어부(22b)는 더욱이, 슬릿 코트식 도포장치(12')의 전체의 움직임을 제어하기 위한 CPU의 표시장치(DSP)를 경보발생 수단의 일종으로서 사용할 수도 있다.
다음에, 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10')에 특유한 압력불량 경보 제어부(22b)의 동작에 대하여, 도 9에 도시하는 플로챠트를 참조하면서 설명한다.
슬릿 코트식 도포장치(12')의 도포 헤드(14)가 제 2 위치(18)로 이동되고, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포 헤드(14)에 의한 도포액 도포작업이 개시되면, 도포액 압력 검출 수단(10f)으로부터의 도포액 압력 신호와 도포액 압력 불량 경보 수단(22)에 미리 설정된 원하는 도포액 압력의 상한값 및 하한값이 비교기(22a)에서 비교된다.
또한, 상기 비교를 기초로 압력불량 경보 제어부(22b)가 실제로 그 압력불량경보작업을 행하는 것은, 도포액 도포작업 개시부터 미리 설정된 소정의 시간이 경과한 후인 상기 소정의 시간은, 도포액 도포작업 개시부터 도포 헤드(14)가 유출시키는 도포액의 압력이 소정의 일정한 값으로 안정할 때까지 요하는 시간이다.
도포액 압력 신호가 상기 상한값과 상기 하한값의 범위내이면, 상기 도포액 도포작업은 기판(20)의 소정의 영역의 종단까지(즉, 도포액 도포작업이 종료할 때까지) 속행된다. 이 동안에는, 도포액 도포작업 속행 표시를 CPU의 표시장치(DSP)에 표시시킬 수 있다.
상기 비교는, 도포액 도포작업이 종료할 때까지 계속된다.
도포액 도포작업중에 도포액 압력 신호가 상기 상한값을 초과하든지, 또는 상기 하한값 보다도 낮아지면, 도포액 압력 불량 경보 수단(22)은 경보기(22c)에 경보를 발생시킨다. 이 경우, 이 실시예의 도포액 압력 불량 경보 수단(22)은 CPU의 표시장치(DSP)에 도포액 압력이상 표시를 하게 할 수 있고, CPU에 의해 도포액 도포작업을 정지시킬 수도 있다.
도 8중에 일점쇄선으로 도시되어 있는 바와 같이, 제 2 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10')에는, 도 2중에 도시되어 있던 제 1 실시형태에 따른 도포액 공급장치(10)가 구비하고 있었던 도포액 압력 제어 수단(10g)의 구성을 편입하는 것도 가능하다.
더욱이, 도포액 압력 검출 수단(10f)은, 도포액 분기 수단(10i)에 설치한 도포액 압력 검출 수단(10'f)으로 변경할 수도 있다.
도 10은, 상기 도포액 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단(22)의 제어부(22b)가 동작을 개시하고 나서 상기 동작을 종료할 때까지의 사이에, 제어부(22b)가 도포액 압력불량을 검출하지 않고 도포액 압력불량 경보를 발하지 않았을 경우의, 도포액 압력 검출 수단(10f)에 의한 도포액 압력 검출 경과시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하고 있다.
그리고 도 11은, 도 10의 경우에서의, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하고 있다. 도 11로부터는, 도 10의 경우에는, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포작업의 개시부터 종료까지의 사이에 상기 소정의 영역에 원하는 두께의 도포액 막이 형성되어 있는 것을 알 수 있다.
도 12는, 상기 도포액 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단(22)의 제어부(22b)가 동작을 개시한 직후에 제어부(22b)가 도포액 압력 불량을 검출하여 도포액 압력불량 경보를 발했을 경우의, 도포액 압력 검출 수단(10f)에 의한 도포액 압력 검출 경과 시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하고 있다.
이와 같은 경우는, 상기 도포액 도포작업의 개시후에 있어서의 펌프에 의한 도포액 가압의 부족이 원인이다.
그리고 도 13은, 도 12의 경우에서의, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하고 있다. 도 13으로부터는, 도 12의 경우에는, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포작업의 개시직후에 원하는 두께의 도포액 막이 형성되지 않는 것을 알 수 있다.
도 14는, 상기 도포액 도포작업의 개시후에 도포액 압력 불량 경보 수단(22)의 제어부(22b)가 동작을 개시하고 나서 상기 동작을 종료할 때까지의 사이에, 제어부(22b)가 도포액 압력불량을 검출하여 도포 압력불량 경보를 발했을 경우의, 도포액 압력 검출 수단(10f)에 의한 도포액 압력 검출 경과시간에 따르는 도포액 압력의 변화의 모양을 도시하고 있다.
이와 같은 경우는, 상기의 동안에 도포액 공급 수단(10b)상의 여러 부재(예를 들면, 역류방지 밸브(10h)나, 펌프(10c)나 개폐밸브(10d), 필터)나, 도포액 공급 수단(10b) 자신이나, 도포 헤드(14)중 적어도 어느 하나에서의 동작 불량이 원인이다.
그리고 도 15는, 도 14의 경우에서의, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포 길이에 따르는 도포액 막 두께의 변화의 모양을 도시하고 있다. 도 15로부터는, 도 14의 경우에는, 기판(20)의 소정의 영역에 대한 도포작업 동안에 원하는 두께의 도포 피막이 형성되지 않는 것을 알 수 있다.
본 발명에 의하면, 슬릿 코트식 도포장치에 도포작업의 개시 직후부터 항상 확실하게 기판상의 소정의 영역에 원하는 일정한 두께로 도포액을 도포시킬 수 있고, 이 결과로서 기판의 재료 및 도포액의 사용량의 낭비를 종래에 비해 현저하게 저감시킬 수 있는, 도포액 공급장치 및 이 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치를 제공할 수 있다.
또한, 슬릿 코트식 도포장치에 의한 기판상에의 도포액의 도포작업중에 기판 상에 도포된 도포액의 두께 불균일을 검출할 수 있고, 도포액의 두께 불균일이 생김으로써 폐기하지 않으면 안되는 기판의 수를 종래에 비해 대단히 삭감할 수 있는, 도포액 공급장치 및 이 도포액 공급장치를 수반한 슬릿 코트식 도포장치를 제공할 수 있다.

Claims (25)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치와 조합되어 사용되고, 상기 도포 헤드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치로서:
    도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
    상기 도포액 공급 수단에 개재되어 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
    상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
    상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남에 따라 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단;을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 펌프가 다이어프램 펌프이며,
    상기 도포액 공급 수단에서 상기 다이어프램 펌프의 상류측에 역류방지 밸브가 개재되어 있고,
    상기 다이어프램 펌프의 도포액 유입유출실로부터는 도포액이 채워져 있는 도포액 분기 수단이 분기되어 있고, 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 상기 도포액 분기 수단에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 도포액 압력 불량 경보 수단이, 상기 경보를 발하는 동시에 상기 기판에 대한 상기 도포 헤드에 의한 도포액 도포작업을 정지시키는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 펌프가 다이어프램 펌프이며,
    상기 도포액 공급 수단에서 상기 다이어프램 펌프의 상류측에 역류방지 밸브가 개재되어 있고,
    상기 다이어프램 펌프의 다이어프램은 피스톤의 왕복운동이 작동유를 통해서 전달됨으로써 왕복운동되고, 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 상기 작동유의 압력을 검출함으로써 상기 다이어프램 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 도포 액 공급장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 도포액 압력 불량 경보 수단이, 상기 경보를 발하는 동시에 상기 기판에 대한 상기 도포 헤드에 의한 도포액 도포작업을 정지시키는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.
  15. 제 10 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포액 공급장치가, 상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해서 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포액 공급장치.
  16. 기판에 대향하여 배치되는 슬릿형상 개구를 갖는 도포 헤드와, 상기 도포 헤드에 대하여 소정량의 도포액을 공급하는 도포액 공급장치를 구비하고 상기 도포 헤드 및 상기 기판중 어느 일방을 타방에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포하는 슬릿 코트식 도포장치로서:
    상기 도포액 공급장치가,
    도포액원과 상기 슬릿 코트식 도포장치의 상기 도포 헤드 사이에 뻗어 나온 도포액 공급 수단과;
    상기 도포액 공급 수단에 개재되고 상기 도포액 공급 수단중의 도포액을 가압하는 펌프와;
    상기 도포액 공급 수단에서 상기 펌프와 상기 도포 헤드 사이에 개재된 개폐밸브와;
    상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하여 도포액 압력 신호를 출력하는 도포액 압력 검출 수단과; 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이, 원하는 값의 폭에서 벗어남에 따라 경보를 발하는 도포액 압력 불량 경보 수단;을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 도포액 공급장치의 상기 펌프가 다이어프램 펌프이며,
    상기 도포액 공급장치의 상기 도포액 공급 수단에서 상기 다이어프램 펌프의 상류측에 역류방지 밸브가 개재되어 있고,
    상기 다이어프램 펌프의 도포액 유입유출실로부터는 도포액이 채워져 있는 도포액 분기 수단이 분기되어 있고, 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 상기 도포액 분기 수단에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 도포액 압력 불량 경보 수단이, 상기 경보를 발하는 동시에 상기 기판에 대한 상기 도포 헤드에 의한 도포액 도포작업을 정지시키는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  19. 제 16 항에 있어서, 상기 도포액 공급장치의 상기 펌프가 다이어프램 펌프이며,
    상기 도포액 공급장치의 상기 도포액 공급 수단에서 상기 다이어프램의 상류측에 역류방지 밸브가 개재되어 있고,
    상기 다이어프램 펌프의 다이어프램은 피스톤의 왕복운동이 작동유를 통하여 전달됨으로써 왕복운동되고, 그리고,
    상기 도포액 압력 검출 수단이 상기 작동유의 압력을 검출함으로써 상기 다이어프램 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력을 검출하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 도포액 압력 불량 경보 수단이, 상기 경보를 발하는 동시에 상기 기판에 대한 상기 도포 헤드에 의한 도포액 도포작업을 정지시키는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  21. 제 16 항 내지 제 20 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포액 공급장치가, 상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력 신호가 입력되고, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해서 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 전에, 상기 도포액 공급 장치의 상기 개폐밸브를 일단 개방하여 상기 펌프에 의해 가압된 도포액을 상기 도포 헤드의 상기 슬릿형상 개구로부터 유출시킴으로써 상기 슬릿형상 개구에 도포액을 채우고,
    다음에, 상기 개폐밸브를 닫아서, 상기 도포액 압력 제어 수단이, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해서 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  23. 제 16 항 내지 제 20 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬릿 코트식 도포장치가, 액정 디스플레이를 위한 컬러 필터 제조공정중에 편입되어 있고,
    상기 도포액은 상기 기판상에 컬러 필터의 적어도 1층을 형성하기 위해서 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 도포액 공급장치가, 상기 도포액 압력 검출 수단이 검출한 도포액 압력신호가 입력되고, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 위해서 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 도포액 압력 제어 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시키기 전에, 상기 도포액 공급장치의 상기 개폐밸브를 일단 개방하여 상기 펌프에 의해 가압된 도포액을 상기 도포 헤드의 상기 슬릿형상 개구로부터 유출시킴으로써 상기 슬릿형상 개구에 도포액을 채우고,
    다음에, 상기 개폐밸브를 닫아서, 상기 도포액 압력 제어 수단이, 상기 도포 헤드에 의해 상기 기판에 대하여 소정량의 도포액을 소정의 두께로 도포시기기 위해서 상기 개폐밸브가 개방되기 직전에 있어서의 상기 펌프에 의해 가압된 도포액의 압력이 원하는 값으로 되도록 상기 펌프의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코트식 도포장치.
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